JPS634960B2 - - Google Patents
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- JPS634960B2 JPS634960B2 JP14332882A JP14332882A JPS634960B2 JP S634960 B2 JPS634960 B2 JP S634960B2 JP 14332882 A JP14332882 A JP 14332882A JP 14332882 A JP14332882 A JP 14332882A JP S634960 B2 JPS634960 B2 JP S634960B2
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- Japan
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 37
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 43
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は多層印刷配線板の絶縁耐圧上から要求
される層ずれ値を満足すべく製品領域外にテスト
クーポンを設けた多層印刷配線板に関する。
される層ずれ値を満足すべく製品領域外にテスト
クーポンを設けた多層印刷配線板に関する。
従来多層印刷配線板の各層の相対的なずれを試
験するために製品外に試験用パターンを設けて次
のように行なつていた。例えば内層に、一定の
スルーホール径に対し数種類のギヤツプをもつた
クリアランスを持つたテストパターンを設け、い
ずれのクリアランスホールで短絡するかを検出す
る方法、または外形加工した場合に基板端面に
導体が見えるように、各層同一位置にパターンを
設けその位置ずれを測定する方法等があつた。し
かしながらの場合は、マスク作成時にクリアラ
ンス用のアパーチヤー分だけ種類が増え、その
分、製品に使用したいアパーチヤー種類に制約が
でて思わしくない。又ずれ方向については検出で
きない。の場合は、ずれ方向は検出できるが外
形加工時仕上りが粗面であるため研磨しなければ
精度よく測定できず、又基準とする層の判定がス
ルーホールが無いため難かしかつた。
験するために製品外に試験用パターンを設けて次
のように行なつていた。例えば内層に、一定の
スルーホール径に対し数種類のギヤツプをもつた
クリアランスを持つたテストパターンを設け、い
ずれのクリアランスホールで短絡するかを検出す
る方法、または外形加工した場合に基板端面に
導体が見えるように、各層同一位置にパターンを
設けその位置ずれを測定する方法等があつた。し
かしながらの場合は、マスク作成時にクリアラ
ンス用のアパーチヤー分だけ種類が増え、その
分、製品に使用したいアパーチヤー種類に制約が
でて思わしくない。又ずれ方向については検出で
きない。の場合は、ずれ方向は検出できるが外
形加工時仕上りが粗面であるため研磨しなければ
精度よく測定できず、又基準とする層の判定がス
ルーホールが無いため難かしかつた。
本発明は、多層印刷配線板の製造工程において
スルーホールと内層パターンとの導通によつて内
層の位置ずれ方向を電気的又は目視により容易に
発見すると共に製造へのフイードバツクを行い再
発防止対策を行うことを目的とする。
スルーホールと内層パターンとの導通によつて内
層の位置ずれ方向を電気的又は目視により容易に
発見すると共に製造へのフイードバツクを行い再
発防止対策を行うことを目的とする。
本発明は、内層を持つた多層印刷板において、
製品領域外にテストクーポンを設け、いずれの内
層の検出パターンに接続しない第１のスルーホー
ルを設け、内層に前記第１のスルーホールの周囲
に所定の間隔で複数の検出パターンを設け、前記
検出パターンの各々に導通する第２のスルーホー
ルを設け、第１のスルーホルと第２のスルーホー
ルとの導通を調べ前記内層の位置ずれ方向を検出
することを特徴とする多層印刷配線板である。以
下実施例について図面を参照して詳細に説明す
る。
製品領域外にテストクーポンを設け、いずれの内
層の検出パターンに接続しない第１のスルーホー
ルを設け、内層に前記第１のスルーホールの周囲
に所定の間隔で複数の検出パターンを設け、前記
検出パターンの各々に導通する第２のスルーホー
ルを設け、第１のスルーホルと第２のスルーホー
ルとの導通を調べ前記内層の位置ずれ方向を検出
することを特徴とする多層印刷配線板である。以
下実施例について図面を参照して詳細に説明す
る。
第１図は、実施例の組立図であり、４つの内層
を持つ多層印刷配線板である。第１図ａは、表層
パターン、第１図ｂは内層信号層パターン、第１
図ｃは内層地気層パターン、第１図ｄは内層電源
層パターンであり、第１図では省略してあるが第
１図ｄの下方に第１図ｂと同様な内層信号層パタ
ーンが設けられ、その下方に第１図ａと同様の表
層パターンが設けられる。
を持つ多層印刷配線板である。第１図ａは、表層
