JPH03225810A - 積層型コンデンサーにおける端子電極膜の構造及び端子電極膜の形成方法 - Google Patents

積層型コンデンサーにおける端子電極膜の構造及び端子電極膜の形成方法

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JPH03225810A
JPH03225810A JP2021151A JP2115190A JPH03225810A JP H03225810 A JPH03225810 A JP H03225810A JP 2021151 A JP2021151 A JP 2021151A JP 2115190 A JP2115190 A JP 2115190A JP H03225810 A JPH03225810 A JP H03225810A
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Mitsuo Kawamura
満夫 川村
Tomonaga Miyashita
宮下 智長
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Rohm Co Ltd
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    • H01G13/00Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、積層型コンデンサーにおいて、そのセラミッ
ク製本体片の側端面に、当該本体片内における内部電極
に導通ずるように形成する接続用端子電極膜の構造、及
び該端子電極膜を形成する方法に関するものである。
〔従来の技術〕
一般に、この種の積層型コンデンサーは、第9図及び第
1O図に示すように、セラミックにて六面体に形成した
本体片lの内部に、複数枚から成る一方の内部電極2と
、同じく複数枚から成る他方の内部電極3とを交互に積
層状に配設し、この本体片1における六つの側面のうち
、前記一方の各内部電極2が露出する一方の側端面1a
と、前記他方の各内部電極3が露出する他方の側端面1
bとの両方に、接続用の端子電極膜4を、当該端子電極
膜4が一方の各内部電極2及び他方の各内部電極3に導
通ずるように各々形成したものに構成されていることは
、周知の通りである。
この場合において、先行技術としての特開昭60−23
6207号公報は、前記本体片1の左右両側端面1a、
lbに対する両端子電極膜4を、本体片lの左右両側端
面1a、lbに導電性ペーストを塗着することで形成し
た第1電極層4aと、該第1電極層4aの表面に半田付
は可能な性質を有するニッケル又は銅等の金属をスパッ
タリング、真空蒸着又はプラズマ溶射により付着した第
2電極層4bと、該第2電極層4bの表面に半田濡れ性
を有する錫又は銀等の金属をスパッタリング、真空蒸着
又はプラズマ溶射により付着した第3電極層4cとの三
層構造に構成することを提案している。
〔発明が解決しようとする課題〕
積層型コンデンサーにおいて、その本体片1の側端面に
形成する端子電極膜4を、導電性ペーストの塗着で形成
した第1電極層4aと、この第1電極層4aの表面に形
成したニッケル又は銅等の金属の第2電極層4bと、更
に、この第2電極層4bの表面に形成した錫又は銀等の
金属の第3電極層4cとの三層構造に構成するに際して
、前記第2電極層4b及び第3電極層4cを、前記先行
技術のように、スパッタリング、真空蒸着又はプラズマ
溶射にて形成するようにすると、これら第2電極層4b
及び第3電極層4Cを、湿式メツキ方法にて形成する場
合のようにメツキ液が本体片lの内部に侵入することが
ないと云う利点を有する。
しかし、その反面、前記先行技術は、端子電極膜4にお
ける第1電極層4aを、本体片1の側端面1a、lbに
対して最初に導電性ペーストを塗着することによって形
成したものであって、この導電性ペーストによる第1電
極層4aの厚さは可成り厚いと共に、当該厚さには可成
りのバラ付きがあるから、積層型コンデンサーにおける
長さ寸法しか、それだけ大きくなると共に、当該長さ寸
法りの寸法精度か低いのである。
しかも、本体片1における側端面1a、lbに対する導
電性ペーストの塗着に際し、当該導電性ペーストか、第
9図及び第10図に示すように、本体片1における上面
IC1下面1d及び左右両側面1e、]、fにも塗着さ
れることになると共に、これら上面ic、下面1d及び
左右両側面1e。
1fに塗着される導電性ペーストの厚さも不揃になるか
ら、積層型コンデンサーにおける高さ寸法H及び幅寸法
Wか、それだけ大きくなると共に、当該高さ寸法H及び
幅寸法Wの寸法精度が低いのである。
その上、前記先行技術のものは、比較的厚さの厚い端子
