JPH0132371Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0132371Y2 JPH0132371Y2 JP1983089517U JP8951783U JPH0132371Y2 JP H0132371 Y2 JPH0132371 Y2 JP H0132371Y2 JP 1983089517 U JP1983089517 U JP 1983089517U JP 8951783 U JP8951783 U JP 8951783U JP H0132371 Y2 JPH0132371 Y2 JP H0132371Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- piezoelectric
- sides
- conductive adhesive
- periphery
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 10
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
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- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は微小変位を必要とする光学干渉機器、
光学走査鏡等に利用される微小変位検出用の積層
型圧電変位素子に関するものである。
光学走査鏡等に利用される微小変位検出用の積層
型圧電変位素子に関するものである。
従来例の構成とその問題点
圧電素子を多数積層して構成した積層型圧電変
位素子において、積層状態の各素子に並列に電圧
を加えるため、従来は各素子の両面から側面の一
部へ電極を形成し、側面からリード線をとり出し
ている。すなわち、第１図ａ，ｂに示すように、
各圧電素子２は約0.1mmの厚さで、両面に低融点
電極４，５が形成されていて、熱圧着で積層形成
後、側面に導電性接着剤６，７でリード線を接着
した構造になつている。これにより各圧電素子２
は並列に結線されたことになり、低い印加電圧で
圧電素子を動作させることができる。なお、１は
絶縁板である。
位素子において、積層状態の各素子に並列に電圧
を加えるため、従来は各素子の両面から側面の一
部へ電極を形成し、側面からリード線をとり出し
ている。すなわち、第１図ａ，ｂに示すように、
各圧電素子２は約0.1mmの厚さで、両面に低融点
電極４，５が形成されていて、熱圧着で積層形成
後、側面に導電性接着剤６，７でリード線を接着
した構造になつている。これにより各圧電素子２
は並列に結線されたことになり、低い印加電圧で
圧電素子を動作させることができる。なお、１は
絶縁板である。
ところが、この構成においては、圧電素子の平
面と側面とは、直角をなすので、この部分で断線
し導通がとれなくなることが多く、積層型圧電変
位素子の特性のバラツキの原因になつている。た
とえば、20枚重ね構成で１ケ所導通不良があると
10％の特性劣化を生じ、その劣化の発生する可能
性が非常に高く、バラツキは約±15％であつた。
面と側面とは、直角をなすので、この部分で断線
し導通がとれなくなることが多く、積層型圧電変
位素子の特性のバラツキの原因になつている。た
とえば、20枚重ね構成で１ケ所導通不良があると
10％の特性劣化を生じ、その劣化の発生する可能
性が非常に高く、バラツキは約±15％であつた。
考案の目的
本考案は以上のような欠点を解消するもので、
積層状態の各素子の平面電極を確実に側面の導電
性接着剤と導通させ、積層型圧電変位素子の特性
を安定に実現し、信頼性の高い素子を提供するこ
とを目的としたものである。
積層状態の各素子の平面電極を確実に側面の導電
性接着剤と導通させ、積層型圧電変位素子の特性
を安定に実現し、信頼性の高い素子を提供するこ
とを目的としたものである。
考案の構成
本考案は圧電素子の両面の周辺部を除いた部分
に電極を形成し、更に周辺部の一部に電極を延長
させた圧電素子を多数積層し、延長された電極を
側面に塗布された導電性接着剤に導通させるよう
にした積層型圧電変位素子である。
に電極を形成し、更に周辺部の一部に電極を延長
させた圧電素子を多数積層し、延長された電極を
側面に塗布された導電性接着剤に導通させるよう
にした積層型圧電変位素子である。
実施例の説明
以下本考案の実施例について図面とともに詳細
に説明する。
に説明する。
第２図は本考案の一実施例における積層型圧電
変位素子を示す。図において第１図と同一部分に
は同一符号を付す。すなわち、各圧電素子２２，
２３は、両面の周辺部を除いた部分に電極４，５
が形成されており、かつその一部が素子の縁まで
導通がとれるように延長している。第３図はその
平面図であり、これらの圧電素子２２，２３が第
２図に示すように少しずつ交互にずらせて、積み
重ねられており、縁まで延長している導通電極は
接着剤塗布前は少くとも一方は一部分露出状態に
なつている。従つて、側面に塗布された導電性接
着剤６，７はこの電極と確実に導通を保つことに
なる。
変位素子を示す。図において第１図と同一部分に
は同一符号を付す。すなわち、各圧電素子２２，
２３は、両面の周辺部を除いた部分に電極４，５
が形成されており、かつその一部が素子の縁まで
導通がとれるように延長している。第３図はその
平面図であり、これらの圧電素子２２，２３が第
２図に示すように少しずつ交互にずらせて、積み
重ねられており、縁まで延長している導通電極は
接着剤塗布前は少くとも一方は一部分露出状態に
なつている。従つて、側面に塗布された導電性接
着剤６，７はこの電極と確実に導通を保つことに
なる。
次に具体的な実施例を説明する。
圧電素子２２，２３の直径を５mm、厚さを0.1
mmとし、両面は鏡面研磨されている。この素子２
２，２３の両面に第３図に示すような、直径４mm
の同心円状にインジユウム４，５を約1μｍの厚
さに蒸着する。蒸着膜は、この同心円の部分に加
えて、一部縁まで約１mm巾で延長してある。その
引き出し方向は、原則として、両電極４，５は反
対方向に延長してある。
mmとし、両面は鏡面研磨されている。この素子２
２，２３の両面に第３図に示すような、直径４mm
の同心円状にインジユウム４，５を約1μｍの厚
さに蒸着する。蒸着膜は、この同心円の部分に加
えて、一部縁まで約１mm巾で延長してある。その
引き出し方向は、原則として、両電極４，５は反
対方向に延長してある。
これらの素子を第２図に示すように交互に、多
少（約0.3mm）ずらして重ね、約１Kgの荷重の圧
力を加えて、160℃以上で約10分間以上熱圧着す
る。
