JPH0132370Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0132370Y2 JPH0132370Y2 JP1983065272U JP6527283U JPH0132370Y2 JP H0132370 Y2 JPH0132370 Y2 JP H0132370Y2 JP 1983065272 U JP1983065272 U JP 1983065272U JP 6527283 U JP6527283 U JP 6527283U JP H0132370 Y2 JPH0132370 Y2 JP H0132370Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- piezoelectric
- thickness
- laminated piezoelectric
- displacement element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 17
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 16
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は光学干渉機器、光学走査鏡等に利用さ
れる微小変位検出用の積層型圧電変位素子に関す
るものである。
れる微小変位検出用の積層型圧電変位素子に関す
るものである。
従来例の構成とその問題点
従来の積層型圧電変位素子は、第１図ａ，ｂに
示すように各圧電素子２は約0.1mmの厚さで、両
面に低融点電極３及び４が形成されていて、熱圧
着で積層形成後、側面に導電性接着剤５及び６で
リード線を付着した構造になつている。これによ
り、各圧電素子２は、並列に結線されたことにな
り、低い印加電圧で圧電素子を動作させることが
できる。
示すように各圧電素子２は約0.1mmの厚さで、両
面に低融点電極３及び４が形成されていて、熱圧
着で積層形成後、側面に導電性接着剤５及び６で
リード線を付着した構造になつている。これによ
り、各圧電素子２は、並列に結線されたことにな
り、低い印加電圧で圧電素子を動作させることが
できる。
この場合側面でのリード線とり出しと、各素子
からの正及び負の電極をまとめるための導電性接
着剤５及び６は、第１図に示すように、厚さ方向
（積層方向）に上から下までまたがつて塗布しな
ければならないので、積層両端の絶縁板１は、従
来の構成ではどうしても、側面だけでなく、平面
のところまで導電性接着剤が塗布されてしまう。
ところが、この積層圧電素子は、金属材の板ある
いは支柱などに端面で接する状態に設定される場
合が多くその場合、正極と負極が短絡してしま
う。また、たとえ絶縁板に設置される場合でも、
わずかな変位を利用する機構なので、位置精度の
観点から端平面でしつかり面接触していることが
必要不可欠である。従つて、端平面への接着剤の
はみ出しは、点接触固定の原因になり、望ましく
ない。
からの正及び負の電極をまとめるための導電性接
着剤５及び６は、第１図に示すように、厚さ方向
（積層方向）に上から下までまたがつて塗布しな
ければならないので、積層両端の絶縁板１は、従
来の構成ではどうしても、側面だけでなく、平面
のところまで導電性接着剤が塗布されてしまう。
ところが、この積層圧電素子は、金属材の板ある
いは支柱などに端面で接する状態に設定される場
合が多くその場合、正極と負極が短絡してしま
う。また、たとえ絶縁板に設置される場合でも、
わずかな変位を利用する機構なので、位置精度の
観点から端平面でしつかり面接触していることが
必要不可欠である。従つて、端平面への接着剤の
はみ出しは、点接触固定の原因になり、望ましく
ない。
この事態を避けるため、従来は、リード線取り
付け後、そのはみ出し部分を鋭利な刃物で、削り
落していた。しかしその作業はやつかいであり、
絶縁対策としては、充分なものではない。
付け後、そのはみ出し部分を鋭利な刃物で、削り
落していた。しかしその作業はやつかいであり、
絶縁対策としては、充分なものではない。
考案の目的
本考案は、側面の導電性接着剤が、積層型圧電
変位素子の端平面にはみ出ないよう、両端絶縁板
の形状を工夫し、積層型圧電変位素子を金属板に
設置しても、何ら短絡の心配がないようにするこ
とを目的としている。
変位素子の端平面にはみ出ないよう、両端絶縁板
の形状を工夫し、積層型圧電変位素子を金属板に
設置しても、何ら短絡の心配がないようにするこ
とを目的としている。
考案の構成
本考案は両端の絶縁板の径または厚さを、各圧
電素子の寸法より大きくし、側面の導電性接着剤
が端平面にまわり込まないような構成としたもの
である。
電素子の寸法より大きくし、側面の導電性接着剤
が端平面にまわり込まないような構成としたもの
である。
実施例の説明
以下本考案の実施例について詳細に説明する。
第２図に示すように、圧電素子２のサイズを厚
さ0.1mm、直径５mmとし、両端の絶縁板２１のサ
イズを直径６mmとする。従つて、絶縁板２１の周
縁は0.5mm巾ののりしろを有しているので、反対
側の面にまで接着剤がまわりこむことはない。
さ0.1mm、直径５mmとし、両端の絶縁板２１のサ
イズを直径６mmとする。従つて、絶縁板２１の周
縁は0.5mm巾ののりしろを有しているので、反対
側の面にまで接着剤がまわりこむことはない。
一方、圧電素子２の両面に蒸着する低融点金属
電極３，４は約1μｍの厚さのインジユウムとす
る。蒸着面は4.5mmφとし、両面ともに反対方向
に巾１mmで側面取り出し電極を有している。
電極３，４は約1μｍの厚さのインジユウムとす
る。蒸着面は4.5mmφとし、両面ともに反対方向
に巾１mmで側面取り出し電極を有している。
絶縁板２１は片面のみ4.5mmφの円形状に1μｍ
の厚さでインジユウムを蒸着しておく。
の厚さでインジユウムを蒸着しておく。
これを第２図に示すような順番で積み重ね、約
１Kgの荷重をかけ、160℃で10分間熱圧着する。
１Kgの荷重をかけ、160℃で10分間熱圧着する。
冷却後、導電性接着剤５，６で各圧電素子の側
面電極を接続しかつリード線を接着する。接着剤
５，６の固化はインジユウムの融点以下の温度で
行なう。
面電極を接続しかつリード線を接着する。接着剤
５，６の固化はインジユウムの融点以下の温度で
行なう。
正および負極のリード線を接着後、インジユウ
ムの融点以下の温度（約130〜150℃）で分極作業
を行なう。
ムの融点以下の温度（約130〜150℃）で分極作業
を行なう。
これで、積層型圧電変位素子が得られた、分極
の印加電圧は300V／0.1mmであるが、何らの短絡
現象も生じず、安定な特性が得られた。
の印加電圧は300V／0.1mmであるが、何らの短絡
現象も生じず、安定な特性が得られた。
第３図は絶縁板３１の径は圧電素子と同一と
し、厚さを厚くした実施例である。その他の部分
は第２図と同一であり説明を省略する。絶縁板３
１の厚さを１mmとすると、導電性接着剤５，６が
この１mmの側面を越えて端平面にはみ出す状態を
避けて接着剤５，６を塗布することは比較的容易
である。
し、厚さを厚くした実施例である。その他の部分
は第２図と同一であり説明を省略する。絶縁板３
