JPH1174632A - 積層板の製造方法およびその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層精度の向上と生産性の向上を図り、発塵
が少なく信頼性の高い積層板の製造方法およびその製造
装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 上面が平滑面でアンカー抜き孔２を設け
たパレット１の上に導電箔３を配置し、導電箔３上に所
定の位置に設けられた貫通孔に未硬化状態の導電性ペー
スト４が充填されたプリプレグ５を配置し、上、下アン
カーポンチ６，７の動作により導電箔３とプリプレグ５
を熱圧着し、その後プリプレグ５の上に導電箔３ａを配
置し、アンカーポンチ９の動作により導電箔３、プリプ
レグ５、そして導電箔３ａを全面もしくは部分的に熱圧
着して積層板１０を形成するようにしたものであり、導
電性ペースト４のにじみなどが無く、１つの工程で生産
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種電子機器など
に用いられる積層板の製造方法およびその製造装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、各種電子機器などに用いられる積
層板は、電子機器の小型、軽量化にともない、接続ある
いは配線用の導電パターンの狭ピッチ化が進み、積層板
を構成する各材料間の積層精度の高精度化と生産性の向
上が求められている。

【０００３】図１４は従来の積層板の製造装置の要部構
成を示す斜視図であり、図１４において、５はプリプレ
グであり、ガラスエポキシ、アラミドエポキシ、紙エポ
キシなどの基材でなり、レーザやドリル加工などの手段
により設けた所定箇所の所定数の孔に、スキージなどの
手段による導電性ペーストを充填（図示せず）してお
り、片面あるいは両面の所定箇所に複数の認識マーク１
３８ａを設けている。

【０００４】１２は内層材であり、前記プリプレグ５の
両面に銅箔などの導電箔（図示せず）を積層し、熱プレ
スなどにより加熱、加圧した後、エッチングなどにより
所定のパターンを形成しており、片面あるいは両面の所
定箇所に複数の認識マーク１３８を設けている。

【０００５】そして、１２３，１２３ａは開閉自在な連
結した固定チャック、１２４，１２４ａは開閉自在な連
結したＸテンションチャックであり、固定チャック１２
３，１２３ａとＸテンションチャック１２４，１２４ａ
はプリプレグ５あるいは内層材１２のほぼ幅寸法で対向
しており、それらにＸ方向のテンションを印加するもの
であり、これらでチャック部１２５を構成している。

【０００６】１２８はチャック部１２５を搭載したｘθ
テーブルであり、金属材などでなるベース１３１の上面
に設置された一対のｙ軸レール１２９にＹ方向に移動自
在に載置されており、これらでアライメント部１３０を
構成している。

【０００７】１３７はチャック部１２５の上流に隣接し
た積層部であり、プリブレグ５あるいは内層材１２の認
識マーク１３８ａ，１３８を認識する一対の認識カメラ
１２６でなる認識部１２７、同側帯部の所定箇所に位置
決め用などの孔加工を行う一対の孔加工部１３２、その
加工された孔に基準位置決めのために挿入するガイドピ
ン１３３を設置した位置決めプレート１３４、上下に対
向して複数配設されＺ方向に移動自在なヒータなどを内
蔵したアンカーポンチ１３５でなる熱圧着部１３６など
により構成されている。

【０００８】次に、動作について説明すると、まず、ワ
ークであるプリプレグ５、あるいは内層材１２を作業者
が指定方向にてチャック部１２５にセットし、固定チャ
ック１２３，１２３ａとＸテンションチャック１２４，
１２４ａにより所定のテンションを印加して均一かつ平
面度を出して維持している。

【０００９】その後、Ｙ方向の移動および位置決めを兼
ねたｘθテーブル１２８のｙ軸レール１２９の移動によ
り積層部１３７まで移動し、認識部１２７の認識カメラ
１２６で認識マーク１３８、あるいは１３８ａを認識
後、ｘθテーブル１２８のｙ軸レール１２９を移動する
ことにより位置決めを行う。

【００１０】そして、ワークの所定箇所に孔加工部１３
２で孔加工を行い、その孔を基準にして位置決めプレー
ト１３４上に配置されたガイドピン１３３により、プリ
プレグ５、内層材１２、そして新規のプリプレグ５ａ
（図示せず）の順に挿入し、上下に配置されたアンカー
ポンチ１３５からなる熱圧着部１３６でプリプレグ５，
５ａと内層材１２の所定箇所を熱圧着を行い、それを作
業者が別個の取り出し工程の先に設置された第１の導電
箔上に位置決めして置き、その上に第２の導電箔（以上
図示せず）を供給する。

【００１１】続いて、別工程の樹脂硬化部などにおける
熱プレスなどにより加熱、加圧して積層体が製造される
ものである。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記従来
の方法では、作業者がプリプレグ５，５ａあるいは内層
材１２をチャック部１２５にセットするために認識部１
２７の認識カメラ１２６の視野に入らず、再度チャック
部１２５へのセットあるいは調整を行う必要があり、生
産性が悪く、また、位置合わせのためのガイドピン用の
孔がガイドピン１３３の挿入時に変形したり、一対のガ
イドピン１３３間で積層した基材すなわち材料がたるん
だ状態で熱圧着されることもあり、各材料間の積層精度
の保証が困難であった。

【００１３】さらに、ガイドピン用の孔の加工により、
塵、屑あるいは粉が発生し製造工程のクリーン度を低下
させて製品の信頼性を損なう恐れがあるなどの課題を有
していた。

【００１４】本発明はこのような従来の課題を解決しよ
うとするものであり、積層板製作の積層工程において、
積層精度の向上と生産性の向上を図り、発塵が少なく信
頼性の高い生産手段である積層板の製造方法およびその
製造装置を提供することを目的とするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明は、上面に平滑面を備えた基台上に導電箔を配
置し、この導電箔上に所定の位置に設けられた貫通孔に
未硬化状態の導電性ペーストが充填されたプリプレグを
配置し、さらにこのプリプレグの上に導電箔を配置する
ようにしたものであり、さらにまた、同様にしてパレッ
ト上に導電箔を配置し、この導電箔上にプリプレグを位
置決めして配置し、さらにこのプリプレグの上に前記同
様に形成された両面に導電パターンを施した内層材を位
置決めして配置し、この内層材の上にプリプレグを位置
決めして配置し、このプリプレグの上に導電箔を配置す
るようにしたものである。

【００１６】この本発明により、積層板製作の積層工程
において、積層精度の向上と生産性の向上が図れ、発塵
が少なく、信頼性の高い生産手段を得ることが可能にな
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、上面に平滑面を備えた基台に導電箔を配置し、この
導電箔上に所定の位置に設けられた貫通孔に未硬化状態
の導電ペーストが充填されたプリプレグを配置し、さら
にこのプリプレグの上に導電箔を配置する積層板の製造
方法としたものであり、上面に平滑面を備えた基台上で
導電箔、プリプレグ、導電箔を積層でき、かつ、たるみ
などがなく基台上に保持できて、積層板が１つの工程で
生産でき、ペーストのにじみなどの不具合の発生が削減
できるという作用を有する。

【００１８】請求項２に記載の発明は、上面に平滑面を
備えた基台上に導電箔を位置決めして配置し、この導電
箔上に所定の位置に設けられた貫通孔に未硬化状態の導
電ペーストが充填されたプリプレグを位置決めして配置
し、さらにこのプリプレグの上に両面に導電パターンを
施した内層材を位置決めして配置し、この内層材の上に
前記同様に形成されたプリプレグを位置決めして配置
し、この内層材と前記プリプレグの配置を必要に応じて
繰り返した後、前記プリプレグの上に導電箔を配置する
積層板の製造方法としたものであり、ガイドピンを使用
せずにプリプレグ、内層材、プリプレグが平面上で積層
でき、たるみなどがなく導電箔、プリプレグ、内層材、
プリプレグを保持できるとともに、導電箔も１つの工程
で貼り合わせることができるという作用を有する。

