JP2002144504A - ポリオレフィンフィルムおよび感光製版用フォトレジストカバーフィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 包装用、感光製版用フォトレジストカバーフ
ィルム用等に好適で、リサイクル性にも優れたポリオレ
フィンフィルムを提供する。 【解決手段】 二軸延伸ポリオレフィンフィルム（Ａ
層）の少なくとも片面に、最大表面粗さＲ_maxと中心線
平均表面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒａが５〜１５の範囲に
あり、表面における０．１ｍｍ²当たりの山数ＳＰｃが
１０個以上であるポリオレフィンフィルム（Ｂ層）を積
層したフィルムであって、かつ、フィルムの長手方向と
幅方向のヤング率の和が１．５ＧＰａ以下であることを
特徴とするポリオレフィンフィルム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、包装用や工業用等
に好適な粗面化ポリオレフィンフィルムに関する。特
に、感光製版用フォトレジストとの適度な粘着性と剥離
性を有した感光製版用フォトレジストカバーフィルムに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、感光製版用フォトレジストカバー
フィルムとして、ポリエチレンやポリプロピレンフィル
ムが用いられている（特開平１−１７９１５４号公
報）。

【０００３】カバーフィルムとしては、厚みむらが小さ
くて平面性が良く、かつ異物突起（ゲルやフィッシュア
イ）の少ないものが好ましい。しかも、柔軟で、フォト
レジストからの剥離性がよいことが必要である。さらに
ドライフィルムフォトレジスト（以下ＤＦＲと略称す
る）は、基材のポリエステルフィルムにフォトレジスト
を塗布し、カバーフィルムを貼ってロール状に長巻する
ため、巻芯部のフォトレジストが酸欠状態となり自己架
橋するという問題があり、また最近ＤＦＲの長尺化の要
求があることから、カバーフィルムとしては粗面で薄膜
化の要求がある。

【０００４】しかしながら、従来のポリエチレンフィル
ムは、厚みむらが大きくて平面性に劣り、またゲル状物
の粗大突起が多いという問題を有しており、さらにＤＦ
Ｒ用カバーフィルムとして必要な粗面で薄いフィルムを
作ることが困難である。

【０００５】また、粗面化方法には、これまでエンボス
法やサンドブラスト法などの機械的方法、溶剤によるケ
ミカルエッチング等の化学的方法、ポリエチレン等の異
種ポリマーを混合したシートを延伸する方法、β晶を生
成させたシートを延伸する方法（例えば特開昭５１−６
３５００号公報）等が提案されている。

【０００６】しかし、機械的方法および化学的方法では
粗さ密度が低く、またβ晶を生成させたシートを延伸す
る方法では粗大突起が生じやすく、突起の均一性という
点で必ずしも十分とはいえない場合があった。また、ポ
リエチレン等の異種ポリマーを配合したシートを延伸す
る方法では、該フィルムをリサイクルした場合にゲル状
物が発生して粗大突起ができ、リサイクル性に劣るとい
う問題があった。他方、ポリプロピレンの表層にポリメ
チルペンテンおよび他のオレフィンとの共重合体を積層
したフィルム（特公昭５７−４４４６５号公報、特公平
３−７１９７５号公報等）は、ヤング率が高すぎて、フ
ォトレジストからの剥離性が悪く、剥離する際にフォト
レジスト表面にさざ波状の傷ができるという問題があっ
た。

【０００７】また、いずれの方法も粗さ密度や突起の均
一性という点で必ずしも十分とはいえない場合が多かっ
た。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、特に感光製
版用フォトレジストカバーフィルムとして好適で、かつ
リサイクル性にも優れたポリオレフィンフィルムを提供
することをその課題とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的に沿う本発明の
ポリオレフィンフィルムは、二軸延伸ポリオレフィンフ
ィルム（Ａ層）の少なくとも片面に、最大表面粗さＲ
_maxと中心線平均表面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒａが５〜１
５の範囲にあり、表面における０．１ｍｍ²当たりの山
数ＳＰｃが１０個以上であるポリオレフィンフィルム
（Ｂ層）を積層したフィルムであって、かつ、フィルム
の長手方向と幅方向のヤング率の和が１．５ＧＰａ以下
であることを特徴とするポリオレフィンフィルムからな
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明のポリオレフィンフィルム
は、二軸延伸ポリオレフィンフィルム（Ａ層）の少なく
とも片面に、他のポリオレフィンフィルム（Ｂ層）を積
層してなるフィルムである。好ましくは、Ａ層の両面に
Ｂ層を積層した３層積層フィルムとすることにより、基
材のポリエステルフィルムにフォトレジストを塗布し、
カバーフィルムを貼り重ねてロール状に長巻するＤＦＲ
において、フォトレジストとカバーフィルムおよび基材
のポリエステルフィルムとカバーフィルムとの間に形成
される微小空間に入り込んだ空気層により、巻芯部のフ
ォトレジストの酸欠による自己架橋を防止することがで
き、好ましい。また、フォトレジストに貼る際に大きな
空気のまき込みによる外観的欠点が起こらない。

