JPH0413880B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0413880B2 JPH0413880B2 JP56192700A JP19270081A JPH0413880B2 JP H0413880 B2 JPH0413880 B2 JP H0413880B2 JP 56192700 A JP56192700 A JP 56192700A JP 19270081 A JP19270081 A JP 19270081A JP H0413880 B2 JPH0413880 B2 JP H0413880B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- conductive
- conductive pattern
- printed wiring
- multilayer printed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 12
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 10
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 241000252067 Megalops atlanticus Species 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/42—Plated through-holes or plated via connections
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/2805—Bare printed circuit boards
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0266—Marks, test patterns or identification means
- H05K1/0268—Marks, test patterns or identification means for electrical inspection or testing
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
- H05K3/4638—Aligning and fixing the circuit boards before lamination; Detecting or measuring the misalignment after lamination; Aligning external circuit patterns or via connections relative to internal circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
- H05K2201/09781—Dummy conductors, i.e. not used for normal transport of current; Dummy electrodes of components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0008—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits for aligning or positioning of tools relative to the circuit board
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0044—Mechanical working of the substrate, e.g. drilling or punching
- H05K3/0047—Drilling of holes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49004—Electrical device making including measuring or testing of device or component part
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、多層印刷配線板の各層の導電性パタ
ーンの実際位置を電気的に評価可能なテストクー
ポンにより検出する方法に関する。
ーンの実際位置を電気的に評価可能なテストクー
ポンにより検出する方法に関する。
多層印刷配線板を製造する際の最も重要な工程
の一つは、貫通導電接続のためのスルーホールの
穿孔にある。製品としての多層印刷配線板の電気
的機能、信頼性を保証するために、この孔は信号
層としての内層の接続面(例えばランド)および
電位層としての内層の腐食除去部に対し所定の許
容差の範囲内に位置しなければならない。
の一つは、貫通導電接続のためのスルーホールの
穿孔にある。製品としての多層印刷配線板の電気
的機能、信頼性を保証するために、この孔は信号
層としての内層の接続面(例えばランド)および
電位層としての内層の腐食除去部に対し所定の許
容差の範囲内に位置しなければならない。
このような許容差の要求は、製造工程において
パターン要素を印刷した印刷配線板がラスターフ
イールドの交差位置において穿孔されるが、その
場合多くは数値制御されるボール盤、例えば多軸
ボール盤が用いられるために必要である。このボ
ール盤の穿孔スピンドルに対して印刷配線板をラ
スター間隔だけ動かして穿孔する。孔はその際ラ
ンドのほぼ中心点に十分正確に位置するようにな
らなければならない。孔の壁と腐食除去縁部との
間の規定の最小間隔を超えることは許されない。
さらに孔の縁部は接続面(例えばランド)から離
れてはならない。
パターン要素を印刷した印刷配線板がラスターフ
イールドの交差位置において穿孔されるが、その
