JPH04343485A - 半導体ペレット選別装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業業上の利用分野】本発明は、有機樹脂シート上に
貼着された状態で供給される半導体ペレットを、光学的
および電気的特性の階級に応じて選別する半導体ペレッ
ト選別装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、発光ダイオード、フォトダイオ
ード、フォトトランジスタなどの半導体ペレットは、同
一エピタキシャルウエハ（以下エピウエハとする）のも
のでも光学的および電気的特性に大幅なバラつきが生じ
る。そこで通常は個々の半導体ペレットに分離しないが
電気的に絶縁された状態になるようエピウエハに切込み
を入れ、個々の半導体ペレットになるであろう全ての箇
所の光学的および電気的特性を測定する。その後、切込
みを入れられたエピウエハは切込みのとおり分割され半
導体ペレットとなり、前記測定結果に基づいた選別を行
う。

【０００３】通常、前記選別工程において、半導体ペレ
ットの特性を測定する装置には、エピウエハを固定する
機構部と、エピウエハを水平方向および垂直方向に移動
させる機構部と、半導体ペレットに分離される以前のエ
ピウエハに対して光学的および電気的特性を測定する測
定機構部とを備えた特性測定装置（ウエハプローバー）
が利用されている。

【０００４】これまで、前記特性測定装置（ウエハプロ
ーバー）を利用した選別方法は、次の二つに大別できる
。

【０００５】その一つは、電気的に絶縁されてはいるが
個々の半導体ペレットに分割されていないエピウエハの
特性をウエハプローバーで測定し、測定値が予め設定し
ておいた許容範囲内であれば良品とみなし、許容範囲外
であれば不良品として塗料または樹脂等で該当箇所に印
を付ける。そして、良品については個々の半導体ペレッ
トに分離する工程等を通過した後に樹脂加工または組立
工程に送り、そこで、製品化のための樹脂加工または組
立を行い、樹脂加工または組立の済んだものに対して、
所定の性能試験を実施して最終選別をする。

【０００６】他の一つは、前記ウエハプローバーで測定
した半導体ペレットに分割する以前でかつ電気的に絶縁
されたエピウエハの各半導体ペレットの位置および特性
をマップとして表示させる。次いで前記エピウエハを有
機樹脂シート上に貼着させ個々の半導体ペレットに分割
する。樹脂加工または組立工程で作業者は前記特性マッ
プと有機樹脂シート上の各半導体ペレットとを目視にて
対照させながら、作業者の手入力等で機器にデータを入
力し、特性値の大小に応じた複数の階級に選別しながら
製品化し必要に応じて所定の性能試験を実施して最終選
別をする。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来例とし
て前述したウエハプローバーによる特性測定は電気的に
絶縁されたエピウエハの特性を測定した場合と各々の半
導体ペレットに分割して特性を測定した場合とで特性値
が一致しない問題やエピウエハが一般に薄く割れやすい
ためウエハプローバーにエピウエハを貼着する際に破損
等の問題があった。また、前述した２つの選別方法のう
ち、前者は特性測定後の工程も多数有り、かつ二度以上
の選別が必要となる。後者は半導体ペレットをウエハプ
ローバーで得られたマップを基にその特性値に応じて必
要な階級毎に管理することはできるが、作業者が手入力
等で機器にデータを入力することやマップと粘着テープ
上の半導体ペレットを対比させることが困難であるため
必要としている特性階級に他の特性階級が混入してしま
う問題があった。その結果、樹脂加工または組立に供給
される良品が有機シート上に散在する状態となるため、
樹脂加工または組立を行うダイボンダー等の稼働効率の
低下や生産性の低下を招くという問題や製品歩留まりの
低下や狭い特性の半導体ペレットが得にくいことや製品
コストの高額化を招くという問題があった。

【０００８】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、半導体ペレットを製品化する際の製品歩留りの向上
を図ると同時に特性を測定する際の作業を簡略化するこ
とで生産性の向上を図り、狭い特性の半導体ペレットを
効率よく得ることや必要としている特性階級への他の特
性階級の混入を防止することができ、更に省力化により
製品コストの低減を促進させることのできる半導体ペレ
ット選別装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の半導体
ペレット選別装置は、有機樹脂シート上に貼着された状
態で供給される半導体ペレットを光学的および電気的特
性の階級に応じて選別し、階級毎に分類載置するもので
ある。