電極膜4の一部が、本体片1における上面1c、下面1
d及び左右両側面1e、Ifにも延びているので、積層
型コンデンサーを電気機器におけるプリント基板等に自
動的に装着するに際して、これを真空吸着式のコレット
で吸着したときにおいて、本体片lの上面ICにまでも
延びている厚さの厚い端子電極膜4によって、前記真空
吸着式コレットによる吸着にミスが多発すると云う問題
もあった。
本発明は、本体の側端面に対する端子電極膜に、前記先
行技術のように、導電性ペーストを、−切、使用するこ
となく、金属のスパッタリング、真空蒸着又はプラズマ
溶射にて形成するようにして、前記のような問題を解消
することを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明者達は、セラミックの表面に対して、金属を、ス
パッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶射にて、直接的
に付着することについて種々実験した結果、セラミック
の表面に対して、最初に、ニッケル又は銅等の半田付は
可能な性質を有する金属を、スパッタリング、真空蒸着
又はプラズマ溶射にて付着した場合には、セラミックの
表面に対する密接強度が可成り低くて、容易に剥離する
現象が認められた。
これに対し、セラミックの表面に対して、最初に、クロ
ム等のようにセラミックに対する密着強度の良い金属を
、スパッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶射にて付着
し、次いで、ニッケル又は銅等の半田付は可能な性質を
有する金属を、スパッタリング、真空蒸着又はプラズマ
溶射にて付着した場合には、剥離を確実に防止できるも
のであったことから、この点に着目して本発明を完成す
るに至った。
すなわち、本発明における請求項1は、セラミック製本
体片の内部に、複数枚の内部電極を配設し、前記本体片
における側端面のみに、接続用の端子電極膜を、前記内
部電極に導通ずるように形成して成る積層型コンデンサ
ーにおいて、前記端子電極膜を、本体片における側端面
のみに対してセラミックとの密着強度を持つ性質を有す
る金属のスパッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶射に
て形成した第1電極層と、この第1電極層の表面のみに
対して半田付けが可能な性質を有する金属のスパッタリ
ング、真空蒸着又はプラズマ溶射にて形成した第2電極
層と、この第2電極層の表面のみに対して半田濡れ性を
有する金属の第3電極層との三層構造にしたものである
また、請求項2は、セラミック製本体片の内部に、複数
枚の内部電極を配設し、前記本体片における側端面に、
接続用の端子電極膜を、前記内部電極に導通するように
形成するにおいて、前記本体片を、治具にて、当該本体
片における側端面のみか露出するようにカバーし、この
状態で、前記本体片における側端面に対してスパッタリ
ング、真空蒸着又はプラズマ溶射にてセラミックとの密
着強度を持つ性質を有する金属の第1電極層を形成し、
次いで、この第1電極層の表面に、スパッタリング、真
空蒸着又はプラズマ溶射にて半田付けが可能な性質を有
する金属の第2電極層を形成し、更に、この第2電極層
の表面に、スパッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶射
にて半田濡れ性を有する金属の第3電極層を形成するこ
とにしたものである。
〔発明の作用・効果〕
スパッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶射にて形成し
た金属被膜の厚さは、1ミクロン以下と云うようにきわ
めて薄いので、セラミック製本体片の側端面における接
続用の端子電極膜を、前記請求項1のように、本体片に
おける側端面のみに対してセラミックとの密着強度を持
つ性質を有する金属のスパッタリング、真空蒸着又はプ
ラズマ溶射にて形成した第1電極層と、この第1電極層
のみに表面に対して半田付は可能な性質を有する金属の
スパッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶射にて形成し
た第2電極層と、更に、この第2電極層の表面のみに対
して半田濡れ性を有する金属のスパッタリング、真空蒸
着又はプラズマ溶射にて形成した第3電極層との三層構
造にすると、端子電極膜の厚さは、数ミクロン以下にな
り、前記した先行技術のように、当該端子電極膜におけ
る第1電極層を導電性ペーストにて形成する場合よりも
、遥かに薄くすることができると共に、当該厚さ寸法の
バラ付きをきわめて小さくすることができるのである。
これに加えて、前記三層構造の端子電極膜を、本体片に