【００１１】本発明のＡ層に用いられるポリオレフィン
は、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−プロピ
レン−ブテン共重合体、プロピレン−ブテン共重合体か
ら選ばれた少なくとも１種以上の樹脂である。これらの
共重合体にフィルム特性を悪化させない程度にポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリブテンなどのポリオレフィ
ン樹脂をさらに混合させてもよい。この中でもエチレン
−プロピレン−ブテン共重合体とポリエチレンとを混合
したものが好ましい。エチレン−プロピレン−ブテン共
重合体のエチレン含有量が１〜１０重量％、ブテン含有
量が２〜２０重量％の樹脂がゲル状物の発生がなくて好
ましく、また、ポリエチレンは、中密度、低密度、ある
いは直鎖状低密度のものを２〜５０重量％混合したもの
が柔軟性がでて、フィルムの長手方向と幅方向のヤング
率の和が１．５ＧＰａ以下となるので好ましい。また、
該二軸延伸ポリオレフィンフィルム（Ａ層）には、結晶
核剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑り剤、帯電防止剤、紫
外線吸収剤などが剥離性およびフォトレジストへの影響
がない範囲で含有させていてもよい。

【００１２】該Ａ層を構成するポリマーのメルトフロー
レート（ＭＦＲ）は、１〜１０ｇ／１０分の範囲が溶融
押出し性および二軸延伸性が良好となり好ましく、２〜
７ｇ／１０分の範囲がより好ましい。

【００１３】本発明のＡ層の中心線平均表面粗さＲａは
０．０３〜０．５０μｍであることが好ましい。中心線
平均表面粗さＲａが大きすぎると、フィルムを５００ｍ
以上の長尺に巻いたときに、層間に空気が入り巻ずれを
起こる場合がある。逆に小さすぎるとフィルムの滑りが
悪くなりハンドリング性に劣り、またＤＦＲ用カバーフ
ィルムとしてフォトレジスト上にフィルムを積層しロー
ル状に長尺に巻いたときに、基材のポリエステルフィル
ムとカバーフィルムとの間に空気層がなく、巻芯部のフ
ォトレジストが酸欠状態となり自己架橋する場合があ
る。中心線平均表面粗さＲａのより好ましい範囲は０．
０５〜０．４０μｍであり、さらに好ましくは０．０６
〜０．３０μｍである。

【００１４】本発明のＢ層の最大表面粗さＲ_maxと中心
線平均表面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒａは５〜１５の範囲
であり、０．１ｍｍ²当たりの山数ＳＰｃが１０個以上
であることが必要である。

【００１５】該Ｂ層のＲ_max／Ｒａが１５を超えると粗
大突起の割合が増え、フォトレジスト上にカバーフィル
ムを積層した場合に、粗大突起がフォトレジストに食い
込み、欠陥となる。またＲ_max／Ｒａが５よりも小さく
なると、フォトレジストとカバーフィルムおよび基材の
ポリエステルフィルムとカバーフィルムとの間に十分な
微小空間が形成されず、巻芯部のフォトレジストが酸欠
状態となり、自己架橋する場合がある。

【００１６】また、該Ｂ層の表面の０．１ｍｍ²当たり
の山数ＳＰｃを１０個以上、好ましくは２０個以上とす
ることにより、カバーフィルムをフォトレジストから剥
離する際に剥離むらがなくスムーズに剥離でき、フォト
レジストを傷つけることがない。０．１ｍｍ²当たりの
山数ＳＰｃが１０個未満の場合には、フォトレジストと
の剥離強度が高くなりすぎて剥離性が悪化するので好ま
しくない。

【００１７】次に、本発明のＢ層の樹脂は、２３０℃で
測定したときの溶融張力（ＭＳ）とメルトフローレイト
（ＭＦＲ）が、式（１）を満たすポリプロピレン、より
好ましくは式（２）、更に好ましくは式（３）を満たす
ポリプロピレンであることが好ましい。 ｌｏｇ（ＭＳ）＞−０．５６ｌｏｇ（ＭＦＲ）＋０．７４ ・・（１） ｌｏｇ（ＭＳ）＞−０．５６ｌｏｇ（ＭＦＲ）＋０．８４ ・・（２） ｌｏｇ（ＭＳ）＞−０．５６ｌｏｇ（ＭＦＲ）＋０．９４ ・・（３）