パターン、第１図ｂは内層信号層パターン、第１
図ｃは内層地気層パターン、第１図ｄは内層電源
層パターンであり、第１図では省略してあるが第
１図ｄの下方に第１図ｂと同様な内層信号層パタ
ーンが設けられ、その下方に第１図ａと同様の表
層パターンが設けられる。
１０，１２は第１のスルーホールであり、多層
印刷配線板を形成したとき、いずれの内層の検出
パターンに接続しない。また実施例では、ランド
レススルーホールとしている。２０，２２，２
４，２６，２８，３０，３２及び３４並びに４
０，４２，４４，４６，４８，５０，５２及び５
４は第２のスルーホールであり、多層印刷配線板
を形成したとき、いずれか一つの内層の検出パタ
ーンに導通している。６０，６２，７０，７２，
８０，８２，８４，８６，９０，９２，９４及び
９６は内層の検出パターンであり、前記第１のス
ルーホールの周囲に層ずれ許容値の位置に導体幅
を考慮して設けてある。
印刷配線板を形成したとき、いずれの内層の検出
パターンに接続しない。また実施例では、ランド
レススルーホールとしている。２０，２２，２
４，２６，２８，３０，３２及び３４並びに４
０，４２，４４，４６，４８，５０，５２及び５
４は第２のスルーホールであり、多層印刷配線板
を形成したとき、いずれか一つの内層の検出パタ
ーンに導通している。６０，６２，７０，７２，
８０，８２，８４，８６，９０，９２，９４及び
９６は内層の検出パターンであり、前記第１のス
ルーホールの周囲に層ずれ許容値の位置に導体幅
を考慮して設けてある。
第１図ｂの内層信号層の検出パターン６０，６
２は信号パターンの走行方向Ｘに平行して引かれ
ている。他方の検出パターン７０，７２は信号パ
ターンの走行方向Ｙに平行して引かれており、互
いに一方の検出パターンの組に対し直角に向いて
いる。この検出パターン６０はスルーホール２０
又は３２と、検出パターン６２はスルーホール２
４又は２８と、検出パターン７０はスルーホール
４０又は４４と、検出パターン７２はスルーホー
ル４８又は５２とそれぞれ導通している。検出パ
ターン６０，６２及び７０，７２は第１のスルー
ホール１０，１２がそれぞれの対になつた当該検
出パターンの中央に位置するように設けられ、少
なくとも第１のスルーホール１０，１２の直径と
層ずれ許容値（許容される最小残りランド量）を
当該検出パターン間の間隔として有している。
２は信号パターンの走行方向Ｘに平行して引かれ
ている。他方の検出パターン７０，７２は信号パ
ターンの走行方向Ｙに平行して引かれており、互
いに一方の検出パターンの組に対し直角に向いて
いる。この検出パターン６０はスルーホール２０
又は３２と、検出パターン６２はスルーホール２
４又は２８と、検出パターン７０はスルーホール
４０又は４４と、検出パターン７２はスルーホー
ル４８又は５２とそれぞれ導通している。検出パ
ターン６０，６２及び７０，７２は第１のスルー
ホール１０，１２がそれぞれの対になつた当該検
出パターンの中央に位置するように設けられ、少
なくとも第１のスルーホール１０，１２の直径と
層ずれ許容値（許容される最小残りランド量）を
当該検出パターン間の間隔として有している。
また、第１図ｃの内層地気層パターン及び第１
図ｄの内層電源層の検出パターン８０，８２，８
４，８６，９０，９２，９４，９６は略直角二等
辺三角形の形状をし、第１のスルーホール１０又
は１２の周囲に設けられ、前記第１のスルーホー
ル１０又は１２は層ずれ許容値をもつたクリアラ
ンス１２０，１４０で検出パターンと絶縁されて
いる。このクリアランス１２０，１４０は、検出
パターン８０，８２，８４，８６又は９０，９
２，９４，９６が形成する三角形の各直角部分を
一部弧状にした当該弧による円形で形成されてい
る。また、検出パターンは、その各々が層ずれ許
容値を有して隣接している。検出パターン８０は
スルーホール２２と導通し、検出パターン８２は
スルーホール２６と、検出パターン８４はスルー
ホール３０と、検出パターン８６はスルーホール
３４とそれぞれ導通している。第１図ｄも同様で
ある。そして、各検出パターンが互いに隣接する
一部を弧状に形成してクリアランスホール１２
２，１２４，１２６，１２８を設け、前記第１の
スルーホール２０，２４，２８，３２とは導通し
ないようにしている。第１図ｄのクリアランスホ
ール１４２，１４４，１４６，１４８及び第１図
ａの第１のスルーホール４０，４４，４８，５２
についても同様である。
図ｄの内層電源層の検出パターン８０，８２，８
４，８６，９０，９２，９４，９６は略直角二等
辺三角形の形状をし、第１のスルーホール１０又
は１２の周囲に設けられ、前記第１のスルーホー
ル１０又は１２は層ずれ許容値をもつたクリアラ
ンス１２０，１４０で検出パターンと絶縁されて
いる。このクリアランス１２０，１４０は、検出
パターン８０，８２，８４，８６又は９０，９
２，９４，９６が形成する三角形の各直角部分を
一部弧状にした当該弧による円形で形成されてい
る。また、検出パターンは、その各々が層ずれ許
容値を有して隣接している。検出パターン８０は
