JPH0468033A - 軟質ポリオレフィンフィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フィルム、特に軟質ポリオレフィンフィルム
に関する。

〔従来の技術及びその課題〕

離型用フィルム（たとえば感光製版用のフォトレジスト
をカバーするためのカバーフィルム）として、ポリエチ
レンフィルムやポリプロピレンフィルムが用いられてい
る（たとえば、特開平１１７９１５４号参照）。

ところで、離型用フィルムとしては、厚みムラが少なく
、かつフィッシュアイの少ないものが好ましい。しかも
、離型性が良く腰の弱いものである必要がある。

しかしながら、前記従来のポリエチレンフィルムは、厚
みの均一性が悪く、またフィンシュアイが多いという欠
点を有する。他方、ポリブロピレンフィルムは、腰が強
すぎてフォトレジストから剥離する際にフォトレジスト
に傷がつきやすく、またフォトレジストからの分離性が
悪いという欠点を有する。

なお、金属に対する剥離性の改良を目的としているもの
ではあるが、オレフィン系共重合体樹脂を用いて剥離性
を改良する考えが、特開昭５２−１５２４３９号及び特
開昭５３−２２５５０号に示されている。

本発明の目的は、厚みムラが少なくしかも剥離性が良好
な軟質ポリオレフィンフィルムを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の軟質ポリオレフィンフィルムは、オレフィン系
共重合体樹脂からなる２軸延伸されたフィルムである。

このフィルムは、少なくとも１方向のヤング率が１００
　ｋｇ／　ｔｒｒｍ２以下であり、少なくとも片面の表
面粗さＲａが０．０３μｍ以上であることを特徴として
いる。

＊＊＊＊＊＊＊ 世脂 本発明に適用されるオレフィン系共重合体樹脂は、たと
えば、エチレン−プロピレン共重合体、ブテン−プロピ
レン共重合体、エチレン−ブテンプロピレン３元共重合
体である。また、これらの混合体であってもよい。これ
らの共重合体にさらに混合され得るオレフィン重合体樹
脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテ
ンを例示できる。このオレフィン系共重合体樹脂は、ブ
テン−プロピレン共重合体を主体としたものがより好ま
しく、ブテン−プロピレン共重合体とポリエチレンとを
混合したものがさらに好ましい。この場合のブテン含有
量は１０〜３５重景％が景気しい。ポリエチレンは、中
密度のもの、低密度のものまたは直鎖状低密度のものを
５〜５０％混合したものが好ましい。このオレフィン系
共重合体樹脂は、２軸延伸された単膜のものでもよいが
、２層あるいはそれ以上の層が積層されて２軸延伸され
た複合膜がより好ましい。

■ 本発明の軟質ポリオレフィンフィルムは、単層フィルム
でも、２層以上の複合フィルムでもよい。

光学特性の観点からは、粗面を有する薄い層が一方の面
に配置され、他方の面には平滑面を有する厚い層が配置
されている複合フィルムが最も好ましい。

本発明の軟質ポリオレフィンフィルムをフォトレジスト
用カバーフィルムとして用いた場合には、粗面がフォト
レジスト側に配置されている方が、剥離性の観点からは
好ましい。一方、軟質ポリオレフィンフィルムでカバー
された怒光製版用シートをロール状に巻（等の操作を行
う場合には、フォトレジスト側ではなく外面側に粗面が
配置されるようにした方が、皺やブロンキング等の観点
から好ましい。したがって、光学的特性をできるだけ劣
化させず、しかも剥離性と取扱い性とを良好にするため
には、中央部に光学特性の良い厚いフィルムを配置し、
両側に粗面化された薄い層を有する３層の複合フィルム
を使用するのが最も好ましい。

、１＝助へ 本発明の軟質ポリオレフィンフィルムは、少なくとも片
面の表面粗さＲａｈ＜０．０３μｍ以上である必要があ
る。表面粗さＲａが０．０３ｕｍ未満の場合には、フォ
トレジスト等に対する接着性が強くなって剥離性が悪化
する。表面粗さＲａが０．０３μｍ以上（より好ましく
は０．０５μｍ以上）であれば、剥離ムラが少なく、剥
離がスムズに行えるフィルムが得られる。なお、表面粗
さＲａの上限は特に限定されないが、透光性等の光学特
性を考慮した場合には、０．３μｍ以下が好ましい。ま
た、表面粗さＲａが０．０３μｍ以上の面がフォトレジ
スト側になるようにフィルムを使用する場合には、フォ
トレジストとフィルムとの間に形成される微小空間に入
り込んだ空気層によって、フォトレジストの劣化が抑制
できる。

