JP4000544B2

JP4000544B2 - 感光性版用フォトレジストカバーフイルム

Info

Publication number: JP4000544B2
Application number: JP29295198A
Authority: JP
Inventors: 勝洋土屋; 佳孝深貝; 功司片岡
Original assignee: Toray Advanced Film Co Ltd
Current assignee: Toray Advanced Film Co Ltd
Priority date: 1998-09-30
Filing date: 1998-09-30
Publication date: 2007-10-31
Anticipated expiration: 2018-09-30
Also published as: JP2000112133A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、新規な感光性版用フォトレジストカバーフイルムに関する。さらに詳しくは、本発明は、柔軟で、平坦性と取扱性に優れ、フォトレジストとの適度な粘着性と剥離性を有した感光性版用フォトレジストカバーフイルムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、感光性版用フォトレジストカバーフイルムとして、ポリエチレンやポリプロピレンフイルム（特開平１−１７９１５４号公報）が用いられている。
【０００３】
ポリプロピレンフイルムの離型性の改良を目的として、ポリメチルペンテン及び他のオレフィンとの共重合樹脂を積層したフイルムが知られている（特公昭５７−４４４６５号、特公平０３−７１９７５号公報など）。
【０００４】
カバーフイルムとしては、厚みムラが小さくて平面性が良く、柔軟で、フォトレジストからの剥離性の良いことが必要である。さらにドライフイルムフォトレジスト（以下ＤＦＲと省略する）は、基材のポリエステルフイルムにフォトレジストを塗布し、カバーフイルムを貼ってロール状に長巻するが、最近特にプリント配線板の回路の細線化（ファインパターン化）の要望が強く、このような用途にはフイルム中の異物（ゲルやフィッシュアイ）や無機微粒子の突起の少ないことは勿論のこと、フイルム表面の平坦性が特に必要な要求項目である。また最近ＤＦＲの長尺化の要求があることから、カバーフイルムとしては、平坦でかつ薄膜化の要求がある。
【０００５】
しかしながら、前記従来のポリエチレンフイルムは、厚みムラが大きくて平坦性が悪く、またゲル状の異物突起が多いという欠点を有しており、さらにＤＦＲカバーフイルムとして必要な、平坦で薄いフイルムを作ることは非常に困難である。
【０００６】
他方、ポリプロピレンフイルムは、平坦で薄いフイルムを作ることは容易であるが、腰が強すぎてフォトレジストからの剥離性が悪く、剥離する際にフォトレジストにさざ波状の傷がつきやすいという欠点がある。また薄くて平坦性の良いフイルムはフイルム面同志の滑り性が悪く、取扱性に劣ると言う問題がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はフォトレジスト面に接する面の平面性が良く、フォトレジストとの適度な粘着性と剥離性に優れ、異物突起（ゲル、フィッシュアイ、無機物突起）が少なく、取扱性の良好な感光性版用フォトレジストカバーフイルムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らが鋭意検討した結果、本発明の課題は下記の構成を有する本発明によって工業的に有利に達成された。
【０００９】
［１］フイルムの片面（Ａ面）の平均表面粗さＲａが８０ｎｍ以下、逆面（Ｂ面）の平均表面粗さＲａが１００ｎｍ以上の無延伸ポリプロピレン系複合フイルムから成り、該フイルムの表面濡れ張力が３４ｍＮ／ｍ以下であることを特徴とする感光性版用フォトレジストカバーフイルム。