場合多くは数値制御されるボール盤、例えば多軸
ボール盤が用いられるために必要である。このボ
ール盤の穿孔スピンドルに対して印刷配線板をラ
スター間隔だけ動かして穿孔する。孔はその際ラ
ンドのほぼ中心点に十分正確に位置するようにな
らなければならない。孔の壁と腐食除去縁部との
間の規定の最小間隔を超えることは許されない。
さらに孔の縁部は接続面(例えばランド)から離
れてはならない。
作られた孔の位置の精度は、予め定められたプ
ログラムによつて動作するボール盤の零点または
基準点の座標系内の位置、従つて孔明け台の個々
のラスター間隔の位置が予め与えられた目標ラス
ターフイールドにおける基準点の位置とどの程度
よく一致しているかによつて左右される。
ログラムによつて動作するボール盤の零点または
基準点の座標系内の位置、従つて孔明け台の個々
のラスター間隔の位置が予め与えられた目標ラス
ターフイールドにおける基準点の位置とどの程度
よく一致しているかによつて左右される。
特に多層に圧着された印刷配線板においては、
非常に厳しい許容範囲が要求される。なぜなら、
多層印刷配線板においては異なる層が正確に一線
上にあることがその有用性の前提であるからであ
る。内層の接続面または腐食除去部が基準点(例
えば位置孔)に対し実際にどの位置にあるかをで
きるだけ正確に知ることが、この要求を満たすた
めの前提である。
非常に厳しい許容範囲が要求される。なぜなら、
多層印刷配線板においては異なる層が正確に一線
上にあることがその有用性の前提であるからであ
る。内層の接続面または腐食除去部が基準点(例
えば位置孔)に対し実際にどの位置にあるかをで
きるだけ正確に知ることが、この要求を満たすた
めの前提である。
従来はこの問題の解決のために、多層印刷配線
板をはめ合い系に従つて加工していた。はめ合い
系は多層印刷配線板を形成する個々の層の各々に
存在する。はめ合い系は基準点および基準線を確
定する挿入孔からなり、その基準点および基準線
から個々の層上の導電性パターン(導電性の物質
で形成される配線図形)の位置決めが行われる。
個々の層を加圧する際にもこのはめ合い系が用い
られ、その結果個々の内層の導電性パターンは加
圧の後に挿入系に対する各目的に知られた位置の
上にある。スルーホールの穿孔の際には、その位
置決めは同様にはめ合い系に関して行われ、大抵
の場合内側に存在する導電性パターンのはめ合い
系に対する名目上の位置がスルーホールの位置決
めの際に使用される。
板をはめ合い系に従つて加工していた。はめ合い
系は多層印刷配線板を形成する個々の層の各々に
存在する。はめ合い系は基準点および基準線を確
定する挿入孔からなり、その基準点および基準線
から個々の層上の導電性パターン(導電性の物質
で形成される配線図形)の位置決めが行われる。
個々の層を加圧する際にもこのはめ合い系が用い
られ、その結果個々の内層の導電性パターンは加
圧の後に挿入系に対する各目的に知られた位置の
上にある。スルーホールの穿孔の際には、その位
置決めは同様にはめ合い系に関して行われ、大抵
の場合内側に存在する導電性パターンのはめ合い
系に対する名目上の位置がスルーホールの位置決
めの際に使用される。
内層に存在する導電性パターンの実際位置は製
造誤差と長さの変化に基いて名目上の位置と一致
しないから、前述の方式ではスルーホールの内側
に存在する導電性パターンに対して位置合わせは
うまく行かない。それ故、実際位置と公称位置と
の間の差を、多層印刷配線板に直接穿孔する前に
検出し、孔図形を対応して修正することも試みら
れている。実際位置を検出するための公知の方法
(例えばレントゲンを使用する方法)は±0.1mmま
たはそれ以上の精度を有するが、高度に微小化さ
れた導電性パターンを作る際にはμm範囲の精度
を新たに必要とする。
造誤差と長さの変化に基いて名目上の位置と一致
しないから、前述の方式ではスルーホールの内側
に存在する導電性パターンに対して位置合わせは
うまく行かない。それ故、実際位置と公称位置と
の間の差を、多層印刷配線板に直接穿孔する前に
検出し、孔図形を対応して修正することも試みら
れている。実際位置を検出するための公知の方法
(例えばレントゲンを使用する方法)は±0.1mmま
たはそれ以上の精度を有するが、高度に微小化さ
れた導電性パターンを作る際にはμm範囲の精度
を新たに必要とする。
本発明の目的は、多層印刷配線板の個々の内層
の導電性パターンの実際位置をμm範囲の精度で
検出する方法を得ることにある。
の導電性パターンの実際位置をμm範囲の精度で
検出する方法を得ることにある。
上述の目的を達成するため、本発明において
は、多層印刷配線板の各層の導電性パターンの外
側のあらかじめ定められた位置に電気的に評価で
きる評価領域を有するテストクーポンを設け、電
気的測定装置と接続され先端が導電性で穿孔機能
を有する試験子を用いてテストクーポンの評価領
域の内外にわたり順次位置をずらして孔をあけ、
試験子の先端と評価領域との導電接触の観測によ
り評価領域の中心の所定の基準点に対する位置を
定めるものである。
は、多層印刷配線板の各層の導電性パターンの外
側のあらかじめ定められた位置に電気的に評価で
きる評価領域を有するテストクーポンを設け、電
気的測定装置と接続され先端が導電性で穿孔機能
を有する試験子を用いてテストクーポンの評価領
域の内外にわたり順次位置をずらして孔をあけ、
試験子の先端と評価領域との導電接触の観測によ
り評価領域の中心の所定の基準点に対する位置を
定めるものである。
テストクーポンは、導体箔と導体箔の中心部の
導体箔を除去した溝とで形成することができる。
導体箔を除去した溝とで形成することができる。
テストクーポンは、細長い導体箔で形成しても
よい。
よい。
二つ又はそれ以上のテストクーポンを導電性パ
ターンの座標軸方向に導電性パターンごとに設け
ることができる。
ターンの座標軸方向に導電性パターンごとに設け
ることができる。
テストクーポンを導電性パターンに沿つて且つ
導電性パターンの外側輪郭にできるだけ近く配置
することができる。
導電性パターンの外側輪郭にできるだけ近く配置