表面粗さＲａが０．０３μｍ以上であるフィルムは、た
とえば結晶化促進法により得られる。ここでは、溶融ポ
リマーを冷却固化させるときに高温で徐々に固化させて
球晶を成長させ、延伸する。

片面のみを粗面化する場合には、もう一方の面について
は急冷して平滑面を得る。光学的特性の観点からは、一
方の面が平滑面であるのが好ましい。

表面粗さＲａを０．０３μｍ以上とするためのもう１つ
の方法として、ブロッキング防止剤による方法がある。

ブロッキング防止剤としては、シリカ、天然ゼオライト
、合成ゼオライト、カオリン、カオリナイト、タルク等
の公知のものが使用され得る。フォトレジスト等に対し
て傷を付けにくいという観点から、真球シリカ、架橋シ
リコン樹脂パウダー等の球状のものが特に好ましい。ブ
ロッキング防止剤の添加量は、特に限定されるものでは
ないが、光学特性から考えて１重量％以下が好ましく、
０．５重量％以下がさらに好ましい。

２層以上の多層構造を有する複合フィルムとした場合に
は、組成変更によって片面のみを粗面化することもでき
る。たとえば、２層の複合フィルムのうち第１層の樹脂
組成と第２層の樹脂組成との間で、オレフィン系共重合
体樹脂とオレフィン単独重合体との混合率を異ならせる
ことによって片面のみを粗面化できる。たとえば、第１
層の樹脂組成をブテン含有量２０重量％のブテン−プロ
ピレン共重合体５０重量％と直鎖状低密度ポリエチレン
５０重量％とじ、第２層の樹脂組成をブテン含有量２０
重量％のブテン−プロピレン共重合体１００重量％とす
ることにより、片面のみを粗面化できる。もちろん、組
成は上述の例に限定されるものではな（、表面粗さＲａ
に応じて種々の選択が可能である。

なお、オレフィン系共重合体樹脂には、前述のブロッキ
ング防止剤以外の公知の添加剤（たとえば結晶核剤、酸
化防止剤、熱安定剤、滑り剤、帯電防止剤）が、剥離性
及び光学特性が劣化しない範囲で含有されていてもよい
が、離型用フィルムとして用いる場合には、添加剤とし
てブロッキング防止剤のみが使用されるのが好ましい。

ヤング率 本発明の軟質ポリオレフィンフィルムは、少なくとも１
方向のヤング率が１００ｋｇ／ｍ＋ｎ”以下である必要
がある。ヤング率がｌ　ＯＯｋｇ／ｍｔａ”を超えると
、腰が強くなり過ぎ、離型時にフォトレジスト等に傷が
つきやすい。ヤング率の下限は特に限定されないが、離
型用フィルムとして加工できるだけの腰の強さを有して
おればよい。ヤング率の下限は、たとえば２０ｋｇ／ｍ
ｍ２である。

その他 本発明の軟質ポリオレフィンフィルムの厚みは、特に限
定されるものではないが、５〜５０μｍが好ましく、１
０〜４０μｍがより好ましい。複合フィルムとした場合
の粗面を有する層の厚みは、特に限定されるものではな
いが、光学特性や剥離性を考慮すれば００１〜１０μｍ
が好ましく、０゜２〜５．０μｍがより好ましい。

本発明の軟質ポリオレフィンフィルムの片面または両面
に、接着性が過剰にならない範囲で、空気中または炭酸
ガス雰囲気中でのコロナ放電処理が施されていてもよい
。このコロナ放電処理は、フォトレジスト等の接触対象
に対する接着性が小さすぎて、取扱い上問題になる場合
等には、適宜実施され得る。このコロナ放電処理によっ
て、剥離性の程度を適切な状態に調整することが可能で
ある。

製造 以下に、本発明の軟質ポリオレフィンフィルムの製造方
法の一例を説明する。

ブテン含有量２５重量％のブテン−プロピレン共重合体
７０重量％と、低密度ポリエチレン３０重量％とを第１
押出機に供給する。一方、同一樹脂組成のものにブロッ
キング防止剤として架橋ソリコン樹脂パウダーを０．２
重量％添加したものを第２押出機に供給する。両押自機
からの樹脂を、１つの口金内で積層して共押し出しする
。次いで、冷却ドラム上で冷却固化させることにより積
層フィルムを得る。得られた積層フィルムを、予熱した
後、長手方向に２〜６倍延伸し、引き続き幅方向に６〜
１５倍延伸する。そして、数％程度リラックスさせなが
ら熱処理を行い、縁部を切除した後に巻き取る。これに
より、ロール状に巻き取られた本発明に係る軟質ポリオ
レフィンフィルムが得られる。

