JPH04360049A

JPH04360049A - 光磁気ディスク駆動装置用薄膜磁気ヘッド及びその製　　　　　　　　　　　　造方法

Info

Publication number: JPH04360049A
Application number: JP3330472A
Authority: JP
Inventors: Christopher Smith; クリストファ・スミス
Original assignee: Sony Corp of America
Current assignee: Sony Corp of America
Priority date: 1990-12-27
Filing date: 1991-12-13
Publication date: 1992-12-14
Also published as: DE69132614D1; EP0742557A3; DE69132614T2; EP0492888A3; EP0742557A2; EP0492888A2; US5402293A; EP0742557B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、広い意味では、光磁気
ディスク駆動装置に使用する磁気記録ヘッドに関し、詳
しくは薄膜磁気記録ヘッドの改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光磁気（ＭＯ）ディスク駆動装置は現在
、書直し可能の大容量記憶装置として使用されている。この装置は、磁気層により反射されるレーザ光線が、反
射点における磁気層の極性により、２つの反対方向のう
ちの一方に偏向されることを利用するものである。情報
は、磁気層の一部分（情報の１ビットに対応する。）を
該層の材料のキュリー点以上に加熱して磁界の中で冷却
し、磁気層の所望部分に該磁界の方向を取らせることに
よって書込む。一方の極性は「０」に、これと反対の極
性は「１」に対応し、情報は２進コードで書込まれる。磁気層としては、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ非結晶膜が一般的で
ある。

【０００３】しかし、従来のＭＯディスク駆動装置の大
きな欠点は、既存情報に直接重ね書きできないため書込
み時間が長くなることである。この問題は主として、軸
方向に垂直な方向に分極された正方形の棒磁石によって
磁界を加えるために起きている。極性を逆にするには、
磁石を１８０°回転しなければならない。これには、一
般に約１２ミリ秒の時間がかかる。５ＭＨｚのレーザパ
ルス周波数は珍しいことではないが、磁石の回転に要す
る時間は書込み速度に限界を与える、すなわち、実際に
直接重ね書きをする速度が遅すぎることになる。

【０００４】したがって、重ね書きは現在、まず加熱に
より全トラックを消去し、これを一方向に全ビットを分
極する磁界中で冷却したのち、磁石を回転して逆極性に
すべきビットのみをレーザパルスで加熱するのが、普通
である。

【０００５】この理由により、直接重ね書きをするには
、磁界の切替え速度を早くする必要がある。かかる提案
の１つとして、光データ記憶に関する会議のダイジェス
ト１９９０年号１６８〜１７１頁に、山上らによる「磁
界変調及びレーザパルス照射による高密度光磁気記録」
なる論文が記載されている。

【０００６】この論文において、著者は、直接重ね書き
用の薄膜磁気ヘッドの使用について述べている。このヘ
ッドは、Ｎｉ−Ｚｎフェライト基板上に薄膜層を施して
作られる。このようなヘッドはまた、光メモリ・シンポ
ジウム（東京１９８８年）の議事録４７頁の渡辺らによ
る論文にも記載されている。

【０００７】山上らが使用したレーザの波長は７５０ｎ
ｍで、対物レンズのＮ．Ａ．は０．５３であった。これ
によって生じるスポットは、直径約１ミクロンである。もっと波長の短いレーザが使えるようになれば、スポッ
トの大きさも小さくなる。

【０００８】山上らが指摘したように、直接重ね書き用
の磁気ヘッドは、２０ＭＨｚまで均一な抵抗をもつと共
に±１５０Ｏｅに及ぶ広範囲の磁界強度をもたねばなら
ない。この磁界の強さは、この技術の記録層を変化させ
うるほぼ最小の強さである。図１に、従来の重ね書き用
薄膜光磁気記録ヘッドを示す。薄膜磁気ヘッド１００は
、Ｎｉ−Ｚｎフェライト基板１０と複数の巻線をもつ導
電材料の連続コイル１４とより成る。該コイル１４は、
図示のように基板１０の上平面１６の上に位置し、薄膜
技法により例えば上平面１６の上に導電材料の層を被着
したのち、従来の写真石版技法を用いて連続コイルのパ
ターンを食刻することにより形成する。