【００１０】
［２］フイルムＡ面の１０点平均粗さ（Ｒｚ）が５００ｎｍ未満、フイルムＢ面の１０点平均粗さ（Ｒｚ）が３５０ｎｍ〜２０００ｎｍの範囲にあり、かつＢ面の２００ｎｍ以上の粗さ密度ＰＣ１が５個／ｍｍ以上からなることを特徴とする上記［１］に記載の感光性版用フォトレジストカバーフイルム。
【００１１】
［３］無延伸ポリプロピレン系複合フイルムのＡ面を有する層が、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−プロピレン−ブテン共重合体、プロピレン−ブテン共重合体樹脂から選ばれた少なくとも１種以上の樹脂からなることを特徴とする上記［１］または［２］に記載の感光性版用フォトレジストカバーフイルム。
【００１２】
［４］無延伸ポリプロピレン系複合フイルムのＢ面を有する層が、ポリプロピレン系樹脂とポリエチレンまたはエチレンープロピレンブロック共重合体樹脂の混合物からなることを特徴とする上記［１］〜［３］のいずれかに記載の感光性版用フォトレジストカバーフイルム。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の無延伸ポリプロピレン系複合フイルムのＡ面に使用される樹脂は、ポリプロピレン系を主体とした樹脂である。特に好ましくはエチレン−プロピレン共重合体、エチレン−プロピレン−ブテン共重合体、プロピレン−ブテン共重合体から選ばれた少なくとも１種以上の樹脂である。これらの共重合体にフイルム特性を悪化させない程度にポリエチレン、ポリブテンなどのポリオレフィン樹脂をさらに混合させてもよい。なお、該ポリプロピレン系フイルムには、酸化防止剤、熱安定剤、結晶核剤を剥離性及び光学特性を悪化させない範囲で含有させてもよいが、有機滑剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤や無機微粒子は表面突起及びレジストの感光性を疎外するので好ましくない。
【００１４】
また本発明の無延伸ポリプロピレン系複合フイルムのＡ面の平均表面粗さＲａは８０ｎｍ以下、好ましくは６０ｎｍ以下であることが必要である。平均表面粗さＲａが８０ｎｍを越えるとレジスト面の平面性（平坦性）が悪化し、レジストとカバーフイルム間のエアー噛み込みが多くなり、最終製品でファインパターンの画像が得られない。またＡ面の１０点平均粗さ（Ｒｚ）が５００ｎｍ未満であると、ファインパターンが得られるので特に好ましい。なお平均表面粗さＲａと１０点平均粗さ（Ｒｚ）の下限は特に限定されないが、おおよそＲａで３０ｎｍ程度、Ｒｚで１００ｎｍ程度である。
【００１５】
本発明における無延伸ポリプロピレン系複合フイルムの表面濡れ張力はＡ面、Ｂ面共に３４ｍＮ／ｍ以下好ましくは３３ｍＮ／ｍ以下であることが必要である。３４ｍＮ／ｍを越えると、フォトレジストとの密着力が強くなって剥離性が悪化し、フォトレジストにさざ波状の傷をつける。なお表面濡れ張力の下限は特に限定されないが、樹脂の性質上３０ｍＮ／ｍ程度が限界である。
【００１６】
本発明の感光性版用フォトレジストカバーフイルムは、ポリプロピレン系フイルム（Ａ層）の少なくとも片面に粗面層（Ｂ層）を積層してなる無延伸の複合フイルムである。本発明の複合フイルムはＡ面、Ｂ面の表面特性と濡れ張力が特許請求項１の範囲内にあれば、２層積層フイルムに限定されず、Ａ、Ｂ層の間に他の層を有する３層以上の複合フイルムであっても良い。
【００１７】
