JPH05226846A - 多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方法 - Google Patents
多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方法Info
- Publication number
- JPH05226846A JPH05226846A JP2805692A JP2805692A JPH05226846A JP H05226846 A JPH05226846 A JP H05226846A JP 2805692 A JP2805692 A JP 2805692A JP 2805692 A JP2805692 A JP 2805692A JP H05226846 A JPH05226846 A JP H05226846A
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- JP
- Japan
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- check
- inner layer
- deviation
- wiring board
- printed wiring
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方
法に関し、内層ずれが発生している方向及びその方向へ
のずれ量を検出できるようにした多層プリント配線板の
内層ズレ量チェック方法を提供することを目的とする。 【構成】 内層銅パターン層Ｌ２，Ｌ３の製品回路エリ
ヤＡ外の銅ベタパターン１に３点以上のチェック点２ａ
〜２ｄを設定し、各チェック点２ａ〜２ｄからそれぞれ
異なる方向に所定量偏心させた円形のクリアランス部３
ａ〜３ｈを形成し、積層後に形成された表面層の各チェ
ック点２ａ〜２ｄ通る各チェックスルーホール４ａ〜４
ｈと、上記銅ベタパターン１を貫通して接続する接続ス
ルーホール５との間の導通の有無を検出する構成とす
る。
法に関し、内層ずれが発生している方向及びその方向へ
のずれ量を検出できるようにした多層プリント配線板の
内層ズレ量チェック方法を提供することを目的とする。 【構成】 内層銅パターン層Ｌ２，Ｌ３の製品回路エリ
ヤＡ外の銅ベタパターン１に３点以上のチェック点２ａ
〜２ｄを設定し、各チェック点２ａ〜２ｄからそれぞれ
異なる方向に所定量偏心させた円形のクリアランス部３
ａ〜３ｈを形成し、積層後に形成された表面層の各チェ
ック点２ａ〜２ｄ通る各チェックスルーホール４ａ〜４
ｈと、上記銅ベタパターン１を貫通して接続する接続ス
ルーホール５との間の導通の有無を検出する構成とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多層プリント配線板に
関し、特に多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方
法に関する。
関し、特に多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、多層プリント配線板では積層工
程においてプリプレグの収縮等によって表面層と内面層
との間にずれが生じることが知られている。そして、製
品の品質を保証するため、このずれ量を見越して各プリ
プレグの銅パターン層を形成している。
程においてプリプレグの収縮等によって表面層と内面層
との間にずれが生じることが知られている。そして、製
品の品質を保証するため、このずれ量を見越して各プリ
プレグの銅パターン層を形成している。
【０００３】従来、表面層に対する内層のずれを検出す
る方法としては、試作品あるいは製品についての導通試
験、あるいは、断面観察に頼っている。
る方法としては、試作品あるいは製品についての導通試
験、あるいは、断面観察に頼っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、導通試験で
は、スルーホールと内層ランドとがずれていても、その