することができる。
また多層印刷配線板の各層のテストクーポンを
個々に、又はあらかじめ設定した群において評価
するようにしてもよい。
個々に、又はあらかじめ設定した群において評価
するようにしてもよい。
本発明においては、多層印刷配線板の個々の内
層の有する導電性パターンの実際位置を、例えば
数値制御されるボール盤の上でスルーホールの穿
孔の直前に検出することができ、例えば内層を積
み重ねて加圧する際の捩れによつて引き起こされ
る導電性パターンのどのような位置変化もテスト
クーポンに同時に現れ、テストクーポンを用いて
検出することができる。
層の有する導電性パターンの実際位置を、例えば
数値制御されるボール盤の上でスルーホールの穿
孔の直前に検出することができ、例えば内層を積
み重ねて加圧する際の捩れによつて引き起こされ
る導電性パターンのどのような位置変化もテスト
クーポンに同時に現れ、テストクーポンを用いて
検出することができる。
本発明の方法においては、テストクーポンの評
価に続いてボール盤台へ印刷配線板を取り付けた
ままでスルーホールを作成することができるか
ら、取り付けの際に生じる不整合が影響しないと
いう利点が得られる。
価に続いてボール盤台へ印刷配線板を取り付けた
ままでスルーホールを作成することができるか
ら、取り付けの際に生じる不整合が影響しないと
いう利点が得られる。
さらに本発明においては、試験孔の位置を電気
的に走査することができ、走査の結果をエレクト
ロニクス式の評価手段を用いてオンラインで処理
し、機械制御に入力することが可能である。
的に走査することができ、走査の結果をエレクト
ロニクス式の評価手段を用いてオンラインで処理
し、機械制御に入力することが可能である。
次に本発明を図面について説明する。
テストクーポンの配置と構成を示す第1図にお
いて、1は基体をあらわし、鎖線の領域2には斜
線で示した導電性パターンが存在する。導電性パ
ターンの外側近傍に、x方向における実際位置の
検出のために二つのテストクーポン3,4が配置
され、y方向における実際位置の検出のためにテ
ストクーポン5,6が設けられている。また多層
印刷配線板の積層すべき個々の層の固定のための
位置孔7,8が設けられている。
いて、1は基体をあらわし、鎖線の領域2には斜
線で示した導電性パターンが存在する。導電性パ
ターンの外側近傍に、x方向における実際位置の
検出のために二つのテストクーポン3,4が配置
され、y方向における実際位置の検出のためにテ
ストクーポン5,6が設けられている。また多層
印刷配線板の積層すべき個々の層の固定のための
位置孔7,8が設けられている。
第2図において、テストクーポンは導体箔9で
覆われた領域からなり、その中に腐食除去された
溝10が存在する。第3図に示すテストクーポン
の実施例では、逆に腐食除去溝10は導体箔で覆
われた領域11となり、その周囲(縁)12には
導体箔が存在しない。
覆われた領域からなり、その中に腐食除去された
溝10が存在する。第3図に示すテストクーポン
の実施例では、逆に腐食除去溝10は導体箔で覆
われた領域11となり、その周囲(縁)12には
導体箔が存在しない。
第4図はy方向の位置の検出のためのテストク
ーポンの一つ、例えば第1図に示すテストクーポ
ン5を拡大して示したものである。aによつてy
方向のステツプの大きさが示されている。
ーポンの一つ、例えば第1図に示すテストクーポ
ン5を拡大して示したものである。aによつてy
方向のステツプの大きさが示されている。
第5図および第6図は、多層印刷配線板の各内
層におけるテストクーポンの評価方法を説明する
ための図で、多層印刷配線板のテストクーポンの
領域における断面図を示す。13は多層印刷配線
板で積層された基体14,15を含み、基体14
は内層16,17、基体15は内層18を有す
る。各内層16,17,18において、9は第4
図に示す導体箔、10は第4図に示す溝である。
試験子19は先端20が導電性で穿孔機能を有
し、第5図においては抵抗測定器21,22,2
3を介してそれぞれ各内層16,17,18の導
体箔9と電気的に接続され、第6図においては、
抵抗測定器24を介して群とした内層16,17
の各導体箔9と、また抵抗測定器25を介して内
層18の導体箔9と電気的に接続されている。な
おここで使用する抵抗測定器は信号の短時間表示
に適したものでなければならない。
層におけるテストクーポンの評価方法を説明する
ための図で、多層印刷配線板のテストクーポンの
領域における断面図を示す。13は多層印刷配線
板で積層された基体14,15を含み、基体14
は内層16,17、基体15は内層18を有す
る。各内層16,17,18において、9は第4
図に示す導体箔、10は第4図に示す溝である。
試験子19は先端20が導電性で穿孔機能を有
し、第5図においては抵抗測定器21,22,2
3を介してそれぞれ各内層16,17,18の導
体箔9と電気的に接続され、第6図においては、
抵抗測定器24を介して群とした内層16,17
の各導体箔9と、また抵抗測定器25を介して内
層18の導体箔9と電気的に接続されている。な
おここで使用する抵抗測定器は信号の短時間表示
に適したものでなければならない。
スルーホールを穿孔する直前に、テストクーポ
ンの評価領域に試験子19を用いて試験孔をあけ
る。その場合第5図、第6図に示すように、試験
子19がテストクーポンの評価領域の導体領域、
すなわち導体箔9と試験子19とが電気的接触し
ているかどうかが監視される。
ンの評価領域に試験子19を用いて試験孔をあけ
る。その場合第5図、第6図に示すように、試験
子19がテストクーポンの評価領域の導体領域、
すなわち導体箔9と試験子19とが電気的接触し
ているかどうかが監視される。
試験子19を第4図に示すステツプaの値だけ
順次移動させ、ステツプaの間隔をおいて試験孔
26〜32をテストターポンの評価領域にあけ
る。試験孔26の位置では試験子19は導体箔9
と導電接触し、試験子19と導体箔9とに接続さ
れた抵抗測定器21〜25に指示される抵抗値は
小さい。試験孔27の位置でも同様に試験子19