【００１８】ここで、２３０℃で測定したときの溶融張
力（ＭＳ）とは、東洋精機製メルトテンションテスター
を用いて、ポリプロピレンを２３０℃に加熱し、溶融ポ
リプロピレンを押出速度１５ｍｍ／分で吐出しストラン
ドとし、このストランドを６．４ｍ／分の速度で引き取
る際の張力を測定し、溶融張力（単位ｃＮ）とした。ま
た、２３０℃で測定したときのＭＦＲとは、ＪＩＳ Ｋ
６７５８に従って荷重２．１６ｋｇｆで測定されたもの
（単位ｇ／１０分）である。

【００１９】上記式の関係は、製膜前の原料チップを用
いて判定することが望ましいが、積層後のフィルムにつ
いては、Ｂ層の厚み分をカミソリで削り取った樹脂をサ
ンプルとして用い、ＭＳやＭＦＲを測定して判定するこ
ともできる。

【００２０】本発明のＢ層に用いられるポリプロピレン
は、製膜性の観点からＭＦＲは１〜２０ｇ／１０分の範
囲が好ましく、１〜１０ｇ／１０分の範囲がより好まし
い。また溶融張力については、１〜３０ｃＮの範囲が好
ましく、２〜２０ｃＮの範囲がより好ましい。溶融張力
が小さいと突起の均一性に劣り、最大表面粗さＲ_maxと
中心線平均表面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒａが大きくな
る。また０．１ｍｍ²当たりの山数ＳＰｃが少なくな
る。溶融張力が大きいほど突起の均一性が高くなりＲ
_max／Ｒａは小さくなるが、溶融張力が大きすぎると製
膜が困難になる。

【００２１】該Ｂ層の２３０℃で測定したときの溶融張
力（ＭＳ）とメルトフローレイト（ＭＦＲ）が、上記式
（１）を満たすポリプロピレンを得るには、高分子量成
分を多く含むポリプロピレンをブレンドする方法、分岐
構造を持つオリゴマーやポリマーをブレンドする方法、
特開昭６２−１２１７０４号公報に記載されているよう
にポリプロピレン分子中に長鎖分岐構造を導入する方
法、あるいは特許第２８６９６０６号公報に記載されて
いるように長鎖分岐を導入せずに溶融張力と固有粘度、
結晶化温度と融点とがそれぞれ特定の関係を満たし、か
つ沸騰キシレン抽出残率が特定の範囲にある直鎖状の結
晶性ポリプロピレンとする方法等が好ましく用いられ
る。

【００２２】ポリプロピレン分子中に長鎖分岐を導入し
て溶融張力を高めたようなポリプロピレンとして、例え
ば、サンアロマー社製ＨＭＳ−ＰＰまたは、ＢＯＬＲＥ
ＬＩＳ社製ＨＭＳ−ＰＰなどが特に好ましい。

【００２３】ポリプロピレンの長鎖分岐の程度を示す指
標として、下記式で表される分岐指数Ｇが挙げられ、分
岐指数Ｇが実質的に１より小さいものが長鎖分岐を有す
るポリプロピレンということができる。 Ｇ＝［η］_LB／［η］_Lin

【００２４】 ここで、［η］_LBは長鎖分岐を有するポリ
プロピレンの固有粘度であり、［η］_Linは長鎖分岐を
有するポリプロピレンと実質的に同一の重量平均分子量
を有する直鎖状の結晶性ポリプロピレンの固有粘度であ
る。なお、固有粘度の測定は、テトラリンに溶解した試
料について１３５℃において測定する。また重量平均分
子量は、Ｍ．Ｌ．ＭｃＣｏｎｎｅｌｌによってＡｍｅｒ
ｉｃａｎ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ，Ｍａｙ，６３−７５
（１９７８）に発表されている方法、すなわち、低角度
レーザー光散乱光度測定法で測定する。

【００２５】本発明のＢ層の表面形態は、β晶を生成さ
せたシートを延伸する方法によって得られるいわゆるク
レーター状網目構造ではなく、独立した粒状あるいはし
わ状の突起形状をとることがより好ましい。一般にポリ
エチレン等の異種ポリマーを配合したシートを延伸する
方法によっても独立した粒状突起を形成できるが、上記
式（１）を満たすポリプロピレンからなるフィルム表面
は、ポリエチレン等の異種ポリマーを配合したシートを
延伸する方法によって得られるフィルムの表面よりもさ
らに微細で突起密度が高くかつ突起のそろった表面を容
易に得ることができる。

【００２６】また、本発明のＢ層に用いられるポリプロ
ピレンは、主としてプロピレンの単独重合体からなる
が、本発明の目的を損なわない範囲で、他の不飽和炭化
水素による共重合成分などを含有してもよいし、ポリプ
ロピレン以外の重合体がブレンドされていてもよい。こ
のような共重合成分やブレンド物を構成する単量体成分
として例えばエチレン、プロピレン（共重合されたブレ
ンド物の場合）、１−ブテン、１−ペンテン、３−メチ
ルペンテン−１，３−メチルブテン−１，１−ヘキセ
ン、４−メチルペンテンー１，５−エチルヘキセン−
１，１−オクテン、１−デセン、１−ドデセン、ビニル
シクロヘキセン、スチレン、アリルベンゼン、シクロペ
ンテン、ノルボルネン、５−メチル−２−ノルボルネン
などが挙げられる。