【０００９】コイル１４に電流を供給し、上記基板面及
びコイル１４を流れる電流路に垂直な磁界２０を作る。磁界の方向を急速に変えるため、コイル１４を流れる電
流を電気的に切替える。したがって、棒磁石を用いるＭ
Ｏ駆動装置によるよりも早い速度で、上記ヘッドを直接
重ね書きに使用できる。山上らは、１５Ｍｐｓのバース
ト・トランスファ・レートを報告している。

【００１０】しかし、この薄膜磁気ヘッドは１つの改良
であるが、なお幾つかの欠点がある。第１は、ヘッドを
ＭＯディスクに比較的近接して保持しなければならない
ことである。上述した棒磁石は非常に強いので、該ディ
スクから約０．５ｍｍ離して置くのが普通である。この
例でも、磁界は約２５０Ｏｅで、これは０．３ｍｍにも
なる通常のディスク上下動に対して十分である。これに
対し、山上らの薄膜ヘッドは０．１ｍｍすなわち１００
ミクロンの距離で１５０Ｏｅの磁界を発生する。これは
、一部ヘッドに磁束の漏洩があるためである。したがっ
てディスクにおける磁界の強さが書込みに十分となるよ
うに、磁気ヘッドを記録層から０．１ｍｍ以内に保持し
なければならない。これを達成するには、ヘッドをディ
スクと共に移動しなければならない。更に、そんなに近
接させると、ヘッドがディスクに接触する危険が生じる
。

【００１１】山上らの薄膜コイル磁気ヘッドのもう１つ
の欠点は、電流の周波数が２０ＭＨｚを越えると、その
インピーダンスが交流抵抗を急速に増大させることであ
る。これは、かかる薄膜ヘッドで達成しうる重ね書きの
速度に対しもう１つの制限を課すことになる。

【００１２】山上らの薄膜ヘッドの更に他の欠点は、電
流を絶えずコイルに流すことであり、そのためヘッドが
高温となってヘッドの使用年数を縮めている。

【００１３】山上らの薄膜ヘッドを改良したものが実願
平１−１３６４１６号に記載されており、これは、互い
に重ね合せた長い２つのコイルを使用するもので、一方
のコイルの巻線は時計方向に走り、他方のコイルの巻線
は反時計方向に走っている。この構成は、コイルが１つ
のヘッドの問題点を幾らか解決しているが、なお磁束の
漏洩及び熱の放散の問題が残る。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
課題は、ディスクとヘッドの間隔を増し双方が接触する
危険をできるだけ少なくした光磁気記録ヘッドを提供す
ることである。

【００１５】本発明のもう１つの課題は、ヘッドにおけ
る磁束の漏洩をできるだけ少なくし、それによって磁界
発生用の電流を減らし、或いは与えられた大きさの電流
でより強い磁界を発生する手段を有する光磁気記録ヘッ
ドを提供することである。

【００１６】本発明の他の課題は、データ記録速度を早
めるために磁界をもっと急速に切替えうる光磁気記録ヘ
ッドを提供することである。

【００１７】本発明の別の課題は、熱の放散性能が向上
した光磁気記録ヘッドを提供することである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
、次のような構成要素を有しデータを光磁気媒体に光学
的に記録するのに使用しうる薄膜磁気ヘッドによって解
決した。

【００１９】平坦な面及び該面より上方に該面とほぼ垂
直に伸びる磁極片をもつ磁気基板、並びに上記磁極片の
周りに位置し互いに絶縁材料で隔離された複数の連続巻
線をそれぞれ有する、導電材料の複数の薄膜連続コイル
。

【００２０】本発明の好適な実施例では、磁気基板の平
坦な面の上に、一方の磁極片の周りに２つのコイルを取
付ける環状の凹部を設ける。コイルを重ねた厚さは、上
記一方の磁極片の高さ及び環状の凹部の深さとほぼ等し
い。

【００２１】本明細書に述べる特徴や利点はすべてを含
むものではなく、その他の特徴や利点は、図面、明細書
及び特許請求の範囲を見ることにより当業者には明らか
となるであろう。

