JPH04282813A - セラミックグリ−ンシ−トの積層方法及びその装置 - Google Patents

セラミックグリ−ンシ−トの積層方法及びその装置

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JPH04282813A
JPH04282813A JP3045132A JP4513291A JPH04282813A JP H04282813 A JPH04282813 A JP H04282813A JP 3045132 A JP3045132 A JP 3045132A JP 4513291 A JP4513291 A JP 4513291A JP H04282813 A JPH04282813 A JP H04282813A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック積層体を用
いた電子部品を製造する際に有用なセラミックグリ−ン
シ−トの積層方法及びその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】セラミック積層体を用いた電子部品、例
えば積層セラミックコンデンサは、内部導体をセラミッ
クを介して積層して形成されたセラミック積層体をその
製造過程で使用する。
【0003】上記のセラミック積層体は一般に、PET
製フィルム上にセラミックスラリ−をシ−ト状に塗工す
る工程と、フィルム上のグリ−ンシ−トの表面に内部電
極用の導体パタ−ンを印刷する工程と、印刷後のグリ−
ンシ−トからフィルムを剥離しつつその印刷部分を矩形
状にカットして取出し、該カットシ−トを台上に所定枚
数積み重ねる工程と、積み重ねられたカットシ−トを圧
着して積層シ−トを得る工程と、圧着後の積層シ−トを
所定の形状に切断する工程とから製造されている。切断
後に得られた未焼成のセラミック積層体はその後に焼成
され、各端部に外部電極用の導電性ペ−ストを付着形成
されて積層セラミックコンデンサとなる。種類によって
は未焼成のセラミック積層体の両端部に導電性ペ−スト
を付着形成した後に焼成するようにしたものもある。
【0004】ところで、カットシ−トを所定枚数積み重
ねる上記の工程では図9に示すような積層装置が利用さ
れている。
【0005】この積層装置は、フィルムFを有する印刷
後のグリ−ンシ−トSi(以下、単に印刷シ−トSiと
いう)が巻き付けられたメインロ−ラ101 と、フィ
ルムFを巻き取る巻取ロ−ラ102 と、印刷シ−トS
iからフィルムFを剥離するための剥離ロ−ラ103 
と、多数の吸着孔を有し所定方向に間欠的に回転駆動さ
れる吸着ベルト104 と、多数の吸着孔を有し吸着ベ
ルト104 の上側下面に配置された吸着テ−ブル10
5 と、打抜き後のシ−トSuを収容する容器106 
と、印刷部分を矩形状にカットし、且つ搬送するカッタ
−107 と、カットシ−トSkが積み重ねられる積層
台108 とから構成されている。上記カッタ−107
 は、多数の吸着孔を備えた矩形状底面を有するカッタ
−本体107aと、該カッタ−本体107aの周囲に上
下動可能に配置されたカッタ−刃107bと、カッタ−
本体107aに内蔵されたヒ−タ107cとから構成さ
れており、図示省略の駆動機構によって水平方向と上下
方向の移動を可能としている。また、上記積層台108
 はヒ−タ108aを内蔵しており、図示省略の駆動機
構によって上下方向の移動を可能としている。
【0006】上記の積層装置では以下のような積層動作
が行なわれる。まず、剥離ロ−ラ103 及び吸着ベル
ト104 の作動によって印刷シ−トSiからフィルム
Fを剥離して巻取ロ−ラ102 で巻取る一方、印刷シ
−トSiのみを吸着ベルト104 上に送り込む。次い
で、吸着ベルト104 上で停止する印刷シ−トSiに
向かってカッタ−107 を降下させてその印刷部分を
矩形状にカットし、該カットシ−トSkをカッタ−本体
107aの底面に吸着保持した状態で積層台108 上
に移送し(2点鎖線参照)、ここで積層台108 を上
昇させてカットシ−トSkをその上面に移行させる。切
り出し後のカットシ−トSkはカッタ−本体107aの
ヒ−タ107cによる加熱で軟化され、また積層台10
8 の上面に載置されたカットシ−トSkもヒ−タ10
8aによる加熱で軟化されているので、積み重ね時の圧
力付加もあってカットシ−トSkは互いの面を密着して
積み重ねられる。これを所定回数繰り返すことによって
、所定枚数のカットシ−トSkが積層台108 上に積