【００１０】具体的な手段としては、光学的および電気
的特性を測定すべき半導体ペレットを有機樹脂シート上
から分離させるペレット分離部と、半導体ペレットの光
学的および電気的特性を測定し、その測定結果から半導
体ペレットの階級を判別し、測定および判別結果を出力
する特性測定部と、半導体ペレットを分類載置する複数
のペレット載置パレットを備えたペレット載置部と、前
記ペレット分離部で分離された半導体ペレットを特性測
定部上の所定の位置に送る第１の移送機構部と、前記特
性測定部で特性の測定が終了した半導体ペレットを前記
ペレット載置部の所定のペレット載置パレットに送る第
２の移送機構部と、当該装置の各部の動作を制御する制
御部とを備える。

【００１１】また、前記制御部は、前記特性測定部が測
定結果から判別した階級毎に前記ペレット載置パレット
上での載置位置を算出し、この載置位置と前記特性測定
部の測定結果とを記録する機能を備える。

【００１２】さらに、前記ペレット載置部および第２の
移送機構部は、前記制御部が求めた載置位置に基づいて
、測定処理後の半導体ペレットを分類載置する。

【００１３】請求項２に記載の半導体ペレット選別装置
は、請求項１に記載した半導体ペレットが発光ダイオー
ドペレットである場合のもので、前記特性測定部には、
光学的特性の測定時に前記半導体ペレットの周囲を覆っ
て外乱を防止する枠体とこの枠体内の半導体ペレットの
発光面に対向する位置に装備された受光体と、前記半導
体ペレットの電極に電気的に接触する電気的特性測定部
とが装備される。

【００１４】請求項３に記載の半導体ペレット選別装置
は、請求項１に記載した半導体ペレットがフォトダイオ
ードペレットまたはフォトトランジスタペレットである
場合のもので、前記特性測定部には、光学的特性の測定
時に前記半導体ペレットの周囲を覆って外光による外乱
を防止する枠体と、この枠体内の半導体ペレットの受光
面に対向する位置に装備された発光体と、前記半導体ペ
レットの電極に電気的に接触する電気的特性測定部とが
装備される。

【００１５】

【作用】本発明に係わる半導体ペレット選別装置によれ
ば、有機樹脂シートから半導体ペレットを剥離して特性
測定部に送るペレット供給作業、前記特性測定部におけ
る半導体ペレットの特性の測定、特性の分類判別作業、
特性の測定が終了した半導体ペレットを測定結果に基づ
いて階級毎に分類載置する分類載置作業の全てが、一連
のペレット選別作業として、自動化される。

【００１６】しかも、測定結果から各階級に分類する半
導体ペレットに対しては、測定結果の情報と分類先での
載置位置情報とを制御部に記録しておくため、同一の分
類階級に属するものでも載置先の載置位置によってさら
に詳細に個別に管理することもでき、かつ、管理も容易
になる。

【００１７】従って、半導体ペレットを製品化する際に
、最適な特性のものを備えることが容易になり、製品歩
留りの低下を防止すると同時に工程の簡略化による生産
性の向上を図って製品コストを低減させることができ、
さらに、省力化によっても製品コストの低減を促進させ
ることができる。

【００１８】

【実施例】図１は、本発明に係わる半導体ペレット選別
装置の一実施例の構成を示す斜視図である。

【００１９】この一実施例の半導体ペレット選別装置は
、有機樹脂シート上に貼付された状態で供給される半導
体ペレットを、光学的および電気的特性の階級に応じて
選別して、階級毎に分類載置するもので、図示のように
、光学的および電気的特性を測定すべき半導体ペレット
１を有機樹脂シート２上から分離（剥離）させるペレッ
ト分離部１０と、半導体ペレットの光学的および電気的
特性を測定し、かつ前記測定結果より半導体ペレットの
特性階級を判別し、後述の制御部へ測定および判別結果
を通知する特性測定部２０と、半導体ペレットを分類載
置するペレット載置部３０と、前記ペレット分離部１０
で分離された半導体ペレットを特性測定部２０上の所定
の位置に送る第１の移送機構部４０と、前記特性測定部
２０で特性の測定が終了した半導体ペレットをペレット
載置部３０上の所定の位置に送る第２の移送機構部５０
と、図示はしていないが当該装置の各部の動作を制御し
たり前記特性測定部２０が通知した測定及び判別結果よ
り階級毎のペレット載置パレット上での載置位置を算出
し、かつ前記特性測定部２０が通知した測定および判別
結果を記憶する制御部からなる。