なお、積層方法は、共押出し方法に限定されるものでは
ない。

狭２用− 本発明に係る軟質ポリオレフィンフィルムは、第１図に
示すようなカバーフィルム１として用いられる。第１図
において、感光製版用シート２は、ＰＥＴからなる基材
３と、基材３上に塗布されたフォトレジスト４と、フォ
トレジスト４を覆うカバーフィルム１とから構成されて
いる。このカバーフィルム１として本発明に係る軟質ポ
リオレフィンフィルムが用いられる。

この感光製版用シート２を製造する場合には、まずロー
ル状に巻かれた基材３を引き出しながら、その表面に塗
布装置を用いてフォトレジスト４を塗布する。そして、
フォトレジスト４が塗布された基材３に、フォトレジス
ト４を覆うようにカバーフィルム１をロールで圧着する
。得られた積層体は、ロール状に巻き取られる。

第１図に示された感光製版用シートが使用される場合に
は、カバーフィルム１がフォトレジストから剥離される
。このときには、カバーフィルム１として本発明に係る
軟質ポリオレフィンフィルムが使用されているので、カ
バーフィルムｌのフォトレジスト４に対する分離性が良
好であり、スムーズに剥離が行える。しかも、カバーフ
ィルム１として本発明に係る軟質ポリオレフィンフィル
ムが使用されているので、光学特性が良好である。

煮足抜 （１）　　ヤング率： 試料を、ｌｏＩＩＴｌＩＩ幅の短冊状に切断し、測定長
を５０胴とする。テンシロンにより、引っ張り速度２０
ｆｆＩＩＩｌ／ｆｆ１ｉｎ、チャート速度５００　ｍｍ
／ｍ１ｎで立ち上がり角度をチャート紙に記録させる。

基点から立ち上がり曲線に接線を引いた後、基点より２
５珊の点で垂線を引き、接線と垂線の交点を強力として
読み取る。

そして、ヤング率（ｋｇ／ａｍ２）を、下式により算出
する。

ヤング率（ｋｇ／ａｎ”）　＝ ［強力（ｋｇ）　Ｘ試製（ｍｍ）　Ｘチャート速度（ｍ
ｍ／ｍ１ｎ）　］÷［引っ張り速度（ｍｍ／ｍ１ｎ）　
Ｘ　２５　ｍｍ　Ｘフィルム厚み（−）×フィルム幅（
胴）］ （２）表面粗さＲａ： Ｊ　ｌ５−Ｂ−０６０１に従い、カントオフ０゜２５ｍ
ｍで求めた中心線平均粗さで表す。

（３）剥離性： 試料を２５ｍｍ幅の短冊状に切断し、フォトレジスト層
と常温下でラミネートする。その後、テンシロンにおい
て１８０°剥離し、剥離力、剥離音及び感光層の剥離面
の状態から判定する。

○：剥離音がなく、剥離後の感光層面に波打ち現象がな
いもの。

×：剥離音があったり、剥離後の感光層面に剥離ムラ、
傷がつくもの。

（４）平面性： ダイヤルゲージを用い、厚みムラを測定する。

○：平均厚みの±５％未満 ×：平均厚みの±５％以上 （５）光学特性： 判定基準として、ヘイズ及びグロスを用いる。

ヘイズは、Ｊ　Ｉ　Ｓ−に−６７１４に従う。グロスは
Ｊ　Ｉｓ−に−８７４１に従う。

（６）　　フィッシュアイ： フィルム１００ｍｍｚあたりの個数で表す。

○：１０個未満 △：１０個以上２０個未満 ×：２０個以上 〔発明の効果］ 本発明に係る軟質ポリオレフィンフィルムは、上述のよ
うにヤング率及び表面粗さＲａが設定されている、オレ
フィン系共重合体樹脂からなる２軸延伸されたフィルム
であるので、厚みムラが少なくしかも剥離性の良好なフ
ィルムが得られる。

〔実施例〕 夫扇朋↓ オレフィン系共重合体樹脂としてのブテン含有量２５重
量％のブテン−プロピレン共重合体７０重量％と、オレ
フィン単独重合体樹脂としての低密度ポリエチレン３０
重量％とを混合し、第１押出機に供給した。上記混合物
と同一組成の樹脂に、ブロッキング防止剤としての架橋
シリコン樹脂パウダーを０．２重量％添加した樹脂を第
２押出機へ供給した。そして、両押自機を用いて２４０
°Ｃで溶融共押し出しした。