【００２２】

【実施例】以下、図面により本発明を具体的に説明する
。図２は、本発明の薄膜磁気ヘッドの第１実施例を示す
断面図である。同図に、熱磁気記録法を用いて光磁気記
録媒体にデータを重ね書きするのに使用しうる薄膜磁気
ヘッド２００を示す。この薄膜磁気ヘッド２００は、磁
気ヘッドと光線集束用光学レンズとを記録媒体の両側に
配置して記録する装置のために設計してある。該磁気ヘ
ッド２００は、写真石版薄膜技法を用いて製作する。該磁気ヘッドは、ニッケル・亜鉛フェライトのようなフ
ェライト基板２１０と、薄膜写真石版技法を用いて形成
した１つの連続導電コイル２１４とを有する点において
、図１の連続コイル薄膜磁気ヘッド１００と類似してい
る。

【００２３】しかし、上記ヘッド２００は、基板２１０
に凹部又は溝２１６を有し、この凹部２１６に、上記コ
イル２１４と、絶縁層２１７で上記コイル２１４から隔
離したもう１つのコイル２１５とを配置する。凹部２１
６の外側溝壁２１８は、直立した外側の環状磁極片２１
３を形成する。凹部２１６の中心には、基板の平坦な面
に直立する中心磁極片２１２がある。２つのコイル２１
４及び２１５は、該中心磁極片２１２の周りに位置し、
それぞれコイル全体の高さＨＣの１／２の高さを有する
。中心磁極片２１２及び外側の磁極片２１３は、同じ高
さである必要はないが、図示の例では同じ高さＨＰを有
する。また、両磁極片２１２，２１３の高さＨＰは、コ
イル２１４，２１５を重ねた高さＨＣにほぼ等しいか又
はこれより大きくするのがよい。図示の例では、ＨＰは
ＨＣに等しい。

【００２４】図１の薄膜ヘッド１００と同様、上記ヘッ
ド２００の厚さも３ｍｍ程度である。その厚さの大部分
は基板が占めており、コイルは、約１ミクロンの厚さで
最大約１／２アンペアの電流を流すことができる。

【００２５】コイル２１４，２１５を中心磁極片２１２
の周りに配し、外側の環状磁極片２１３で囲み、各磁極
片の高さをコイル２１４，２１５を重ねた高さＨＣとほ
ぼ等しいか又はこれより大きくすることにより、磁束の
帰路は、２ＨＰ、すなわち磁極片２１２の高さと磁極片
２１３の高さとの和（これは、２ＨＣに等しいか又はこ
れより大きい。）だけ距離が短くなる。これにより磁束
漏洩の問題が軽減され、したがって、図１の磁気ヘッド
１００のように内側の磁極片２１２をもたないヘッドを
通る磁束とほぼ同じ強さの磁界２２０を発生するのに、
コイル２１４又は２１５に供給する電流を小さくするこ
とができる。

【００２６】２つのコイル２１４及び２１５を中心磁極
片２１２の周りに形成するので、凹部２１６は、両コイ
ル２１４，２１５及び中心磁極片２１２を収容するのに
十分な大きさでなければならない。説明の都合上、コイ
ル２１４，２１５の巻線間隔を大きく誇張してある。実
際は、巻線は近接している。

【００２７】好適な実施例では、磁極片２１２，２１３
を含む基板２１０は、磁気的に「軟性」（すなわち、エ
ネルギ損失、残留磁束密度、保磁力、残留磁気が少ない
低ヒステリシス）であり、関心のある動作範囲（例えば
１〜２０ＭＨｚ）においてＡＣ透磁率が大きく、また飽
和磁束密度及びキュリー温度が高く、熱膨張係数が小さ
い磁性材料で製作する。