は導体箔9と導電接触する。試験孔28〜30の
位置では試験子19は溝10内にあつて導体箔9
とは接触せず、抵抗測定器21〜25に指示され
る抵抗値は大となる。試験孔31,32の位置で
試験子19は再び導体箔9と導電接触する。テス
トクーポンの下方から上方へ試験子19を移動さ
せる上述の試験において、導電接触状態から非導
電接触状態に切り換わる最後の導電接触位置にあ
る試験孔27のy座標をy1、非接触状態から導
電接触状態に切り換わる最初の導電接触位置にあ
る試験孔31のy座標をy2とすると、腐食除去
溝10の中心線33の位置は1/2(y1+y2)で
与えられる。この場合の精度は1/2a以下であ
る。ステツプaの値を小さくすればするほど精度
は上昇する。この場合、座標はスルーホール穿孔
用のボール盤の零点又は印刷配線板の基体に設け
た位置孔に対し定めることができる。テストクー
ポンのx座標についても全く同様に定めることが
できる。
順次移動させ、ステツプaの間隔をおいて試験孔
26〜32をテストターポンの評価領域にあけ
る。試験孔26の位置では試験子19は導体箔9
と導電接触し、試験子19と導体箔9とに接続さ
れた抵抗測定器21〜25に指示される抵抗値は
小さい。試験孔27の位置でも同様に試験子19
は導体箔9と導電接触する。試験孔28〜30の
位置では試験子19は溝10内にあつて導体箔9
とは接触せず、抵抗測定器21〜25に指示され
る抵抗値は大となる。試験孔31,32の位置で
試験子19は再び導体箔9と導電接触する。テス
トクーポンの下方から上方へ試験子19を移動さ
せる上述の試験において、導電接触状態から非導
電接触状態に切り換わる最後の導電接触位置にあ
る試験孔27のy座標をy1、非接触状態から導
電接触状態に切り換わる最初の導電接触位置にあ
る試験孔31のy座標をy2とすると、腐食除去
溝10の中心線33の位置は1/2(y1+y2)で
与えられる。この場合の精度は1/2a以下であ
る。ステツプaの値を小さくすればするほど精度
は上昇する。この場合、座標はスルーホール穿孔
用のボール盤の零点又は印刷配線板の基体に設け
た位置孔に対し定めることができる。テストクー
ポンのx座標についても全く同様に定めることが
できる。
座標軸方向と導電性パターンごとに二つのテス
トクーポンを配置することによつて、テストクー
ポン相互の実際の間隔はその各実際位置の検出後
計算で求めることができる。テストクーポンを導
電性パターンの外側輪郭に沿つて配置する場合
(第1図)は、実際の位置のほかに導電性パター
ンの実際の大きさも内層ごとに決定することがで
きる。
トクーポンを配置することによつて、テストクー
ポン相互の実際の間隔はその各実際位置の検出後
計算で求めることができる。テストクーポンを導
電性パターンの外側輪郭に沿つて配置する場合
(第1図)は、実際の位置のほかに導電性パター
ンの実際の大きさも内層ごとに決定することがで
きる。
電気的な走査を適当に選択することによつて、
内層ごとにあるいは任意の内層群に対してテスト
クーポンを走査することが可能である(第5図お
よび第6図)。
内層ごとにあるいは任意の内層群に対してテスト
クーポンを走査することが可能である(第5図お
よび第6図)。
試験子により順次行われる穿孔操作により多層
印刷配線板の各テストクーポンの実際位置を検出
した後、その取り付け状態のままでスルーホール
を検出結果に応じて設けることができる。スルー
ホールは要求に応じて、特定の一つの内層又は結
合された内層に対してその位置を合わせることが
できる。これはボール盤において、零点変位また
は目盛係数の使用による制御で行われる。その場
合ボール盤の個々の穿孔座標には両軸において一
つの係数が乗ぜられる。それによつて穿孔格子の
直線的な長さ変化を行うことが可能である。
印刷配線板の各テストクーポンの実際位置を検出
した後、その取り付け状態のままでスルーホール
を検出結果に応じて設けることができる。スルー
ホールは要求に応じて、特定の一つの内層又は結
合された内層に対してその位置を合わせることが
できる。これはボール盤において、零点変位また
は目盛係数の使用による制御で行われる。その場
合ボール盤の個々の穿孔座標には両軸において一
つの係数が乗ぜられる。それによつて穿孔格子の
直線的な長さ変化を行うことが可能である。
第1図は本発明の対象とする多層印刷配線板の
内層の平面図、第2図および第3図はそのテスト
クーポンの異なる例の平面図、第4図はテストク
ーポンへの穿孔の位置を示す平面図、第5図およ
び第6図は実際位置の検出方法の異なる例を説明
するための断面図である。 1……基体、2……導電性パターン領域、3,
4,5,6……テストクーポン、9……導体箔、
10……腐食除去溝、11……導体箔で覆われた
領域、13……多層印刷配線板、14,15……
基体、16,17,18……内層、19……試験
子、20……先端、21,22,23,24,2
5……抵抗測定器、26,27,28,29,3
0,31,32……試験孔、33……腐食除去溝
の中心線。
内層の平面図、第2図および第3図はそのテスト
クーポンの異なる例の平面図、第4図はテストク
ーポンへの穿孔の位置を示す平面図、第5図およ
び第6図は実際位置の検出方法の異なる例を説明
するための断面図である。 1……基体、2……導電性パターン領域、3,
4,5,6……テストクーポン、9……導体箔、
10……腐食除去溝、11……導体箔で覆われた
領域、13……多層印刷配線板、14,15……
基体、16,17,18……内層、19……試験
子、20……先端、21,22,23,24,2
5……抵抗測定器、26,27,28,29,3
0,31,32……試験孔、33……腐食除去溝
の中心線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 多層印刷配線板の各層の導電性パターンの外
側のあらかじめ定められた位置に電気的に評価で
きる評価領域を有するテストクーポンを設け、電
気的測定装置と接続され先端が導電性で穿孔機能
を有する試験子を用いてテストクーポンの評価領