【００２７】該Ｂ層に用いられるポリプロピレンのアイ
ソタクチックインデックス（以下ＩＩと略称する）は、
製膜性の点で９２〜９９．５％範囲が好ましい。ここで
ＩＩとはフィルムを沸騰ｎ−ヘプタンで抽出した場合
の、抽出前フィルム重量に対する不溶分の重量の割合に
より定義される。ＩＩが高すぎると二軸延伸フィルムを
製造する際、押出キャスト時の結晶性が早くて製膜が著
しく困難となる。またＩＩが小さすぎるとフィルム表面
にべたつきがでて、フォトレジストとの剥離性が悪化す
るので好ましくない。

【００２８】また、該Ｂ層に用いられるポリプロピレン
には、本発明の目的を損なわない範囲で添加剤、例えば
結晶核剤、酸化防止剤、熱安定剤、すべり剤、帯電防止
剤、ブロッキング防止剤、充填剤、粘度調整剤、着色防
止剤などを含有せしめることもできる。ただし、上記の
添加剤の添加量が過度に多くなると本発明のＢ層の特定
表面粗さを得ることが難しくなり、また、フォトレジス
トへの転写によりフォトレジストの性能悪化にもつなが
るので、好ましくない。

【００２９】本発明のポリオレフィンフィルムの長手方
向と幅方向のヤング率の和は１．５ＧＰａ以下であるこ
とが必要である。ヤング率の和が１．５ＧＰａを超える
と腰が強くなり過ぎて、フォトレジストから剥離する際
にフォトレジストにさざ波状の傷がつきやすくなるので
好ましくない。

【００３０】また、本発明のフィルムは、フィルム１枚
のトータルヘイズが１０％以上、好ましくは２０％〜６
０％の範囲が好ましい。トータルヘイズが１０％未満で
は、ＤＦＲの表層部のフォトレジストが紫外線により感
光劣化する場合があるので好ましくない。

【００３１】本発明のポリオレフィンフィルムは、上述
した特性を与えうる原料を用い、二軸延伸されることに
よって得られる。二軸延伸の方法としては、インフレー
ション同時二軸延伸法、同時二軸延伸法、逐次二軸延伸
法のいずれによっても得られるが、その中でも、製膜安
定性、厚み均一性、フィルムの表面形状を制御する点に
おいて逐次二軸延伸法により製膜されたものが好ましく
用いられる。

【００３２】本発明のフィルムの積層方法としては、任
意の方法が用いられる。中でも、２台以上の押出機を用
い一つの口金の中で合流させて溶融押出した積層シート
を二軸配向せしめる方法や、未延伸のＡ層の上にＢ層を
溶融押出でラミネートし、これを二軸配向せしめる方法
等が好ましい。

【００３３】本発明のフィルムの厚みは、２〜５０μｍ
が好ましく、より好ましくは２．５〜３０μｍ、さらに
好ましくは３〜２０μｍである。フィルムの厚みが小さ
すぎると、機械的強度や取り扱い性に劣る場合がある。
フィルムの厚みが大きすぎると均一な厚みのフィルムを
製膜することが困難になり、またフィルムの腰が強くな
り過ぎて、フォトレジストから剥離する際にフォトレジ
ストにさざ波状の傷がつきやすくなるので好ましくな
い。

【００３４】本発明のフィルムの厚み構成は、全厚みに
対するＢ層の割合は製膜性や表面形状を制御する点から
１％〜５０％であることが好ましく、５〜３０％がより
好ましい。Ｂ層の割合が大きすぎると製膜時に押出機の
吐出圧力が高くなりすぎ、製膜性が低下する場合があ
る。Ｂ層の割合が小さすぎると、最大表面粗さＲ_maxと
中心線平均表面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒａが大きくな
る。また０．１ｍｍ²当たりの山数ＳＰｃが少なくな
る。

【００３５】次に本発明のフィルムの製造方法を以下に
説明するが、必ずしもこれに限定されるものではない。

【００３６】Ａ層のポリオレフィン原料とＢ層のポリプ
ロピレン原料を別々の押出機に供給し、加熱溶融し、濾
過フィルターを通した後、２２０〜２８０℃の温度で１
台のスリット状口金から共押出し、３０〜８５℃の温度
に保たれたキャスティングドラムに巻き付けて冷却固化
せしめ、未延伸積層フィルムを作る。このときキャステ
ィングドラム温度が高すぎるとフィルムの結晶化が進行
しすぎ後の工程での延伸が困難になったり、フィルム内
にボイドができ耐絶縁破壊特性が低下する場合がある。
キャスティングドラムへの密着方法としては静電印加
法、水の表面張力を利用した密着方法、エアーナイフ
法、プレスロール法、水中キャスト法などのうちいずれ
の手法を用いてもよいが、平面性が良好でかつ表面粗さ
の制御が可能なエアーナイフ法が好ましい。