層される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の積層
方法では、フィルムFを剥離した後に印刷シ−トSiを
単体で吸着ベルト104 上に送り込んでいるため、該
印刷シ−トSiを搬送する際の微妙な張力変化によって
シ−ト及び導体パタ−ンに伸び等の変形を生じ易い。ま
た、印刷シ−トSiから切り出されたカットシ−トSk
が吸着搬送される過程で、該カットシ−トSkが吸着孔
に引き込まれる等して上記同様の変形を生じる恐れがあ
る。
【0008】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、シ−ト及び導体パタ−ン
の変形を防止して適正な積み重ねを行なえるセラミック
グリ−ンシ−トの積層方法と、該積層方法の実施に好適
な積層装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、請求項1では、ヒ−タを内蔵した切断受台と、ヒ−タ
を内蔵した吸着板の周囲に該吸着板と直交する方向に移
動可能な切断刃を備えた切断機とを用い、導体パタ−ン
が印刷されたフィルム付きのグリ−ンシ−トをそのフィ
ルム面が切断受台に対峙するように送り込み、切断機を
切断受台に接近させて上記シ−トの印刷面に吸着板を圧
接させ、切断機の切断刃をグリ−ンシ−トの肉厚分だけ
該シ−トに食い込ませて印刷部分をカットし、カット後
に切断機を離反させて吸着板の吸着により1層目のカッ
トシ−トを切断刃の内側に取り入れた後、上記シ−トを
移動させ切断受台と切断機のヒ−タに通電した状態で切
断機を再び切断受台に接近させてその印刷面に分離機側
のカットシ−トを圧接させ、切断機の切断刃をグリ−ン
シ−トの肉厚分だけ該シ−トに食い込ませて印刷部分を
カットし、カット後に切断機を離反させてシ−ト相互の
熱圧着により2層目以降のカットシ−トを切断刃の内側
に取り入れるようにして、セラミックグリ−ンシ−トの
積層を行なっている。
【0010】請求項2では、ヒ−タを内蔵した切断受台
と、ヒ−タを内蔵した吸着板と該吸着板の周囲に配置さ
れた切断刃と該切断刃を吸着板と直交する方向に移動さ
せる移動機構とから成る切断機と、切断機を切断受台に
向かって接近または離反させる駆動機と、導体パタ−ン
が印刷されたフィルム付きのグリ−ンシ−トをそのフィ
ルム面が切断受台に対峙するように供給するシ−ト送り
機構とから、セラミックグリ−ンシ−トの積層装置を構
成している。
【0011】
【作用】請求項1記載の積層方法によれば、フィルム付
きのグリ−ンシ−トの送り込みとカットを繰り返すこと
で、該シ−トから印刷部分を所定形状で切り出し、また
切り出されたカットシ−トを相互に熱圧着させて吸着板
上に所定枚数積み重ねることができる。
【0012】請求項2記載の積層装置によれば、シ−ト
送り機構と駆動機と切断機の移動機構を順次作動させ、
該作動に応じて切断機の吸着板に吸着作用を発揮させ、
また各ヒ−タに通電を行なうことで、請求項1記載の積
層方法を適切に実施することができる。
【0013】
【実施例】図1乃至図8は本発明の一実施例を示すもの
で、図1は積層装置の側面図、図2は切断受台の断面図
、図3は切断機の断面図、図4乃至図8は動作説明図で
ある。
【0014】まず、図1乃至図3を参照して、積層装置
の構成について説明する。
【0015】図1に示した積層装置は、装置本体1と、
切断受台11と、切断受台11を水平移動させるスライ
ド機構21と、切断機31と、切断機31を上下動させ
る駆動機41と、フィルム付きの印刷シ−トを給送する
シ−ト送り機構51とから構成されている。
【0016】装置本体1は床面等に設置されており、水
平な底板2と、底板2と平行な天板3と、底板2上に設
けられたシ−ト支持台4とから成る。
【0017】切断受台11は、図2にも示すように、受
台本体12と、受台本体12の下面に配置された矩形状
の吸着板13と、受台本体12内に配置され吸着板13
を上下動させるエアシリンダ14と、受台本体12に設
けられた2つの案内ロ−ラ15とから成る。受台本体1
2は上部中央にボ−ルネジ挿通溝12aを有しており、
またその上面にはスライドガイド12bが設けられ、左
側部にはボ−ルネジ用のナット12cが固着されている
。吸着板13は通電により熱を発するヒ−タ13aを内
蔵しており、またその下面には図示省略の吸着源に通じ
る複数の吸着孔13bが穿設されている。案内ロ−ラ1
5は印刷シ−トを吸着板13の近傍に案内するもので、
受台本体12の右側面に固着されたブラケット15aの
上下に取り付けられている。
【0018】スライド機構21は、装置本体1の天板3