本発明の無延伸ポリプロピレン系複合フイルムのＢ面の平均表面粗さＲａは１００ｎｍ以上好ましくは１２０ｎｍ以上である必要がある。また１０点平均粗さ（Ｒｚ）が３５０ｎｍ〜２０００ｎｍの範囲にあり、かつ２００ｎｍ以上の粗さＰＣ１が５個／ｍｍ以上であることが最も好ましい。平均表面粗さＲａが１００ｎｍ未満ではフイルムＡ面との摩擦係数が高くなり、フイルムをロール状に巻取った製品にシワが入ったり、ブロッキングして表面が変形したり巻出しでフイルムが破れたりして、取扱性に劣ったものとなってしまう。また１０点平均粗さ（Ｒｚ）が２０００ｎｍを越えると、巻取った製品でＡ面の平面性が阻害される恐れがある。
【００１８】
本発明の無延伸ポリプロピレン系複合フイルムのＢ面に使用される樹脂組成は、ポリプロピレン系樹脂を主体とし、これに非相溶の樹脂を混合することにより得られるが、特に好ましいのはポリプロピレン系樹脂とポリエチレンまたはエチレン−プロピレンブロック共重合体の混合物である。混合するポリエチレンは低密度、高密度いずれでも可能であるが、ポリプロピレン系樹脂と粘度差の大きい樹脂が、適切なＲｚ、ＰＣ１を得る点で好ましい。例えばＭＦＲ比（ポリプロピレン系樹脂のＭＦＲ／ポリエチレン系樹脂ＭＦＲ）で５〜１５が好ましい。混合量はポリエチレンで２〜１５％、エチレン−プロピレンブロック共重合体で５〜２５％であることが、Ｒａ１００ｎｍ以上、Ｒｚで３５０〜２０００ｎｍ、ＰＣ１が５個／ｍｍ以上となるために好ましい。
【００１９】
本発明の感光性版用フォトレジストカバーフイルムは実質無延伸の複合フイルムであり、複屈折は０．００８以下であることが好ましい。０．００８を越えると腰が強くなり過ぎて、フォトレジストからの剥離性が悪く、フォトレジストから剥離する際にフォトレジストにさざ波状の傷がつきやすくなるので好ましくない。
【００２０】
本発明の感光性版用フォトレジストカバーフイルムは、長手方向と幅方向のヤング率の和が１６００Ｍｐａ以下であることが好ましい。１６００Ｍｐａを越えると、腰が強くなり過ぎて、フォトレジストからの剥離が悪化し、フォトレジストにさざ波状の傷をつけるので好ましくない。無延伸フイルムのヤング率を低減する方法は押出フイルムを冷却固化する時の冷却ドラムの温度をできる限り低温化し、結晶化を抑制することにより達成できる。ヤング率の下限は特に限定されないが、カバーフイルムとして加工できる腰の強さが必要で、長手方向と幅方向のヤング率の和が５００〜１３００Ｍｐａの範囲が好ましい。また本発明の感光性版用フォトレジストカバーフイルムは、フイルム１枚のトータルヘイズが３〜１５％の範囲、好ましくは５〜１０％の範囲が好ましい。トータルヘイズが３％未満ではロール状に巻き取った製品にシワが入ったり、ブロッキングして表面が変形したり、巻出しでフイルムが破れたりして、取扱性に劣ったものとなってしまう。逆に１５％を越えるとＤＦＲとしてロール状に巻き取り、スリットする時に製品が幅変動を起こしたり、製品が竹の子状（テレスコープ）に滑り好ましくない。
【００２１】
また本発明の感光性版用フォトレジストカバーフイルムにおいては、２００μｍ以上のゲル及びフィッシュアイが３個／１ｍ² 以下であることが好ましい。ゲル及びフィッシュアイが３個／１ｍ² を越えると、フォトレジストと貼り合わす際に大きな空気の噛み込みができ、ＤＦＲとしたときに外観上の欠点となり、露光した時に回路欠点を誘発し、ファインパターン化が得られにくい。
【００２２】
なおゲル及びフィッシュアイの低減方法としては、原料そのものをクリーン化することはもちろん必要であるが、濾過精度をアップして改善することも重要である。本発明ではフイルターを２０〜２５μｍの濾過精度とし、これを１０〜数１０枚重ねてフイルム化することが特に好ましい。
【００２３】
本発明の感光性版用フォトレジストカバーフイルムの厚みは、特に限定されるものではないが、５〜５０μｍが好ましく、１０〜２５μｍがＤＦＲの長尺化の要望に対してより好ましい。Ａ面（平坦面）を有する層（Ａ層）及びＢ面（粗面）を有する層（Ｂ層）の積層厚み構成は、特に限定されるものではないが、Ａ層／Ｂ層比率＝３／１〜１０／１が好ましく、剥離性、光学特性、取扱性を考慮すれば５／１〜８／１がより好ましい。
