JPH0338897A - プリント基板の内層導体の位置ずれ検査方法 - Google Patents

プリント基板の内層導体の位置ずれ検査方法

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JPH0338897A
JPH0338897A JP17501289A JP17501289A JPH0338897A JP H0338897 A JPH0338897 A JP H0338897A JP 17501289 A JP17501289 A JP 17501289A JP 17501289 A JP17501289 A JP 17501289A JP H0338897 A JPH0338897 A JP H0338897A
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JP
Japan
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conductor
inspection
hole
conductor pattern
positional deviation
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Application number
JP17501289A
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Inventor
Yoshitaka Miyazawa
宮澤 良孝
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 多層に積層されたプリント基板の内層導体パターンの位
置ずれの電気的検出方法に関し、簡単な電気的な導通検
査方法で多層に積層されたプリント基板の内層導体パタ
ーンの位置ずれを検査するのを目的とし、 中間層基板の四隅に位置ずれ検査領域を設け、該位置ず
れ検査領域に内層導体パターンが接続されたスルーホー
ル導体と、複数の位置ずれ検査用スルーホール導体とを
設けるとともに、該複数の位置ずれ検査用スルーホール
導体の各々の外壁からのクリアランス寸法をそれぞれ異
ならせた状態で該位置ずれ検査用スルーホール導体の周
囲を旋回し、かつ前記内層導体パターンと接続する位置
ずれ検査用導体パターンを設け、 前記中間層基板を積層した後、前記内層導体パターンが
接続されたスルーホール導体と、前記複数の位置ずれ検
査用スルーホール導体の内の所定の位置ずれ検査用スル
ーホール導体との間のHa状態を検査し、積層されたプ
リント基板の内層導体パターンの位置ずれを電気的に検
査するようにして構成する。
〔産業−にの利用分野〕
本発明は多層に積層されたプリント基板の内層導体パタ
ーンの位置ずれを電気的に測定する方法に関する。
多層プリン1一基板を形成する際、銅箔に信号回路パタ
ーンを形成した中間層基板と、電源供給およびグランド
接続用中間層基板と、プリプレグおよび表面層銅箔を加
圧加熱積層して形成している。
〔従来の技術〕
第4図はこのように多層に積層されたプリント基板の要
部断面図で、図で1はスルーホール導体、2八、2B、
2C,2Dの各々は該スルーホール導体1に(X続する
信号回路パターンのような内層導体バタンである。
このような内層導体パターン2A、2B、2C,2Dの
内で、例えば横方向の寸法eを有する内層導体バタン2
Cに於いてスルーホール導体1の内壁1B間の寸法をX
、スルーホール導体1のり1壁1八からの内層導体パタ
ーン2Cの一方の端迄の寸法をa、スルーホール導体1
の外壁IA’ からの内層導体バタン2Cの他方の端迄
の寸法をbとした時、該内層導体パターン2Cの中心部
pがスルーホール導体の中心部0より位置ずれしている
一cj法dは第(])式に示すようになる。
d = (a + b 十x ) / 2−(x / 
2 *b)=(a−b)/2・・・・・・・・・(1)
そしてこの位置ずれしている寸法dが所定の値以上にな
ると、該内層導体パターン2Cはスルーホー導体Iに接
続しなくなり、導通不良が生しることになる。そのため
、この位置ずれ寸法dは所定の間に保つ必要がある。そ
してこの位置ずれ寸法dをクリアランスと称している。
従来、このような内層導体パターンのスルーホール導体
に対する位置ずれを測定する方法として、第5図(al
に示すように中間層基板5の四隅に、プリント基板に形
成するのと同様な寸法のスルーホール導体と内層導体パ
ターンを形成した検査パターン領域6を設け、第5図f
b)に示すようにこの中間層基板5を積層して形成した
多層プリント基板7の四隅より前記検査用パターン領域
6が積層された検査用チップ8を切り出す。
そして第5図(C)に示すように、この検査用チップ8
を切り出してエポキシ系の樹脂9内乙こ埋めて固定17