に固着された台板22と、台板22に設けられた水平な
一対のスライドレ−ル23と、台板22にスライドレ−
ル23に沿って配置されたボ−ルネジ24と、台板22
に固着されボ−ルネジ24を回動するモ−タ25とから
成る。スライドレ−ル23には上記スライドガイド12
bが夫々摺動自在に係合し、またボ−ルネジ24には上
記ナット12cが螺合されている。つまり、上記切断受
台11はスライド機構21のモ−タ25の回動によって
スライドレ−ル23に沿って水平方向に移動される。
【0019】切断機31は、図3にも示すように、切断
機本体32と、切断機本体32の上部に配置された矩形
状の吸着板33と、吸着板33の周囲に配置された角筒
状の切断刃34と、切断刃34を上下動させる昇降機構
35とから成る。吸着板33は通電により熱を発するヒ
−タ33aを内蔵しており、またその上面には図示省略
の吸着源に通じる複数の吸着孔33bが穿設されている
。また、切断刃34の下部には、切断機本体32に立設
された2本のガイドロッド32aに摺動自在に嵌合する
ガイドブッシュ34aが固着されている。昇降機構35
は、切断機本体32内に配置されたモ−タ35aと、該
モ−タ35aに連結されたボ−ルネジ35bと、切断刃
34の下部に固着されボ−ルネジ35bと螺合するナッ
ト35cとから成り、モ−タ35aの回動で切断刃34
をガイドロッド32aに沿って上下方向に移動できるよ
うになっている。
【0020】駆動機41はエアシリンダから成り、ロッ
ド42の上端には上記切断機本体32の下面が連結され
ている。つまり、上記切断機32は駆動機41の作動に
よって上下方向に移動される。
【0021】シ−ト送り機構51は、フィルムF付きの
印刷シ−トSiが巻付けられたメインロ−ラ52と、打
ち抜き後のシ−トSuを巻き取る巻取ロ−ラ53と、巻
取ロ−ラ53を巻き取り方向に回転駆動する図示省略の
モ−タと、両ロ−ラ52,53の間に配設された計6個
のガイドロ−ラ54と、シ−ト送りを停止するためのス
トッパ機構55とから成る。メインロ−ラ52に巻き付
けられたフィルム付きの印刷シ−トSiは、左側のガイ
ドロ−ラ54群を経てシ−ト支持台4上に導かれ、切断
受台11の案内ロ−ラ15から右側のガイドロ−ラ54
群を経て巻取ロ−ラ53に引き込まれている。ストッパ
機構55はエアシリンダ55aと受台55bとから成り
、エアシリンダ55の伸長でシ−トを挟着して固定でき
るようになっている。
【0022】以下に、図4乃至図8を参照して、上記積
層装置の動作について説明する。
【0023】まず、切断受台11がシ−ト支持台4の上
方に位置し、両者間にフィルムF付き印刷シ−トSiが
介在された図1の状態で、切断受台11のエアシリンダ
14を伸長して吸着板13を降下させ、その下面をフィ
ルムF付き印刷シ−トSiのフィルム面に圧接させる。 ここで吸着孔13bに吸着作用を発揮させて同フィルム
面を吸着板13で吸着保持する。
【0024】次に、切断受台11のエアシリンダ14を
縮長復帰して、フィルムF付き印刷シ−トSiを吸着板
13と共に上昇させる。そして、図4に示すように、ス
ライド機構21のモ−タ25を作動してボ−ルネジ24
を所定方向に回転し、切断受台11を切断機31の上方
に移動させる。この移動時には巻取ロ−ラ53を所定方
向に巻き取り方向に回転させて、切断受台11の移動分
に等しい長さだけシ−トを巻き取る。
【0025】次に、図5に示すように、駆動機41のロ
ッド42を伸長して切断機31を上昇させ、吸着板33
の上面をフィルムF付き印刷シ−トSiの印刷面に圧接
させる。ここで吸着孔33bに吸着作用を発揮させて同
印刷面を吸着板33で吸着保持する。
【0026】次に、図6に示すように、切断機31の昇
降機構35のモ−タ25を作動してボ−ルネジ24を所
定方向に回転し、切断刃34を印刷シ−トSiの肉厚分
だけ上方に移動させる。これにより切断刃34が印刷シ
−トSiに食い込んで、その印刷部分が切断刃34の内
形と同じ矩形状にカットされる。
【0027】次に、図7に示すように、切断受台11の
吸着板13の吸着作用を解き、ストッパ機構55のエア
シリンダ55aを伸長してシ−トを挟着して固定した後
、スライド機構21のモ−タ25を作動してボ−ルネジ
24を上記とは逆方向に回転し、切断受台11をシ−ト
支持台4の上方に復帰させる。切断受台11の復帰によ
りフィルムF付き印刷シ−トSiが該切断受台11の案
内ロ−ラ15で上方に引き上げられ、これにより切断機
31の吸着板33に吸着される印刷シ−トSiのカット
部分がフィルムFから剥がれて切断刃34の内側に取り
入れられる。