【００２４】
次に本発明の感光性版用フォトレジストカバーフイルムの製造方法について述べるが、必ずしもこれに限定されるものでいない。
【００２５】
Ａ面を有する層（Ａ層）の原料組成として、ＭＦＲ４〜９のエチレン−プロピレン−ブテン共重合体を第１押出機に供給する。一方、Ｂ層の原料組成として、Ａ層の樹脂（エチレン−プロピレン−ブテン共重合体）にＭＦＲ０．５〜１の低密度ポリエチレンを２〜１５％混合した樹脂を第２押出機に供給する。次いで押出温度２２０〜２５０℃で溶融混合させ、それぞれを濾過したのち、１つの口金内で積層してフイルム状に成形し、該フイルムを２０〜４０℃に保った金属ドラムに巻き付けて冷却固化せしめ、ロール状に巻き取ることによって本発明のフイルムを得る。
【００２６】
次に、本発明のフイルムを、ＤＦＲの感光性版用フォトレジストカバーフイルムとして用いる場合には、まずロール状に巻かれた基材を引き出しながら、その表面に塗布装置を用いてフォトレジストを塗布する。そして塗布し乾燥したフォトレジストを覆うように本発明のフイルムをロール圧着して、ロール状に長巻する。その後、感光性版が使用される場合には、カバーフイルムをフォトレジストから剥離しながら基盤にフォトレジストを接着させる。このとき、本発明の感光性版用フォトレジストカバーフイルムは取扱性が良好かつ、フォトレジストからの剥離性が良好で、フォトレジスト表面にさざ波状の傷やフォトレジストと貼り合わす際に大きな空気の噛み込みもなく、最終製品で欠点のないファィンパターンの回路がえられる。
【００２７】
本発明において用いた物性の測定方法並びに効果の評価方法は次のとおりである。
（１）表面粗さＲａ、１０点平均粗さＲｚ、粗さ密度ＰＣ１
ＪＩＳＢ０６０１−１９７６に記載されているように、触針式表面粗さ計を用いて測定した。なお、カットオフは０．２５ｍｍ、測定長は４ｍｍとした。
（２）フイルム表面の濡れ張力
ＪＩＳＫ−６７６８の方法で測定した。
（３）メルトフローレート（ＭＦＲ）
ＪＩＳＫ−６７５８のポリエチレン、ポリプロピレン試験方法で測定した。（４）トータルヘイズ
ＪＩＳＫ−６７１４に準じて測定した。
（５）ヤング率
ＡＳＴＭＤ８８２に準じて測定した値である。
（６）ゲル及びフィッシュアイ
フイルム１ｍ² あたりの個数で表す。
（７）フイルムの取扱性
フイルム幅１６００ｍｍで、ロール状に３０００ｍ巻き取った時の外観と巻出しでの状態をみて評価した。
【００２８】
○：Ａ／Ｂ面の摩擦係数が１．０未満の範囲にあり、ロールにシワの発生が全くなくて、滑り性、外観共に良い。
【００２９】
△：Ａ／Ｂ面の摩擦係数が１．０以上の範囲にあり、ロールにシワの発生はほとんどないが、若干滑り性に劣る。取り扱い性は問題ないレベル。
【００３０】
×：Ａ／Ｂ面の摩擦係数が１．０以上であり、ロールにしわの発生がみられ、ブロッキングにより表面変形を起こしたり、巻出でフイルムの破れがみられる。
（８）剥離性
試料を２５℃のイエローランプ下でフォトレジストにラミネートし、２５ｍｍ幅に切断する。その後、テンシロンにて９０度剥離し、接着力、剥離音および試料剥離後のフォトレジスト表面状態から判断する。
【００３１】
○：剥離がスムーズで剥離音がなく、試料剥離後のフォトレジスト表面にさざ波状の傷がないもの。
【００３２】
×：接着力が強くて剥離音があり、試料剥離後のフォトレジスト表面にさざ波の傷がつくもの。
（９）ＤＦＲの外観
基材のポリエステルフイルムにフォトレジストを塗布し、カバーフイルムを貼リ合わせてＤＦＲとし、ロール状に５００ｍ巻いたときの外観をみて評価した。
【００３３】
○：大きな空気のかみ込みがなくて、外観がよい。
【００３４】
×：大きな空気のかみ込みが点在して、外観上の欠点がみられる。
（10)ＤＦＲのエアーバブル