【００２０】この実施例において、前記半導体ペレット
１は発光ダイオードペレットであり、図２に示すように
、略立方体状をなし、上面部には上部電極１ａが設けら
れ、下面部には下部電極１ｂが設けられている。

【００２１】前記ペレット分離部１０は、半導体ペレッ
ト１が貼付された有機樹脂シート２を取り付けるリング
状のウエハ支持枠１１を固定可能なペレット供給テーブ
ル１２と、該テーブル１２の上方に配置されて前記有機
樹脂シート２上の半導体ペレットの存在の有無および存
在位置を検出するペレット監視装置１３と、前記ウエハ
支持枠１１の下方の所定位置に載置されたペレット分離
針１５を有したペレット分離針枠１４とで構成されてい
る。

【００２２】前記ペレット分離針１５は図中に矢印イで
示すように、上下動可能に装備されていて、真上に位置
する半導体ペレットを先端で押し上げることにより、有
機樹脂シート２から半導体ペレットを分離する。前記ペ
レット監視装置１３は、前記有機樹脂シート２上の状況
を撮影し、その画像処理によって、存在する半導体ペレ
ットの有無および存在位置を検出する。そして、このペ
レット監視装置１３の検出結果は、前記制御部に送出さ
れ、ペレット供給テーブル１２の位置の修正に利用され
る。即ち、前記ペレット供給テーブル１２は、該テーブ
ル１２自体を前記ペレット分離針１５の位置に対してＸ
方向（図中の矢印口方向）に水平移動させるＸ方向移送
機構１６と、前記ペレット分離針１５の位置に対してＹ
方向移送機構１７とを具備しており、これらの移送機構
１６，１７によって、有機樹脂シート２上の任意の半導
体ペレット１をペレット分離針１５の真上に位置させる
ことが可能になっている。前記制御部は前記ペレット監
視装置１３からの情報に基づいて移送機構１６，１７の
動作を制御して、ペレット分離針１５の真上に半導体ペ
レット１を位置させる。

【００２３】特性測定部２０は、回転自在な円形の搬送
テーブル２１と、該搬送テーブル２１上に設置された４
個の測定用ステージ２２，２３，２４，２５と前記搬送
テーブル２１に接近して立設された測定器支持枠２６と
、この測定器支持枠２６に取り付けられた電気的特性測
定部２７と、測定器支持枠２６に取り付けられた光学的
特性測定部２８と、図示はしていないが測定に必要な電
源供給部と、測定結果から半導体ペレットの階級を判別
し、測定および判別結果を制御部へ通知する測定判定通
知部で構成されている。

【００２４】前記搬送テーブル２１は、前記制御部から
の制御により９０度ずつ時計方向に（図中の矢印ニ方向
）に回転駆動される。前述の各測定用ステージ２２，２
３，２４，２５は、同機能のもので、搬送テーブル２１
上の同一円周上に等間隔で配置されている（即ち、テー
ブル２１の回転中心からみると、隣合うステージは、９
０度の角度で離れている）。

【００２５】そして、これらの４つの測定用ステージ２
２，２３，２４，２５は、一つが前記第１の移送機構部
４０から半導体ペレット１を受け取る所定位置（図１の
ステージ２２の位置で、以下、ペレット受取位置と呼ぶ
）に位置し、他の一つが前記測定部２７，２８による測
定位置（図１のステージ２３の位置で、以下、特性測定
位置と呼ぶ）に位置し、更に他の１つが前記第２の移送
機構部５０へ半導体ペレット１を受け渡す所定位置（図
１のステージ２４の位置で、以下、ペレット引渡位置と
呼ぶ）に位置しており、残る１つは次に第１の移送機構
部４０からペレット１を受ける待機位置に位置している
。そしてテーブル２１の９０度単位で回転する毎に、ペ
レット受取位置に位置していたステージは特性測定に進
み、ペレット引渡位置に位置していたステージは待機位
置に進み、待機位置に位置していたステージはペレット
受取位置に進む。