【0028】1層目のカットが終了したところで、図7
に破線で示すように、ストッパ機構55によるシ−ト固
定を解き、また駆動機41のロッド42を縮長して切断
機31を復帰させる。
【0029】2層目のカットを行なう場合は、切断受台
11と切断機31のヒ−タ13a,33aに通電した状
態で、図4と同様に、切断受台11の移動とシ−トの巻
き取りを行なう。
【0030】次に、図5と同様に、駆動機41のロッド
42を伸長して切断機31を上昇させ、今度は吸着板3
3に吸着保持される1層目のカットシ−トをフィルムF
付き印刷シ−トSiの印刷面に圧接させる。フィルムF
付き印刷シ−トSiは切断受台11のヒ−タ13の加熱
により軟化し、また1層目のカットシ−トも切断機31
のヒ−タ33aの加熱により軟化しているので、両シ−
トは上記の圧接で相互に熱圧着する。
【0031】次に、図6と同様に、切断機31の昇降機
構35のモ−タ25を作動してボ−ルネジ24を所定方
向に回転し、切断刃34を更に印刷シ−トSiの肉厚分
だけ上方に移動させる。これにより切断刃34が印刷シ
−トSiに食い込んで、その印刷部分が切断刃34の内
形と同じ矩形状にカットされる。
【0032】次に、図7と同様に、切断受台11の吸着
板13の吸着作用を解き、シ−トの固定を行なった後、
切断受台11を復帰させる。切断受台11の復帰により
フィルムF付き印刷シ−トSiが該切断受台11の案内
ロ−ラ15で上方に引き上げられ、これにより1層目の
カットシ−トに熱圧着した印刷シ−トSiのカット部分
がフィルムFから剥がれて切断刃34の内側に取り入れ
られ、1層目のカットシ−トの上に積み重ねられる。2
層目のカットが終了したところで、シ−ト固定を解き、
また切断機31を復帰させる。
【0033】2層目と同様に3層目以降のカットを繰り
返すことにより、図8に示すように、切り出された所定
枚数のカットシ−トSkを、相互に熱圧着させ仮固定し
た状態で切断機31の吸着板33上に積み重ねることが
できる。積層終了後に切断刃34を初期位置まで降下さ
せ、切断機31の吸着板33の吸着作用を解けば、積層
されたカットシ−トSkを一括で取り出すことができる
、このように上記の積層方法によれば、フィルムF付き
の印刷シ−トSiから直接カットシ−トSkの切り出し
を行なえるので、印刷シ−トSiを単体で送り込む従来
のものに比べてシ−ト自体に強度を確保でき、搬送過程
におけるシ−ト及び導体パタ−ンに伸び等の変形を防止
することができる。
【0034】また、カットシ−トSkをカットと同時に
切断機31側に積層できるので、従来のようにカットシ
−トを別位置に搬送する必要がなく、また搬送過程で生
じ得るカットシ−トSkの変形を防止することができる
【0035】更に、印刷シ−トSiをフィルムFを介し
て切断受台11の吸着板13上でカットできるので、吸
着ベルト上で印刷シ−トSiを直接カットするようにし
た従来のもののように吸着ベルトの凹凸によってカット
不良を生じることもなく、カットを高精度で良好に行な
うことができる。
【0036】尚、上記実施例では積層セラミックコンデ
ンサの製造過程に本発明を適用したものを示したが、同
様のセラミック積層体を用いて構成される積層インダク
タ素子や圧電アクチュエータ等の他の電子部品の製造に
も本発明を適用することができる。
【0037】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1記載の製
造方法によれば、印刷後のフィルム付きグリ−ンシ−ト
から直接カットシ−トの切り出しを行なえ、しかもカッ
トシ−トをカットと同時に切断機側に積層できるので、
シ−ト及び導体パタ−ンの変形を確実に防止して適正な
積み重ねを行なうことができる。
【0038】また、請求項2記載の積層装置によれば、
請求項1記載の積層方法を適切に実施して同様の効果を
得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る積層装置の側面図
【図2】切断受
台の断面図
【図3】切断機の断面図
【図4】動作説明図
【図5】動作説明図
【図6】動作説明図
【図7】動作説明図
【図8】動作説明図
【図9】従来の積層装置の概略図
【符号の説明】
Si…印刷シ−ト、F…フィルム、Sk…カットシ−ト
、11…切断受台、13a…ヒ−タ、31…切断機、3
3…吸着板、33a…ヒ−タ、34…切断刃、35…昇
降機構、41…駆動機、51…シ−ト送り機構。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ヒ−タを内蔵した切断受台と、ヒ−タを内
