JPH0393637A - ガラスの製造方法 - Google Patents
ガラスの製造方法Info
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- JPH0393637A JPH0393637A JP22722789A JP22722789A JPH0393637A JP H0393637 A JPH0393637 A JP H0393637A JP 22722789 A JP22722789 A JP 22722789A JP 22722789 A JP22722789 A JP 22722789A JP H0393637 A JPH0393637 A JP H0393637A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/12—Other methods of shaping glass by liquid-phase reaction processes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、集積回路用投影露光装置のレンズ,液晶ディ
スプレイ用TPT基板や、プリズム,ビームスプリッタ
ー,分光機等の光学部品に応用可能な石英ガラスおよび
光学的特性に優れた種々のガラスのゾルーゲル法による
製造方法に関する。
スプレイ用TPT基板や、プリズム,ビームスプリッタ
ー,分光機等の光学部品に応用可能な石英ガラスおよび
光学的特性に優れた種々のガラスのゾルーゲル法による
製造方法に関する。
[従来の技?Ifl
従来の金属アルコキシドおよび金属酸化物の微粒子を主
原料とするゾルーゲル法によるガラスの製造においては
、目的ガラス成分組成の液状ゾルをゲル化、乾燥して得
られたゲル体の焼結、ガラス化を大気中常圧あるいは、
減圧、不活性ガス置換雰囲気下で行なうものであった。
原料とするゾルーゲル法によるガラスの製造においては
、目的ガラス成分組成の液状ゾルをゲル化、乾燥して得
られたゲル体の焼結、ガラス化を大気中常圧あるいは、
減圧、不活性ガス置換雰囲気下で行なうものであった。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、前述の従来技術では、作製したガラス内部に気
泡が残存するという問題点を有する、焼結,ガラス化を
大気中、常圧下で行なう場合に比べ、減圧下あるいは不
活性ガス置換雰囲気下で行なうと気泡は減少するものの
光学用途などに使用するには必ずしも満足できるレベル
ではない。
泡が残存するという問題点を有する、焼結,ガラス化を
大気中、常圧下で行なう場合に比べ、減圧下あるいは不
活性ガス置換雰囲気下で行なうと気泡は減少するものの
光学用途などに使用するには必ずしも満足できるレベル
ではない。
そこで、本発明の目的は、加圧下で焼結,ガラス化する
ことにより、気泡を除去し、高品質なガラスを、容易に
作製する方法を提供するところにある。
ことにより、気泡を除去し、高品質なガラスを、容易に
作製する方法を提供するところにある。
[課題を解決するための手段]
本発明のゾルーゲル法によるガラスの製造方法は、金属
アルフキシドおよび金属酸化物の微粒子を主原料として
、目的ガラス成分組成の液状ゾルを調製し、該液状ゾル
を所望形状の密閉容器中にてゲル化させ、ウェット、ゲ
ルを作製した後、該ウェットゲルを、乾燥,焼結などの
熱処理によりガラス化するゾルーゲル法において、ガラ
ス化を加圧下で行なうことを特徴とする。
アルフキシドおよび金属酸化物の微粒子を主原料として
、目的ガラス成分組成の液状ゾルを調製し、該液状ゾル
を所望形状の密閉容器中にてゲル化させ、ウェット、ゲ
ルを作製した後、該ウェットゲルを、乾燥,焼結などの
熱処理によりガラス化するゾルーゲル法において、ガラ
ス化を加圧下で行なうことを特徴とする。
[作用]
本発明は、焼結工程を加圧下で行なうことにより、水分
,有機機基等が分解し生じた気泡の原因となる細孔を消
失させる、したがってガラス内部には気泡が存在せず極
めて高品質なガラスが作製できるものである。
,有機機基等が分解し生じた気泡の原因となる細孔を消
失させる、したがってガラス内部には気泡が存在せず極
めて高品質なガラスが作製できるものである。
[実施例]
エチルシリケート,エタノール,水,アンモニア水(2
9%)をモル比で1:7.6:4:(LO8の割合にな
るように混合し約3時間攪拌した後、室温にて、静置し
、粒子を成長,熟成させた。この後減圧濃縮することに
より、分散性の良好なシリカ微粒子分散液を調製した。
9%)をモル比で1:7.6:4:(LO8の割合にな
るように混合し約3時間攪拌した後、室温にて、静置し
、粒子を成長,熟成させた。この後減圧濃縮することに
より、分散性の良好なシリカ微粒子分散液を調製した。
次に、先のエチルシリケートの1/4量のエチルシリケ
ートを用い、重量比で1:1になるように(102規定
の塩酸を加え、氷冷しながら約2時間攪拌することによ
り加水分解溶液を調製した。
ートを用い、重量比で1:1になるように(102規定
の塩酸を加え、氷冷しながら約2時間攪拌することによ
り加水分解溶液を調製した。
ここで、前記シリカ微粒子分散液のPH値を2規定の塩
酸を添加し4.5に調整した後、エチルシリケ―トの加
水分解溶液を混合し、均質な液状ゾルになるまで充分に
攪拌した。その後、該液状ゾルに11L2規定のアンモ
ニア水を添加し、PH値を五〇に調整し、直径50cI