スルーホール２２と導通し、検出パターン８２は
スルーホール２６と、検出パターン８４はスルー
ホール３０と、検出パターン８６はスルーホール
３４とそれぞれ導通している。第１図ｄも同様で
ある。そして、各検出パターンが互いに隣接する
一部を弧状に形成してクリアランスホール１２
２，１２４，１２６，１２８を設け、前記第１の
スルーホール２０，２４，２８，３２とは導通し
ないようにしている。第１図ｄのクリアランスホ
ール１４２，１４４，１４６，１４８及び第１図
ａの第１のスルーホール４０，４４，４８，５２
についても同様である。
第１図ｃ，ｄのパターン１００，１０２は、検
出パターンとの製造上のバランス、例えばエツチ
ング時の密度の均一を図るために設けてある。前
設パターン１００，１０２は検出パターンに隣接
するが導通せず、またいずれのスルーホールにも
導通しないようにクリアランスが設けてある。
出パターンとの製造上のバランス、例えばエツチ
ング時の密度の均一を図るために設けてある。前
設パターン１００，１０２は検出パターンに隣接
するが導通せず、またいずれのスルーホールにも
導通しないようにクリアランスが設けてある。
このような構造のテストクーポンを第２図のよ
うに製品２１０外の２０２，２０４，２０６，２
０８の位置に設ける。
うに製品２１０外の２０２，２０４，２０６，２
０８の位置に設ける。
次に、実施例の内層の位置ずれ方向の検出方法
について説明する。
について説明する。
テスターの電極の一方を第１のスルーホール１
０に当接し、他方の電極を第２のスルーホール２
０（若しくは３２）又は２４（若しくは２８）に
当接して、電流が流れるか否かを調べる。第１図
ｂの内層信号用パターンの層がＹ方向にずれて短
絡状態にあれば、上又は下方向のずれに応じた第
２のスルーホール２０又は２４に電流が流れる。
第１のスルーホール１２と第２のスルーホール４
０（若しくは４４）又は４８（若しくは５２）に
ついても、同様にＹ方向の左又は右方向のずれを
検出することができる。なお、第１のスルーホー
ル１０又は１２と検出パターン６０，６２，７０
又は７２とが短絡していても、その信号層パター
ンの走行方向とずれ方向とが同じである場合はそ
の度合により許容される場合もある。
０に当接し、他方の電極を第２のスルーホール２
０（若しくは３２）又は２４（若しくは２８）に
当接して、電流が流れるか否かを調べる。第１図
ｂの内層信号用パターンの層がＹ方向にずれて短
絡状態にあれば、上又は下方向のずれに応じた第
２のスルーホール２０又は２４に電流が流れる。
第１のスルーホール１２と第２のスルーホール４
０（若しくは４４）又は４８（若しくは５２）に
ついても、同様にＹ方向の左又は右方向のずれを
検出することができる。なお、第１のスルーホー
ル１０又は１２と検出パターン６０，６２，７０
又は７２とが短絡していても、その信号層パター
ンの走行方向とずれ方向とが同じである場合はそ
の度合により許容される場合もある。
また、第１図ｃの内層地気層パターンの層のず
れ方向の試験は、テスタの電極の一方を第１のス
ルーホール１０に当接し、他方の電極を第２のス
ルーホール２２，２６，３０又は３４に当接し
て、電流が流れるか否かを調べる。内層電源層パ
ターンの層がずれて第１のスルーホールと検出パ
ターン８０，８２，８４又は８６が短絡状態にあ
れば、ずれ方向に応じたスルーホール間で電流が
流れる。例えばＹ方向の上方向にずれている場合
は第２のスルーホール２６に当接したときに電流
が流れる。また、第１のスルーホール１０と第２
のスルーホール２２及び２６とで電流が流れる場
合は、左斜め上方向にずれていることが検出され
る。この場合、スルーホール２２と２６とを調べ
ても電流が流れることは明らかである。
れ方向の試験は、テスタの電極の一方を第１のス
ルーホール１０に当接し、他方の電極を第２のス
ルーホール２２，２６，３０又は３４に当接し
て、電流が流れるか否かを調べる。内層電源層パ
ターンの層がずれて第１のスルーホールと検出パ
ターン８０，８２，８４又は８６が短絡状態にあ
れば、ずれ方向に応じたスルーホール間で電流が
流れる。例えばＹ方向の上方向にずれている場合
は第２のスルーホール２６に当接したときに電流
が流れる。また、第１のスルーホール１０と第２
のスルーホール２２及び２６とで電流が流れる場
合は、左斜め上方向にずれていることが検出され
る。この場合、スルーホール２２と２６とを調べ
ても電流が流れることは明らかである。
第１図ｄの内層電源用パターン層の位置ずれ方
向の試験についても、第１図ｃの場合と同様に第
１のスルーホール１２と第２のスルーホール４
２，４６，５０又は５４との間を調べることによ
つて行なえる。
向の試験についても、第１図ｃの場合と同様に第
１のスルーホール１２と第２のスルーホール４
２，４６，５０又は５４との間を調べることによ
つて行なえる。
実施例の場合、表層には第１のスルーホール１
０，２０がランドレススルーホールとしてあるた
め、信号層パターンの検出パターン６０，６２，
７０又は７２及び内層地気、電源パターン８０，