【００２８】コイル２１４及び２１５は、高導電率、動
作範囲における低インダクタンス、低熱膨張係数をもつ
導電材料で作る。好適な例では、コイルは銅で作る。

【００２９】図３は、図２の磁気ヘッドの使用状態を示
す説明図である。同図に示すように、図２の２重コイル
磁気ヘッド２００は、記録ディスク５０のレーザ光線５
４の発生源及び集束レンズ５２とは互いに反対の側で使
用する。データは、集束されたレーザ光線５４ａを介し
てディスク５０に熱を加え、磁気記録層５１の温度をキ
ュリー温度まで上げる熱磁気記録法により、記録ディス
ク５０の記録層５１に記録する。磁気ヘッド２００の磁
界２２０は、記録層５１の磁石粒子を磁界２２０の方向
と同じ方向に向ける。加熱された記録層は次いで冷却さ
れ（多分、書込みでなく読取りに用い、またトラッキン
グにも用いる低出力レーザにより）、記録層５１の磁石
粒子は磁界の方向を保持する。ディスクの保磁力（粒子
の方向を変えるに要する磁界の強さ）は、室温で高くキ
ュリー温度でゼロに近づく。こうして、磁気ヘッド２０
０及びレーザ光線５４は、ディスク５０に記憶させるデ
ータビットの状態を決めるのに使用される。レーザ光線
５４は、上記ヘッド２００に供給する電気パルスに合せ
てパルスとしてもよく（パルス照射記録法）、或いは連
続としてもよい（連続波記録法）。

【００３０】磁界２２０は、所望の磁界の方向に応じて
、実際には「０」又は「１」のどちらを書込むかにより
、コイル２１４又は２１５の一方に電流を流して作る。磁界２２０は、コイル２１４又は２１５を通じる電流路
にほぼ垂直である。

【００３１】好適な実施例では、コイルの巻線は互いに
逆方向に、すなわち、一方のコイルは時計方向に他方の
コイルは反時計方向に走る。これにより、一方のコイル
の磁界方向が他方のコイルの磁界方向の逆となり、ただ
１つの電圧源で両コイルを交互に作動させることができ
る。

【００３２】磁界２２０は、磁気ヘッド２００の中央部
で最も強く、特に中心磁極の中が強い。したがって、レ
ーザ光線５４は、中心磁極と対向するディスク部分に集
束する。

【００３３】上述のように、コイル２１４，２１５を重
ねた高さとほぼ等しいか又はこれより大きい高さをもつ
中心磁極２１２の周りにコイル２１４，２１５を配置す
ることにより、磁界２２０の磁束は、磁極間のより短い
磁路を通るので、上記ヘッド２００の中央部で一層集中
する。（したがって、図１に示した従来の磁気ヘッド１
００のように内部磁極２１２のないヘッドを通る磁束と
ほぼ同じ強さの磁界２２０を発生するのに、コイル２１
４又は２１５に供給する電流を減らすことができる。

【００３４】上記２重コイル磁気ヘッド２００のもう１
つの利点は、発生する熱が少ないことである。従来ヘッ
ド１００では、所望の磁界方向に応じて一方向又は他方
向に、すなわち殆ど常時電流を流している。そのため、
コイルが非常に高温になり、使用寿命を縮めている。し
かし、本発明では、各コイルがほぼ半分の時間だけ作動
するので、それを流れる全体の電流も約半分になる。し
たがって、各コイルは比較的低温に維持される。また、
コイルは不動作のとき、幾らか冷却作用がある。更に、
中心及び外側の磁極片により基板の容積が増大するので
、コイルからの熱を受取って放散するのに役立つ。よっ
て、本発明は、磁気ヘッドの動作温度を下げ、熱放散性
能を大きくすることにより、使用寿命を伸ばすようにし
ている。

【００３５】コイル２１４，２１５への電流は、ただオ
ン、オフするだけで、図１の従来ヘッド１００のように
方向を逆転する必要がないので、コイルのインピーダン
スは、コイルが１つだけのときのように大きな交流電流
抵抗を生じない。したがって、２つのコイルの磁界の切
替えは、単一コイルにおいて磁界を反転しうる速度に制
限されない。よって、磁界の方向を従来技術より早い速
度で切替えることが可能となる。