おける側端面のみに形成するものであるから、本体片に
おける高さ寸法及び幅寸法が、前記先行技術の場合のよ
うに、端子電極膜を形成することのために大きくなるこ
とがないと共に、高さ寸法及び幅寸法のバラ付きが、端
子電極膜を形成することのために増大することを回避で
きるのである。
従って、請求項1によると、積層型コンデンサ−の外形
寸法を小さくできて、小型化できると共に、外形寸法の
寸法精度を大幅に向上できるのであり、しかも、接続用
の端子電極膜は、本体片における側端面のみに形成され
ているので、真空吸着式のコレットにて吸着するに際し
て、前記端子電極膜がこの吸着を同等阻害することはな
く、吸着ミスが発生することを確実に低減できるのであ
る。
また、請求項2は、本体片を、治具にて、当該本体片に
おける側端面のみが露出するようにカバーし、この状態
で、前記本体片における側端面に対してスパッタリング
、真空蒸着又はプラズマ溶射にてセラミックとの密着強
度を持つ性質を有する金属の第1電極層を形成し、次い
で、この第1電極層の表面に、スパッタリング、真空蒸
着又はプラズマ溶射にて半田付けが可能な性質を有する
金属の第2電極層を形成し、更に、この第2電極層の表
面に、スパッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶射にて
半田濡れ性を有する金属の第3電極層を形成するもので
、本体片における側端面のみに端子電極膜を形成するこ
とが、前記治具の使用によって至極容易にできるから、
前記した先行技術として例示した特開昭60−2362
07号公報に記載されているように、スパッタリング、
真空蒸着又はプラズマ溶射によるニッケルの第2電極層
、及び同じくスパッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶
射による錫の第3電極層を、本体片における総ての表面
に形成したのち、この第2電極層及び第3電極層のうち
不必要な部分のみをエツチング処理によって除去するよ
うにしたものに比べて、端子電極膜を形成するための工
程が著しく簡単で、本体片の側端面のみに端子電極膜を
形成することを、低スコトで達成することができる効果
を有する。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面(第1図〜第8図)につい
て説明する。
これらの図において符号11は、セラミックにて左右両
側端面Lla、llb及び上下両面11c、lid並び
に左右両側面11e、llfの六つの面を有する六面体
に形成した本体片を示し、該本体片11の内部には、複
数枚から成る一方の内部電極12と、同じく複数枚から
成る他方の内部電極13とか交互に積層状で、且つ、前
記一方の各内部電極12が本体片11における一方の側
端面11aに、前記他方の各内部電極13が本体片11
における他方の側端面11bに各々露出するように配設
されている。
符号15は、前記本体片11における両側端面11a、
llbのみに、接続用の端子電極膜14を、各内部電極
12.13に導通ずるように形成することのために使用
する治具を示し、該治具15は、石英ガラス等の適宜材
料にて板状体に構成されている。
この治具15の表面に、第3図及び第4図に示すように
、前記本体片l】における高さ寸法Hと等しい幅寸法H
1にした長溝16を、複数本刻設して、この各長溝16
内に、第5図及び第6図に示すように、前記本体片11
の複数個を、当該各本体片11における一方の側端面1
1aが上向きで、各本体片11における両側面11e、
llfか互いに密接するように並べて挿入する(なお、
前記各長溝16の幅寸法H1を、本体片11における幅
寸法Wと等しくすることによって、複数個の本体片11
を、当該各本体片11における上下両面11c、lid
か互いに密接するように並べて挿入するようにしても良
い)。
この場合において、各長溝16の深さ寸法L2を、前記
本体片11における両側端面11a、llb間の長さ寸
法L1と等しくすることによって、長溝16内に挿入し
た各本体片11における一方の側端面のみが露出する状
態にする。
そして、この状態で、治具15を、従来から良く知られ
ているスパッタリング装置に入れて、クロム等のように
セラミックに対する密着強度の高い金属のスパッタリン
グを行うことにより、各本体片11における一方の側端
面11aに、最初に、第1電極層14aを形成する。
次いで、スパッタリング装置で、半田付は可能な性質を
有するニッケルのスパッタリングを行うことにより、前
記第1電極層14aの表面に二ヶツルによる第2電極膜
14bを形成したのち、スパッタリング装置で、半田濡
れ性を有する錫のスパッタリングを行うことにより、前
記第2電極層14bの表面に錫による第2電極層14c