ずれ量が小さければずれがあることを検出できず、ま
た、スルーホールと内層ランドとのずれ量がある程度大
きくてもこれらが一定以上重なりあっているかぎり内層
ずれがあることを検出できない。
は、スルーホールと内層ランドとがずれていても、その
ずれ量が小さければずれがあることを検出できず、ま
た、スルーホールと内層ランドとのずれ量がある程度大
きくてもこれらが一定以上重なりあっているかぎり内層
ずれがあることを検出できない。
【０００５】断面観察では、観察される断面においてス
ルーホールと内層ランドとのずれの有無及びそのずれ量
を観察することができる。しかし、ずれがその断面に沿
う方向に発生しているとは限らないので、ずれの方向及
びその方向へのずれ量が観察できるわけではない。
ルーホールと内層ランドとのずれの有無及びそのずれ量
を観察することができる。しかし、ずれがその断面に沿
う方向に発生しているとは限らないので、ずれの方向及
びその方向へのずれ量が観察できるわけではない。
【０００６】本発明は、上記の事情を鑑みてなされたも
のであり、内層ずれが発生している方向及びその方向へ
のずれ量を検出できるようにした多層プリント配線板の
内層ずれ量チェック方法を提供することを目的とする。
のであり、内層ずれが発生している方向及びその方向へ
のずれ量を検出できるようにした多層プリント配線板の
内層ずれ量チェック方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、例えば図１に示すように、多層プリント
配線板の内層の銅パターン層Ｌ２，Ｌ３の製品回路エリ
ヤＡの外側に形成された銅ベタパターン１（図２参照）
に３点以上のチェック点２〔各チェック点の個性を重視
する場合にはａ〜ｈ（但し、ｅ〜ｈについては図３参
照）を付して示す〕を設定し、上記銅ベタパターン１に
各チェック点２からそれぞれ異なる方向に所定量偏心さ
せた円形のクリアランス部３を形成した後、積層し、表
面層の各チェック点２ａ〜２ｄを通る各チェックスルー
ホール４と、上記銅ベタパターン１を貫通して接続する
接続スルーホール５とを形成し、接続スルーホール５と
各チェックスルーホール４ａ〜４ｄとの間の導通の有無
を確認することにより、所定値以上の内層のずれの有無
を検出することを特徴とする。
達成するため、例えば図１に示すように、多層プリント
配線板の内層の銅パターン層Ｌ２，Ｌ３の製品回路エリ
ヤＡの外側に形成された銅ベタパターン１（図２参照）
に３点以上のチェック点２〔各チェック点の個性を重視
する場合にはａ〜ｈ（但し、ｅ〜ｈについては図３参
照）を付して示す〕を設定し、上記銅ベタパターン１に
各チェック点２からそれぞれ異なる方向に所定量偏心さ
せた円形のクリアランス部３を形成した後、積層し、表
面層の各チェック点２ａ〜２ｄを通る各チェックスルー
ホール４と、上記銅ベタパターン１を貫通して接続する
接続スルーホール５とを形成し、接続スルーホール５と
各チェックスルーホール４ａ〜４ｄとの間の導通の有無
を確認することにより、所定値以上の内層のずれの有無
を検出することを特徴とする。
【０００８】
【作 用】今、クリアランス部３の径をＲ、チェックス
ルーホール４のドリル径をｒ、クリアランス部３の各チ
ェック点２からの偏心量をδとすれば、クリアランス部
３とチェックスルーホール４との最小間隔Δは、次の数
式（１）で表される。
ルーホール４のドリル径をｒ、クリアランス部３の各チ
ェック点２からの偏心量をδとすれば、クリアランス部
３とチェックスルーホール４との最小間隔Δは、次の数
式（１）で表される。
【０００９】
【数１】
【００１０】もし、内層のずれ量がΔよりも大きけれ
ば、チェックスルーホール４とその内層の銅ベタパター
ン１とは電気的に接続され、小さければ電気的に遮断さ
れる。したがって、接続スルーホール５と各チェックス
ルーホール４ａ〜４ｄとの間の導通の有無を確認し、何
れかのチェックスルーホール４ａ〜４ｄと接続スルーホ
ール５との間で導通有りと判定された場合にはΔ以上の
ずれ量があることが判明し、また、導通が検出されたチ
ェックスルーホール４ａ〜４ｄの偏心方向からずれの方