少（約0.3mm）ずらして重ね、約１Kgの荷重の圧
力を加えて、160℃以上で約10分間以上熱圧着す
る。
熱圧着後、側面の一部に導電性接着剤６，７を
塗布し、リード線を接着する。リード線接着後
140℃以下の温度で分極処理する。
塗布し、リード線を接着する。リード線接着後
140℃以下の温度で分極処理する。
これで、積層型圧電変位素子が得られた。圧電
素子を20枚重ねた構成では、100V印加して0.7μ
ｍの変位が得られ、安定な動作特性を実現した。
この時用いた圧電素子の圧電定数は350×10-9
mm／ｖである。
素子を20枚重ねた構成では、100V印加して0.7μ
ｍの変位が得られ、安定な動作特性を実現した。
この時用いた圧電素子の圧電定数は350×10-9
mm／ｖである。
考案の効果
以上のように、本考案は圧電素子の両面の周辺
部を除いた部分に電極を形成し、更に周辺部の一
部に側面まで電極を延長させた圧電素子を多数積
層し、電極の延長された部分を側面に塗布された
導電性接着剤に導通させるようにした積層型圧電
変位素子で、安定な特性を有する積層型圧電変位
素子が得られ同一構成の変位素子特性のバラツキ
はきわめて少なくなり±１％以内とすることがで
きた。
部を除いた部分に電極を形成し、更に周辺部の一
部に側面まで電極を延長させた圧電素子を多数積
層し、電極の延長された部分を側面に塗布された
導電性接着剤に導通させるようにした積層型圧電
変位素子で、安定な特性を有する積層型圧電変位
素子が得られ同一構成の変位素子特性のバラツキ
はきわめて少なくなり±１％以内とすることがで
きた。
第１図ａ，ｂは、従来の積層型圧電変位素子の
構造を示す断面図および平面図、第２図は本考案
による積層型圧電変位素子の実施例を示す断面図
である。第３図は、第２図の構成における圧電素
子とその電極蒸着膜の形状を示す平面図である。 １……絶縁板、２，２２……圧電素子、３，２
３……圧電素子、４……電極膜、５……電極膜、
６……導電性接着剤、７……導電性接着剤。
構造を示す断面図および平面図、第２図は本考案
による積層型圧電変位素子の実施例を示す断面図
である。第３図は、第２図の構成における圧電素
子とその電極蒸着膜の形状を示す平面図である。 １……絶縁板、２，２２……圧電素子、３，２
３……圧電素子、４……電極膜、５……電極膜、
６……導電性接着剤、７……導電性接着剤。
Claims (1)
- 圧電素子の両面の周辺部を除いた部分に電極を
有し、更に周辺部の一部に上記電極を面上の側端
まで延長するように形成し、上記圧電体を電極の
延長部が交互に所定の側面側に露出するようにず
らせて複数枚積層し、上記電極の延長部の露出す
る部分に上記積層体の側面に形成された導電性接
着剤を延在させて共通接続し、上記導電性接着剤
よりリード線をとり出したことを特徴とする積層
型圧電変位素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983089517U JPS59195760U (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | 積層型圧電変位素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983089517U JPS59195760U (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | 積層型圧電変位素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195760U JPS59195760U (ja) | 1984-12-26 |
| JPH0132371Y2 true JPH0132371Y2 (ja) | 1989-10-03 |
Family
ID=30219419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983089517U Granted JPS59195760U (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | 積層型圧電変位素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195760U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9254301B2 (en) | 1998-03-30 | 2016-02-09 | Marfly2, LP | Compositions and methods for forming and strengthening bone |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5523559B2 (ja) * | 1976-03-31 | 1980-06-24 | ||
| JPS5755967B2 (ja) * | 1974-04-09 | 1982-11-27 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5523559U (ja) * | 1978-07-31 | 1980-02-15 | ||
| JPS5755967U (ja) * | 1980-09-16 | 1982-04-01 | ||
| JPS57142856U (ja) * | 1981-03-02 | 1982-09-07 |
-
1983
- 1983-06-10 JP JP1983089517U patent/JPS59195760U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5755967B2 (ja) * | 1974-04-09 | 1982-11-27 | ||
| JPS5523559B2 (ja) * | 1976-03-31 | 1980-06-24 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9254301B2 (en) | 1998-03-30 | 2016-02-09 | Marfly2, LP | Compositions and methods for forming and strengthening bone |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59195760U (ja) | 1984-12-26 |
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