域の内外にわたり順次位置をずらして孔をあけ、
試験子の先端と評価領域との導電接触の観測によ
り評価領域の中心の所定の基準点に対する位置を
定めることを特徴とする多層印刷配線板の各層の
導電性パターン位置検出方法。 2 テストクーポンが、導体箔と導体箔の中心部
の導体箔を除去した溝とで形成されていることを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の方法。 3 テストクーポンが、細長い導体箔で形成され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の方法。 4 二つ又はそれ以上のテストクーポンが導電性
パターンの座標軸方向に導電性パターンごとに設
けられていることを特徴とする特許請求の範囲第
1項〜第3項のいずれか1項記載の方法。 5 テストクーポンが導電性パターンに沿つて且
つ導電性パターンの外側輪郭にできるだけ近く配
置されていることを特徴とする特許請求の範囲第
1項〜第4項のいずれか1項記載の方法。 6 多層印刷配線板の各層のテストクーポンが
個々に、又はあらかじめ設定した群において評価
されることを特徴とする特許請求の範囲第1項〜
第5項のいずれか1項記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803045433 DE3045433A1 (de) | 1980-12-02 | 1980-12-02 | Mehrlagen-leiterplatte und verfahren zur ermittlung der ist-position innenliegender anschlussflaechen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57120399A JPS57120399A (en) | 1982-07-27 |
JPH0413880B2 true JPH0413880B2 (ja) | 1992-03-11 |
Family
ID=6118134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56192700A Granted JPS57120399A (en) | 1980-12-02 | 1981-11-30 | Multilayer printed circuit board and method of detecting actual position of connecting surface |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4432037A (ja) |
EP (1) | EP0053272B2 (ja) |
JP (1) | JPS57120399A (ja) |
DE (1) | DE3045433A1 (ja) |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3206354A1 (de) * | 1982-02-22 | 1983-09-01 | Telefonbau Und Normalzeit Gmbh, 6000 Frankfurt | Vorrichtung zum aendern oder reparieren von nicht sichtbaren leiterbahnmustern von mehrlagigen leiterplatten |
US4510446A (en) * | 1982-11-03 | 1985-04-09 | Burroughs Corporation | Test coupons for determining the registration of subsurface layers in a multilayer printed circuit board |
DE3307057C2 (de) | 1983-03-01 | 1991-02-14 | Held, Kurt, 7218 Trossingen | Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung kupferkaschierter Elektrolaminate |
DE3347991C2 (en) * | 1983-03-01 | 1988-01-07 | Held, Kurt, 7218 Trossingen, De | Method and device for the continuous production of multilayer circuits |
US4536239A (en) * | 1983-07-18 | 1985-08-20 | Nicolet Instrument Corporation | Multi-layer circuit board inspection system |
US4700214A (en) * | 1983-12-15 | 1987-10-13 | Laserpath Corporation | Electrical circuitry |
BR8407221A (pt) * | 1983-12-15 | 1985-11-26 | Laserpath Corp | Circuito eletrico e processo para proporcionar um circuito eletrico |
US4720470A (en) * | 1983-12-15 | 1988-01-19 | Laserpath Corporation | Method of making electrical circuitry |
JPS61125712A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-13 | Matsushita Electric Works Ltd | 多層印刷配線板の孔穿設法 |