ＤＦＲ１５ｃｍ角を拡大鏡（１００倍）で観察しレジストとカバーフイルム間のエアー噛み込み（φ５０μｍ以上）の数で評価した。エアーバブルが少ないほど、レジスト面の平坦性は良好である。２０個以下であれば最終製品で欠点のないファィンパターンの回路が得られる。
【００３５】
【実施例】
本発明を実施例、比較例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されない。
【００３６】
［実施例１］
無延伸ポリプロピレン系複合フイルムのＡ面を構成する原料組成（Ａ層）として、エチレン含有量が２．５重量％、ブテン含有量４．５重量％のエチレンープロピレンーブテン共重合体１００重量部に、酸化防止剤（チバガイギー製“イルガノックス”１０１０）を０．１２５重量部添加したＭＦＲ７．０のペレットを第１押出機に供給し２３０℃で押出した。一方、Ｂ面を構成する原料組成（Ｂ層）として、Ａ層のエチレンープロピレンーブテン共重合体樹脂に、密度０．９０、ＭＦＲ０．５の低密度ポリエチレンを３％添加混合した樹脂を第２押出機に供給し２３０℃で押出した。押出機から口金までの間に高精度フイルター（２０μｍカット）を数段組み合わせて、両押出機からの溶融樹脂を１つの口金内（２３０℃）で２層に積層して共押出しした。次いで２５℃の冷却ドラム上で冷却固化させ複合フイルムを得た。得られたフイルムの厚み構成はＡ層２２μｍ／Ｂ層３μｍであった。
【００３７】
かくして得られた本発明のフイルムを、ＤＦＲの感光性版用フォトレジストカバーフイルムとして評価するため、基材のポリエステルフイルムに塗布して乾燥したフォトレジスト層（エポキシ基を有するモノマー、オリゴマーまたはポリマーとジアゾニウム塩との組み合わせからなるもの）に、２０℃のイエローランプ下で常温にてＡ面がフォトレジスト側になるようロール圧着してロール状に長巻した。
【００３８】
フイルム品質特性と感光性版用フォトレジストカバーフイルムとしての評価を行なった結果を、第１表に示した。
【００３９】
表から明らかなように本発明のフイルムは、表面の粗さと表面の濡れ張力を特定化したことにより、取扱性に優れ、ゲルやフィッシュアイなどの異物突起が少なく、フォトレジストからの剥離性及びＤＦＲの外観に優れたものであった。また、ＤＦＲのエアーバブルの個数も少なく、優れたものであった。
【００４０】
［実施例２］
Ｂ面を有する層（Ｂ層）の原料組成として、Ａ層のエチレンープロピレンーブテン共重合体樹脂に、密度０．９０、ＭＦＲ１．０の低密度ポリエチレンを６％添加混合した樹脂とし、フイルムの厚み構成をＡ層／Ｂ層＝２０μｍ／５μｍとする以外は実施例１と全く同様にして、フイルム品質特性と感光性版用フォトレジストカバーフイルムとしての評価を行なった。結果を第１表に示した。
【００４１】
表から明らかなように本発明のフイルムは、表面の粗さと濡れ張力を特定化したことにより、取扱性に優れ、ゲルやフィッシュアイなどの異物突起が少なく、フォトレジストからの剥離性及びＤＦＲの外観に優れたものであった。また、ＤＦＲのエアーバブルの個数も少なく優れたものであった。
【００４２】
［実施例３］
Ａ面を構成する原料組成として、エチレン含有量４．５％のエチレンープロピレン共重合体１００重量部に、酸化防止剤（チバガイギー製“イルガノックス”１０１０）を０．１２５重量部添加したＭＦＲ６．５のペレットとし、フイルムの厚み構成をＡ層／Ｂ層＝１７μｍ／３μｍとする以外は実施例１と全く同様にしてフイルム品質特性と感光性版用フォトレジストカバーフイルムとしての評価を行なった。結果を第１表に示した。
【００４３】
表から明らかなように本発明のフイルムは、表面の粗さと濡れ張力を特定化したことにより、取扱性に優れ、ゲルやフィッシュアイなどの異物突起が少なく、フォトレジストからの剥離性及びＤＦＲの外観に優れたものであった。また、ＤＦＲのエアーバブルの個数も少なく優れたものであった。
【００４４】
［実施例４］
