JPH031739Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、クリーンルーム用給気装置に関する
ものである。

〔従来の技術〕

近年、半導体の製造や製薬、製菓等の各種製造
関係の分野や、病院における手術室等において
は、その作業が高度化するにつれて、充分に清浄
である部屋で行うことが必要とされてきており、
今後益々このようなクリーンルームと称せられる
外部と遮断された清浄な空気が各分野において要
望されることとなる。

このクリーンルームにおいては、外部の汚染さ
れた空気と完全に遮断されるのみならず、部屋内
部の作業者によつて汚染された空気をも排除する
必要があり、このためには、常に清浄な空気をク
リーンルーム内に送り込む必要がある。この清浄
な空気の製造には、通常極めて微細なガラス繊維
を材料とした超精密空気過器（通常HEPAフ
イルターと称される）が用いられ、これの除塵性
能は0.3μｍの粒子の除去率として99.97％以上で
あるといわれている。

前記した清浄な空気を常にクリーンルーム内に
送り込むには、前記の超高精密空気過器を内蔵
したフイルターボツクスを主流となる給気ダクト
から分岐した給気ダクトにそれぞれ接続せしめて
天井面に多数設け、給気ダクトを通つてきた空気
を超高精密空気過器を通過せしめることにより
空気を清浄にしてクリーンルームに噴き出させ汚
染された空気は還気ダクトにて吸引し、還気ダク
トを通して空調機等を経て給気ダクトへと循環さ
せるようにしている。

〔考案が解決しようとする課題〕

上記したような空気の循環における給気ダクト
とフイルターボツクスとの関係は、従来において
は第５図に示すように、主流となる給気ダクト１
２から分岐給気ダクト１４が直角方向に分岐さ
れ、その端部にフイルターボツクス１３が装着さ
れており、さらに主流となる給気ダクト１２は下
流側に行くに従つて順次ダウンサイズを介して１
２ａ，１２ｂの如くその径が細くされるととも
に、それぞれの給気ダクト１２ａおよび１２ｂに
も前記と同様に先端にフイルターボツクス１３
ａ，１３ｂを有する分岐給気ダクト１４ａおよび
１４ｂが分岐されている。この従来の構成では、
給気ダクト１２から直角方向にそれぞれ分岐給気
ダクトを設けるので、製作工程に手数がかかるば
かりでなく、主流となる給気ダクトは下流側に行
くに従つて順次ダウンサイズを介して細くされて
いるので、分岐給気ダクトもそれに伴つて数多く
の種類を必要とし、工作上不便があつた。

本考案は上述の実情に鑑みてなされたものであ
つて、その目的とするところは、各フイルターボ
ツクスからクリーンルーム内への吹出風量をほぼ
均一化できるとともに、配管工事を極めて簡易化
することのできるクリーンルーム用給気装置を提
供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

前記の目的を達成するために、本考案のクリー
ンルーム用給気装置は、空気抵抗がほぼ同一であ
る超高精密空気過器を内蔵したほぼ同形のフイ
ルターボツクスを送風の主流方向の末端までに順
次間隔をおいた位置と、該位置の全部または一部
から分岐した支流の末端とにそれぞれ配置し、前
記送風の主流方向と支流方向とのそれぞれに沿つ
て隣接するフイルターボツクス同志を直接給気ダ
クトにて接続し、前記送風の主流方向に沿う各給
気ダクトは下流側に行くに従つてそれぞれの上流
側の給気ダクトよりも細くなし、送風の支流方向
に沿う各給気ダクトはほぼ同じ太さとし、前記各
フイルターボツクスの超高精密空気過器の直上
部の風圧をほぼ等しくなし、各フイルターボツク
スからクリーンルーム内への吹出風量をほぼ均一
化せしめることを特徴とするものである。