【００１９】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２に記載の発明において、導電箔とプリプレグ、もしく
はプリプレグと内層材、もしくは導電箔とプリプレグと
内層材を全面もしくは部分的に熱圧着する製造方法とし
たものであり、各層毎に上面に平滑面を備えた基台上の
少なくとも導電箔とプリプレグ、もしくはプリプレグと
内層材、もしくは導電箔とプリプレグと内層材を熱圧着
することができ、各層間の積層精度を後工程の本熱圧着
などまで損なわずに維持できるという作用を有する。

【００２０】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の発明において、部分的に熱圧着する場所を各層毎に位
置をずらせるようにした製造方法としたものであり、各
層間を固着する際に常に未使用の面どうしを貼り合わせ
ることができ、規定の固着強度を維持しながら積層位置
を損なわずに保持できるという作用を有する。

【００２１】請求項５に記載の発明は、請求項３または
４に記載の発明において、部分的に熱圧着する際に剥離
性手段を介して熱圧着する製造方法としたものであり、
熱圧着時のアンカーポンチへのプリプレグあるいは内層
材の吸着を防止でき、積層精度を損なわずに熱圧着でき
るという作用を有する。

【００２２】請求項６に記載の発明は、請求項１または
２に記載の発明において、プリプレグが乾燥された状態
で供給するようにした製造方法としたものであり、長時
間製造装置や工程内にストックできるという作用を有す
る。

【００２３】請求項７に記載の発明は、上面に平滑面を
備えた基板積層用の基台を定間隔で備えて間欠搬送され
る基台搬送部と、導電箔を供給して前記基台上に載置す
る第１の導電箔供給部と、プリプレグ供給部から供給さ
れたプリプレグを前記基台上に載置された導電箔上に載
置する積層部と、導電箔を供給して前記導電箔上に載置
されたプリプレグ上に載置する第２の導電箔供給部と、
これらの積層された積層体を取り出す取り出し部からな
る構成の積層板の製造装置としたものであり、各動作工
程が並列処理できるという作用を有する。

【００２４】請求項８に記載の発明は、請求項７記載の
発明において、両面に導電パターンを形成した内層材を
供給する内層材供給部を設けると共に積層部に位置決め
機構を設け、プリプレグ供給部から供給されたプリプレ
グを基台上に配置された導電箔上に位置決めして載置
し、このプリプレグ上に前記内層材を位置決めして載置
し、更に、この内層材上に再びプリプレグを位置決めし
て載置するようにした構成の製造装置としたものであ
り、平面上に積層することができ、積層精度向上および
各動作工程が並列処理できるという作用を有する。

【００２５】請求項９に記載の発明は、請求項７または
８に記載の発明において、第１の導電箔供給部が第２の
導電箔供給部を兼ねたものである構成の製造装置とした
ものであり、導電箔供給部が１つになり、製造装置の面
積を小さくすることができるという作用を有する。

【００２６】請求項１０に記載の発明は、請求項７〜９
のいずれか一つに記載の発明において、基台として積層
体周辺部分に対応する位置に部分的に熱圧着するための
抜き孔を設けたものを用いた構成の製造装置としたもの
であり、基台の停止位置で上下からアンカーにより熱圧
着できて各層間を固着できるという作用を有する。

【００２７】請求項１１に記載の発明は、請求項７〜１
０のいずれか一つに記載の発明において、基台の相対向
する両辺にこの基台の上面に常に載置される導電箔を常
に圧接するように付勢されたワーク押えを設けた構成の
製造装置としたものであり、基台上に供給された導電箔
の姿勢を基台搬送時および積層部で導電箔上にプリプレ
グ、または導電箔上にプリプレグ、さらに内層材を積層
する際にも保持できるという作用を有する。

【００２８】請求項１２に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明において、ワーク押えを回転軸に取り付けこ
の回転軸をワーク押えが常に基台の上面に圧接するよう
に回転付勢するとともに、この回転軸に固着したアーム
に対向して回転軸の回転付勢方向と逆方向に回転制御し
てワーク押えを一時的に基台上からの圧接を解除するワ
ーク押え解除手段を設けた構成の製造装置としたもので
あり、導電箔供給時にワーク押えを自動で解除できると
いう作用を有する。

【００２９】請求項１３に記載の発明は、請求項７〜１
０のいずれか一つに記載の発明において、基台の上面に
載置される導電箔を吸着により基台上に位置決めするた
めの真空吸着孔を基台に設けた構成の製造装置としたも
のであり、導電箔を吸着することにより基台平面上に導
電箔が、しわが無く均一に保持することができるという
作用を有する。

【００３０】請求項１４に記載の発明は、請求項７〜１
３のいずれか一つに記載の発明において、基台を定間隔
で備えた基台搬送部の間欠停止位置に、基台の一辺を基
準位置に位置決めするストッパと、このストッパに基台
を圧接する付勢部材を一組とした位置決め機構をＸ，Ｙ
方向にそれぞれ設けると共に、上記Ｘ，Ｙ方向のそれぞ
れのストッパと基台の当接状態をそれぞれ検知する検知
手段を設けた構成の製造装置としたものであり、積層中
における基台位置決め確認およびその精度が向上すると
いう作用を有する。

【００３１】請求項１５に記載の発明は、請求項７〜９
のいずれか一つに記載の発明において、少なくともプリ
プレグを搬送供給する移動台車として、上面に凹部もし
くは貫通孔を持ち、周辺部にワーク保持手段を設け、か
つワーク保持手段の解除手段を持ったもので構成した製
造装置としたものであり、孔に充填された導電ペースト
に触れることなく、かつ搬送時の少なくともプリプレグ
のずれもないという作用を有する。

【００３２】請求項１６に記載の発明は、請求項７〜９
のいずれか一つに記載の発明において、積層部として、
認識カメラによる認識部を有する構成の製造装置とした
ものであり、認識カメラによる認識マークの認識で、精
度良く確実に位置決めすることができるという作用を有
する。

【００３３】請求項１７に記載の発明は、請求項１６に
記載の発明において、認識部を、粗認識カメラによる粗
認識部と、本認識カメラによる本認識部を有するものと
した構成の製造装置としたものであり、粗認識カメラで
プリプレグまたは内層材の認識マークが本認識カメラ視
野に入る範囲に位置決めし、次に粗認識より倍率の高い
本認識カメラで認識し位置決めすることにより、請求項
１６に記載の発明による作用より、より高い位置決め精
度や、積層精度の向上が図れるという作用を有する。

【００３４】請求項１８に記載の発明は、請求項７〜９
のいずれか一つに記載の発明において、積層部として、
ベース上に配置された大Ｙ軸レール上に走行可能に配置
された大Ｙテーブルを設け、この上に微細ｙ軸レールを
設け、この微細ｙ軸レール上にｙテーブルをＹ方向に移
動可能に設け、このｙテーブル上に微細ｘ軸レールを設
け、この微細ｘ軸レール上にｘテーブルをＸ方向に移動
可能に設け、このｘテーブル上にθテーブルを介してス
イングボデイを設け、このスイングボデイ上にプリプレ
グまたは内層材をチャッキングするチャックをＺ方向に
移動自在に設けて構成した製造装置としたものであり、
長ストローク移動用大Ｙ軸レールと微小距離高精度位置
決め用ｙ軸レールを分離して生産性と積層精度の向上を
両立させ、かつスイングボデイ上に配置されたチャック
でプリプレグまたは内層材をチャッキングしたままの姿
勢で認識後、位置決めし、積層することができ積層精度
が向上するという作用を有する。