IT1201315B (it) * | 1985-06-17 | 1989-01-27 | M A S Ind Spa | Metodo per assicurare il raffreddamento di componenti elettronici fissati su di un multistrato per circuiti stampati e multistrato realizzato secondo detto metodo |
US4769309A (en) * | 1986-10-21 | 1988-09-06 | Westinghouse Electric Corp. | Printed circuit boards and method for manufacturing printed circuit boards |
DE3642926A1 (de) * | 1986-12-16 | 1988-06-30 | Siemens Ag | Anordnung und verfahren zum erkennen des innenlagenversatzes von mehrlagenleiterplatten |
US4894606A (en) * | 1988-07-07 | 1990-01-16 | Paur Tom R | System for measuring misregistration of printed circuit board layers |
US4918380A (en) * | 1988-07-07 | 1990-04-17 | Paur Tom R | System for measuring misregistration |
US4939469A (en) * | 1988-08-01 | 1990-07-03 | Hughes Aircraft Company | Non-destructive method for evaluation of printed wiring boards |
US5028867A (en) * | 1989-08-31 | 1991-07-02 | Nippon Seiki Co., Ltd. | Printed-wiring board |
DE3936723A1 (de) * | 1989-11-04 | 1991-05-08 | Loehr & Herrmann Gmbh | Vorrichtung zum selbsttaetigen positionieren von leiterplatten |
US4973948A (en) * | 1990-01-26 | 1990-11-27 | Micron Technology, Inc. | Reversed or missing lead frame detector |
US4985675A (en) * | 1990-02-13 | 1991-01-15 | Northern Telecom Limited | Multi-layer tolerance checker |
DE4016088C2 (de) * | 1990-05-18 | 1996-04-18 | Siemens Nixdorf Inf Syst | Verfahren zum Bohren von Mehrlagenleiterplatten |
ATE114262T1 (de) * | 1991-09-17 | 1994-12-15 | Siemens Nixdorf Inf Syst | Verfahren zum bohren von mehrlagenleiterplatten. |
JPH05235557A (ja) * | 1992-02-21 | 1993-09-10 | N P S Kk | 位置ずれ量測定システム |
DE4335879B4 (de) * | 1993-10-18 | 2005-05-12 | Shf Communication Technologies Ag | Anordnung zur Qualitätskontrolle und -überwachung von durchkontaktierten Mehrlagen-Leiterplatten |
DE69514016T2 (de) * | 1994-02-28 | 2000-10-19 | Dynamotion/Abi Corp., Santa Ana | Bohrkoordinaten-Optimierung für mehrschichtige Leiterplatten |
NL1001113C2 (nl) * | 1995-09-01 | 1997-03-04 | Henricus Dethmer Ubbo Ubbens | Werkwijze voor het bepalen van onderlinge posities van een aantal lagen van een meerlaags printpaneel, inrichting geschikt voor het uitvoeren van een dergelijke wijze alsmede meetstift en printpaneel geschikt voor toepassing bij een dergelijke werkwijze. |
DE19534313C2 (de) * | 1995-09-15 | 2000-02-03 | Imr Electronic Gmbh & Co Kg | Verfahren zur Erfassung von Position und Versatz von Lagen an Mehrlagenleiterplatten |
US6297458B1 (en) | 1999-04-14 | 2001-10-02 | Dell Usa, L.P. | Printed circuit board and method for evaluating the inner layer hole registration process capability of the printed circuit board manufacturing process |