得られた樹脂フィルムを、４０°Ｃに冷却されたキャス
ティングドラム上で冷却固化し、１２０°Ｃに加熱され
た熱風オーブン中に導いて予熱し、さらに１２０°Ｃで
長手方向に４倍延伸した。次いで、１３０°Ｃに加熱さ
れたテンター内で幅方向に１０倍延伸した。得られたフ
ィルムを、１２５°Ｃで幅方向に５％リラックスさせな
から熱処理した。次いで、得られた樹脂フィルムを、冷
却ロール上で冷却し、縁部を切除した後巻き取った。

得られた軟質ポリオレフィンフィルムは、ブロッキング
防止剤が添加されていない層の厚みが２３μｍ、ブロッ
キング防止剤が添加されている層の厚みが２μｍであり
、総厚みが２５μｍとなった。得られたフィルムを、フ
ォトレジスト層（エポキシ基を有するモノマー、オリゴ
マーまたはポリマーとジアゾニウム塩との組合せからな
るもの）に、常温下でロール圧着することにより、軟質
ポリオレフィンフィルムをフォトレジスト用カバーフィ
ルムとして使用した。

そして、フォトレジスト用カバーフィルムとしての軟質
ポリオレフィンフィルムについて、評価を行った。評価
の結果を第１表に示す。

実旌桝Ｉ オレフィン系共重合体樹脂としてブテン含有量２５重量
％のブテン−プロピレン共重合体を第１押出機に供給し
た。一方、ブテン含有量２０重量％のブテン−プロピレ
ン共重合体７０重量％と、低密度ポリエチレン３０重量
％とを第２押出機へ供給した。それ以外は、実施例１と
同様に実行し、軟質ポリオレフィンフィルムを得た。

得られたフィルムは、ブテン−プロピレン共重合体層の
厚みが２４μｍ、ブテン−プロピレン共重合体と低密度
ポリエチレンとの混合層の厚みが３μｍ、総厚みが２７
μｍであった。

得られたフィルムを実施例１と同様に圧着処理し、同様
に評価を行った。評価の結果を第１表に示す。

災施貫立 ブテン含有量２０重量％のブテン−プロピレン共重合体
を第１押出機に供給した。一方、ブテン含有量２０重量
％のブテン−プロピレン共重合体にブロンキング防止剤
として真球シリカを０．２５重量％添加したものを第２
押出機へ供給した。

それ以外の処理は、実施例１と同様に行った。

得られたフィルムは、ブロッキング防止剤が添加されて
ない層の厚みが２９μｍ、ブロッキング防止剤が添加さ
れている層の厚みが１μｍ、総厚みが３０μｍであった
。

実施例１と同様にフォトレジストに対してロール圧着処
理した後、評価を行った。評価の結果を第１表に示す。

犬旌Ｎ土 オレフィン系共重合体樹脂としてのブテン含有量１８重
量％のブテン−プロピレン共重合体３５重量％と、エチ
レン含有量１．５重量％、ブテン含有量１３重量％のエ
チレン−ブテン−プロピ１フ３元共重合体３５重景％と
、オレフィン単独共重合体樹脂としての低密度ポリエチ
レン３０重量％とを混合し、第１押出典に供給した。前
記混合物と同一組成の樹脂に、ブロッキング防止剤とし
ての架橋ソリコン樹脂パウダーを０．２重量％添加し、
第２押出機へ供給した。それ以外は、実施例１と同様に
実行し、軟質ポリオレフィンフィルムを得た。

１１うれたフィルムは、ブロッキング防止剤が添加され
ていない層の厚みが２５μｍ、ブロッキング防止剤が添
加されている層の厚みが３μｍ、総厚みが２８μｍであ
った。

得られたフィルムを実施例１と同様に圧着処理し、同様
に評価を行った。評価の結果を第１表に示す。

ス財ｌ津足 オレフィン系共重合体樹脂としてのブテン含有量２０重
量％のブテン−プロピレン共重合体８０重量％と、オレ
フィン単独重合体樹脂としての低密度ポリエチレン２０
重量％とを混合し、押出機に供給した。そして２４０°
Ｃで溶融押出しした。

得られた樹脂フィルムを、８０°Ｃに保たれたキャステ
ィングドラム上で徐りに固化させた。他方、キャスティ
ングドラムに接しない面は、２０°Ｃに冷却されたロー
ルで冷却固化した。それ以外は、実施例１と同様に実行
し、軟質ポリオレフィンフィルムを得た。