向を割り出すことができる。
ば、チェックスルーホール４とその内層の銅ベタパター
ン１とは電気的に接続され、小さければ電気的に遮断さ
れる。したがって、接続スルーホール５と各チェックス
ルーホール４ａ〜４ｄとの間の導通の有無を確認し、何
れかのチェックスルーホール４ａ〜４ｄと接続スルーホ
ール５との間で導通有りと判定された場合にはΔ以上の
ずれ量があることが判明し、また、導通が検出されたチ
ェックスルーホール４ａ〜４ｄの偏心方向からずれの方
向を割り出すことができる。
【００１１】本発明において、ずれの方向を割り出すた
めには、３点以上のチェック点２ａ〜２ｄを設定する必
要があるが、４点のチェック点２ａ〜２ｄを設定し、各
クリアランス部３ａ〜３ｄを各チェック点２ａ〜２ｄか
ら互いに９０°ずつ異なる方向に偏心させることが最も
好ましい。
めには、３点以上のチェック点２ａ〜２ｄを設定する必
要があるが、４点のチェック点２ａ〜２ｄを設定し、各
クリアランス部３ａ〜３ｄを各チェック点２ａ〜２ｄか
ら互いに９０°ずつ異なる方向に偏心させることが最も
好ましい。
【００１２】すなわち、３点のチェック点を設けて、各
クリアランス部を各チェック点から互いに１２０°異な
る方向に偏心させる場合、あるいは、５点以上のチェッ
ク点を設けて、各クリアランス部を各チェック点から等
角度ずつ異なる方向に偏心させる場合は、ずれの方向を
割り出す演算が複雑になる。これに対して、４点のチェ
ック点２ａ〜２ｄを設定し、各クリアランス部３ａ〜３
ｄを各チェック点２ａ〜２ｅから互いに９０°ずつ異な
る方向に偏心させる場合は、各チェック点２ａ〜２ｄの
偏心方向をＸ軸とこれに直交するＹ軸とのプラス方向及
びマイナス方向に対応させてずれの方向をＸＹ座標上で
簡単に演算できるからである。
クリアランス部を各チェック点から互いに１２０°異な
る方向に偏心させる場合、あるいは、５点以上のチェッ
ク点を設けて、各クリアランス部を各チェック点から等
角度ずつ異なる方向に偏心させる場合は、ずれの方向を
割り出す演算が複雑になる。これに対して、４点のチェ
ック点２ａ〜２ｄを設定し、各クリアランス部３ａ〜３
ｄを各チェック点２ａ〜２ｅから互いに９０°ずつ異な
る方向に偏心させる場合は、各チェック点２ａ〜２ｄの
偏心方向をＸ軸とこれに直交するＹ軸とのプラス方向及
びマイナス方向に対応させてずれの方向をＸＹ座標上で
簡単に演算できるからである。
【００１３】また、本発明においては、３点以上のチェ
ック点２ａ〜２ｄを１組として複数組みのチェック点２
ａ〜２ｄを設定し、各組ごとにクリアランス部３ａ〜３
ｅの直径を異ならせる場合には、小径のクリアランス部
３ａ〜３ｅで導通の結果が出る場合にそれよりも大径の
クリアランス部３ａ〜３ｅで導通の結果が出るか否かを
検出することにより、ずれ量がどの程度であるかを段階
的に知ることができる。
ック点２ａ〜２ｄを１組として複数組みのチェック点２
ａ〜２ｄを設定し、各組ごとにクリアランス部３ａ〜３
ｅの直径を異ならせる場合には、小径のクリアランス部
３ａ〜３ｅで導通の結果が出る場合にそれよりも大径の
クリアランス部３ａ〜３ｅで導通の結果が出るか否かを
検出することにより、ずれ量がどの程度であるかを段階
的に知ることができる。
【００１４】
【実施例】本発明の一実施例に係る多層プリント配線板
の内層ずれ量チェック方法を図１ないし図３に基づき具
体的に説明すれば、以下の通りである。
の内層ずれ量チェック方法を図１ないし図３に基づき具
体的に説明すれば、以下の通りである。
【００１５】まず、図２の平面図に示すように、上下の
表面銅パターン層Ｌ１，Ｌ４の間に積層される上下２層
の内層の銅パターン層Ｌ２，Ｌ３の製品回路エリヤＡ外
の銅ベタパターン１の４隅部にそれぞれ３点以上（ここ
では、４点のチェック点をそれぞれ１組として、２組）
のチェック点２ａ〜２ｄ，２ｅ〜２ｈを設定する。
表面銅パターン層Ｌ１，Ｌ４の間に積層される上下２層
の内層の銅パターン層Ｌ２，Ｌ３の製品回路エリヤＡ外
の銅ベタパターン１の４隅部にそれぞれ３点以上（ここ
では、４点のチェック点をそれぞれ１組として、２組）