【００３７】次にこの未延伸フィルムを二軸延伸し、二
軸配向せしめる。まず未延伸フィルムを１００〜１３０
℃に保たれたロールに通して予熱し、引き続き該シート
を１１０℃〜１４０℃の温度に保ち周速差を設けたロー
ル間に通し、長手方向に２〜６倍に延伸した後、室温に
冷却する。引き続き該延伸フィルムをテンターに導い
て、１３０〜１５０℃の温度で幅方向に５〜１５倍に延
伸し、次いで幅方向に２〜２０％の弛緩を与えつつ、１
４０〜１６０℃の温度で熱固定して巻き取る。その後、
必要に応じて空気中、窒素中、炭酸ガス中あるいはこれ
らの混合気体中でコロナ放電処理を行いワインダーで巻
き取る。

【００３８】本発明における特性値の測定方法、並びに
効果の評価方法は次のとおりである。 （１）メルトフローレイト（ＭＦＲ） ＪＩＳ Ｋ６７５８に示されるポリプロピレン試験方法
（２３０℃、２．１６ｋｇｆ）に従って測定した。な
お、ポリエチレンは１９０℃、２．１６ｋｇｆで測定し
た。本発明のフィルムのポリオレフィンフィルム層（Ｂ
層）のＭＦＲを測定するには、Ｂ層をフェザーカミソリ
で削り取って測定する。

【００３９】（２）溶融張力（ＭＳ） 東洋精機製メルトテンションテスターを用いて、ポリプ
ロピレンを２３０℃（ポリエチレン１９０℃）に加熱
し、溶融ポリプロピレンを押出速度１５ｍｍ／分で吐出
してストランドとし、このストランドを６．５ｍ／分の
速度で引き取る際の張力を測定し、溶融張力（ＭＳ）と
した。本発明のフィルムのポリオレフィンフィルム層
（Ｂ層）のＭＳを測定するには、Ｂ層をフェザーカミソ
リで削り取って測定する。

【００４０】（３）アイソタクチックインデックス（Ｉ
Ｉ） 試料を１３０℃で２時間真空乾燥する。その後室温に戻
し、これから重量Ｗ（ｍｇ）の試料をとり、ソックスレ
ー抽出器に入れ沸騰ｎ−ヘプタンで１２時間抽出する。
次にこの試料を取り出し、アセトンで十分洗浄後、１３
０℃で６時間真空乾燥しその後室温で重量Ｗ’（ｍｇ）
を測定し次式で求める。 ＩＩ＝（Ｗ’／Ｗ）×１００（％）

【００４１】（４）中心線平均表面粗さＲａ、最大表面
粗さＲ_max、０．１ｍｍ²当たりの山数ＳＰｃ ＪＩＳ Ｂ０６０１に従って、触針式表面粗さ計を用い
て測定した。なお、小坂研究所（株）製、高精度薄膜段
差測定器（型式：ＥＴ−３０Ｋ）を使用し、触針径円錐
型０．５μｍＲ、荷重１６ｍｇ、カットオフは０．０８
ｍｍとした。

【００４２】この時、中心線平均表面粗さＲａは、粗さ
曲線から測定長さＬの部分を抜き取り、この抜き取部分
の中心線をＸ軸、縦方向をＹ軸とし、粗さ曲線をｙ＝ｆ
（ｘ）で表した時、次の式によって求められる値をμｍ
で表したものをいう。

【数１】

【００４３】また、最大表面粗さＲ_maxは、粗さ曲線か
ら測定長さＬの部分を抜き取った部分の最大値、最小値
を、平均線に平行な２直線で挟んだ時、この２直線の間
隔の値をμｍで表したものをいう。

【００４４】０．１ｍｍ²当たりの山数ＳＰｃは、粗さ
曲線の平均線の上下に、該平均線に平行で±０．１μｍ
だけ離れた二本のピークカウントレベルを設け、粗さ曲
線がこの下側のピークカウントレベルと交叉した後、上
側のピークカウントレベルと交叉し、さらにもう一度下
側のピークカウントレベルと交叉するまでを、１山とす
る。測定長１ｍｍで、サンプルを１０μｍずつ移動して
３０回測定して幅３００μｍの範囲を測定して山数を求
め、０．１ｍｍ²当たりの値に換算する。