Ａ面を構成する原料組成として、ブテン含有量６．５％のプロピレンーブテン共重合体１００重量部に、酸化防止剤（チバガイギー製“イルガノックス”１０１０）を０．１２５重量部添加したＭＦＲ７．０の原料を第１押出機に供給し２３０℃で押出した。一方、Ｂ面を構成する原料組成として、エチレン含有量が２．０重量％、ブテン含有量４．０重量％のエチレンープロピレンーブテン共重合体樹脂に、酸化防止剤（チバガイギー製“イルガノックス”１０１０を０．１２５重量部添加したＭＦＲ７．０の樹脂８５重量％と、エチレン含有量が１２重量％のエチレンープロピレンブロック共重合体（ＭＦＲ＝１．０）１５重量％の混合樹脂を第２押出機に供給し２３０℃で押出した。押出機から口金までの間に高精度フイルター（２０μｍカット）を数段組み合わせて、両押出機からの溶融樹脂を１つの口金内（２３０℃）で２層に積層して共押出しした。次いで３０℃の冷却ドラム上で冷却固化させ複合フイルムを得た。得られたフイルムの厚み構成はＡ層／Ｂ層＝２１μｍ／４μｍであった。
【００４５】
かくして得られた本発明のフイルムを、ＤＦＲの感光性版用フォトレジストカバーフイルムとして評価するため、基材のポリエステルフイルムに塗布して乾燥したフォトレジスト層（エポキシ基を有するモノマー、オリゴマーまたはポリマーとジアゾニウム塩との組み合わせからなるもの）に、２０℃のイエローランプ下で常温にてＡ面がフォトレジスト側になるようロール圧着してロール状に長巻した。
【００４６】
フイルム品質特性と感光性版用フォトレジストカバーフイルムとしての評価を行なった結果を、第１表に示した。
【００４７】
表から明らかなように本発明のフイルムは、表面の粗さと濡れ張力を特定化したことにより、取扱性に優れ、ゲルやフィッシュアイなどの異物突起が少なく、フォトレジストからの剥離性及びＤＦＲの外観に優れたものであった。また、ＤＦＲのエアーバブルの個数も少なく優れたものであった。
【００４８】
［比較例１］
Ｂ面を構成する原料組成として、Ａ面（Ａ層）を構成する原料組成、すなわちエチレン含有量が２．５重量％、ブテン含有量４．５重量％のエチレンープロピレンーブテン共重合体１００重量部に、酸化防止剤（チバガイギー製“イルガノックス”１０１０）を０．１２５重量部添加したＭＦＲ７．０のペレットとした以外は実施例１と全く同様にして、感光性版用フォトレジストカバーフイルムとしての評価を行なった結果を第１表に示した。表から明らかなように、Ｂ面の表面粗さ特性が本発明の範囲をはずれたフイルムは、摩擦係数が高く、取扱性に劣り、フォトレジストに圧着する際にシワが発生したり、大きな空気の噛み込みができてＤＦＲの外観上の欠点があった。
【００４９】
［比較例２］
Ａ面を構成する原料組成として、エチレン含有量が２．５重量％、ブテン含有量４．５重量％のエチレンープロピレンーブテン共重合体１００重量部に、酸化防止剤（チバガイギー製“イルガノックス”１０１０）を０．１２５重量部添加したＭＦＲ７．０のペレットに密度０．９０、ＭＦＲ０．５の低密度ポリエチレンを１．５％添加混合した樹脂を用いた以外は実施例１と全く同様にして、感光性版用フォトレジストカバーフイルムとしての評価を行なった結果を第１表に示した。表から明らかなように、Ａ面の表面粗さ特性が本発明の範囲をはずれたフイルムは、フォトレジストに圧着する際に空気の噛み込みができ、ＤＦＲの外観に劣ったものであった。またＤＦＲのエアーバブルの個数も１１０個と劣ったものであった。
【００５０】
［比較例３］
実施例１と同じ原料組成、押出し、冷却条件で複合フイルムを製膜し、フイルムのＡ面に１５Ｗ／ｍ²／分の処理強度でコロナ放電処理を実施し、Ａ面の濡れ張力を３６ｍＮ／ｍとした以外は実施例１と全く同様にして、感光性版用フォトレジストカバーフイルムとしての評価を行なった結果を第１表に示した。フイルム表面の濡れ張力が本発明の範囲をはずれたフイルムは、フォトレジストからの剥離性に劣り、レジストの表面にさざ波の小さな傷が発生し、ＤＦＲの外観の劣ったものであった。