    蔵した吸着板の周囲に該吸着板と直交する方向に移動可
    能な切断刃を備えた切断機とを用い、導体パタ−ンが印
    刷されたフィルム付きのグリ−ンシ−トをそのフィルム
    面が切断受台に対峙するように送り込み、切断機を切断
    受台に接近させて上記シ−トの印刷面に吸着板を圧接さ
    せ、切断機の切断刃をグリ−ンシ−トの肉厚分だけ該シ
    −トに食い込ませて印刷部分をカットし、カット後に切
    断機を離反させて吸着板の吸着によりカットシ−トを切
    断刃の内側に取り入れた後、上記シ−トを移動させ切断
    受台と切断機のヒ−タに通電した状態で切断機を再び切
    断受台に接近させてその印刷面に1層目のカットシ−ト
    を圧接させ、切断機の切断刃をグリ−ンシ−トの肉厚分
    だけ該シ−トに食い込ませて印刷部分をカットし、カッ
    ト後に切断機を離反させてシ−ト相互の熱圧着により2
    層目以降のカットシ−トを切断刃の内側に取り入れるよ
    うにした、ことを特徴とするセラミックグリ−ンシ−ト
    の積層方法。
  2. 【請求項2】ヒ−タを内蔵した切断受台と、ヒ−タを内
    蔵した吸着板と該吸着板の周囲に配置された切断刃と該
    切断刃を吸着板と直交する方向に移動させる移動機構と
    から成る切断機と、切断機を切断受台に向かって接近ま
    たは離反させる駆動機と、導体パタ−ンが印刷されたフ
    ィルム付きのグリ−ンシ−トをそのフィルム面が切断受
    台に対峙するように供給するシ−ト送り機構とを具備し
    た、ことを特徴とするセラミックグリ−ンシ−トの積層
    装置。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61102719A (ja) * 1984-10-26 1986-05-21 株式会社トーキン 積層セラミツクコンデンサの製造方法
JPS62170342A (ja) * 1986-01-24 1987-07-27 松下電器産業株式会社 グリ−ンシ−トの積層方法
JPS6353030A (ja) * 1986-08-22 1988-03-07 株式会社村田製作所 セラミツク積層体の製造方法
JPH02114614A (ja) * 1988-10-25 1990-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層セラミック電子部品の製造方法
JPH02162710A (ja) * 1988-12-15 1990-06-22 Murata Mfg Co Ltd 積層コンデンサの製造方法
JPH02208915A (ja) * 1989-02-08 1990-08-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層セラミック電子部品の製造方法
JPH03297117A (ja) * 1990-04-16 1991-12-27 Murata Mfg Co Ltd セラミックグリーンシートの積層方法および装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61102719A (ja) * 1984-10-26 1986-05-21 株式会社トーキン 積層セラミツクコンデンサの製造方法
JPS62170342A (ja) * 1986-01-24 1987-07-27 松下電器産業株式会社 グリ−ンシ−トの積層方法
JPS6353030A (ja) * 1986-08-22 1988-03-07 株式会社村田製作所 セラミツク積層体の製造方法
JPH02114614A (ja) * 1988-10-25 1990-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層セラミック電子部品の製造方法
JPH02162710A (ja) * 1988-12-15 1990-06-22 Murata Mfg Co Ltd 積層コンデンサの製造方法
JPH02208915A (ja) * 1989-02-08 1990-08-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層セラミック電子部品の製造方法
JPH03297117A (ja) * 1990-04-16 1991-12-27 Murata Mfg Co Ltd セラミックグリーンシートの積層方法および装置

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