【００４５】（５）ヤング率 フィルムを長手（ＭＤ）方向と幅（ＴＤ）方向にそれぞ
れ１０ｍｍ幅の短冊状に切断して、測定長を５０ｍｍと
して“テンシロン”（東洋測器（株）製）に装着し、引
張速度２０ｍｍ／ｍｉｎ、チャート速度５００ｍｍ／ｍ
ｉｎで立ち上がり曲線をチャート紙に記録させる。チャ
ート紙の基点から立ち上がり曲線に接線を引いた後、基
点より２５ｍｍの点で垂線を引き、接線と垂線の交点を
強力として読みとる。そして、ヤング率（ＧＰａ）を次
式により算出する。 ヤング率（ＧＰａ）＝［強力（ｋｇ）×試長（ｍｍ）×
チャート速度（ｍｍ／ｍｉｎ）］÷［引張速度（ｍｍ／
ｍｉｎ）×２５ｍｍ×フィルム厚み（ｍｍ）×フィルム
幅（ｍｍ）］×９．８０７×１０^-3

【００４６】（６）リサイクル性 リサイクル原料により製膜したフィルムを光学顕微鏡に
て観察し、１００ｍｍ ²当たりのゲルおよびフィッシュ
アイの個数を数えて判定する。 ○：５個未満 △：５個以上１０個未満 ×：１０個以上

【００４７】（７）剥離性 試料を２５℃のイエローランプ下でフォトレジストにラ
ミネートし、２５ｍｍ幅に切断する。その後、上記“テ
ンシロン”において引張速度５０ｍｍ／ｍｉｎで９０度
剥離し、剥離力、剥離音および試料剥離後のフォトレジ
スト表面状態から判定する。 ○：剥離がスムーズで剥離音がなく、剥離強度が０．１
Ｎ／ｃｍ以下で、フォトレジスト表面にさざ波状の傷が
ないもの。 ×：剥離がスムーズで剥離音があり、剥離強度が０．１
Ｎ／ｃｍを超え、フォトレジスト表面にさざ波状の傷が
つくもの。

【００４８】（８）ＤＦＲのフォトレジスト自己架橋状
態 基材のポリエステルフィルム上にフォトレジストを塗布
し、その上にカバーフィルムを重ねてＤＦＲとして、５
００ｍ巻き取って２５℃の雰囲気中でイエローランプ下
に６ヶ月放置後、ＤＦＲの巻心部のフォトレジスト自己
架橋状態を観察した。 ○：ＤＦＲの巻心部のフォトレジストに自己架橋がなか
った。 ×：ＤＦＲの巻心部のフォトレジストが一部自己架橋し
ていた。

【００４９】

【実施例】以下、実施例を挙げて本発明の効果をさらに
説明する。

【００５０】実施例１ 本発明のＡ層樹脂として、エチレン含有量が３重量％、
ブテン含有量が５重量％のエチレン−プロピレン−ブテ
ン共重合体７５重量％と、低密度ポリエチレン２５重量
％の混合樹脂を、Ｂ層樹脂として、ＭＦＲが２．７ｇ／
１０分、溶融張力ＭＳが２６ｃＮの長鎖分岐を有するポ
リプロピレン樹脂を別々の押出機に供給して２４０℃の
温度で溶融し、２００メッシュの濾過フィルターを通し
た後、Ｔ型３層口金を用いてＢ層／Ａ層／Ｂ層の構成で
シート状に押出成形し、６０℃の温度のキャスティング
ドラムに巻き付けて冷却固化した。次いで、該シートを
１００℃で予熱し、引き続き１２０℃の温度に保ち周速
差を設けたロール間に通し、長手方向に５倍に延伸し
た。引き続き該フィルムをテンターに導き、１３５℃の
温度で幅方向に９倍延伸し、次いで幅方向に５％の弛緩
を与えながら１５０℃で熱処理を行い、厚み構成がＢ層
／Ａ層／Ｂ層＝１μｍ／１３μｍ／１μｍの３層積層二
軸延伸ポリオレフィンフィルムを得た。また該二軸延伸
ポリオレフィンフィルムのリサイクル性評価としては、
得られたフィルムを２４０℃で再ペレタイズし、該Ａ層
原料の未使用原料に５０重量％ブレンドして再度製膜し
た。これを３回繰り返し得られたフィルムのゲルおよび
フィッシュアイを測定した。

【００５１】ＤＦＲの感光製版用フォトレジストカバー
フィルムとして評価するため、基材のポリエステルフィ
ルムにフォトレジスト層（エポキシ基を有するモノマ
ー、オリゴマーまたはポリマーとジアゾニウム塩との組
み合わせからなるもの）を塗布して乾燥し、その上に上
記で得られた本発明のフィルムを、２０℃、イエローラ
ンプ下でロール圧着してロール状に５００ｍ巻き取っ
た。

【００５２】そして、フィルム品質特性と感光製版用フ
ォトレジストカバーフィルムとしての評価を行った結果
を表１に示した。

【００５３】表から明らかなように本発明のフィルム
は、フォトレジストからの剥離性に優れたものであっ
た。また、ＤＦＲの空気流通性が良くて巻芯部のフォト
レジストの酸欠による自己架橋がなかった。さらに、リ
サイクルによるゲルおよびフィッシュアイの発生もなか
った。