【００３５】請求項１９に記載の発明は、請求項７〜１
３のいずれか一つに記載の発明において、積層部とし
て、相対向する一対のチャックを備え、少なくとも一つ
のチャックにテンションを加えるようにした構成の製造
装置としたものであり、プリプレグまたは内層材のし
わ、たるみをとることが可能で、精度良く認識マークを
認識でき、積層精度の向上が図れるという作用を有す
る。

【００３６】請求項２０に記載の発明は、請求項７〜９
のいずれか一つに記載の発明において、積層部として、
少なくとも４個のチャックを備え、この４個のチャック
の内１個のチャックを固定チャックとし、隣接するチャ
ックをＹ方向にテンションを加えるチャックとし、相対
する側の一方のチャックをＸ方向にテンションを加える
Ｘテンションチャックとし、残りの１個のチャックをＸ
−Ｙ方向にテンションを加えるＸ−Ｙテンションチャッ
クもしくは固定チャックと対角方向にテンションを加え
る対角テンションチャックとした構成の製造装置とした
ものであり、プリプレグまたは内層材のしわ、たるみを
とることができ、積層精度の向上が図れるという作用を
有する。

【００３７】請求項２１に記載の発明は、請求項１９も
しくは２０に記載の発明において、チャックに保持され
てテンションを加えられたワークの略中心部を貼り付け
部材に当接するための当接部を積層部に設けた構成の製
造装置としたものであり、ワークの略中心部を貼り付け
部材に当接することにより、その後の熱圧着完了までワ
ークの状態を保持できるという作用を有する。

【００３８】請求項２２に記載の発明は、請求項１９〜
２１のいずれか一つに記載の発明において、少なくとも
ワークの一部に食い込んでワークを保持するためのピン
をチャックに設けた構成の製造装置としたものであり、
チャックに対するワークの滑りを防止して、安定してワ
ークを保持できることができ、積層精度の向上が図れる
という作用を有する。

【００３９】請求項２３に記載の発明は、請求項７〜９
のいずれか一つに記載の発明において、基台上の導電箔
上にプリプレグまたは内層材を積層する基台の停止位置
に、基台の抜き孔を通って上動する下アンカーと、この
下アンカーとの間に積層体の周辺部の一部を加圧して加
熱されて積層体の一部を部分的に熱圧着する上アンカー
を設けた構成の製造装置としたものであり、各層間の固
着を容易にし、固着強度を保持でき、積層精度を損なわ
ずに積層できるという作用を有する。

【００４０】請求項２４に記載の発明は、請求項７〜９
のいずれか一つに記載の発明において、積層体の取り出
し部として、プレート上のレールにガイドされて移動す
る移動体の内側両側にキャリアプレートを走行させるロ
ーラを一定間隔をもって複数個設け、この移動体にキャ
リアプレートの一端に当接する固定板とキャリアプレー
トの内側面に当接して固定板とで位置決めする揺動可能
な引っ掛け爪とを設け、このキャリアプレートを移動さ
せてキャリアプレート上に並列に積層体を収納するよう
にした構成の製造装置としたものであり、自動で積層体
の取り出しが可能になるという作用を有する。

【００４１】請求項２５に記載の発明は、請求項７〜９
のいずれか一つに記載の発明において、導電箔上に載置
されたプリプレグもしくはプリプレグと内層材とプリプ
レグを介して載置された導電箔上を押圧して熱圧着する
熱圧着機構を第２の導電箔供給部から供給された導電箔
が載置される基台搬送部の間欠停止位置に設けた構成の
製造装置としたものであり、少なくとも導電箔とプリプ
レグと導電箔、もしくは導電箔とプリプレグと内層材と
プリプレグと導電箔を１度に熱圧着することができ、ず
れの発生が無く次工程まで積層精度を損なわずに維持で
きるという作用を有する。

【００４２】以下、本発明の実施の形態について図面を
用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の第１の実施の形態にお
ける２層の積層板の製造方法を説明する製造工程図であ
り、図１において、１は基台であるところの金属材ある
いは樹脂材などでなるパレットであり、金属材あるいは
セラミック材でなり、内部にニクロム線などのヒータ、
電磁誘導、赤外線などによる加熱機構を埋設し上下移動
自在な複数の対のアンカーポンチ９、および、下アンカ
ーポンチ７が挿通するアンカー抜き孔２を複数設けてい
る。

【００４３】３，３ａは銅箔などでなる導電箔、５は従
来の技術の項で説明したプリプレグ、４は導電性ペース
トであり、導電材料や混合材および溶剤などでなり、ス
キージなどの手段により、プリプレグ５の所定箇所にお
ける所定数の孔に充填されている。

【００４４】６は下アンカーポンチ７に対向した同じく
上下移動自在の上アンカーポンチ、８は剥離性に優れた
剥離手段としてのテフロンテープ、そして１０は完成し
た２層の積層板である。

【００４５】次に、製造方法について説明すると、ま
ず、図１（ａ）に示すように、上、下アンカーポンチ
６，７、およびアンカーポンチ９が上下に待避したパレ
ット１の上面に導電箔３を載置する。

【００４６】次に、図１（ｂ）に示すように、導電箔３
の上に導電性ペースト４が充填され、導電箔３よりやや
小さいサイズのプリプレグ５を位置決めして載置する。

【００４７】次に、図１（ｃ）に示すように、パレット
１の上面の導電箔３およびプリプレグ５の所定位置を、
パレット１に設けられたアンカー抜き孔２を挿通して上
昇させた下アンカーポンチ７と、下降させた上アンカー
ポンチ６とプリプレグ５の間にテフロンテープ８を介在
させて上アンカーポンチ６のプリプレグ５へのくっつき
を防止し、導電箔３とプリプレグ５を加熱、加圧してプ
リプレグ５の樹脂成分を硬化させて導電箔３と部分的に
熱圧着する。

【００４８】次に、図１（ｄ）に示すように、上、下ア
ンカーポンチ６，７を再び元の位置に復帰させて待機さ
せた後、プリプレグ５上にプリプレグ５よりやや大きい
サイズの導電箔３ａを載置する。

【００４９】次に、図１（ｅ）に示すように、パレット
１上の導電箔３、プリプレグ５、導電箔３ａの前記導電
箔３とプリプレグ５を熱圧着した位置とは異なる別の所
定の位置を、上下に設けたアンカーポンチ９を上昇およ
び下降させて加熱、加圧し、プリプレグ５の樹脂成分を
硬化させて、導電箔３、導電箔３ａを部分的にプリプレ
グ５と熱圧着して、図１（ｆ）に示すような２層の積層
板１０を形成するものである。

【００５０】なお、上、下アンカーポンチ６，７、およ
びアンカーポンチ９の本数あるいは形状により、部分的
でなく全面の熱圧着を行う方法としてもよい。

【００５１】（実施の形態２）図２は本発明の第２の実
施の形態における４層の積層板の製造方法を説明する製
造工程図であり、図２において、１１ａおよび１１ｂは
前記積層板１０の両面の導電箔３，３ａをエッチングな
どにより形成した導電パターンであり、１２は前記導電
パターン１１ａ，１１ｂが導電性ペースト４により電気
的に接続されてなる基材としての内層材である。

【００５２】次に、製造方法について説明すると、まず
図２（ａ）に示すように、上、下アンカーポンチ６，
７、およびアンカーポンチ９が上下に待避したパレット
１の上面に導電箔３を載置する。