【００２６】各測定用ステージ２２，２３，２４，２５
は前記半導体ペレット１の底面を吸着保持するペレット
保持部２２ａ，２３ａ，２４ａ，２５ａを有している。 そして、これらのペレット保持部２２ａ，２３ａ，２４
ａ，２５ａには、図示はしていないが、半導体ペレット
１を吸着した際にペレット１の下部電極１ｂに電気的に
接触するコンタクト電極が装備されている。このコンタ
クト電極は、前記電気的測定部２７で電気的特性を測定
する際に、ペレット１への通電に利用される。前記電気
的特性測定部２７は、電気的特性測定用の電極２７ａを
有している。この電極２７ａは、上下動可能に支持され
ていて、特性測定位置に半導体ペレット１が搬入される
と、下降し、そのペレット１の上部電極１ａに電気的に
接触し、前記ステージのペレット保持部に装備されたコ
ンタクト電極との協働で、ペレット１に一定の電流また
は電圧を印加をする。この電気的特性測定部２７は、半
導体ペレット１に電流または電圧を印加し、そのときの
電気的特性（電気的パラメータで、ペレットが発光ダイ
オードの場合は、例えばＶｆ，Ｖｒ，Ｉｖ，Ｉｒなど）
を検出するもので、検出値（測定値）は、前記制御部に
通知され、記憶保存される。

【００２７】前記光学的特性測定部２８は、前記特性測
定位置の上方に配置されていて、有頭筒状の枠体２８ａ
と、該枠体２８ａの内部中央に配置された光学体２８ｂ
とを備える。前記光学体２８ｂとしては、測定するペレ
ット１が発光ダイオードである場合には、一定の性能の
受光体が利用され、また、測定するペレットがフォトダ
イオードやフォトトランジスタである場合には、一定の
性能の発光体が利用される。以上の構成によって、前記
光学的特性測定部２８は、例えば、発光ダイオードの場
合は発光光度Ｉｖあるいは発光出力Ｐｏあるいは発光波
長λｐなどの光学的な特性を検出し、検出値（測定値）
は、予め記憶されていた特性値と比較し、かつその特性
から該当する階級と検出値（測定値）を制御部に通知す
る。

【００２８】前記ペレット載置部３０は、８つのペレッ
ト載置パレット３１〜３８と、これらのパレット３１〜
３８を前記第２の移送機構部５０からペレットを受取る
所定位置（ペレット受取位置）に移動させるパレット移
送機構３９とで構成されている。各パレット３１〜３８
は、前記特性測定部２０において特性が測定された半導
体ペレット１を階級別に分類載置しておくものである。 前記特性測定部２０における特性の測定と階級の判別が
終了すると、その通知を受けた制御部が載置位置を算出
して、載置位置を当該ペレット載置部３０に通知する。 当該ペレット載置部３０は、通知された階級のペレット
載置パレットを前記第２の移送機構部５０からのペレッ
ト受取位置に移動させて、該当する半導体ペレット１を
載置する。なお、この実施例では、ペレット載置パレッ
トを粘着性を有する有機樹脂シートで覆い、半導体ペレ
ットは該有機樹脂シートに載置される。また、該実施例
では、特性の一番優れたものをペレット載置パレット３
１に載置し、最下位の階級となるものをペレット載置パ
レット３８に載置する。

【００２９】前記パレット移動機構３９は、送りネジを
利用したもので、この図示例では、矢印ホ方向に、各パ
レットを一括して進退移動させる。

【００３０】前記第１の移送機構部４０は、下端部に突
設した吸着コレット４１によって半導体ペレット１を保
持するペレット保持部４２と、該ペレット保持部４２を
前記ペレット分離針１５の垂直上方の位置から前記搬送
テーブル２１のペレット受取位置の垂直上方の位置まで
の範囲で水平移動させる水平移動機構４３と、前記ペレ
ット分離針１５の垂直上方に位置している吸着コレット
４１を上下方向に移動させる第１の垂直移動機構４４と
、前記搬送テーブル２１のペレット受取位置の垂直上方
に位置している吸着コレット４１を上下方向に移動させ
る第２の垂直移動機構４５とを具備してなる。

