JP2013201214A - 半導体素子のソーティング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】LED素子(半導体素子)3のソーティング装置は、半導体素子供給部と、半導体素子取出部と、複数のアーム11を備えたインデックスユニット10を備え、前記インデックスユニット10は、水平回転可能に設けられ、軸中心回りに回転可能な複数のアーム11を放射状に配列して成り、該インデックスユニット10の前記アーム11の端面には前記LED素子3を吸着する素子取付部が設けられ、前記インデックスユニット10の異なるアーム11の先端が位置する場所に前記半導体素子供給部と、位置検出部と、半導体素子の特性検査部と、前記半導体取出部が該インデックスユニット10の回転方向に順に設けられ、前記インデックスユニット10の移動及びLED素子3の特性検査部を同期して制御する制御装置18を備える。
【選択図】図4
Description
半導体素子供給部と、半導体素子取出部と、複数のアームを備えたインデックスユニットを備え、
前記インデックスユニットは、水平回転可能に設けられ、軸中心回りに回転可能な複数のアームを放射状に配列して成り、該インデックスユニットの前記アームの端面には前記半導体素子を吸着する素子取付部が設けられ、
前記インデックスユニットの異なるアームの先端が位置する場所に前記半導体素子供給部と、位置検出部と、半導体素子の特性検査部と、前記半導体取出部が該インデックスユニットの回転方向に順に設けられ、
前記インデックスユニットの移動及び半導体素子の特性検査部を同期して制御する制御装置を備えることを特徴とする。
2 半導体ウエハ
3 LED素子(半導体素子)
4 シート
5 LED(発光ダイオード)
10 インデックスユニット
11 インデックスユニットのアーム
12 XYステージ
13,14 カメラ
15,16 ゴムローラ
17 センサ
18 制御装置
20 取出テーブル
21 取出テーブルのトレイ
Claims (1)
- 半導体ウエハを裁断して得られる複数のLED素子の特性をそれぞれ検査するとともに、各LED素子をその特性データに基づいて各ランク毎に整列させる半導体素子のソーティング装置であって、
半導体素子供給部と、半導体素子取出部と、複数のアームを備えたインデックスユニットを備え、
前記インデックスユニットは、水平回転可能に設けられ、軸中心回りに回転可能な複数のアームを放射状に配列して成り、該インデックスユニットの前記アームの端面には前記半導体素子を吸着する素子取付部が設けられ、
前記インデックスユニットの異なるアームの先端が位置する場所に前記半導体素子供給部と、位置検出部と、半導体素子の特性検査部と、前記半導体取出部が該インデックスユニットの回転方向に順に設けられ、
前記インデックスユニットの移動及び半導体素子の特性検査部を同期して制御する制御装置を備えることを特徴とする半導体素子のソーティング装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109597002A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-04-09 | 陈清尧 | 一种led测试检测装置 |
CN110174604A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-08-27 | 佛山市南海区联合广东新光源产业创新中心 | 一种新型led电学性能多项目测试的转换装置 |
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-
2012
- 2012-03-23 JP JP2012067688A patent/JP5996900B2/ja active Active
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