JPH0479154B2 - - Google Patents

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JPH0479154B2
JPH0479154B2 JP60034033A JP3403385A JPH0479154B2 JP H0479154 B2 JPH0479154 B2 JP H0479154B2 JP 60034033 A JP60034033 A JP 60034033A JP 3403385 A JP3403385 A JP 3403385A JP H0479154 B2 JPH0479154 B2 JP H0479154B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
electrode
piezoelectric body
insulating plate
piezoelectric
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP60034033A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61193492A (ja
Inventor
Tomonobu Tomita
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Petrochemical Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Petrochemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Petrochemical Co Ltd filed Critical Mitsubishi Petrochemical Co Ltd
Priority to JP60034033A priority Critical patent/JPS61193492A/ja
Publication of JPS61193492A publication Critical patent/JPS61193492A/ja
Publication of JPH0479154B2 publication Critical patent/JPH0479154B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302Sensors

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は曲げ変形、圧力などを測定できる圧電
素子に係り、特にリード線、ケーブルのハンダ付
けにより外部回路の接続及びクリツプ使用による
外部回路の接続が可能な圧電素子に関する。
〔先行技術〕
先行技術としては本発明者らが特願昭59−
162670号として既に提案した可撓性圧電素子があ
る。この可撓性圧電素子は第5、第6図示のよう
に高分子圧電体1の一方の面に薄膜電極11aを
設け、この高分子圧電体1の一方の面の薄膜電極
11aに接続される薄膜リード部13aと、高分
子圧電体1の他方の面に接合される薄膜電極11
及びそのリード部13bとを高分子フイルム14
の同一面の設けて可撓性電極シート9を形成し、
この可撓性電極シート9の薄膜電極11、高分子
圧電体1の他方の面を接合すると共に、この高分
子圧電体1の一方の面の薄膜電極11aと可撓性
電極シート9の薄膜リード部13aとを接続用導
電体12で接続してなるものである。10は高分
子圧電体1の一方の面の薄膜電極11aの露出面
に接合された保護膜、11bは高分子圧電体1の
他方の面に設けた薄膜電極で、設けなくてもよ
い。
このような先行素子は、省スペースで取り付け
ることができること、大きな変位を生じせしめる
ことができること、大きな曲げ変位を与えて大き
な信号出力を得ることができること、リード部1
3a,13bにリード線をハンダ付け等により十
分な強度で取り付けることができること及びリー
ド部13a,13bのソケツトへの挿入・抜き出
しを容易に行うことができること等の優れた特長
を有している。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら上記先行素子にあつては、高分子
圧電体1の一方の面の薄膜電極11aと可撓性電
極シート9の薄膜リード部13aとを接続する接
続用導電体12が必要であり、場合によつてはリ
ード部13a,13b間を絶縁する絶縁体15も
必要であるため、構造が複雑で安価に容易に製造
できないばかりでなく、接続用導電体12が剥離
し接触不良を起こすおそれも大きいという問題点
がある。
〔発明の概要〕 本発明素子は上記の問題点を解決するため、第
1、第2図示のように絶縁板16上に2枚の電極
17,18を並べて設け、この両電極17,18
に圧電体19の一方の面を接着し、この圧電体1
9の他方の面に共通電極20を設けると共に、当
該電圧体19の接着部より両端に延出する絶縁板
16の両電極部分17a,18aを信号端子とし
て構成したものである。
このような構成とすることにより本発明素子2
1は両電極17,18と共通電極20との間に形
成される素子部分21a,21bが共通電極20
で直列に接続された等価回路を構成するので、当
該素子21に曲げ変形、振動あるいは圧力を与え
た場合には、これに比例した信号を当該等価回路
を介して両電極部分17a,18aより取り出す
ことができる。また、両電極部分17a,18a
間に交流電圧を印加した場合にはこの交流電圧に
よつて当該素子21を振動させることができる。
〔発明の具体的説明〕
第1図は本発明素子の第1実施例の部分分解斜
視図、第2図はその断面図である。
まず、その構成を説明する。
第1、第2図において、16は絶縁板で、ポリ
イミド、ポリエステル、ナイロンなどの剛性が高
く、機械的強度の大きなプラスチツク板またはガ