【００５３】次に、図２（ｂ）に示すように、導電箔３
上に導電性ペースト４が充填された導電箔３よりやや小
さいサイズのプリプレグ５を位置決めして載置する。

【００５４】次に、図２（ｃ）に示すように、パレット
１の上面の導電箔３およびプリプレグ５の所定位置を、
パレット１に設けられたアンカー抜き孔２を挿通して上
昇させた下アンカーポンチ７と、下降させた上アンカー
ポンチ６とプリプレグ５の間にテフロンテープ８を介在
させて上アンカーポンチ６のプリプレグ５へのくっつき
を防止し、導電箔３とプリプレグ５を加熱、加圧してプ
リプレグ５の樹脂成分を硬化させて導電箔３と部分的に
熱圧着する。

【００５５】次に、図２（ｄ）に示すように、上、下ア
ンカーポンチ６，７を再び元の位置に復帰して待機させ
た後、プリプレグ５上に両面に導電パターン１１ａ，１
１ｂを形成した内層材１２を位置決めして載置する。

【００５６】次に、図２（ｅ）に示すように、再びパレ
ット１に設けられたアンカー抜き孔２を挿通して上昇さ
せた下アンカーポンチ７と、下降させた上アンカーポン
チ６とプリプレグ５の間にテフロンテープ８を介在させ
て上アンカーポンチ６のプリプレグ５へのくっつきを防
止し、導電箔３、プリプレグ５、内層材１２を加熱、加
圧してプリプレグ５の樹脂成分を硬化させて部分的にそ
れぞれ熱圧着するが、この際、接着力を保つために、先
に樹脂成分を硬化させた位置を避けるようにしている。

【００５７】次に、図２（ｆ）に示すように、上、下ア
ンカーポンチ６，７を再々度元の位置に復帰させて待機
させた後、内層材１２の上にプリプレグ５ａを位置決め
して載置する。

【００５８】次に、図２（ｇ）に示すように、再々度パ
レット１に設けられたアンカー抜き孔２を挿通して上昇
させた下アンカーポンチ７と、下降させた上アンカーポ
ンチ６とプリプレグ５ａの間にテフロンテープ８を介在
させて上アンカーポンチ６のプリプレグ５ａへのくっつ
きを防止し、導電箔３、プリプレグ５、内層材１２、プ
リプレグ５ａを積層して加圧、加熱して、プリプレグ５
ａの樹脂成分を硬化させて部分的に内層材１２とプリプ
レグ５ａを熱圧着させる。

【００５９】次に、図２（ｈ）に示すように、上、下ア
ンカーポンチ６，７を元の位置に復帰して待機させた
後、プリプレグ５ａの上にプリプレグ５ａよりやや大き
いサイズの導電箔３ａを載置する。

【００６０】次に、図２（ｉ）に示すように、パレット
１上の導電箔３、プリプレグ５、内層材１２、プリプレ
グ５ａを熱圧着した位置とは異なる別の所定の位置を、
上下に設けたアンカーポンチ９を上昇および下降させて
加熱、加圧して導電箔３、プリプレグ５、内層材１２、
プリプレグ５ａ、そして導電箔３ａを積層してプリプレ
グ５および５ａの樹脂成分を硬化させて全面あるいは部
分的に熱圧着することにより、図２（ｊ）に示すような
４層の積層板１０ａが形成されるものである。

【００６１】なお、４層以上の積層数の積層板を形成す
るには、図２（ｄ）〜（ｇ）の工程を必要回数繰り返す
ことにより可能となるものである。

【００６２】（実施の形態３）図３は本発明による積層
板の製造装置の全体構成を示す概念図、図４は同パレッ
トの要部斜視図、図５は同パレット位置決め部の要部斜
視図、図６は同積層部の要部斜視図、図７は同チャック
部の要部断面図、図８は同他の構成のチャック部の要部
斜視図、図９は同熱圧着部の要部構成を示す概念図、図
１０（ａ）〜（ｆ）は同積層部における製造工程を説明
する製造工程図、図１１（ａ）〜（ｆ）は同他の製造工
程を説明する製造工程図、図１２は同移動台車の要部斜
視図、そして図１３は同取り出し部の要部斜視図であ
る。

【００６３】図３において、１３は基台の例としての複
数のアンカー抜き孔２を設けた金属材などでなり、表面
を平滑にしたパレット１を間欠搬送させるパレット搬送
部、１４はパレット搬送部１３の移送経路に配置された
第１の停止位置、同じく１７は第２の停止位置、そして
２３は第３の停止位置である。

【００６４】１５は第１の停止位置１４の延長線近傍に
配置した導電箔３をパレット１に移載供給する第１の導
電箔供給部、１６は搬送経路上で第２の停止位置１７に
配置した積層部であり、上、下アンカーポンチ６，７な
どでなる熱圧着部２４、複数の粗認識カメラ５３などで
なる粗認識部１９、複数の本認識カメラ５４などでなる
本認識部２０、パレット位置決め部１８（図示せず）な
どで構成されている。

【００６５】２５は第３の停止位置２３の延長線近傍に
設置された導電箔３ａをパレット１の上に移載供給する
第２の導電箔供給部、そして９は前記で説明したが、搬
送経路上の第２の導電箔供給部２５に配設され、上下移
動自在の加熱機構が内蔵されたアンカーポンチであり、
上下の対でありその上下先端には耐熱性の金属あるいは
セラミック材のキャップ（図示せず）を被せている。

【００６６】２６は取り出し部であり、積層板１０を載
置するため配置されたキャリアプレート１２２などによ
り構成されている。そして、２８は一端が第２の停止位
置１７に隣接している移動台車搬送部であり、プリプレ
グ５，５ａ、内層材１２を載置して搬送する移動台車２
７が移動する。

【００６７】そして、３１は除湿室であり、プリプレグ
５，５ａの乾燥あるいは乾燥を維持して保管および移動
台車２７に移載供給するプリプレグ供給部２９，２９ａ
と、同じく内層材１２の乾燥あるいは乾燥を維持して保
管および移載供給する内層材供給部３０により構成され
ている。

【００６８】次に、動作について説明すると、まず、パ
レット搬送部１３において基台であるパレット１が間欠
搬送され、まず最初にパレット１の第１の停止位置１４
において、第１の導電箔供給部１５により、導電箔３が
パレット１の上に載置される。

【００６９】次に、前記のパレット１は第２の停止位置
１７に搬送されてパレット位置決め部１８にて位置決め
され、同時にプリプレグ５がプリプレグ供給部２９から
移動台車２７により積層部１６に移載供給される。

【００７０】そして、積層部１６においてプリプレグ５
が位置決めされ、パレット１の上に載置された導電箔３
の上に積層され、熱圧着部２４の上、下アンカーポンチ
６，７の上昇および下降により導電箔３とプリプレグ５
が部分的に熱圧着される。

【００７１】続いて、前記パレット１は第３の停止位置
２３に搬送され、導電箔３ａがプリプレグ５の上に第２
の導電箔供給部２５から移載供給され、アンカーポンチ
９の上昇および下降により導電箔３、プリプレグ５、お
よび導電箔３ａが部分的あるいは全面で熱圧着されて積
層板１０を形成する。

【００７２】その後、前記パレット１はパレット搬送部
１３を間欠搬送されてパレット搬送部１３の先端である
ところの最終停止位置で位置決めされ、パレット１の上
から積層板１０は取り出され、取り出し部２６のキャリ
アプレート１２２に収納される。

【００７３】なお、導電箔３ａの移載供給は、第２の導
電箔供給部２５を省略して、パレット１を第１の導電箔
供給部１５の位置に戻して導電箔３を移載供給してもよ
い。

【００７４】また、同様にしてパレット１の上に導電箔
３を載置し、第２の停止位置１７における積層部１６で
除湿室３１から供給されるプリプレグ５、内層材１２、
プリプレグ５ａを必要回数繰り返し位置決めして積層
し、加熱、加圧することにより多層の積層板１０を製造
することが可能である。