８２，８４，８６，９０，９２，９４，９６が透
けて見えるので目視することによつても製品の
良、不良を判定することができる。又簡易的な試
験治具により短時間に判定することができる。
０，２０がランドレススルーホールとしてあるた
め、信号層パターンの検出パターン６０，６２，
７０又は７２及び内層地気、電源パターン８０，
８２，８４，８６，９０，９２，９４，９６が透
けて見えるので目視することによつても製品の
良、不良を判定することができる。又簡易的な試
験治具により短時間に判定することができる。
以上説明したように、本発明によれば、内層の
位置ずれ方向を容易に検出することができる。又
装置へのフイードバツク情報とし、再発防止対策
を行うことができる。
位置ずれ方向を容易に検出することができる。又
装置へのフイードバツク情報とし、再発防止対策
を行うことができる。
第１図は本発明の実施例の各層のパターン形状
を示す斜視図、第２図は本発明の検出パターンの
位置を表わす平面図である。 １０，１２…第１のスルーホール、２０，２
２，２４，２６，２８，３０，３２，３４，４
０，４２，４４，４８，５０，５２，５４…第２
のスルーホール、６０，６２，７０，７２，８
０，８２，８４，８６，９０，９２，９４，９６
…検出パターン、１２０，１２２，１２４，１２
６，１２８，１４０，１４２，１４４，１４６，
１４８…クリアランス。
を示す斜視図、第２図は本発明の検出パターンの
位置を表わす平面図である。 １０，１２…第１のスルーホール、２０，２
２，２４，２６，２８，３０，３２，３４，４
０，４２，４４，４８，５０，５２，５４…第２
のスルーホール、６０，６２，７０，７２，８
０，８２，８４，８６，９０，９２，９４，９６
…検出パターン、１２０，１２２，１２４，１２
６，１２８，１４０，１４２，１４４，１４６，
１４８…クリアランス。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 内層を持つた多層印刷配線板において、製品
領域外の少なくとも二個所以上にテストクーポン
を設け、該テストクーポンのいずれの内層の検出
パターンに接続しない複数の第１のスルーホール
を設け、内層に前記第１のスルーホールの周囲に
所定の間隔で平行に向い合う一組の検出パターン
を設け、該検出パターンは一方の組に対し他方の
組は略直角に向い合い、前記検出パターンの各各
に導通する第２のスルーホールを設け、第１のス
ルーホールと第２のスルーホールとの導通を調べ
前記内層の層ずれ方向を検出することを特徴とす
る多層印刷配線板。 ２ 内層の検出パターンが前記第１のスルーホー
ルを中心とするように互いに隣接していて層ずれ
方向を検出するパターンであることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の多層印刷配線板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14332882A JPS5933898A (ja) | 1982-08-20 | 1982-08-20 | 多層印刷配線板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14332882A JPS5933898A (ja) | 1982-08-20 | 1982-08-20 | 多層印刷配線板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5933898A JPS5933898A (ja) | 1984-02-23 |
| JPS634960B2 true JPS634960B2 (ja) | 1988-02-01 |
Family
ID=15336225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14332882A Granted JPS5933898A (ja) | 1982-08-20 | 1982-08-20 | 多層印刷配線板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5933898A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07123188B2 (ja) * | 1987-02-05 | 1995-12-25 | 株式会社アドバンテスト | 多層プリント基板の整合ずれ検出方法 |
| JPH0611532Y2 (ja) * | 1988-01-28 | 1994-03-23 | 横河電機株式会社 | プリント基板の検査用パターン |
-
1982
- 1982-08-20 JP JP14332882A patent/JPS5933898A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5933898A (ja) | 1984-02-23 |
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