【００３１】前記水平移動機構４３は、前記ペレット保
持部４２に連結されたベルト４３ａにより、ペレット保
持部４２の移動を操作する。また、第１および第２の垂
直移動機構４４，４５は、水平に延在する回転軸に支持
されたカム４４ａ，４５ａの回転により、吸着コレット
４１の高さ位置を調整する。第１および第２の垂直移動
機構４４，４５によって、吸着コレット４１は、ペレッ
ト分離針１５が有機樹脂シート２から剥離したペレット
を受け取る場合や搬送テーブル２１上のステージ上にペ
レットを置く場合には位置が下げられ、吸着したペレッ
トを搬送する場合には、位置が高められる。

【００３２】前記第２の移送機構部５０は、下端部に突
設した吸着コレット５１によって半導体ペレット１を保
持するペレット保持部５２と、該ペレット保持部５２を
前記搬送テーブル２１のペレット引渡位置の垂直方向の
位置から前記ペレット載置部３０のペレット載置位置の
垂直上方の位置までの範囲で水平移動させる水平移動機
構５３と、この水平移動機構５３による移動範囲内で前
記吸着コレット５１を上下方向に移動させる垂直移動機
構５４とを具備してなる。

【００３３】前記水平移動機構５３は、前記ペレット保
持部５２に連結されたベルト５３ａにより、ペレット保
持部５２の移動を操作する。また、垂直移動機構５４は
、水平に延在する回転軸に支持されたカム５４ａの回転
により、吸着コレット５１の高さ位置を調整する。前記
垂直移動機構５４によって、吸着コレットは、吸着した
ペレットを搬送する場合には、位置が高められる。

【００３４】前記制御部は、いわゆる中央処理装置（Ｃ
ＰＵ）として機能して、半導体ペレットの選別に必要な
一連の操作が円滑に進められるように、前述の各部の動
作を制御する。また、この制御部には前記ペレット載置
パレット３１〜３８内での載置順序とを予め記憶させて
ある。そして測定部２０において判別された階級を該制
御部において該当するペレット載置パレットおよびパレ
ット内での載置場所（載置位置）を算出し、所定の指令
を第２の移送機構部５０やペレット載置部３０などに通
知して、これらの部位における動作を制御する。

【００３５】なお、制御部では、前記特性測定部２０に
おいて通知された電気的および光学的特性値、および判
別結果等のデータ（階級情報や載置位置情報）は、逐次
記憶装置に保存しておく。

【００３６】以上の如き半導体ペレット選別装置の一連
の処理動作を、以下に説明する。まず、ペレット分離部
１０においては、ペレット監視装置１３の検出する画像
に基づいて、ペレット分離針１５の真上に選別処理する
半導体ペレット１が来るように、ペレット供給テーブル
１２の位置が調整される。次いで、搬送テーブル２１の
ペレット受取位置上方に退避していた吸着コレット４１
は第１の水平移動機構４３によってペレット分離針１５
上方に移動された後、該吸着コレット４１は第１の垂直
移動機構４５により半導体ペレット１の上面まで降下停
止する。一方で、ペレット分離針１５は前記吸着コレッ
ト４１の降下停止後、上昇を開始し、半導体ペレット１
を上昇させると共に、前記吸着コレット４１をも上昇さ
せることで有機樹脂シート２から半導体ペレット１を剥
離し、前記吸着コレット４１に吸着させる。

【００３７】半導体ペレット１を吸着した吸着コレット
４１は、第１の垂直移動機構４４によって一定距離だけ
引き上げ、次いで、水平移動機構４３によって搬送テー
ブル２１側の所定の位置まで移動させる。そして、第２
の垂直移動機構４５が吸着コレット４１を降下させ、吸
着コレット４１の保持しているペレット１が搬送テーブ
ル２１のステージの吸着面に到達したら、前記吸着コレ
ット４１における吸引を解除する一方で、ステージ側の
吸引を行いペレット１をステージに移す。

【００３８】ペレット１がステージ上に供給された特性
測定部２０は、搬送テーブル２１を９０度回転させるこ
とによって、供給されたペレットをペレット受取位置か
ら特性測定位置に移し、特性測定処理を開始する。