【００７５】以下、各部について説明する。まず、図４
を用いてパレット１について説明する。図４において、
３２は両側帯に切欠き部を設けたパレットプレートであ
り、積層板１０の周辺部分に対応する位置に部分的に熱
圧着するためのアンカー抜き孔２、および導電箔３，３
ａや積層板１０などを吸着保持するための真空吸着孔３
９を設け、載置面を平滑にした金属材あるいはセラミッ
ク材との複合構造などでなっている。

【００７６】３３は保持手段の例としての金属材でなる
複数の対のワーク押えであり、両側帯の切欠き部の両端
に設置した軸受け３６に回転自在に支持された回転軸３
４に一端が結合されており、他端を積層板１０などのワ
ークを押圧し保持するために、コイルバネ３５により回
転付勢している。

【００７７】３７は一端が回転軸３４の中央部分に結合
された金属材などでなるアームであり、他端は切込部３
２ａ内に通常時位置しており、解除手段の例として、パ
レット１の停止位置に配置されたシリンダ３８の駆動に
より先端が当接して揺動され、回転軸３４を回動させて
ワーク押え３３の他端によるワークへの押え力を一時的
に解除するものである。

【００７８】次に、このように構成されたパレット１の
動作について図３，図４を用いて説明すると、まず、パ
レット１は搬送された第１の停止位置１４で位置決めさ
れた後、ワーク押え３３の押圧をシリンダ３８の駆動に
より解除し、第１の導電箔供給部１５で位置決めされた
導電箔３がパレット１の上に移載供給された後、ワーク
押え３３がシリンダ３８の駆動による解除を停止し、コ
イルバネ３５の回転付勢により導電箔３を押圧し保持す
る。

【００７９】次に、前記のパレット１は第２の停止位置
１７に搬送されて位置決めされ、移動台車搬送部２８を
移動台車２７により搬送されたプリプレグ５，５ａある
いは内層材１２が積層部１６において位置決めされてパ
レット１の上の導電箔３の上に移載供給される。

【００８０】この際、導電箔３よりプリプレグ５，５ａ
および内層材１２をやや小さいサイズのものを使用する
ことにより、ワーク押え３３が導電箔３を押さえたまま
の状態でプリプレグ５，５ａおよび内層材１２を導電箔
３の上に積層することができる。

【００８１】次に、前記のパレット１は第３の停止位置
２３に搬送されて位置決めされた後、ワーク押え３３の
押圧をシリンダ３８の駆動により解除し、第２の導電箔
供給部２５より導電箔３ａがパレット１の上に移載供給
され、続いてワーク押え３３がシリンダ３８の駆動によ
る解除を停止し、コイルバネ３５の回転付勢により導電
箔３ａを押圧し保持する。

【００８２】次に、パレット搬送部１３の先端における
パレット停止位置でワーク押え３３の押圧をシリンダ３
８の駆動により解除し、パレット１上の熱圧着されて形
成された積層体１２は取り出し部２６のキャリアプレー
ト１２２に移載され収納される。

【００８３】次に、図５により位置決め機構であるパレ
ット位置決め部１８を説明する。図５において、４０は
金属材などでなり、少なくとも２個が配設された位置決
めブロックであり、パレット搬送部１３の第２の停止位
置１７に配置され、パレット１の停止位置の一辺に取り
付けられており、その上部にブロック４０と電気的に絶
縁されたカムフォロア４１が設置されている。

【００８４】４２はストッパーとしての位置決めピンで
あり、前記の一辺の隣接する一方の辺の中央部に、上下
駆動用のシリンダ４４の先端に一端を結合した軸受け４
３の他端に電気的に絶縁されて取り付けられている。

【００８５】４６はレバーであり、前記の辺に対向した
辺に支点ピン４７で回動自在に設置されており、上端に
パレット１の側端に当接するカムフォロア４８を、そし
て下端には駆動用のシリンダ４５の一端を連結してお
り、シリンダ４５の駆動によりパレット１をカムフォロ
ア４８により押圧して上流、すなわち先端側の側端を位
置決めピン４２に押し当てるものである。

【００８６】４９はブロック５０に取り付けられ、パレ
ット１の移動に対応して移動するカムフォロア、５１は
一端にブロック５０を結合したシリンダであり、カムフ
ォロア４９をパレット１の側端に当接させて押圧し、対
向する側端をカムフォロア４１に押し当てて位置決めを
行うものである。

【００８７】５２は検知手段としての検知用の導線であ
り、位置決めピン４２、２個のカムフォロア４１と検知
部（図示せず）間を配線しており、周辺部が金属材など
の導体でなるパレット１の位置決め状態を導通により検
出するようにしたものである。

【００８８】次に、このように構成されたパレット位置
決め部１８の動作について説明すると、まず、パレット
１が間欠搬送されて第２の停止位置１７のパレット位置
決め部１８で停止するとシリンダ４４により位置決めピ
ン４２が上昇し、次にカムフォロア４９がシリンダ５１
の駆動により移動してカムフォロア４１にパレット１の
側端を当接させ、続いてカムフォロア４８がレバー４６
を介してシリンダ４５の駆動により移動し、位置決めピ
ン４２にパレット１の側端を当接させる。

【００８９】以上の動作によりパレット１は位置決めさ
れ、カムフォロア４１および位置決めピン４２に導線５
２を経由して電流を流し、検知部により導通を検知する
ことによって位置決め状態の検出を行うものである。

【００９０】次に、図６により積層部１６について説明
する。積層部１６は、粗認識部１９、本認識部２０、ア
ライメント部２１、チャック部２２、および図９に示す
熱圧着部２４により構成されている。

【００９１】また、複数の粗認識カメラ５３による粗認
識部１９と、複数の粗認識カメラ５３より倍率および解
像度の優れた本認識カメラ５４による本認識部２０、そ
してアライメント部２１は、大Ｙテーブル５９、微細ｙ
テーブル６３、微細ｘテーブル６７、θテーブル６８を
含んで構成されている。

【００９２】大Ｙテーブル５９は金属材でなるベース５
５上に配置された一対の大Ｙ軸レール５６上に走行自在
に配置され、モータ５７に連結されて回転駆動されるボ
ールネジ５８から水平移動の駆動を与えられている。

【００９３】微細ｙテーブル６３は、大Ｙテーブル５９
上に設置された一対の微細ｙ軸レール６０上をＹ方向に
走行自在に配置され、モータ６１に連結されて回転駆動
されるボールネジ６２からＹ方向の精密な水平移動の駆
動を与えられている。

【００９４】微細ｘテーブル６７は、微細ｙテーブル６
３上に設置された一対の微細ｘ軸レール６４上をＸ方向
に走行自在に配置され、モータ６５に連結されて回動駆
動されるボールネジ６６からＸ方向の精密な水平移動の
駆動を与えられている。

【００９５】スイングボデイ６９は、微細ｘテーブル６
７の上にθテーブル６８を介してθ方向に回転自在に配
置され、以上によりアライメント部２１が構成されてい
る。

【００９６】次に、図６，図７を用いてチャック部２２
について説明する。７０はスイングボデイ６９の両端側
に配置された軸受けであり、一対のスライドＺ軸７１が
摺動自在に挿通しており、そのスライドＺ軸７１の上端
にはプレート７２を固着し、上下方向すなわちＺ方向に
移動自在としている。

【００９７】プリプレグ５，５ａまたは内層材１２をチ
ャッキングするチャックはチャック押え７７に内蔵さ
れ、先端が下面に突出してワークに当接して食い込み保
持する固定のピン８４の逃がし孔８５を設けたチャック
プレート７６、チャック押え７７を上下駆動するチャッ
ク開閉シリンダ７８、ピン８４より先端に埋設されたス
トリッパ８６、ピン８４の先端が食い込んだワークから
離脱し易くするようにストリッパ８６を付勢する圧縮バ
ネ８７と、その上部を固定するフタ８８から構成されて
おり、そして、少なくとも４個の前記チャックを備えて
おり、この４個のチャックの内１個のチャックを固定チ
ャック７９とし、８０のＹテンションチャックの下とプ
レート７２の間に設けられたＹテンション用シリンダ７
５によりＹ方向にテンションを印加するようにしてい
る。

