JPS61193492A - 圧電素子 - Google Patents

圧電素子

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JPS61193492A
JPS61193492A JP60034033A JP3403385A JPS61193492A JP S61193492 A JPS61193492 A JP S61193492A JP 60034033 A JP60034033 A JP 60034033A JP 3403385 A JP3403385 A JP 3403385A JP S61193492 A JPS61193492 A JP S61193492A
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JP
Japan
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electrodes
insulating plate
electrode
bonded
piezoelectric member
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JP60034033A
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English (en)
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JPH0479154B2 (ja
Inventor
Tomonobu Tomita
冨田 知伸
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Mitsubishi Petrochemical Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Petrochemical Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302Sensors

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  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は曲げ変形、圧力などを測定できる圧電素子に係
り、特にリード線、ケーブルのハンダ付けによる外部回
路の接続及びクリップ使用による外部回路の接続が可能
な圧電素子に関する。
〔先行技術〕
先行技術としては本発明者らが特願昭59−16267
0号として既に提案した可撓性圧電素子がある。
この可撓性圧電素子は第5.第6・図示のように高分子
圧電体1の一方の面に薄膜電極1’laを設け、この高
分子圧電体1の一方の面の薄膜電極11aに接続される
薄膜リード部13aと、高分子圧電体1の他方の面に接
合される薄膜電極11及びそのリード部13bとを高分
子フィルム14の同一面に設けて可撓性電極シート9を
形成し、この可撓性電極シート9の薄膜電極11に、高
分子圧電体1の他方の面を接合すると共に、この高分子
圧電体1の一方の面の薄膜電極11aと可撓性電極シー
ト9の薄膜リード部13aとを接続用導電体12で接続
してなるものである。IOは高分子圧電体1の一方の面
の薄膜電極11aの露出面に接合された保護膜、、11
bは高分子圧電体1の他方の面に設けた薄膜電極で、設
けなくてもよい。
このような先行素子は、省スペースで取り付けることが
できること、大きな変位を生じせしめることができるこ
と、大きな曲げ変位を与えて大きな信号出力を得ること
ができること、リード部13a、13bにリード線をハ
ンダ付は等により十分な強度で取り付けることができる
こと及びリード部13a、13bのソケットへの挿入・
抜き出しを容易に行うことができること等の優れた特長
を有している。
、〔発明が2解決しようとする問題点〕しかしながら上
記先行素子にあっては、高分子圧電体1の一方の面の薄
膜電極11aと可撓性電極シート9の薄膜リード部13
a とを接続する接続用導電体12が必要であり、場合
によってはリード部13a  、13b間を絶縁する絶
縁体15も必要であるため、構造が複雑で安価に容易に
製造できないばかりでなく、接続用導電体12が剥離し
接触不良を起こすおそれも大きいという問題点がある。
〔発明の概要〕
本発明素子は上記の問題点を解決するため、第1、第2
図示のように絶縁板16上に2枚の電極17.18を並
べて設け、この両電極17.18に圧電体19の一方の
面を接着し、この圧電体19の他方の面に共通電極20
を設けると共に、当該圧電体19の接着部より両端に延
出する絶縁板16の両電極部分17a、18aを信号端
子として構成したものである。
このような構成とすることにより本発明素子21は両電
極17 、18と共通電極20との間に形成される素子
部分21a  、 21bが共通電極2oで直列に接続
された等価回路を構成するので、当該素子21に曲げ変
形、振動あるいは圧力を与えた場合には、これに比例し
た信号を当該等価回路を介して両電極部分17a  、
 18aより取り出すことができる。また、両電極部分
17a、18a間に交流電圧を印加した場合にはこの交
流電圧によって当該素子21を振動させることができる
〔発明の詳細な説明〕
第1図は本発明素子の第1実施例の部分分解斜視図、第
2図はその部面図である。
まず、その構成を説明する。
第13第2図において、16は絶縁板で、ポリイミド、
ポリエステル4.ナイロンなどの剛性が高く、機械的強
度の大きなプラスチック板またはガラスとこれらのプラ
スチック板との複合板である。17.18は金属箔、導
電性塗料膜等による電極で、絶縁板16上に右、左に並
べて設けられている。
19は圧電体で、セラミックス系、高分子系のいずれの
ものでもよいが、高分子圧電体は可撓性に優れ、高出力
が得られるので好ましい。22.−23は絶縁板16上
の2枚の電極17.18と対をなす電極で、圧電体19