得られたフィルムは、総厚みが３０ｐｒｎであった。

得られたフィルムを実施例Ｉと同様に圧着処理し、同様
に評価を行った。評価の結果を第１表に示す。

去施炭立 オレフィン系共重合体樹脂としてのブテン含有量２５重
量％のブテン−プロピレン共重合体７０重量％と、オレ
フィン単独重合体樹脂としての低密度ポリエチレン３０
重量％とを混合し、第１押出機に供給した。前記混合物
と同一組成の樹脂に、ブロッキング防止剤としての架橋
シリコン樹脂パウダーを０．２重量％添加し、第２押出
機へ供給し、３層複合用Ｔダイから熔融押し出しした。

それ以外は、実施例１と同様に実行し、軟質ポリオレフ
ィンフィルムを得た。

得られたフィルムは３層構成で、ブロッキング防止剤が
添加された第１層の厚みが１μｍ、ブロッキング防止剤
が添加されていない第２層の厚みが２８μｍ、ブロッキ
ング防止剤が添加された第３層の厚みが１μｍ、総厚み
が３０μｍであった。

得られたフィルムを実施例１と同様に圧着処理し、同様
に評価を行った。評価の結果を第１表に示す。

ル較五土 ポリプロピレン樹脂を第１押出機へ供給し、ポリプロピ
レン樹脂にゼオライト（ブロッキング防止剤）を０．１
５重量％添加したものを第２押出機へ供給し、２８０°
Ｃで溶融共押し出しした。得られたフィルムを、４０゛
Ｃに冷却されたキャスティングドラム上で冷却固化した
後、１４０°Ｃに加熱された熱風オーブン中に導き予熱
を行った。そして、１３５°Ｃで長手方向に５倍延伸し
、１６０°Ｃに加熱されたテンター内で幅方向に１０倍
延伸した。得られたフィルムを、幅方向に５％のりラン
クスを許しながら熱処理した。次いで、冷却ロール上で
フィルムを冷却し、縁部を切除した後巻き取った。

得られた積層フィルムは、ブロッキング防止剤が添加さ
れていない層の厚みが２３μｍ、ブロッキング防止剤が
添加されている層の厚みが２μｍ、総厚みが２５μｍで
あった。

得られたフィルムを実施例１と同様にロール圧着処理し
た後、実施例１と同様に評価を行った。

評価の結果を第１表に示す。

凡μｆＵＩ　２− オレフィン単独重合体として低密度ポリエチレンを用い
、チューブラ−法で製膜した。

得られたフィルムの厚みは２５〜３０μｍであり、厚み
の変動が大きかった。

得られたフィルムをフォトレジスト層に実施例１と同様
に圧着処理し、実施例１と同様に評価を行った。評価の
結果を第１表に示す。

比較例３ オレフィン単独重合体として直鎖状低密度ポリエチレン
を用い、比較例２と同様にチューブラ−法で製膜した。

フィルム厚みは２８〜３２μｍであり、厚みの変動が大
きかった。

得られたフィルムを実施例１と同様にフォトレジスト層
に圧着し、実施例１と同様に評価を行った。評価の結果
を第１表に示す。

第１表

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るフィルムが使用された感光製版用
シートの縦断面部分回である。 ｌ・・・カバーフィルム。 第１

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）オレフィン系共重合体樹脂からなる２軸延伸され
   た軟質ポリオレフィンフィルムにおいて、少なくとも１
   方向のヤング率が１００ｋｇ／ｍｍ＾２以下であり、少
   なくとも片面の表面粗さＲａが０．０３μｍ以上である
   ことを特徴とする、 軟質ポリオレフィンフィルム。
2. （２）前記オレフィン系共重合体樹脂は、エチレン−プ
   ロピレン共重合体、ブテン−プロピレン共重合体、エチ
   レン−ブテン−プロピレン３元共重合体の群から選ばれ
   た少なくとも１種の樹脂である、請求項（１）に記載の
   軟質ポリオレフィンフィルム。
3. （３）前記表面粗さＲａは、球晶を成長させることによ
   り０．０３μｍ以上になっている、請求項（１）に記載
   の軟質ポリオレフィンフィルム。
4. （４）前記表面粗さＲａは、ブロッキング防止剤を用い
   ることにより０．０３μｍ以上となっている、請求項（
   １）に記載の軟質ポリオレフィンフィルム。
5. （５）請求項（１）に記載の軟質ポリオレフィンフィル
   ムからなる感光製版用シートのカバーフィルム。