のチェック点２ａ〜２ｄ，２ｅ〜２ｈを設定する。
【００１６】図３の拡大平面図に示すように、上記銅ベ
タパターン１に各組の各チェック点２ａ〜２ｄ，２ｅ〜
２ｈごとに、各チェック点２ａ〜２ｈからそれぞれ９０
°ずつ異なる方向、すなわち、図上、上下左右の４方向
に所定量（例えば５０μｍ）偏心させた円形のクリアラ
ンス部３ａ〜３ｈをエッチング等により形成する。クリ
アランス部３ａ〜３ｈの直径は特に限定されず、ここで
は、後述するチェックスルーホール４ａ〜４ｈのドリル
径を０．３５ｍｍとし、各チェック点２ａ〜２ｈからク
リアランス部３ａ〜３ｈの偏心量を５０μｍとして、数
式（１）から逆算し、一方の組の各チェック点２ａ〜２
ｄのクリアランス部３ａ〜３ｄの直径は１００μｍ以上
のずれの有無及びその方向を検出するために０．６５ｍ
ｍとし、他方の組の各チェック点２ｅ〜２ｈのクリアラ
ンス部３ｅ〜３ｈの直径は１５０μｍのずれ量の有無及
びその方向を検出するために０．７５ｍｍとしている。
タパターン１に各組の各チェック点２ａ〜２ｄ，２ｅ〜
２ｈごとに、各チェック点２ａ〜２ｈからそれぞれ９０
°ずつ異なる方向、すなわち、図上、上下左右の４方向
に所定量（例えば５０μｍ）偏心させた円形のクリアラ
ンス部３ａ〜３ｈをエッチング等により形成する。クリ
アランス部３ａ〜３ｈの直径は特に限定されず、ここで
は、後述するチェックスルーホール４ａ〜４ｈのドリル
径を０．３５ｍｍとし、各チェック点２ａ〜２ｈからク
リアランス部３ａ〜３ｈの偏心量を５０μｍとして、数
式（１）から逆算し、一方の組の各チェック点２ａ〜２
ｄのクリアランス部３ａ〜３ｄの直径は１００μｍ以上
のずれの有無及びその方向を検出するために０．６５ｍ
ｍとし、他方の組の各チェック点２ｅ〜２ｈのクリアラ
ンス部３ｅ〜３ｈの直径は１５０μｍのずれ量の有無及
びその方向を検出するために０．７５ｍｍとしている。
【００１７】これらの銅パターン層Ｌ１〜Ｌ４を常法に
よっで積層した後、孔あけを行い表面層の各チェック点
２ａ〜２ｈに対応する位置を通るチェックスルーホール
４ａ〜４ｈと、上記銅ベタパターン１を貫通して接続す
る接続スルーホール５をメッキにて形成する。
よっで積層した後、孔あけを行い表面層の各チェック点
２ａ〜２ｈに対応する位置を通るチェックスルーホール
４ａ〜４ｈと、上記銅ベタパターン１を貫通して接続す
る接続スルーホール５をメッキにて形成する。
【００１８】この後、図１に示すように、テスター６の
端子７，８を接続スルーホール５と各チェックスルーホ
ール４ａ〜４ｄに接触させ、導通しているか否かを確認
する。同様にしてテスター６の端子７，８を接続スルー
ホール５と各チェックスルーホール４ａ〜４ｅとに接触
させ、導通しているか否かを確認する。
端子７，８を接続スルーホール５と各チェックスルーホ
ール４ａ〜４ｄに接触させ、導通しているか否かを確認
する。同様にしてテスター６の端子７，８を接続スルー
ホール５と各チェックスルーホール４ａ〜４ｅとに接触
させ、導通しているか否かを確認する。
【００１９】例えば表１及び表２に示すような結果が得
られた場合には、表２では全てが非導通（○印で示す）
であるので、１５０μｍ以上のずれは生じていないこと
が分かる。また、表１では各銅パターン層Ｌ１〜Ｌ４の
４隅全てにおいてチェックスルーホール４ｃが導通（×
印で示す）しているので、それぞれの隅部で内層銅パタ
ーン層Ｌ２，Ｌ３の何れか一方の内層銅パターン層が右
方向に１００〜１５０μｍずれていることが分かり、こ
れまでの経験から、このような結果が出る場合には、内
層銅パターン層Ｌ２，Ｌ３が全体的に右方向に１００〜
１５０μｍずれている場合であることが分かる。
られた場合には、表２では全てが非導通（○印で示す）
であるので、１５０μｍ以上のずれは生じていないこと
が分かる。また、表１では各銅パターン層Ｌ１〜Ｌ４の
４隅全てにおいてチェックスルーホール４ｃが導通（×
印で示す）しているので、それぞれの隅部で内層銅パタ
ーン層Ｌ２，Ｌ３の何れか一方の内層銅パターン層が右
方向に１００〜１５０μｍずれていることが分かり、こ