１の厚さを１mmとすると、導電性接着剤５，６が
この１mmの側面を越えて端平面にはみ出す状態を
避けて接着剤５，６を塗布することは比較的容易
である。
考案の効果
以上のように本考案は積層型圧電変位素子の両
端の絶縁板の径または厚さを圧電素子板よりも大
きくした積層型圧電変位素子であり、接着剤の削
り取り作業なしに、電気的絶縁性の良い、信頼性
の高い、安定した特性の変位素子を得ることがで
きる。
端の絶縁板の径または厚さを圧電素子板よりも大
きくした積層型圧電変位素子であり、接着剤の削
り取り作業なしに、電気的絶縁性の良い、信頼性
の高い、安定した特性の変位素子を得ることがで
きる。
第１図ａ，ｂは、従来の積層型圧電変位素子の
構造を示す断面図および平面図、第２図は、本考
案による積層型圧電変位素子の実施例を示す断面
図、第３図は、本考案の他の実施例における積層
型圧電変位素子の断面図である。 １，２１，３１……絶縁板、２……圧電素子、
３，４……蒸着電極、５，６……導電性接着剤。
構造を示す断面図および平面図、第２図は、本考
案による積層型圧電変位素子の実施例を示す断面
図、第３図は、本考案の他の実施例における積層
型圧電変位素子の断面図である。 １，２１，３１……絶縁板、２……圧電素子、
３，４……蒸着電極、５，６……導電性接着剤。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 両面に電極を有する圧電素子をその分極方向
が交互に逆方向になるように複数枚積層して圧
電素子積層体を形成し、前記圧電素子積層体の
両端面に前記圧電素子寸法より大きい寸法の絶
縁板を配し、前記圧電素子積層体の側面におい
て各電極を導電性接着剤で接続したことを特徴
とする積層形圧電変位素子。 (2) 絶縁板の直径を圧電素子の直径より大きくし
たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載の積層形圧電変位素子。 (3) 絶縁板の厚さを圧電素子の厚さより厚くした
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載の積層形圧電変位素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6527283U JPS59171364U (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 積層型圧電変位素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6527283U JPS59171364U (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 積層型圧電変位素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59171364U JPS59171364U (ja) | 1984-11-16 |
| JPH0132370Y2 true JPH0132370Y2 (ja) | 1989-10-03 |
Family
ID=30195467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6527283U Granted JPS59171364U (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 積層型圧電変位素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59171364U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5755967B2 (ja) * | 1974-04-09 | 1982-11-27 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5755967U (ja) * | 1980-09-16 | 1982-04-01 |
-
1983
- 1983-04-30 JP JP6527283U patent/JPS59171364U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5755967B2 (ja) * | 1974-04-09 | 1982-11-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59171364U (ja) | 1984-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6248644B2 (ja) | 電子部品 | |
| CN103069599B (zh) | 压电元件及层叠式压电结构体 | |
| JP6390342B2 (ja) | 電子部品 | |
| JP2993301B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JPH0132370Y2 (ja) | ||
| KR20000071503A (ko) | 칩 서미스터 | |
| JPS63153870A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH034576A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPS59145583A (ja) | 積層型圧電変位素子 | |
| JPH0563926B2 (ja) | ||
| JPS61124183A (ja) | 積層型圧電体 | |
| JPH0132371Y2 (ja) | ||
| JP2707782B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPS63226016A (ja) | チツプ型電子部品 | |
| JP3250918B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPH0666484B2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPS62199074A (ja) | 積層型圧電素子の製造方法 | |
| JPH05259805A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPH0429526Y2 (ja) | ||
| JP3017784B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH084739Y2 (ja) | チップ型圧電部品 | |
| JPH0670260U (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH0691407B2 (ja) | ３端子型圧電部品 | |
| JPH02164082A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPS62153765A (ja) | 積層型圧電セラミツク素子 |