ラスとこれらのプラスチツク板との複合板であ
る。17,18は金属箔、導電性塗料膜等による
電極で、絶縁板16上に右、左に並べて設けられ
ている。
19は圧電体で、セラミツクス系、高分子系の
いずれのものでもよいが、高分子圧電体は可撓性
に優れ、高出力が得られるので好ましい。22,
23は絶縁板16上の2枚の電極17,18と対
をなす電極で、圧電体19の一方の面に右、左に
並べて設けられている。圧電体19の他方の面に
は共通電極20が設けられている。
圧電体19の両面の電極22,23及び20は
金属蒸着、金属スパツタリング、エツチング、導
電性塗料印刷などの手段により圧電体19の両面
に形成される。
そして、絶縁板16上の両電極17,18に圧
電体19の一方の面の両電極22,23をエポキ
シ、ウレタン等の導電性接着剤により接着するか
または絶縁性接着剤により部分接着する。その接
着は両者間が100Ω以下の低抵抗で導通するもの
であることが望ましい。24は接着剤薄層であ
る。
また圧電体19の接着部より両端に延出する絶
縁板16の両電極部分17a,18aを信号端子
とする。
第3図は第2実施例の断面図である。
この第2実施例は絶縁板16上の2枚の電極1
7,18の表面を波状にして圧電体19の両電極
22,23との接着を一層確実にしたものであ
る。
いずれの実施例においても圧電体19の一方の
面の電極22,23は設けなくてもよいが、当該
電極22,23を設けない場合には、圧電体19
の一方の面と絶縁板16上の両電極17,18は
接着剤により接着されることになり、接着が不完
全であつたり、振動により剥離しあるいは熱履歴
により耐久性が低下して不良になると、信号取り
出しができなくなるおそれがあるので、圧電体1
9の一方の面にも電極22,23を設けることが
望ましい。
また、可撓性を高め曲げ変形による信号と大と
する必要がある場合には、絶縁板16、その電極
17,18及び圧電体19、その電極20,2
2,23並びに接着剤薄層24をできる限り薄く
形成し、素子全体を薄形にすればよい。
次にその作用を説明する。
本発明素子21は上記のような構成であるか
ら、両電極17,18及びこれと対をなす電極2
2,23と共通電極20との間に形成される素子
部分21a,21bが共通の電極20で直列に接
続された等価回路を構成する。
第2、第3図示のように一方の対をなす電極1
7,22が他方の対をなす電極18,23に比較
して小面積のときは、一方の素子部分21aの等
価回路は第4図示のように高抵抗と小容量コンデ
ンサの並列回路となり、負荷インピーダンスが極
めて大きい場合に適する。この場合、一方の素子
部分21aは電気的結合を行うだけとなり、他方
の素子部分21bに発生する信号を両電極17,
18の電極部分17a,18a間より取り出すこ
とができる。特に一方の素子部分21aを形成す
る小面積の電極17,22側をシグナル側とし、
他方の素子部分21bを形成する大面積の電極1
8,23側をアース側として信号を取り出すの
が、ノイズを小さくできるので好ましい。
また、両電極部分17a,18a間に交流電圧
を印加する、交流電圧は一方の素子部分21aを
介して他方の素子部分21bの電極20と23,
18間に加わり、当該素子21を振動させること
ができる。
本発明においては、負荷インピーダンスが小さ
い場合には両電極17,22対と18,23対を
ほぼ等しい面積とすればよい。
上述のように本発明によれば、絶縁板16上に
2枚の電極17,18を並べて設け、この両電極
17,18に圧電体19の一方の面を接着し、こ
の圧電体19の他方の面に共通電極20を設ける
と共に、当該圧電体19の接着部より両端に延出
する絶縁板16の両電極部分17a,18aを信
号端子として構成したので、従来必要であつた接
続用導電体12や絶縁体15を不要にでき、構造
が簡単で安価に容易に製造できるばかりでなく、
接続用導電体12の剥離による接触不良を回避で
き、また電極部分17a,18aにリード線やケ
ーブルをハンダ付けあるいはクリツプ使用により
外部回路と接続することができる。
また、本実施例のように絶縁板16上の両電極
17,18と対をなす電極22,23を圧電体1
9の一方の面に設けた場合には、信号取り出しが
確実になる特長がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明素子の第1実施例の部分分解斜
視図、第2図はその断面図、第3図は第2実施例
の断面図、第4図は第1、第2実施例の等価回路
図、第5図は先行素子の一例を示す部分分解斜視
図、第6図はその断面図である。 16……絶縁板、17,18……電極、17
a,18a……電極部分、19……圧電体、20
……共通電極、22,23……電極、24……接
着剤薄層。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 絶縁板上に2枚の電極を並べて設け、この両
    電極に圧電体の一方の面を接着し、この圧電体の
    他方の面に共通電極を設けると共に、当該圧電体
    の接着部より両端に延出する絶縁板の両電極部分
    を信号端子として構成したことを特徴とする圧電
    素子。
JP60034033A 1985-02-21 1985-02-21 圧電素子 Granted JPS61193492A (ja)

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JP2001014094A (ja) 1999-06-30 2001-01-19 Touch Panel Systems Kk 音響的接触検出装置
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JPS61193492A (ja) 1986-08-27

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