、この検査用チップ8をX方向に沿って研磨した後、該
チップ8を更にy方向に沿って研磨し、顕微鏡にて観察
することで内層導体パターンのスルーホール導体に幻す
る位置ずれを検査していた。
〔発明が解決しようとする課題〕
然し、このような方法であると、検査用チ・7ブ8を積
層された多層プリント基板7より切り出したり、該チッ
プをエポキシ系の樹脂に押設して該樹脂を硬化させたり
、或いは該検査用チップをX方向、およびy方向の二方
向に沿って研磨する作業が煩雑で多大の工数を必要とす
る欠点がある。
本発明は上記した問題点を解決し、前記した煩雑な研磨
工程を必要とせず、簡単な電気的な導通検査方法を用い
て容易に内層導体の位置ずれが検査できるようにしたプ
リント基板の内層導体の位置ずれの検査方法を目的とし
ている。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成する木兄1!11のプリント基板の内層
導体の位置ずれの検査方法は、第1図に示すように中間
層基板11の四隅に位置ずれ検査領域1.1Aを設け、
該位置ずれ検査領域に内層導体パターン12が接続され
たスルーホール導体13と、複数の位置ずれ検査用スル
ーホール導体1.4−Li2−2・・・・・・145を
設け、該複数の位置ずれ検査用スルーホール導体の各々
の外壁14A、14B・・・141Eからのクリアラン
ス寸法C1,C2・・・C5をそれぞれ異ならせた状態
で該位置ずれ検査用スルーポール導体の周囲を旋回し、
かつ前記内層導体パターンと接続する位置ずれ検査用導
体パターン15を設け、 前記中間層基板11を積層した後、前記内層導体パター
ン12が接続されたスルーホール導体13と、前記複数
の位置ずれ検査用スルーホール導体■4−1142・・
・・・・14−5の内の所定の位置ずれ検査用スルーホ
ール導体との間の導通状態を検査し、積層されたプリン
ト基板の内層導体パターンの位置ずれを電気的に検査す
るようにする。
〔作 用〕
中間層基板11の四隅に外壁に接触するような内85体
パターン12を有するスルーホール導体13と、該内層
導体パターン12に接続して外壁からのクリアランス寸
法がそれぞれCI=80.c+m 、 C2=100 
μm・・・・・C5= 200μmのように変動して外
壁の周囲を旋回する位置ずれ検査用導体パターン15を
有する複数の位置ずれ検査用スルーホール導体+4−C
14−2・・・14−5を設ける。そしてこの中間層基
板11を積層した後、内層導体パターン12が外壁に接
続されたスルーホール導体I3と周囲に位置ずれ検査用
導体パターン15を有する複数の位置ずれ検査用スルー
ホール導体14−1.11−2・・・・・・14−5の
内で、例えばC1のクリアランスを有する位置ずれ検査
用スルーホール導体14−1との接続を取り、この導通
がONであり、スルーホール導体13と02のクリアラ
ンスを有する位置ずれ検査用スルーホール導体14−2
との導通がOFFの場合は、内層導体パターンの位置ず
れは80〜100μmの間であると容易に判定できる。
このようにすると煩雑な研磨作業を要せず、簡単な電気
的な導通検査で容易に内層導体パターンの位置ずれが検
査できる。
〔実 施 例〕
以下、図面を用いながら本発明の一実施例につき詳細に
説明する。
第1図は本発明の検査方法に用いる中間層基板の検査領
域の説明図、第2図は本発明の中間層基板の平面図であ
る。
第1図および第2図に図示するように、中間層基板11
の四隅に位置ずれ検査領域]、IA、 11.B、 1
1C,110を設け、この領域内に内層導体パターン1
2が外壁13Aに接続されたスルーホール導体13を2
個設け、このスルーホール導体13の間に位置ずれ検査
用スルーホール導体14−1.14−2・・・・・・1
4−5を設け、この位置ずれ検査用スルーホール導体の
外壁14^、 14B。
・・・・・・14Hの周囲をクリアランス寸法をCL 
C2,・・C5のように変化させて旋回し、前記内層導
体パターン12と接続する位置ずれ検査用導体パターン
15を設ける。
第3図は内層導体パターンの検査方法の説明図で、前記
した中間層基板11を複数枚積層した状態を示している
第3図に示すようにスルーホール導体13の外壁13A
に内層導体パターン12が接続されたスルーホール導体
13に測定端子21Aを設置し、クリアランス寸法がC
Iの検査用導体パターン15を有する位置ずれ検査用ス
ルーホール導体14−Lクリアランス寸法がC2の検査
用導体パターンI5を有する位置ずれ検査用スルーホー
ル導体14−2、更にクリアランス寸法が05の検査用
導体パターン15を有する位置ずれ検査用スルーホール
導体14−5の各々に、測定端子21^、21B、21
G・・・21Fを接触させて測定端子21Aと測定端子
21B、 21C,・・・21Fとの間の導通を検査す