【００９８】８１はＸテンションチャックであり、相対
する側に配置され、そのチャックの下とプレート７２の
間に設けられたＸテンション用シリンダ７３によりＸ方
向にテンションを印加するようにしている。

【００９９】８２はＸ−Ｙテンションチャックであり、
その残りのチャックの下とプレート７２の間に設けられ
たＸ−Ｙテンション用シリンダ７４によりＸ−Ｙ方向に
テンションを印加するようにしているものである。

【０１００】なお、図８に示すようにプリプレグ５，５
ａまたは内層材１２の相対向する辺のほぼ全てをチャッ
キングするように、固定チャック７９ａとＸテンション
チャック８１ａにより構成してもよい。

【０１０１】次に、図９を用いて熱圧着部２４について
説明する。図９において、６，７は前記で説明した上、
下アンカーポンチであり、パレット１のアンカー抜き孔
２を挿通して上下移動自在とし、さらに各層毎の熱圧着
に対して位置がずらせるように左右移動自在に配設され
ている。

【０１０２】剥離性に優れた材料であるテフロンテープ
８がたるまないように配設されたテープロール９６に連
結されたテンション用モータ９２、テフロンテープ８の
上面を上アンカーポンチ６が二度打ちしないように、テ
フロンテープ８を押えローラ９１と共に挟持して移送す
る送りローラ８９を配設している。

【０１０３】９０は送りローラ８９に回転駆動を与える
送り用モータ、９３は使用後のテフロンテープ８を巻き
取る巻き取りロール９５に回転駆動を与える巻き取りモ
ータ、９４はテフロンテープ８を規制しガイドするロー
ラ、そして９７は上下移動自在に配置され、金属材ある
いはセラミック材などでなり、先端が角形状の当接部で
あり、以上により熱圧着部２４が構成されている。

【０１０４】熱圧着部２４は、パレット１上に位置決め
されたプリプレグ５，５ａあるいは内層材１２が供給さ
れる毎に、熱圧着部２４に配置された上アンカーポンチ
６およびアンカー抜き孔２を挿通して上昇する下アンカ
ーポンチ７で挟持し、加熱、加圧して熱圧着する。

【０１０５】テフロンテープ８は、上アンカーポンチ６
により一度加熱、加圧された位置に再度上アンカーポン
チ６が当接しないように、送りローラ８９、押えローラ
９１で挟持され、送り用モータ９０の駆動により定間隔
で移送される。

【０１０６】以下、図６〜図９を用いて積層部１６の動
作について説明する。まず、移動台車２７により供給さ
れたプリプレグ５，５ａあるいは内層材１２は、チャッ
ク部２２に配置された固定チャック７９、Ｙテンション
チャック８０、Ｘテンションチャック８１、およびＸ−
Ｙテンションチャック８２によりチャッキングされ、ピ
ン８４の先端がプリプレグ５，５ａまたは内層材１２に
食い込み、テンションを各方向に印加して均一な平面に
する。

【０１０７】次に、テンションを印加された状態で粗認
識部１９の粗認識カメラ５３によりあらかじめ各々にマ
ーキングされた認識マーク８３を認識し、本認識カメラ
５４の視野に入るようにアライメント部２１により位置
決めされながら大Ｙテーブル５９の移動によりパレット
１の上に載置し、積層できる位置まで移動する。

【０１０８】そして、本認識カメラ５４からなる本認識
部２０により認識マーク８３を認識して、アライメント
部２１により所定の位置になるように調整し位置決めさ
れた後、熱圧着部２４により加熱、圧着されて積層板が
形成されるものである。

【０１０９】次に、パレット１の上でプリプレグ５を熱
圧着により貼り合わせる工程を例にして図１０を用いて
説明する。

【０１１０】まず、図１０（ａ）は、前記本認識部２０
でプリプレグ５が位置決めされた時の状態を示してお
り、次に図１０（ｂ）に示すように、位置決め完了後、
チャック部２２はプリプレグ５をチャッキングし、テン
ションを各方向に印加した状態で、Ｚ方向である降下を
行い、チャック部２２はパレット１上の導電箔３とは最
小限の隙間を保持して停止する。

【０１１１】次に、図１０（ｃ）に示すように、当接部
９７が下降してプリプレグ５の略中心部を貼り付け部材
である導電箔３に当接させる。

【０１１２】次に、図１０（ｄ）に示すように、テフロ
ンテープ８を介して上アンカーポンチ６と下アンカーポ
ンチ７を下降および上昇させ、パレット１の上の導電箔
３とプリプレグ５を挟持して部分的に加熱、加圧して熱
圧着する。

【０１１３】次に、図１０（ｅ）に示すように、当接部
９７およびテフロンテープ８を介した上アンカーポンチ
６と下アンカーポンチ７を、その状態のままでパレット
１の上で導電箔３の上のプリプレグ５を挟持しているチ
ャック部２２の駆動を解除してプリプレグ５への固定チ
ャック７９、Ｘテンションチャック８１などによるチャ
ッキングを開放する。

【０１１４】この時、前記ストリッパ８６の動作によ
り、ピン８４からプリプレグ５を離脱し易くしている。

【０１１５】次に、図１０（ｆ）に示すように、熱圧着
終了後、当接部９７、上アンカーポンチ６、テフロンテ
ープ８、下アンカーポンチ７の順に、パレット１上の導
電箔３あるいはプリプレグ５から離脱し、元の位置に復
帰する。

【０１１６】なお、パレット１の上の導電箔３、プリプ
レグ５の上に内層材１２を貼り合わせる時、あるいはパ
レット１の上の導電箔３、プリプレグ５、内層材１２の
上にプリプレグ５ａを貼り合わせる時も同様である。

【０１１７】また、図１１は他の貼り合わせの工程を示
したものであり、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、
プリプレグ５の略中心部を弛ませるようにしてチャック
部２２によりテンションをかけて位置決めを行い、この
位置決め完了後、チャック部２２はプリプレグ５をチャ
ッキングし、かつ必要なテンションを各方向に印加した
状態のままで、Ｚ方向である降下を行う。

【０１１８】その際、プリプレグ５の略中心部を貼り付
け部材である導電箔３に当接部９７により当接させて
も、プリプレグ５に新たに不具合となるテンションは発
生しないものであり、この後、図１０で説明した工程と
同じ工程により貼り合わせを行うものである。

【０１１９】次に、図１２を用いて移動台車２７につい
て説明する。図１２において、９８は上面に凹部を設
け、外周辺部に真空吸着孔１０６を複数有した金属材な
どでなる凹プレート、１０４は凹プレート９８の移動方
向の両端に取り付けられ、移動などの駆動を伝達するス
チールベルト、９９はワーク押え、１０１はコイルバ
ネ、１００は回転軸、１０２は軸受け、１０３はアー
ム、１０５は移動台車搬送部２８に移動台車２７の停止
位置に配置されたシリンダであり、以上から構成されて
おり、前記において図４を用いて説明したパレット１と
同様の構成であり、詳細な説明は省略する。

【０１２０】次に、動作について説明すると、移動台車
２７は除湿室３１のプリプレグ供給部２９，２９ａある
いは内層材供給部３０から、プリプレグ５，５ａあるい
は内層材１２の供給位置で停止し、ワーク押え９９を移
動台車搬送部２８に配置されたシリンダ１０５の駆動に
より解除された凹プレート９８の上に、プリプレグ５，
５ａあるいは内層材１２が移載供給される。