IIの円筒状の型に103の高さまで該液状ゾルを注入
した。更にフタをして密閉状態にして、ゲル化させ、ウ
ェットゲルを作製した.該ウェットゲルを数日間、室温
にて熟成し、収縮がほぼ終了したところで、乾燥密器に
移し、70℃に保持した恒温乾燥機にて乾燥させ、ほぼ
2週間で乾燥が終了し、直径2 1 cm *高さ75
1の円柱状白色ゲルが得られた。
酸を添加し4.5に調整した後、エチルシリケ―トの加
水分解溶液を混合し、均質な液状ゾルになるまで充分に
攪拌した。その後、該液状ゾルに11L2規定のアンモ
ニア水を添加し、PH値を五〇に調整し、直径50cI
IIの円筒状の型に103の高さまで該液状ゾルを注入
した。更にフタをして密閉状態にして、ゲル化させ、ウ
ェットゲルを作製した.該ウェットゲルを数日間、室温
にて熟成し、収縮がほぼ終了したところで、乾燥密器に
移し、70℃に保持した恒温乾燥機にて乾燥させ、ほぼ
2週間で乾燥が終了し、直径2 1 cm *高さ75
1の円柱状白色ゲルが得られた。
このようにして得られたゲル体を、酸素,窒素雰囲気中
で、一旦1000111まで加熱し、縮合・反応の促進
,脱水,脱有機残基などの各種処理を行なった後,5M
paの加圧下で1500℃まで昇温加熱し、ガラス化さ
せた。
で、一旦1000111まで加熱し、縮合・反応の促進
,脱水,脱有機残基などの各種処理を行なった後,5M
paの加圧下で1500℃まで昇温加熱し、ガラス化さ
せた。
以上のようにして得られたガラス体は、透明度の高い無
色の円柱であり、直径15倒,高さ5etl1,重量1
, 9 4 0 fであった。また、得られたガラスの
諸物性は、ビッカース硬度,比重,熱膨張係数,赤外お
よび近赤外吸収スペクトル,屈折率など石英ガラスと一
致していた。さらにガラスの端面な研磨加工した後、5
0万ルクスの集光ランプを照射し、ガラス内部を観察し
たが、気泡,異物など全く、存在しなかった。
色の円柱であり、直径15倒,高さ5etl1,重量1
, 9 4 0 fであった。また、得られたガラスの
諸物性は、ビッカース硬度,比重,熱膨張係数,赤外お
よび近赤外吸収スペクトル,屈折率など石英ガラスと一
致していた。さらにガラスの端面な研磨加工した後、5
0万ルクスの集光ランプを照射し、ガラス内部を観察し
たが、気泡,異物など全く、存在しなかった。
[発明の効果]
以上のように、本発明の方法によれば、光学的特性に優
れた高品質なバルクガラスの作製が容易になる。したが
って、これまで石英ガラスを使用していた分野ではもち
ろんのこと、特に高品質を要求される工0用フォトマス
ク基板、光ファイバー母材、特殊光学用途など種々の分
野に応用が広がるものと考える。
れた高品質なバルクガラスの作製が容易になる。したが
って、これまで石英ガラスを使用していた分野ではもち
ろんのこと、特に高品質を要求される工0用フォトマス
ク基板、光ファイバー母材、特殊光学用途など種々の分
野に応用が広がるものと考える。
また、ゾル調製工程において、B,Ti,Ge,Ma,
Oa,Li,At,To,Zr,Oe,11d,Or,
Ir など、種々の元素の添加が可能であり、多種の
多成分系ガラスおよび既存組戊ではないガラスの製造も
容易である。
Oa,Li,At,To,Zr,Oe,11d,Or,
Ir など、種々の元素の添加が可能であり、多種の
多成分系ガラスおよび既存組戊ではないガラスの製造も
容易である。
以上
Claims (1)
- (1)金属アルコキシドおよび金属酸化物の微粒子を主
原料として目的ガラス成分継成の液状ゾルを調製し、該
液状ゾルを所望形状の密閉容器中にてゲル化させ、ウェ
ットゲルを作製した後、該ウェットゲルを、乾燥、焼結
などの熱処理によりガラス化するゾル−ゲル法によるガ
ラスの製造方法において、ガラス化を加圧下で行なうこ
とを特徴とするガラスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22722789A JPH0393637A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | ガラスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22722789A JPH0393637A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | ガラスの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0393637A true JPH0393637A (ja) | 1991-04-18 |
Family
ID=16857497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22722789A Pending JPH0393637A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | ガラスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0393637A (ja) |
-
1989
- 1989-09-01 JP JP22722789A patent/JPH0393637A/ja active Pending
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