れまでの経験から、このような結果が出る場合には、内
層銅パターン層Ｌ２，Ｌ３が全体的に右方向に１００〜
１５０μｍずれている場合であることが分かる。
【００２０】
【表１】
【００２１】
【表２】
【００２２】また、例えば表３及び表４に示すようにチ
ェック点２ｂの上の左右隅とチェック点２ｄの下の左右
隅とに導通がある場合には内層銅パターン層Ｌ２，Ｌ３
が２００〜３００μｍ程度縮んでいる場合であると考え
られる。
ェック点２ｂの上の左右隅とチェック点２ｄの下の左右
隅とに導通がある場合には内層銅パターン層Ｌ２，Ｌ３
が２００〜３００μｍ程度縮んでいる場合であると考え
られる。
【００２３】
【表３】
【００２４】
【表４】
【００２５】なお、複数の内層銅パターンＬ２，Ｌ３の
うちの特定の内層にどの程度のずれがどの方向に生じて
いるかを検出するためには、その内層についてのみ各チ
ェック点に所定の方向に偏心させた所定の径のクリアラ
ンス部を設け、他の内層では各チェック点でそれよりも
大径のクリアランス部を偏心させずに設ければよい。
うちの特定の内層にどの程度のずれがどの方向に生じて
いるかを検出するためには、その内層についてのみ各チ
ェック点に所定の方向に偏心させた所定の径のクリアラ
ンス部を設け、他の内層では各チェック点でそれよりも
大径のクリアランス部を偏心させずに設ければよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば積層
後に各チェック点に形成したチェックスルーホールと接
続スルーホールとの間が導通してるか否かを調べること
により、所定の寸法以上の内層ずれが発生しているか否
かを知ることができるとともに、所定の寸法以上の内層
ずれが発生しているときにはそのずれが発生している方
向を検出できる。
後に各チェック点に形成したチェックスルーホールと接
続スルーホールとの間が導通してるか否かを調べること
により、所定の寸法以上の内層ずれが発生しているか否
かを知ることができるとともに、所定の寸法以上の内層
ずれが発生しているときにはそのずれが発生している方
向を検出できる。
【００２７】その結果、内層ずれの発生状態が正確に把
握でき、その原因の分析が容易になるとともに、正確に
判断できるようになり、製造工程にフィードバックする
ことにより中間層への接続信頼性を一層確実に保証でき
るようになる。
握でき、その原因の分析が容易になるとともに、正確に
判断できるようになり、製造工程にフィードバックする
ことにより中間層への接続信頼性を一層確実に保証でき
るようになる。
【００２８】本発明において、特に、４点のチェック点
を設定し、各クリアランス部を各チェック点から互いに
９０°ずつ異なる方向に偏心させる場合には、ずれの方
向をＸＹ座標に対応させて簡単に求めることができる。
を設定し、各クリアランス部を各チェック点から互いに
９０°ずつ異なる方向に偏心させる場合には、ずれの方
向をＸＹ座標に対応させて簡単に求めることができる。
【００２９】また、本発明において、特に、３点以上の
チェック点を１組として複数組みのチェック点を設定
し、各組ごとにクリアランス部の直径を異ならせる場合
には、ずれの大きさを複数段階に分けてずれの有無及び
方向を検出でき、一層正確に内層ずれの発生状態を把握
でき、その原因の分析が一層容易になるとともに、一層
正確に判断できるようになり、製造工程にフィードバッ
クすることにより中間層への接続信頼性を一層確実に保
証できるようになる。
チェック点を１組として複数組みのチェック点を設定
し、各組ごとにクリアランス部の直径を異ならせる場合
には、ずれの大きさを複数段階に分けてずれの有無及び
方向を検出でき、一層正確に内層ずれの発生状態を把握
でき、その原因の分析が一層容易になるとともに、一層
正確に判断できるようになり、製造工程にフィードバッ
クすることにより中間層への接続信頼性を一層確実に保
証できるようになる。
【図１】本発明の斜視図である。
【図２】本発明が適用される内層の銅パターン層の平面
図である。
図である。
【図３】本発明が適用される内層の銅ベタパターンの拡
大平面図である。