【０１２１】その後、ワーク押え９９の解除を停止し、
ワーク押え９９により凹プレート９８の上のプリプレグ
５，５ａあるいは内層材１２を押圧し保持した状態で積
層部１６の供給位置まで移動し、再び、ワーク押え９９
をシリンダ１０５の駆動により解除し、凹プレート９８
の上のプリプレグ５，５ａあるいは内層材１２を積層部
１６の所定位置に移載供給する。

【０１２２】なお、ワーク押え９９によるワークの押
圧、保持の代わりに真空吸着孔１０６を用いた真空吸着
によるワークの吸着保持を行うようにしてもよい。

【０１２３】次に、図１３を用いて取り出し部２６につ
いて説明する。図１３において、１０７は金属材でな
り、上面に一対のレール１０８を設置したベース、１１
１は金属材などでなるプレートであり、駆動用のモータ
１０９に連結したボールネジ１１０の回転駆動によりレ
ール１０８上を走行自在に設置されている。

【０１２４】１１２はガイドプレートであり、プレート
１１１の上面の側帯にキャリアプレート１２２のガイド
用として設置されており、内面側の上部にローラ１１３
が一定間隔をもって回転自在に取り付けられている。

【０１２５】また、１１５はプレートであり、プレート
１１１の上面中央部に設置したりシリンダ１１４上にプ
レート１１１と同方向に移動自在として配設されてお
り、そのプレート１１５上の一端には、シリンダ１２０
の一端に取り付けられキャリアプレート１２２の一側端
に片面が当接する固定板１２１が設置されている。

【０１２６】１１９は一対の引っ掛け爪であり、キャリ
アプレート１２２の内側面に先端部を引っ掛け、同側面
の外面に当接する固定板１２１の片面により位置決めす
る。また、引っ掛け爪１１９は、ブラケット１１７に連
結されており、支点ピン１１８を支点にシリンダ１１６
の駆動により回動するブラケット１１７により揺動自在
となっている。

【０１２７】次に、動作について説明すると、取り出し
部２６は、パレット１の上から真空吸着などの手段によ
り取り出され移送された積層板１０を、取り出し移送毎
にプレート１１１の位置を移動させ変更させることによ
り位置設定した、引っ掛け爪１１９と固定板１２１で保
持されたキャリアプレート１２２内の所定箇所に並列に
整理して収納するものである。

【０１２８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、積層板の
製造における積層工程において、積層精度の向上と生産
性の向上を図り、発塵が少なく信頼性の高い生産手段で
ある積層板の製造方法およびその製造装置が提供できる
ものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態における２層の積層
板の製造方法を説明する製造工程図

【図２】本発明の第２の実施の形態における４層の積層
板の製造方法を説明する製造工程図

【図３】本発明による積層板の製造装置の全体構成を示
す概念図

【図４】同パレットの要部斜視図

【図５】同パレット位置決め部の要部斜視図

【図６】同積層部の要部斜視図

【図７】同チャック部の要部断面図

【図８】同他の構成のチャック部を示す要部斜視図

【図９】同熱圧着部の要部を示す概念図

【図１０】同積層部の工程を説明する製造工程図

【図１１】同他の工程を説明する製造工程図

【図１２】同移動台車の要部斜視図

【図１３】同取り出し部の要部斜視図

【図１４】従来の積層板の製造装置を示す要部斜視図

【符号の説明】

１ パレット ２ アンカー抜き孔 ３，３ａ 導電箔 ４ 導電性ペースト ５，５ａ プリプレグ ６ 上アンカーポンチ ７ 下アンカーポンチ ８ テフロンテープ ９ アンカーポンチ １０ 積層板 １１ａ，１１ｂ 導電パターン １２ 内層材 １３ パレット搬送部 １４ 第１の停止位置 １５ 第１の導電箔供給部 １６ 積層部 １７ 第２の停止位置 １８ パレット位置決め部 １９ 粗認識部 ２０ 本認識部 ２１ アライメント部 ２２ チャック部 ２３ 第３の停止位置 ２４ 熱圧着部 ２５ 第２の導電箔供給部 ２６ 取り出し部 ２７ 移動台車 ２８ 移動台車搬送部 ２９，２９ａ プリプレグ供給部 ３０ 内層材供給部 ３１ 除湿室 ３２ パレットプレート ３２ａ 切込部 ３３ ワーク押え ３４ 回転軸 ３５ コイルバネ ３６ 軸受け ３７ アーム ３８ シリンダ ３９ 真空吸着孔 ４０ 位置決めブロック ４１ カムフォロア ４２ 位置決めピン ４３ 軸受け ４４ シリンダ ４５ シリンダ ４６ レバー ４７ 支点ピン ４８ カムフォロア ４９ カムフォロア ５０ ブロック ５１ シリンダ ５２ 導線 ５３ 粗認識カメラ ５４ 本認識カメラ ５５ ベース ５６ 大Ｙ軸レール ５７ モータ ５８ ボールネジ ５９ 大Ｙテーブル ６０ 微細ｙ軸レール ６１ モータ ６２ ボールネジ ６３ 微細ｙテーブル ６４ 微細ｘ軸レール ６５ モータ ６６ ボールネジ ６７ 微細ｘテーブル ６８ θテーブル ６９ スイングボデイ ７０ 軸受け ７１ スライドＺ軸 ７２ プレート ７３ Ｘテンション用シリンダ ７４ Ｘ−Ｙテンション用シリンダ ７５ Ｙテンション用シリンダ ７６ チャックプレート ７７ チャック押え ７８ チャック開閉シリンダ ７９，７９ａ 固定チャック ８０ Ｙテンションチャック ８１，８１ａ Ｘテンションチャック ８２ Ｘ−Ｙテンションチャック ８３ 認識マーク ８４ ピン ８５ 逃がし孔 ８６ ストリッパ ８７ 圧縮バネ ８８ フタ ８９ 送りローラ ９０ 送り用モータ ９１ 押えローラ ９２ テンション用モータ ９３ 巻き取りモータ ９４ ローラ ９５ 巻き取りロール ９６ テープロール ９７ 当接部 ９８ 凹プレート ９９ ワーク押え １００ 回転軸 １０１ コイルバネ １０２ 軸受け １０３ アーム １０４ スチールベルト １０５ シリンダ １０６ 真空吸着孔 １０７ ベース １０８ レール １０９ モータ １１０ ボールネジ １１１ プレート １１２ ガイドプレート １１３ ローラ １１４ シリンダ １１５ プレート １１６ シリンダ １１７ ブラケット １１８ 支点ピン １１９ 引っ掛け爪 １２０ シリンダ １２１ 固定板 １２２ キャリアプレート １２３，１２３ａ 固定チャック １２４，１２４ａ Ｘテンションチャック １２５ チャック部 １２６ 認識カメラ １２７ 認識部 １２８ ｘθテーブル １２９ ｙ軸レール １３０ アライメント部 １３１ ベース １３２ 孔加工部 １３３ ガイドピン １３４ 位置決めプレート １３５ アンカーポンチ １３６ 熱圧着部 １３７ 積層部 １３８，１３８ａ 認識マーク