【００３６】図４は、図２の薄膜２重コイル磁気ヘッド
の変形例を示す断面図である。図５は、図４の磁気ヘッ
ドの使用状態を示す説明図である。これらの図に示す変
形薄膜磁気ヘッド３００は、該ヘッド３００、集束レン
ズ５２、レーザ光線５４の発生源をディスク５０の同じ
側に配置して使用するものである。この変形磁気ヘッド
３００は上記ヘッド２００と類似するので、対応する部
分に類似の符号を付してある。ただ、その中心磁極片３
１２に基板３１０まで貫通する垂直な孔３２２がある。この孔３２２により、集束されたレーザ光線５４ａを磁
気ヘッド３００の中心を通って記録ディスク５０に到達
させ、記録層５１をキュリー温度に加熱することができ
る。

【００３７】図６は、本発明の薄膜磁気ヘッドの第２実
施例を示す断面図である。図７は、該第２実施例の斜視
図である。これらの図に示す２重コイル磁気ヘッド４０
０は上記ヘッド２００に類似するので、対応する部分に
類似の符号を付してある。この２重コイル磁気ヘッド４
００は、上記の中心磁極磁気ヘッド２００又は中心孔磁
気ヘッド３００のどちらかと同じように構成しうる。こ
の実施例では、ただ、下側のコイル４１４は、巻線が上
側のコイル４１５より多く、そのため、中心磁極片４１
２から半径方向に上側コイルより遠くに広がっている。上述のように、コイル４１４と４１５とは、絶縁層４１
７により分離され、凹部４１６内において中心磁極片４
１２の周りに配置される。

【００３８】下側コイル４１４の巻線が多いのは、同じ
電流で発生される磁界を上側コイル４１５が発生する磁
界より大きくし、下側コイル４１４の位置が上側コイル
４１５に比べ記録層５１より遠いことを補償するためで
ある。上述のように、好適な実施例では、コイルを互い
に逆方向に巻回して、コイルの磁界が逆になり単一電圧
源によりどちらか一方のコイルを作動すればよいように
している。

【００３９】コイルをオン、オフするために、４つの直
線状薄膜導電バス４２４ａ〜４２４ｄをコイル４１４，
４１５に接続する。これらのバスは、対応する導電パッ
ド４２６ａ〜４２６ｄに電圧を加えて付勢する。図示の
例では、直線状バス４２４ａ〜４２４ｄが凹部４１６を
４等分している。バス４２４ａは、上側コイル４１５及
び下側コイル４１４両方の一番内側の巻線に接触し、両
コイルを一緒に接続する。バス４２４ｃは、上側コイル
４１５の周囲に接触する。バス４２４ｂは下側コイル４
１４の周囲に接触し、バス４２４ｄは、下側コイルの中
心磁極片４１２から上側コイル４１５の周囲と同じだけ
離れた内部の巻線に接触する。

【００４０】適当なバスに電圧を加えることにより、コ
イルをオン、オフする。すなわち、上側コイル４１５を
オンするには、バス４２４ａと４２４ｃ間に電圧を加え
る。下側コイル４１４全体をオンするには、バス４２４
ａと４２４ｂ間に電圧を加える。下側コイル４１４の上
側コイル４１５と同じ大きさの部分のみをオンしたい場
合は、バス４２４ａと４２４ｄ間に電圧を加える。バス
４２４ｂの代わりに４２４ｄを用いることにより、下側
コイル４１４の中央巻線のみ作動し、接触点を過ぎた残
りの外側巻線は短絡される。

【００４１】図８〜１７は、それぞれ図２の実施例の製
造工程を示す断面図である。これらの図は、薄膜磁気ヘ
ッド２００を製造する際の工程の幾つかを示す（上記ヘ
ッド３００及び４００の製造にも類似の工程を使用する
。）ものである。図８〜１１において、ニッケル・亜鉛
基板２１０にフォトレジスト２３０の層を被着するのに
、通常の写真石版技法を用いる。フォトレジスト２３０
は、凹部２１６及び中心磁極２１２のパターンに対応す
るパターンをもつ磁極パターンマスク２３２を通して露
光する（図１０）。未露光フォトレジスト２３０を除去
し、基板２１０の露光部分を予め選択した深さに食刻し
、基板２１０の凹部２１６（したがって溝壁２１８）、
内側の磁極片２１２及び外側の磁極片２１３を作る（図
１２）。それから、残ったフォトレジスト２３０を除去
する（図１３）。