【００５１】
［比較例４］
Ａ面（Ａ層）を構成する原料組成として、低密度ポリエチレンを使用し、Ｂ面（Ｂ層）を構成する原料として、低密度ポリエチレンに実施例４で用いたエチレンープロピレンブロック共重合体を１５重量％添加した以外は実施例１と同様にして複合フイルムを得、実施例１と全く同様にして、感光性版用フォトレジストカバーフイルムとしての評価を行なった結果を第１表に示した。フイルムの素材がポリエチレン主体からなるフイルムでは、フイルムの厚みムラが悪く、取扱性に劣ったものであった。またゲルの多いフイルムであり、ＤＦＲの外観に劣ったものであった。
【００５２】
［比較例５］
Ａ面（Ａ層）を構成する原料組成として、エチレン含有量が３．７重量％のエチレンープロピレン共重合体樹脂を第１押出機に供給した。一方、Ｂ面（Ｂ層）の原料として、Ａ層のエチレンープロピレン共重合体樹脂に、エチレンープロピレンブロック共重合体を１０重量％混合した樹脂を第２押出機に供給した。両押出機からの溶融樹脂を１つの口金内でＡ層／Ｂ層の２層に積層して共押出した。次で４０℃の冷却ドラム上で冷却固化させ積層フイルムを得た。得られた積層フイルムを、１００℃で予熱して１２０℃の延伸温度で長手方向に５倍延伸し、引き続き幅方向に１３５℃で９倍延伸し、次いで幅方向に５％の弛緩を与えつつ、１４０℃で熱固定をし、縁部を切除した後巻き取った。得られた２軸延伸フイルムの厚みは１８／４μｍであった。
【００５３】
かくして得られた２軸延伸フイルムのＡ面を、フォトレジスト側になるようにロール圧着した以外は、実施例１と全く同様にしてカバーフイルムの特性と感光性版用フォトレジストカバーフイルムとしての評価を行なった結果を第１表に示した。表から明らかなように２軸延伸フイルムでは、剥離性及びＤＦＲの外観に劣ったものであった。
【００５４】
【表１】

【００５５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の感光性版用フォトレジストカバーフイルムは、ポリプロピレン系無延伸フイルムでフイルム表面の表面粗さと濡れ張力を特定の範囲としたことにより、フイルムの取扱性がよく、フォトレジストとの適度な粘着性と剥離性に優れ、フォトレジストとロール圧着時の空気の噛み込み（エアーバブル）が少なく、工程安定性に優れＤＦＲとしたときの外観の良好な感光性版用フォトレジストカバーフイルムを提供することができる。

Claims

フイルムの片面（Ａ面）の平均表面粗さＲａが８０ｎｍ以下、逆面（Ｂ面）の平均表面粗さＲａが１００ｎｍ以上の無延伸ポリプロピレン系複合フイルムから成り、該フイルムの表面濡れ張力が３４ｍＮ／ｍ以下であることを特徴とする感光性版用フォトレジストカバーフイルム。
フイルムＡ面の１０点平均粗さ（Ｒｚ）が５００ｎｍ未満、フイルムＢ面の１０点平均粗さ（Ｒｚ）が３５０ｎｍ〜２０００ｎｍの範囲にあり、かつＢ面の２００ｎｍ以上の粗さ密度ＰＣ１が５個／ｍｍ以上からなることを特徴とする請求項１に記載の感光性版用フォトレジストカバーフイルム。
無延伸ポリプロピレン系複合フイルムのＡ面を有する層が、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−プロピレン−ブテン共重合体、プロピレン−ブテン共重合体樹脂から選ばれた少なくとも１種以上の樹脂からなることを特徴とする請求項１または２に記載の感光性版用フォトレジストカバーフイルム。
無延伸ポリプロピレン系複合フイルムのＢ面を有する層が、ポリプロピレン系樹脂とポリエチレンまたはエチレンープロピレンブロック共重合体樹脂の混合物からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の感光性版用フォトレジストカバーフイルム。