【００３９】まず、測定処理が開始されると、電気的特
性測定部２７において電流または電圧を印加し、電気的
特性を測定する。電気的特性の測定結果が許容範囲内で
あるか否か（即ち、良品か不良品か）を判断させ、許容
範囲内である場合には次ぎに光学的特性の測定を実施し
てから測定処理を終了し、電気的および光学的特性測定
結果と測定結果より得られた該当する特性階級とを前記
制御部に通知する。

【００４０】制御部は前記特性測定部より通知された特
性階級より第２の移送機構部５０およびペレット載置部
３０に該当するペレット載置パレットの位置および載置
場所を通知する。

【００４１】前記制御部から新たなペレットの測定に移
ることを指示された特性測定部２０は、搬送テーブル２
１を９０度回転させて、新たなペレット測定位置に移動
すると同時に、測定済みのペレットをペレット引渡し位
置にさせる。この搬送テーブル２１の動作に呼応して、
前記ペレット分離部１０および第１の移送機構部４０お
よび第２の移送機構部５０などが相応のペレット搬送動
作を実行する。

【００４２】第２の移送機構部５０においては、前記搬
送テーブル２１のペレット引渡し位置に有るペレット１
を吸着コレット５１にて吸着した後、前記制御部からの
指令に基づいて水平移動機構５３によって所定の位置ま
で移送する。一方、制御部からの指令を受けたペレット
載置部３０は、指令に対応するペレット載置パレットが
ペレット受取位置に位置するように、ペレット載置パレ
ットの移動を行う。そして、吸着コレット５１が対応す
るペレット載置パレットの所定の載置位置に到達したら
、垂直移動機構５４によって吸着コレット５１が所定の
位置まで降下し、次いで吸着コレット５１の吸引が解除
されることにより、ペレット１は制御部から指示された
階級の指示した位置に載置される。

【００４３】搬送が終了した各搬送機構部４０，５０や
ペレット分離部１０の各部は、次のペレットを搬送する
ために、初期状態に復帰する。

【００４４】以上に詳述したように、前記一実施例の半
導体ペレット選別装置によれば、有機樹脂シート２から
半導体ペレット１を剥離して特性測定部２０に送るペレ
ット供給作業、前記特性測定部２０におけるペレット１
の特性の測定、特性の分類判別作業、特性の測定および
分類判別が終了した半導体ペレット１を測定、分類判別
結果に基づいて階級毎に分類載置する分類載置作業の全
てが、一連のペレット選別作業として、自動化されてい
る。

【００４５】しかも、測定結果から各階級に分類された
半導体ペレットに対しては、測定結果の情報と分類先で
の載置位置情報とが制御部に残されているため、同一の
分類階級に属するものでもペレット載置パレット先の載
置位置によってさらに詳細に個別に管理することもでき
、かつ、管理も容易になる。

【００４６】従って、半導体ペレットを製品化する際に
、最適な特性のものを揃えることが容易になり、製品歩
留りの低下を防止すると同時に工程を簡略化することで
生産性の向上を図って製品コストを低減させることがで
き、さらに、省力化によって製品コストの低減を促進さ
せることができる。

【００４７】図３の（ａ）は、半導体ペレットとして、
受光素子ペレットであるフォトダイオードペレットであ
り、図３の（ｂ）も受光素子ペレットであるフォトトラ
ンジスタペレットの斜視図を示したものである。これら
ペレットも全体として略立方体状を有しており、その上
下両端面に電極５ａ，５ｂまたは６ａ，６ｂ，６ｃを有
した構造で、構造自体は発光素子ペレットである図３の
発光ダイオード１の場合と同様であるかまたは類似した
ものである。

【００４８】従って、本発明に係わる半導体ペレット選
別装置の選別対象とする半導体ペレットは、発光ダイオ
ード等の発光素子ペレットに限らず、フォトダイオード
ペレットやフォトトランジスタペレットなどの受光素子
ペレットも含むものである。

【００４９】ただし、選別対象の半導体ペレットが受光
素子ペレットまたは複数の電極を上部に有している半導
体ペレットの場合では、先に述べたように、光学的特性
測定部２８における光学体２８ｂとしては、発光体を使
用し、または図示はしていないが電気的特性測定部２７
を上部電極に対応するように複数設置する。そして、測
定する半導体ペレットには、一定の電流または電圧を印
加して、±Ｖｃｅｏ，Ｉｃ等の電気的特性を測定し、ま
た、光学的特性としては、光電流ＩＬを測定し、これら
の測定値から、階級を判断すると良い。