【００４２】内側の磁極２１２、外側の磁極２１３及び
溝壁２１８を作ったのち、ＨＣ／２の厚さをもつ導電材
料２４０、例えば銅の層を基板２１０全体に被着する（
図１４）。フォトレジスト２４２の層を基板全体に被着
し、コイル２１４のコイル巻線に対応するパターンをも
つマスク２４４を通して露光する（図１５）。フォトレ
ジスト２４２の層の未露光部分を除去し、連続コイル２
１４の巻線間の間隔に対応する開口部２４６を作る（図
１６）。それから、導電層２４０を開口部２４６を通し
て食刻し、コイル２１４を形成する。このとき、基板最
上部の銅も食刻して除去する。そして、残りのフォトレ
ジストを除去し、図１７に示すような下側コイル２１４
が形成されたヘッドを残す。

【００４３】窒化シリコンのような絶縁材料を基板全体
に被着して、絶縁層２１７を作る。（図面には、下側コ
イル２１４の巻線上にのみ絶縁層を示したが、絶縁材料
を被着するとき、絶縁材料は多少巻線間の間隙をも埋め
る。しかし、巻線は図面に示すよりもっと接近している
ことを繰返しておく。）図１３〜１７に示す工程を繰返
して上側コイル２１５を作り、図２に示す磁気ヘッドと
する。

【００４４】磁気ヘッド４００が２つのコイル２１４，
２１５より多いコイルをもつ場合、追加するコイルとコ
イル間の絶縁層は、上述と類似の写真石版技法を用いて
形成する。

【００４５】コイルが異なる半径を有する図７の実施例
では、直線状バスを中間の工程で形成する。例えば、下
部コイル２１４の外側部分を短絡するのに用いるバス４
２４ｄを絶縁層内に収容する。すなわち、絶縁層の一部
分を被着して所望の箇所に凹みを作り、コイル形成と同
じ技法によりバスを作った後、残りの絶縁層を被着する
。そうすると、バスは所望の接続点を除きコイルと絶縁
される。他のバスも、同様に形成する。

【００４６】上述の工程は、本発明による光磁気ヘッド
の製法の一例を示したにすぎず、他の方法によってもよ
いことは勿論である。

【００４７】本発明は、上述の実施例に限らず、特許請
求の範囲内において種々の変形、変更をしうるものであ
る。例えば、コイルは、円形でなくてもよく、楕円形又
は４角形でもよい。コイルや巻線の数は上述と異なって
もよく、上述の要件に合うものであれば他の材料を用い
てもよい。上述のようなヘッド構造が得られるならば、
他の写真石版技法を使用してもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
次のような顕著な効果を達成することができる。（１）　　従来の重ね書き用薄膜磁気ヘッドに比べ磁束
の漏洩が少なく、そのため、同じ電流でより強い磁界を
発生することができる。（２）　　したがって、磁気ヘッドとディスクの間隔を
あけ双方が接触する危険を少なくすることができる。（３）　　磁界を急速に切替えうるので、データ記録速
度を増すことができ、重ね書きに好適である。（４）　　２つのコイルに交互に電流を流すので、温度
の上昇を抑え、ヘッドの寿命を伸ばすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の重ね書き用薄膜磁気ヘッドを示す略図で
ある。