US6502302B2 (en) * | 2000-07-19 | 2003-01-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Process for producing an industrial member having throughholes of high aspect ratio |
US6637102B2 (en) | 2000-07-19 | 2003-10-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Process for producing an industrial member having throughholes of high aspect ratio |
DE10040303C2 (de) * | 2000-08-17 | 2002-07-11 | Volker Nissen | Verfahren zum definierten Tiefenbohren von Sacklöchern (blind vias) in mehrlagigen Leiterplatten (Multilayer) |
JP4172920B2 (ja) * | 2001-04-27 | 2008-10-29 | 日本碍子株式会社 | 打抜加工のカス取り方法及び打抜加工品の製造方法 |
CN100518450C (zh) * | 2004-02-17 | 2009-07-22 | 日立比亚机械股份有限公司 | 衬底的制造方法 |
AT501513B1 (de) * | 2005-03-01 | 2007-06-15 | Austria Tech & System Tech | Mehrlagige leiterplatte mit leitenden testflächen sowie verfahren zum bestimmen eines versatzes einer innenlage |
JP5018840B2 (ja) * | 2009-07-27 | 2012-09-05 | 富士通株式会社 | クーポン基板 |
US9297795B2 (en) | 2010-12-03 | 2016-03-29 | Todd Nicholas Bishop | Monitored filament insertion for resitivity testing |
CN102413633B (zh) * | 2011-11-03 | 2014-04-30 | 华为技术有限公司 | 一种检测多层电路板偏位的装置及方法 |
DE102013004679B4 (de) * | 2013-03-19 | 2017-11-23 | Skybrain Vermögensverwaltung GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten von Leiterplatten |
US9368936B1 (en) | 2013-09-30 | 2016-06-14 | Google Inc. | Laser diode firing system |
JPWO2015166587A1 (ja) * | 2014-05-02 | 2017-04-20 | 株式会社メイコー | 回路基板の製造方法 |
CN105848427B (zh) * | 2015-01-14 | 2019-01-18 | 深南电路股份有限公司 | Pcb板的钻孔方法、检验pcb板钻孔偏位的方法、pcb板及设备 |
CN105764241A (zh) * | 2016-03-23 | 2016-07-13 | 中国航天科技集团公司第九研究院第七七研究所 | 一种印制板产品对准度测试方法 |
TWI826105B (zh) * | 2022-11-07 | 2023-12-11 | 八目科技有限公司 | 量測電路板之對位方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5445363U (ja) * | 1977-09-06 | 1979-03-29 | ||
JPS55102300A (en) * | 1980-01-21 | 1980-08-05 | Hitachi Ltd | Method of detecting inner layer pattern position for multilayer printed board |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3428872A (en) * | 1965-07-31 | 1969-02-18 | Hitachi Ltd | Body comprising a mark for indirect detection of an objective part and method of detecting the position of said objective part |
US3859711A (en) * | 1973-03-20 | 1975-01-14 | Ibm | Method of detecting misregistration of internal layers of a multilayer printed circuit panel |
US3917983A (en) * | 1973-11-12 | 1975-11-04 | Bunker Ramo | Multiwafer electrical circuit construction and method of making |
US4049903A (en) * | 1974-10-23 | 1977-09-20 | Amp Incorporated | Circuit film strip and manufacturing method |
US4048438A (en) * | 1974-10-23 | 1977-09-13 | Amp Incorporated | Conductor patterned substrate providing stress release during direct attachment of integrated circuit chips |