【００５０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係わる半導体ペレット選別装置によれば、有機樹脂シ
ートから半導体ペレットを剥離して特性測定部に送るペ
レット供給作業、前記特性測定部における半導体ペレッ
トの特性の測定、特性の分類判別作業、特性の測定およ
び特性の分類判別作業が終了した半導体ペレットを測定
および分類判別結果に基づいて階級毎に分類載置する分
類載置作業の全てが、一連のペレット選別作業として、
自動化される。

【００５１】しかも、測定結果から各階級に分類する半
導体ペレットに対しては、測定結果の情報と分類先での
載置位置情報とを記録しておくため、同一の分類階級に
属するものでも載置先の載置位置によってさらに詳細に
個別に管理することもでき、かつ、管理も容易になる。

【００５２】従って、半導体ペレットを製品化する際に
、最適の特性のものを揃えることが容易になり、製品歩
留りの低下を防止すると同時に工程を簡略化することで
生産性の向上を図って製品コストを低減させることがで
き、さらに、省力化によって製品コストの低減を促進さ
せることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成を示す斜視図である。

【図２】本発明の一実施例で選別処理の対象とする半導
体ペレットの説明図である。

【図３】本発明の一実施例で選別処理の対象とする半導
体ペレットの説明図である。

【符号の説明】

１，５　　半導体ペレット ２　　有機樹脂シート １０　　ペレット分離部 １２　　ペレット供給テーブル １５　　ペレット分離針 ２０　　特性測定部 ２１　　搬送テーブル ２２〜２５　　ステージ ２７　　電気的特性測定部 ２８　　光学的特性測定部 ３０　　ペレット載置部 ３１〜３８　　ペレット載置パレット ４０　　第１の移送機構部 ４１　　吸着コレット ５０　　第２の移送機構部 ５１　　吸着コレット

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　有機樹脂シート上に貼着された状態で
   供給される半導体ペレットを、光学的および電気的特性
   の少なくとも一方の特性の階級に応じて選別して、階級
   毎に分類載置する半導体ペレット選別装置であって、光
   学的および電気的特性を測定すべき半導体ペレットを有
   機樹脂シート上から分離させるペレット分離部と、半導
   体ペレットの光学的および電気的特性を測定し、前記測
   定値から半導体ペレットの階級の判別等を出力する特性
   測定部と、半導体ペレットを分類載置する複数のペレッ
   ト載置パレットを備えたペレット載置部と、前記ペレッ
   ト分離部で分離された半導体ペレットを特性測定部上の
   所定位置に送る第一の移送機構部と、前記特性測定部で
   特性の測定が終了した半導体ペレットを前記ペレット載
   置部の所定のペレット載置パレットに送る第２の移送機
   構部と、当該装置の各部を制御する制御部とを備え、前
   記制御部は、前記特性測定部からの測定結果から判別し
   た階級毎に前記ペレット載置パレットでの載置位置を算
   出し、この載置位置と前記特性測定部の測定結果とを記
   録する機能を備え、前記ペレット載置部および第２の移
   送機構部は前記特性測定部が求めた階級と前記制御部が
   算出した載置位置に基づいて、測定処理後の半導体ペレ
   ットを分類載置することを特徴とする半導体ペレット選
   別装置。
2. 【請求項２】　　前記半導体ペレットが発光ダイオード
   ペレットであり、前記特性測定部には、光学的特性の測
   定時に前記半導体ペレットの周囲を覆って外光による外
   乱を防止する枠体と、この枠体内の半導体ペレットの発
   光面に対峙する位置に装備された受光体と、前記半導体
   ペレットの電極に電気的に接触する電気的特性測定部と
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載の半導体ペレ
   ット選別装置。
3. 【請求項３】　　前記半導体ペレットがフォトダイオー
   ドペレットまたはフォトトランジスタペレットであり、
   前記特性測定部には、光学的特性の測定時に前記半導体
   ペレットの周囲を覆って外光による外乱を防止する枠体
   と、この枠体内の半導体ペレットの受光面に対峙する位
   置に装備された発光体と、前記半導体ペレットの電極に
   電気的に接触する電気的特性測定部とを備えたことを特
   徴とする請求項１に記載の半導体ペレット選別装置。