【図２】本発明の薄膜磁気ヘッドの第１実施例を示す断
面図である。

【図３】図２の磁気ヘッドの使用状態を示す説明図であ
る。

【図４】図２の磁気ヘッドの変形例を示す断面図である
。

【図５】図４の磁気ヘッドの使用状態を示す説明図であ
る。

【図６】本発明の薄膜磁気ヘッドの第２実施例を示す断
面図である。

【図７】図６の磁気ヘッドの斜視図である。

【図８】図２の磁気ヘッドの製造方法の例を示す工程図
（ａ）である。

【図９】同じく工程図（ｂ）である。

【図１０】同じく工程図（ｃ）である。

【図１１】同じく工程図（ｄ）である。

【図１２】同じく工程図（ｅ）である。

【図１３】同じく工程図（ｆ）である。

【図１４】同じく工程図（ｇ）である。

【図１５】同じく工程図（ｈ）である。

【図１６】同じく工程図（ｉ）である。

【図１７】同じく工程図（ｊ）である。

【符号の説明】

２００，３００，４００　　薄膜磁気ヘッド２１０，３
１０，４１０　　磁気基板２１２，３１２，４１２　　（中心）磁極片２１４，２
１５，３１４，３１５，４１４，４１５　　薄膜連続コ
イル２１６，３１６，４１６　　凹部２１７，４１７　　絶縁層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　磁気記録媒体にデータを光学的に記録
するために使用できる薄膜磁気ヘッドであって、平坦な
面及び該面より上方に該面とほぼ垂直に伸びる磁極片を
もつ磁気基板と、上記磁極片の周りに位置し互いに絶縁
材料で隔離された複数の連続巻線をそれぞれ有する、導
電材料より成る複数の薄膜連続コイルとを具えた薄膜磁
気ヘッド。
【請求項２】　　上記磁気基板の平坦な面は、上記磁極
片の周りに上記コイルを配置する環状凹部を有する請求
項１の薄膜磁気ヘッド。
【請求項３】　　上記環状凹部の深さは、上記磁極片の
高さにほぼ等しい請求項２の薄膜磁気ヘッド。
【請求項４】　　上記コイルを重ね合せた厚さは、上記
磁極片の高さ及び上記環状凹部の深さにほぼ等しい請求
項３の薄膜磁気ヘッド。
【請求項５】　　上記磁気基板及び上記磁極片は、これ
らを貫通する連続孔を有する請求項１の薄膜磁気ヘッド
。
【請求項６】　　上記磁気基板がフェライトより成る請
求項１の薄膜磁気ヘッド。
【請求項７】　　上記磁気基板は、ニッケル、亜鉛フェ
ライトより成る請求項６の薄膜磁気ヘッド。
【請求項８】　　上記コイルの導電材料が銅である請求
項１の薄膜磁気ヘッド。
【請求項９】　　磁気記録媒体にデータを光学的に記録
するために使用できる薄膜磁気ヘッドの製造方法であっ
て、平坦な面をもつ磁気基板を作ること、上記磁気基板
の平坦な面の上に、該面に対し垂直に伸び互いに同軸の
中心磁極片及び環状磁極片を作ること、上記中心磁極片
の周りに導電材料のコイルを連続らせん路の形に形成す
ることの各工程を有する薄膜磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１０】　　上記磁極片を作る工程は更に、上記
磁気基板に凹部を食刻することを含み、上記コイルを形
成する工程は更に、上記凹部に導電材料の層を被着する
ことを含む請求項９の方法。
【請求項１１】　　上記磁極片を作る工程は更に、上記
磁気基板の一部を上記平坦な面より上方垂直方向に予め
選定した高さまで伸びた状態にすることを含む請求項９
の方法。
【請求項１２】　　上記凹部の深さ、上記磁極片の高さ
及び上記導電層の厚さをほぼ等しく作る請求項１０の方
法。
【請求項１３】　　上記磁気基板及び上記磁極片がフェ
ライト材料より成る請求項９の方法。
【請求項１４】　　上記導電材料が銅である請求項９の
方法。
【請求項１５】　　上記磁極片を作る工程は更に、上記
中心磁極片に上記磁気基板の平坦な面に垂直な孔を作る
ことを含む請求項９の方法。
【請求項１６】　　上記磁気基板及び上記磁極片がフェ
ライト材料より成る請求項１１の方法。
【請求項１７】　　磁気記録媒体にデータを光学的に記
録するために使用できる薄膜磁気ヘッドであって、平坦
な面、該面より上方に該面とほぼ垂直に伸びる磁極片、
及び上記磁極片を中心とする環状凹部をもつ磁気基板と
、上記環状凹部内で上記磁極片の周りに位置する複数の
連続巻線を有する、導電材料より成る薄膜連続コイルと
を具えた薄膜磁気ヘッド。