る。
そして測定端子21Aと測定端子218間にのみ導通が
ある時には、内層導体パターンとスルーホール導体との
位置ずれはC1の寸法基」二で02未満の値になる。
このような四隅の位置ずれ検査領域のいずれの領域でス
ルーホール導体と位置ずれ検査用スルーホール導体がシ
ョートしているか否かを測定することで、プリント基板
のどの領域で内層パターンずれが多く発生しているかを
容易に推定できることも可能である。
またこのような方法を用いるとプリント基板のX方向お
よびy方向のずれのみで無く、プリント基板の内層が、
成る点を中心として回転ずれを起0 こした場合の位置ずれも検査することが可能となる。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように本発明によれば、煩雑な
研磨加工を有すること無く、簡単な電気的導通検査を用
いてプリント基板の内層導体パターンのスルーホール導
体に対する位置ずれが容易に測定でき、検査工数の低減
につながる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の検査方法に用いる中間層基板の検査領
域の説明図、 第2図は本発明の中間層基板の平面図、第3図は本発明
の内層導体パターンの検査方法の説明図、 第4図は多層プリント基板に於ける内層導体パターンの
位置ずれ量の説明図、 第5図は従来の多層プリント基板の内層導体パターンの
位置ずれ検査方法の説明図である。 図において、 11は中間層基板、11Aは位置ずれ検査領域、12は
内層導体パターン、13はスルーホール導体、1411
4−2・・・14−5は位置ずれ検査用スル−ホール導
体、13A、 14A、 14B・・・14Bは外壁、
15は位置ずれ検査用導体パターン、C1,C2・・・
C5はクリアランスを示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  中間層基板(11)の四隅に位置ずれ検査領域(11
    A)を設け、該位置ずれ検査領域に内層導体パターン(
    12)が接続されたスルーホール導体(13)と、複数
    の位置ずれ検査用スルーホール導体(14−1,14−
    2・・・・・・14−5)とを設けるとともに、該複数
    の位置ずれ検査用スルーホール導体の各々の外壁からの
    クリアランス寸法(C1,C2・・・・・・C5)をそ
    れぞれ異ならせた状態で該位置ずれ検査用スルーホール
    導体の周囲を旋回し、かつ前記内層導体パターンと接続
    する位置ずれ検査用導体パターン(15)を設け、前記
    中間層基板を積層した後、前記内層導体パターン(12
    )に接続されたスルーホール導体(13)と、前記複数
    の位置ずれ検査用スルーホール導体(14−1,14−
    2・・・・・・14−5)の内の所定の位置ずれ検査用
    スルーホール導体との間の導通状態を検査し、積層され
    たプリント基板の内層導体パターンの位置ずれを電気的
    に検査するようにしたことを特徴とするプリント基板の
    内層導体の位置ずれ検査方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0567885A (ja) * 1991-09-09 1993-03-19 Fanuc Ltd 多層プリント基板
US6160349A (en) * 1997-04-07 2000-12-12 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Display device
JP2015130444A (ja) * 2014-01-08 2015-07-16 富士通株式会社 プリント基板の検査方法及びプリント基板

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0567885A (ja) * 1991-09-09 1993-03-19 Fanuc Ltd 多層プリント基板
US6160349A (en) * 1997-04-07 2000-12-12 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Display device
US6359390B1 (en) 1997-04-07 2002-03-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Display device
JP2015130444A (ja) * 2014-01-08 2015-07-16 富士通株式会社 プリント基板の検査方法及びプリント基板

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