フロントページの続き (72)発明者 越智 昭夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 皆藤 裕祥 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (25)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面に平滑面を備えた基台に導電箔を配
   置し、その導電箔上に所定の位置に設けられた貫通孔に
   未硬化状態の導電ペーストが充填されたプリプレグを配
   置し、さらにこのプリプレグの上に導電箔を配置する積
   層板の製造方法。
2. 【請求項２】 上面に平滑面を備えた基台上に導電箔を
   配置し、この導電箔上に所定の位置に設けられた貫通孔
   に未硬化状態の導電ペーストが充填されたプリプレグを
   配置し、さらにこのプリプレグの上に両面に導電パター
   ンを施した内層材を位置決めして配置し、この内層材の
   上に前記と同様に形成されたプリプレグを位置決めして
   配置し、この内層材と同プリプレグの配置を必要に応じ
   て繰り返した後、前記プリプレグの上に導電箔を配置す
   る積層板の製造方法。
3. 【請求項３】 導電箔とプリプレグ、もしくはプリプレ
   グと内層材、もしくは導電箔とプリプレグと内層材を全
   面もしくは部分的に熱圧着する請求項１または２に記載
   の積層板の製造方法。
4. 【請求項４】 部分的に熱圧着する場所を各層毎に位置
   をずらせるようにした請求項３に記載の積層板の製造方
   法。
5. 【請求項５】 熱圧着する際に剥離性に優れた剥離用手
   段を介して熱圧着する請求項３または４に記載の積層板
   の製造方法。
6. 【請求項６】 プリプレグが乾燥された状態で供給する
   ようにした請求項１または２に記載の積層板の製造方
   法。
7. 【請求項７】 上面に平滑面を備えた基板積層用の基台
   を定間隔で備えて間欠搬送される基台搬送部と、導電箔
   を供給して前記基台上に載置する第１の導電箔供給部
   と、プリプレグ供給部から供給されたプリプレグを前記
   基台上に載置された導電箔上に載置する積層部と、導電
   箔を供給して前記導電箔上に載置されたプリプレグ上に
   載置する第２の導電箔供給部と、これらの積層された積
   層体を取り出す取り出し部からなる積層板の製造装置。
8. 【請求項８】 両面に導電パターンを形成した内層材を
   供給する内層材供給部を設けると共に積層部に位置決め
   機構を設け、プリプレグ供給部から供給されたプリプレ
   グを基台上に載置された導電箔上に位置決めして載置
   し、このプリプレグ上に前記内層材を位置決めして載置
   し、更に、この内層材上に再びプリプレグを位置決めし
   て載置するようにした請求項７記載の積層板の製造装
   置。
9. 【請求項９】 第１の導電箔供給部が第２の導電箔供給
   部を兼ねたものである請求項７または８に記載の積層板
   の製造装置。
10. 【請求項１０】 基台として積層体周辺部分に対応する
    位置に部分的に熱圧着するための抜き孔を設けたものを
    用いた請求項７〜９のいずれか一つに記載の積層板の製
    造装置。
11. 【請求項１１】 基台の相対向する両辺にこの基台の上
    面に載置される導電箔を常に圧接するように付勢された
    ワーク押えを設けた請求項７〜１０のいずれか一つに記
    載の積層板の製造装置。
12. 【請求項１２】 ワーク押えを回転軸に取り付け、この
    回転軸をワーク押えが常に基台の上面に圧接するように
    回転付勢するとともに、この回転軸に固着したアームに
    対向して回転軸の回転付勢方向と逆方向に回転制御し
    て、ワーク押えを一時的に基台上からの圧接を解除する
    ワーク押え解除手段を設けた請求項１１に記載の積層板
    の製造装置。
13. 【請求項１３】 基台の上面に載置される導電箔を吸着
    により基台上に位置決めするための真空吸着孔を基台に
    設けた請求項７〜１０のいずれか一つに記載の積層板の
    製造装置。
14. 【請求項１４】 基台を定間隔で備えた基台搬送部の間
    欠停止位置に、基台の一辺を基準位置に位置決めするス
    トッパと、このストッパに基台を圧接する付勢部材を一
    組とした位置決め機構をＸ，Ｙ方向にそれぞれ設けると
    共に、上記Ｘ，Ｙ方向のそれぞれのストッパと基台の当
    接状態をそれぞれ検知する検知手段を設けた請求項７〜
    １３のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
15. 【請求項１５】 少なくともプリプレグを搬送供給する
    移動台車として、上面に凹部もしくは貫通孔を持ち、周
    辺部にワーク保持手段を設け、かつワーク保持手段の解
    除手段を持ったもので構成した請求項７〜９のいずれか
    一つに記載の積層板の製造装置。
16. 【請求項１６】 積層部として、認識カメラによる認識
    部を有する請求項７〜９のいずれか一つに記載の積層板
    の製造装置。
17. 【請求項１７】 認識部を、粗認識カメラによる粗認識
    部と、本認識カメラによる本認識部を有するものとした
    請求項１６に記載の積層板の製造装置。
18. 【請求項１８】 積層部として、ベース上に配置された
    大Ｙ軸レール上に走行可能に配置された大Ｙテーブルを
    設け、この上に微細ｙ軸レールを設け、この微細ｙ軸レ
    ール上にｙテーブルをＹ方向に移動可能に設け、このｙ
    テーブル上に微細ｘ軸レールを設け、この微細ｘ軸レー
    ル上にｘテーブルをＸ方向に移動可能に設け、このｘテ
    ーブル上にθテーブルを介してスイングボデイを設け、
    このスイングボデイ上にプリプレグまたは内層材をチャ
    ッキングするチャックをＺ方向に移動自在に設けて構成
    した請求項７〜９のいずれか一つに記載の積層板の製造
    装置。
19. 【請求項１９】 積層部として、相対向する一対のチャ
    ックを備え、少なくとも一つのチャックにテンションを
    加えるようにした請求項７〜１３のいずれか一つに記載
    の積層板の製造装置。
20. 【請求項２０】 積層部として、少なくとも４個のチャ
    ックを備え、この４個のチャックの内１個のチャックを
    固定チャックとし、隣接するチャックをＹ方向にテンシ
    ョンを加えるチャックとし、相対する側の一方のチャッ
    クをＸ方向にテンションを加えるＸテンションチャック
    とし、残りの１個のチャックをＸ−Ｙ方向にテンション
    を加えるＸ−Ｙテンションチャックもしくは固定チャッ
    クと対角方向にテンションを加える対角テンションチャ
    ックとした請求項７〜９のいずれか一つに記載の積層板
    の製造装置。
21. 【請求項２１】 チャックに保持されてテンションを加
    えられたワークの略中心部を貼り付け部材に当接するた
    めの当接部を積層部に設けた請求項１９もしくは２０に
    記載の積層板の製造装置。
22. 【請求項２２】 少なくともワークの一部に食い込んで
    ワークを保持するためのピンをチャックに設けた請求項
    １９〜２１のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
23. 【請求項２３】 基台上に導電箔上にプリプレグまたは
    内層材を積層する基台の停止位置に、基台の抜き孔を通
    って上動する下アンカーと、この下アンカーとの間に積
    層体の周辺部の一部を加圧して加熱されて積層体の一部
    を部分的に熱圧着する上アンカーを設けた請求項７〜９
    のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
24. 【請求項２４】 積層体の取り出し部として、ベット上
    のレールにガイドされて移動する移動体の内側両側にキ
    ャリアプレートを走行させるローラを一定間隔をもって
    複数個設け、この移動体にキャリアプレートの一端に当
    接する固定板とキャリアプレートの内側面に当接して固
    定板とで位置決めする揺動可能な引っ掛け爪とを設け、
    このキャリアプレートを移動させてキャリアプレート上
    に並列に積層体を収納するようにした請求項８または９
    に記載の積層板の製造装置。
25. 【請求項２５】 導電箔上に載置されたプリプレグもし
    くはプリプレグと内層材とプリプレグを介して載置され
    た導電箔上を押圧して熱圧着する熱圧着機構を第２の導
    電箔供給部から供給された導電箔が載置される基台搬送
    部の間欠停止位置に設けた請求項７〜９のいずれか一つ
    に記載の積層板の製造装置。