を形成する。
これにより、各本体片11における一方の側端面11a
にく第8図に示すように、セラミック製本体片1に対し
て接着強度の高いクロム等の金属の第1電極層14aと
、半田付は可能な性質を有するニッケルの第2電極層1
4bと、半田濡れ性の良い錫の第3電極層14cとの三
層構造の端子電極膜14を、当該一方の側端面11aに
対してのみ形成することができるのである。
このようにして、各本体片11における一方の側端面1
1aに端子電極膜14を形成すると、冶具15における
各長溝16内における各本体片llを、その他方の側端
面11bが上向きになるように裏返して、前記と同様に
3回にわたってスパッタリングを行うことにより、この
他方の側端面11bに、第8図に示すように、クロム等
の金属の第1電極層14aと、二ヶツルの第2電極層1
4bと、錫の第3電極層14cとの三層構造の端子電極
膜14を、当該他方の側端面11bに対してのみ形成す
ることができるのである。
なお、前記端子電極膜14におけるクロム等の金属の第
1電極層14a、二ヶツルの第2電極層14b及び錫の
第3電極層14cを形成するに際しては、真空蒸着又は
プラズマ溶射による方法を適用しても良いことは云うま
でもなく、また、第2電極層14bを、ニッケルにする
ことに代えて、同様に半田付は可能な性質を有する銅等
の他の金属にしても良く、更にまた、第3電極層14c
を、錫に代えて、同様に半田濡れ性を有する銀等の他の
金属にして良いのである。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第8図は本発明の実施例を示し、第1図は本体
片の斜視図、第2図は第1図の■−■視拡大断面図、第
3図は治具の斜視図、第4図は第3図のIV−IV視断
面図、第5図は前記治具における長溝に複数個の本体片
を並べて入れた状態の斜視図、第6図は第5図のVI−
VI視断面図、第7図は積層型コンデンサーの斜視図、
第8図は第7図の〜■−〜■視拡大断面図、第9図は従
来の積層型コンデンサーの斜視図、第10図は第9図の
X−X視検大断面図である。 11・・・・本体片、lla、llb・・・・本体片の
側端面、12.13・・・・内部電極、14・・・・端
子電極膜、14a・・・・第1電極層、14b・・・・
第2電極層、14c・・・・第3電極層、15・・・・
治具、16・・・・長溝。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1).セラミック製本体片の内部に、複数枚の内部電
    極を配設し、前記本体片における側端面のみに、接続用
    の端子電極膜を、前記内部電極に導通するように形成し
    て成る積層型コンデンサーにおいて、前記端子電極膜を
    、本体片における側端面のみに対してセラミックとの密
    着強度を持つ性質を有する金属のスパッタリング、真空
    蒸着又はプラズマ溶射にて形成した第1電極層と、この
    第1電極層の表面のみに対して半田付けが可能な性質を
    有する金属のスパッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶
    射にて形成した第2電極層と、この第2電極層の表面の
    みに対して半田濡れ性を有する金属のスパッタリング、
    真空蒸着又はプラズマ溶射にて形成した第3電極層との
    三層構造にしたことを特徴とする積層型コンデンサーに
    おける端子電極膜の構造。
  2. (2).セラミック製本体片の内部に、複数枚の内部電
    極を配設し、前記本体片における側端面に、接続用の端
    子電極膜を、前記内部電極に導通するように形成するに
    おいて、前記本体片を、治具にて、当該本体片における
    側端面のみが露出するようにカバーし、この状態で、前
    記本体片における側端面に対してスパッタリング、真空
    蒸着又はプラズマ溶射にてセラミックとの密着強度を持
    つ性質を有する金属の第1電極層を形成し、次いで、こ
    の第1電極層の表面に、スパッタリング、真空蒸着又は
    プラズマ溶射にて半田付けが可能な性質を有する金属の
    第2電極層を形成し、更に、この第2電極層の表面に、
    スパッタリング、真空蒸着又はプラズマ溶射にて半田濡
    れ性を有する金属の第3電極層を形成することを特徴と
    する積層型コンデンサーにおける端子電極膜の形成方法
JP2021151A 1990-01-30 1990-01-30 積層型コンデンサーにおける端子電極膜の構造及び端子電極膜の形成方法 Pending JPH03225810A (ja)

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