【００５４】実施例２Ｂ層樹脂として、ＭＦＲが５．８
ｇ／１０分、溶融張力ＭＳが９．２ｃＮの長鎖分岐を有
するポリプロピレン原料を用いた以外は実施例１と同様
の方法で二軸延伸ポリオレフィンフィルムを得た。得ら
れたフィルムを実施例１と同様にリサイクル性を評価
し、また、実施例１と同様に得られたフィルム品質特性
と感光製版用フォトレジストカバーフィルムとしての評
フォトレジストからの剥離性に優れたものであった。ま
た、ＤＦＲの空気流通性が良くて巻芯部のフォトレジス
トの酸欠による自己架橋がなかった。さらに、リサイク
ルによるゲルおよびフィッシュアイの発生もなかった。

【００５５】実施例３ Ａ層樹脂組成を、ブテン含有量が１５重量％のプロピレ
ン−ブテン共重合体６０重量％と、直鎖状低密度ポリエ
チレン４０重量％の混合樹脂とし、Ｂ層樹脂として、Ｍ
ＦＲが９．５ｇ／１０分、溶融張力ＭＳが７．０ｃＮの
長鎖分岐を有するポリプロピレン原料を用いた以外は実
施例１と同様の方法で二軸延伸ポリオレフィンフィルム
を得た。得られたフィルムを実施例１と同様にリサイク
ル性を評価し、また、実施例１と同様に得られたフィル
ム品質特性と感光製版用フォトレジストカバーフィルム
としての評価を行った結果を表１に示した。

【００５６】表から明らかなように本発明のフィルム
は、フォトレジストからの剥離性に優れたものであっ
た。また、ＤＦＲの空気流通性が良くて巻芯部のフォト
レジストの酸欠による自己架橋がなかった。さらに、リ
サイクルによるゲルおよびフィッシュアイの発生もなか
った。

【００５７】実施例４ 実施例１のＡ層樹脂とＢ層樹脂を用いて２種２層口金で
Ａ層／Ｂ層の２層積層とした以外は、実施例１と同様に
して二軸配向ポリプロピレンフィルムを得た。得られた
フィルムを実施例１と同様にリサイクル性を評価し、ま
た、実施例１と同様に、得られたフィルム品質特性と感
光製版用フォトレジストカバーフィルムとしての評価を
行った結果を、表１に示した。

【００５８】表から明らかなように本発明のフィルム
は、フォトレジストからの剥離性に優れたものであっ
た。また、ＤＦＲの空気流通性が良くて巻芯部のフォト
レジストの酸欠による自己架橋がなかった。さらに、リ
サイクルによるゲルおよびフィッシュアイの発生もなか
った。

【００５９】比較例１ Ｂ層樹脂として、ＭＦＲ３．０ｇ／１０分、溶融張力Ｍ
Ｓ１．５ｃＮのポリプロピレン原料を用いた以外は実施
例１と同様の方法で二軸配向ポリオレフィンフィルムを
得た。得られたフィルムを実施例１と同様にリサイクル
性を評価し、また、実施例１と同様に、得られたフィル
ム品質特性と感光製版用フォトレジストカバーフィルム
としての評価を行った結果を、表１に示した。

【００６０】表から明らかなように本フィルムは、最大
表面粗さＲ_maxと中心線平均表面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒ
ａが小さく、突起密度ＳＰｃも低く、フォトレジストか
らの剥離性に劣ったものであった。また、ＤＦＲの空気
流通性が悪くて巻芯部のフォトレジストが酸欠状態とな
り自己架橋していた。リサイクルによるゲルおよびフィ
ッシュアイの発生はなかった。

【００６１】比較例２ Ｂ層樹脂として、ＭＦＲが３．７ｇ／１０分、溶融張力
ＭＳが１．３ｃＮのポリプロピレン原料を用い、８０℃
の温度のキャスティングドラムに巻き付けて冷却固化し
た以外は実施例１と同様の方法で二軸延伸ポリオレフィ
ンフィルムを得た。得られたフィルムを実施例１と同様
にリサイクル性を評価し、また、実施例１と同様に、得
られたフィルム品質特性と感光製版用フォトレジストカ
バーフィルムとしての評価を行った結果を、表１に示し
た。

【００６２】表から明らかなように本フィルムは、最大
表面粗さＲ_maxと中心線平均表面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒ
ａが大きく、フィルムの粗大突起がフォトレジストに食
い込み欠陥ができた。ＤＦＲの巻芯部のフォトレジスト
自己架橋はなく、リサイクルによるゲルおよびフィッシ
ュアイの発生はなかった。