大平面図である。
１ 銅ベタパターン ２（２ａ〜２ｈ） チェック点 ３（３ａ〜３ｈ） クリアランス部 ４（４ａ〜４ｈ） チェックスルーホール ５ 接続スルーホール
Claims (3)
- 【請求項１】 多層プリント配線板の内層の各銅パター
ン層(L2)〜(L3)の製品回路エリヤ(A) の外側に設けられ
る銅ベタパターン(1) に３点以上のチェック点(2) を設
定し、上記銅ベタパターン(1) に各チェック点(2) から
それぞれ異なる方向に所定量偏心させた円形のクリアラ
ンス部(3) を形成した後、積層し、表面層の各チェック
点(2) を通る各チェックスルーホール(4) と、上記銅ベ
タパターン(1) を貫通して接続する接続スルーホール
(5) とを形成し、接続スルーホール(5) と各チェックス
ルーホール(4) との間の導通の有無を確認することによ
り、所定値以上の内層のずれの有無を検出することを特
徴とする、多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方
法。 - 【請求項２】 ４点のチェック点(2) を設定し、各クリ
アランス部(3) を各チェック点(2) から互いに９０°ず
つ異なる方向に偏心させることを特徴とする請求項１に
記載の多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方法。 - 【請求項３】 ３点以上のチェック点(2) を１組として
複数組みのチェック点(2) を設定し、各組ごとにクリア
ランス部(3) の直径を異ならせることを特徴とする請求
項１に記載の多層プリント配線板の内層ずれ量チェック
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2805692A JPH05226846A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2805692A JPH05226846A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05226846A true JPH05226846A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=12238104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2805692A Withdrawn JPH05226846A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 多層プリント配線板の内層ずれ量チェック方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05226846A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN102706267A (zh) * | 2012-06-11 | 2012-10-03 | 昆山鼎鑫电子有限公司 | 一种盲孔偏移检测方法 |
| CN104180747A (zh) * | 2013-05-21 | 2014-12-03 | 北大方正集团有限公司 | 检测盲孔对准度的方法及pcb在制板 |
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| WO2021051647A1 (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-25 | 胜宏科技（惠州）股份有限公司 | 一种pcb背钻无损检测方法 |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP2805692A patent/JPH05226846A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
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