DE2553734A1 (de) * | 1975-11-29 | 1977-06-02 | Gerhard Dipl Phys Kessling | Vorrichtung zum herstellen von lochungen in gedruckten schaltungen |
US4063791A (en) * | 1976-12-27 | 1977-12-20 | Cutchaw John M | Connector for leadless integrated circuit packages |
DE2812976C2 (de) * | 1978-03-23 | 1980-03-06 | Erich Ing.(Grad.) 3003 Ronnenberg Luther | Verfahren zur Feststellung des Versatzes zwischen Leiterbahnen und Kontaktlöchern bei einer Leiterplatte sowie eine Leiterplatte zur Verwendung in diesem Verfahren |
DE3031103C2 (de) * | 1980-08-16 | 1982-08-19 | Bodenseewerk Gerätetechnik GmbH, 7770 Überlingen | Verfahren zur Prüfung des Lageversatzes bei Mehrlagenleiterplatten |
-
1980
- 1980-12-02 DE DE19803045433 patent/DE3045433A1/de active Granted
-
1981
- 1981-10-23 EP EP81108820A patent/EP0053272B2/de not_active Expired
- 1981-10-26 US US06/315,038 patent/US4432037A/en not_active Expired - Lifetime
- 1981-11-30 JP JP56192700A patent/JPS57120399A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5445363U (ja) * | 1977-09-06 | 1979-03-29 | ||
JPS55102300A (en) * | 1980-01-21 | 1980-08-05 | Hitachi Ltd | Method of detecting inner layer pattern position for multilayer printed board |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3045433C2 (ja) | 1989-07-20 |
DE3045433A1 (de) | 1982-07-01 |
EP0053272B1 (de) | 1986-04-16 |
EP0053272A2 (de) | 1982-06-09 |
EP0053272A3 (en) | 1983-04-27 |
US4432037A (en) | 1984-02-14 |
EP0053272B2 (de) | 1989-11-08 |
JPS57120399A (en) | 1982-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0413880B2 (ja) | ||
US7096748B2 (en) | Embedded strain gauge in printed circuit boards | |
US5008619A (en) | Multilevel circuit board precision positioning | |
US4064357A (en) | Interconnected printed circuits and method of connecting them | |
CN100507578C (zh) | 晶片级测试电路板的制造方法及其结构 | |
JPH05226846A (ja) | 多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方法 | |
JPH0418718B2 (ja) | ||
JPH07243985A (ja) | プリント配線板の精度確認方法 | |
CN114071857B (zh) | 线路板 | |
JPS6320645B2 (ja) | ||
JPS61196593A (ja) | 印刷配線板 | |
JP2002198661A (ja) | 多層プリント配線板 | |
JPS6248412A (ja) | 印刷回路基板の孔明け方法 | |
JPH0534138Y2 (ja) | ||
JP3225616B2 (ja) | プリント配線板およびプリント配線板の精度確認方法 | |
JPS63142694A (ja) | プリント配線板 | |
JPH0132763Y2 (ja) | ||
JPS587654Y2 (ja) | 印刷配線板 | |
JPS63155686A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JPH0338897A (ja) | プリント基板の内層導体の位置ずれ検査方法 | |
KR20000019910A (ko) | 인쇄회로기판 제조방법 | |
JPH05258014A (ja) | 多層プリント配線板設計cad装置 | |
JPH0623012Y2 (ja) | プリント配線板 | |
JPH0621180A (ja) | プリント配線板のソルダーレジスト層の位置ずれ検査方法 | |
JPS6066119A (ja) | 厚膜多層印刷基板の印刷ずれ検査方法 |