【００６３】比較例３ Ｂ層樹脂として、エチレン含有量５％、ＭＦＲ２．３ｇ
／１０分、溶融張力ＭＳ１．２ｃＮのエチレン−ポリプ
ロピレン共重合体７０重量％、ＭＦＲが３ｇ／１０分の
高密度ポリエチレン１５重量％、ＭＦＲが６ｇ／１０分
の低密度ポリエチレン１５重量％を混合したものを用い
た以外は、実施例１と同様の方法で二軸延伸ポリオレフ
ィンフィルムを得た。得られたフィルム品質特性と感光
製版用フォトレジストカバーフィルムとしての評価を行
った結果を、表１に示した。

【００６４】表から明らかなように本フィルムは、最大
表面粗さＲ_maxと中心線平均表面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒ
ａが大きく、フィルムの粗大突起がフォトレジストに食
い込み欠陥ができた。また、ＤＦＲの巻芯部のフォトレ
ジスト自己架橋はなかったが、リサイクルによりゲルが
多発し、リサイクル性に劣るものであった。

【００６５】比較例４ Ａ層樹脂として、比較例１に用いたポリプロピレンを用
いた以外は、実施例１と同様の方法で二軸配向ポリオレ
フィンフィルムを得た。得られたフィルムを実施例１と
同様にリサイクル性を評価し、また、実施例１と同様
に、得られたフィルム品質特性と感光製版用フォトレジ
ストカバーフィルムとしての評価を行った結果を、表１
に示した。

【００６６】表から明らかなように本フィルムは、フィ
ルムのヤング率が高いために、フォトレジストから剥離
する際にフォトレジストにさざ波状の傷がつき、剥離性
に劣っていた。ＤＦＲの巻芯部のフォトレジストの酸欠
による自己架橋はなかった。また、リサイクルによるゲ
ルおよびフィッシュアイの発生もなかった。

【００６７】比較例５ チューブラー延伸法にて、ＭＦＲ６．３ｇ／１０分、溶
融張力ＭＳ１．２ｃＮの低密度ポリエチレンの二軸延伸
フィルムを得た。得られたフィルム品質特性と感光製版
用フォトレジストカバーフィルムとしての評価を行った
結果を、表１に示した。

【００６８】表から明らかなように本フィルムは、突起
密度ＳＰｃも低く、最大表面粗さＲ _maxと中心線平均表
面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒａも小さく、フォトレジスト
からの剥離性に劣ったものであった。また、ＤＦＲの空
気流通性が悪くて巻芯部のフォトレジストが酸欠状態と
なり自己架橋していた。さらに、リサイクルによりゲル
が多発し、リサイクル性に劣るものであった。

【００６９】

【表１】

【００７０】

【発明の効果】本発明の二軸延伸ポリオレフィンフィル
ムは、包装用や工業用等に各種用途に適しており、特に
感光製版用フォトレジストカバーフィルムとして好適で
あり、優れたフォトレジストからの剥離性を有し、ＤＦ
Ｒとしたときの巻芯部のフォトレジストの自己架橋を防
止することができ、かつリサイクル性にも優れている。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H025 AA16 AB11 DA01 EA08 4F100 AK03A AK03B AK03C AK64B AK64C AK67B AK67C AK80B AK80C BA02 BA03 BA10B BA10C DD07B DD07C EJ38A GB15 JA06B JA06C JK02B JK02C JK06 JK07 JK15B JK15C YY00 YY00B YY00C

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 二軸延伸ポリオレフィンフィルム（Ａ
   層）の少なくとも片面に、最大表面粗さＲ_maxと中心線
   平均表面粗さＲａの比Ｒ_max／Ｒａが５〜１５の範囲に
   あり、表面における０．１ｍｍ²当たりの山数ＳＰｃが
   １０個以上であるポリオレフィンフィルム（Ｂ層）を積
   層したフィルムであって、かつ、フィルムの長手方向と
   幅方向のヤング率の和が１．５ＧＰａ以下であることを
   特徴とするポリオレフィンフィルム。
2. 【請求項２】 Ｂ層に用いられるポリオレフィン樹脂
   が、２３０℃で測定したときの溶融張力（ＭＳ）とメル
   トフローレイト（ＭＦＲ）が、 ｌｏｇ（ＭＳ）＞−０．５６ｌｏｇ（ＭＦＲ）＋０．７４・・・（１） なる関係式を満たすポリプロピレンからなる請求項１に
   記載のポリオレフィンフィルム。
3. 【請求項３】 Ａ層に用いられるポリオレフィンが、エ
   チレン−プロピレン共重合体、エチレン−プロピレン−
   ブテン共重合体、プロピレン−ブテン共重合体から選ば
   れた少なくとも１種以上の樹脂である請求項１または２
   に記載のポリオレフィンフィルム。
4. 【請求項４】 Ａ層の両面にＢ層が積層された請求項１
   〜３のいずれかに記載のポリオレフィンフィルム。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載のポリオ
   レフィンフィルムからなる感光製版用フォトレジストカ
   バーフィルム。