の一方の面に右、左に並べて設けられている。圧電体1
9の他方の面には共通電極20が設けられている。
圧電体19の両面の電極22 、23及・び20は金属
蒸着、金属スパッタリング、エツチング、導電性塗料印
刷などの手段により圧電体19の両面に形成される。
そして、絶縁板、16上の両電極17 、18に圧電体
19の一方の面の両電極22 、23をエポキシ、ウレ
タン等の導電性接着剤により接着するかまたは絶縁性接
着剤により部分接着する。その接着は両者間が100Ω
以下の低抵抗で導通ずるものであることが望ましい。2
4は接着剤薄層である。
また圧電体19の接着部より両端に延出する絶縁板16
の両電極部分17a  、 18aを信号端子とする。
第3図は第2実施例の断面図である。
この第2実施例は絶縁板16上の2枚の電極17゜18
の表面を波状にして圧電体19の両電極22 、23と
の接着を一層確実にしたものである。
いずれの実施例においても圧電体19の一方の面の電極
22 、23は設けなくてもよいが、当該電極22.2
3を設けない場合には、圧電体19の一方の面と絶縁板
16上の両電極17.18は接着剤により接着されるこ
とに・なり、接着が不完全であったり、振動により剥離
しあるいは熱履歴により耐久性が低下して不良になると
、信号取り出しができなくなるおそれがあるので、圧電
体19の一方の面にも電極22 、23を設けることが
望ましい。
また、可撓性を高め曲げ変形による信号を大とする必要
がある場合には、絶縁板16.その電極17.18及び
圧電体19.その電極20 、22.23並びに接着剤
薄層24をできる限り薄く形成し、素子全体を薄形にす
ればよい。
次にその作用を説明する。
本発明素子21は上記のような構成であるから、両電極
17.18及びこれと対をなす電極22 、23と共通
電極20との間に形成される素子部分21a、 21b
が共通の電極20で直列に接続された等価回路を構成す
る。
第2.第3図示のように一方の対をなす電極17.22
が他方の対をなす電極18 、23に比較して小面積の
ときは、一方の素子部分21aの等価回路は第4図示の
ように高抵抗と小容量コンデンサの並列回路となり、負
荷インピーダンスが極めて大きい場合に適する。この場
合、一方の素子部分21aは電気的結合を行うだけとな
り、他方の素子部分21bに発生する信号を両電極17
 、18の電極部分17a。
18a間より取り出すことができる。特に一方の素子部
分21aを形成する小面積の電極17 、22側をシグ
ナル側とし、他方の素子部分21bを形成する大面積の
電極18 、23側をアース側として信号を取り出すの
が、ノイズを小さくできるので好ましい。
また、両電極部分17a  、18a間に交流電圧を印
加すると、交流電圧は一方の素子部分21aを介して他
方の素子部分21bの電極20と23 、18間に加わ
り、当該素子21を振動させることかで゛きる。
本発明においては、負荷インピーダンスが小さい場合に
は両電極17 、22対と18 、23対をほぼ等しい
面積とすればよい。
上述のように本発明によれば、絶縁vi16上に2枚の
電極17 、18を並べて設け、この両電極17.18
に圧電体19の一方の面を接着し、この圧電体I9の他
方の面に共通電極20を設けると共に、当該圧電体19
の接着部より両端に延出する絶縁板I6の両電極部分1
7a、18aを信号端子として構成したので、従来必要
であった接続用導電体12や絶縁体15を不要にでき、
構造が簡単で安価に容易に製造できるばかりでなく、接
続用導電体12の剥離による接触不良を回避でき、また
電極部分17a  、18aにリード線やケープJ+、
4パンダ付けあるいはクリップ使用により外部回路と接
続することができる。
また、本実施例のように絶縁板16上の両電極17.1
8と対をなす電極22 、23を圧電体19の一方の面
に設けた場合には、信号取り出しが確実になる特長があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明素子の第1実施例の部分分解斜視図、第
2図はその断面図、第3図は第2実施例の断面図、第4
図は第1.第2実施例の等価回路図、第5図は先行素子
の一例を示す部分分解斜視図、第6図はその断面図であ
る。 16・・・・・・絶縁板、17 、18・旧・・電極、
17a  、18a・・・・・・電極部分、19・・・
・・・圧電体、2o・・・・・・共通電極、22.23
・・・・・・電極、24・・・・・・接着剤薄層。 箋1目 16” H6版 箋2困 淳3し 箒g図 箋5國 筈θ目 −ヨ≦C−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  絶縁板上に2枚の電極を並べて設け、この両電極に圧
    電体の一方の面を接着し、この圧電体の他方の面に共通
    電極を設けると共に、当該圧電体の接着部より両端に延
    出する絶縁板の両電極部分を信号端子として構成したこ
    とを特徴とする圧電素子。
JP60034033A 1985-02-21 1985-02-21 圧電素子 Granted JPS61193492A (ja)

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JP60034033A JPS61193492A (ja) 1985-02-21 1985-02-21 圧電素子

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JP60034033A JPS61193492A (ja) 1985-02-21 1985-02-21 圧電素子

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JPS61193492A true JPS61193492A (ja) 1986-08-27
JPH0479154B2 JPH0479154B2 (ja) 1992-12-15

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