〔作用〕

本考案のクリーンルーム用給気装置において、
空気抵抗がほぼ同一である超高精密空気過器を
内蔵したフイルターボツクスを送風の主流方向と
支流方向とにそれぞれ沿つて配置し、送風の主流
方向に沿つて配置したフイルターボツクスを順次
接続する各送気ダクトは下流側に行くに従つてそ
れぞれの上流側の給気ダクトよりも細くなし、送
風の支流方向に沿うフイルターボツクスをそれぞ
れ接続する各給気ダクトはほぼ同じ太さとし、前
記各フイルターボツクスの超高精密空気過器の
直上部の風圧をほぼ等しくなしてあることと、超
高精密空気過器による圧力損失に比して、給気
ダクトによる圧力損失が遥かに小さいこととによ
つて各フイルターボツクスからクリーンルーム内
への吹出風量はほぼ均一化せしめられる。また、
送風の主流方向と支流方向とのそれぞれに沿つて
隣接するフイルターボツクス同志を直接給気ダク
トにて接続してあるので、従来必要不可欠であつ
た主流をなす給気ダクトに施すサイズダウンや分
岐給気ダクトが不要となるために、構造は至つて
簡単となり、その配管工事は極めて簡単化するこ
とができる。

〔実施例〕

以下、本考案の各実施例を図面によつて詳細に
説明する。

まず、第１の実施例を示した第１図と第２図に
おいて、１はクリーンルーム、２，２ａ，２ｂ，
２ｃ，２ｄ，２ｅは断面形状が円形、角形等であ
つて、それぞれの太さを後記するようにした給気
ダクトであり、３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３
ｅは空気抵抗がほぼ同一である超高精密空気過
器４をそれぞれ内蔵したほぼ同形のフイルターボ
ツクスであつて、後記するように配置して、クリ
ーンルーム１の天井５に配装される。

前記フイルターボツクス３，３ａ，３ｂは送風
の主流方向の末端までに順次間隔をおいた位置に
配置し、フイルターボツクス３ｃ，３ｄ，３ｅ
は、フイルターボツクス３，３ａ，３ｂの位置か
ら分岐した支流の末端に配置してあり、送風の主
流方向に沿つて隣接するフイルターボツクス同
志、すなわちフイルターボツクス３と３ａ、３ａ
と３ｂはそれぞれ直接給気ダクト２ａ，２ｂにて
接続し、送風の支流方向に沿つて隣接するフイル
ターボツクス同志、すなわちフイルターボツクス
３と３ｃ、３ａと３ｄ、３ｂと３ｅはそれぞれ直
接給気ダクト２ｃ，２ｄ，２ｅにて接続し、さら
にフイルターボツクス３の上流側には図外の循環
用送風機に連結した給気ダクト２が接続してあ
る。

以上のようにフイルタボツクスと給気ダクトと
を接続することによつて、給気ダクト２，２ａ，
２ｂとフイルターボツクス３，３ａ，３ｂとにて
送風の主流経路が形成され、給気ダクト２ｃとフ
イルターボツクス３ｃ、給気ダクト２ｄとフイル
ターボツクス３ｄ、給気ダクト２ｃとフイルター
ボツクス３ｅによつてそれぞれ送風の支流経路が
形成され、フイルターボツクス３，３ａ，３ｂは
分岐給気ダクトの役目を果すことになる。

そして、各フイルターボツクス３，３ａ，……
３ｅからクリーンルーム１内への吹出風量をほぼ
均一化せしめるために、各フイルターボツクスか
らの吹出風量を考慮して、送風の主流方向に沿う
各給気ダクトは、下流側に行くに従つて、それぞ
れの上流側の給気ダクトよりも細くなし、すなわ
ち給気ダクト２ａは給気ダクト２よりも細く、給
気ダクト２ｂは給気ダクト２ａよりも細くなして
ある。そして、送風の支流方向に沿う各給気ダク
ト２ｃ，２ｄ，２ｅは同じ太さとなし、前記各フ
イルターボツクス３，３ａ，……３ｅの超高精密
過器４，……の直上部の風圧をほぼ等しくなし
てある。

なお、図中、６，６′はクリーンルーム１の隔
壁、７，７′は隔壁６，６′に設けられた吸込口で
あつて、還気ダクト８，８′を介して図外の循環
用送風機の吸込み側に連通せしめてある。９，９
ａ，９ｂ，９ｃ，……は給気ダクト２，２ａ，２
ｂ，……とフイルターボツクス３，３ａ，３ｂ，
……とをそれぞれ連結するフランジである。

第３図と第４図は、本考案の給気装置の他の実
施例を示すものであり、同一部品にについては同
一符号で示してある。

本考案にかかるクリーンルーム用給気装置の実
施例は、上記のように構成されるものであるが、
クリーンルームへの各フイルターボツクス３，３
ａ，３ｂ，……３ｅからの空気の吹出風量を均一
化しなければならないが、実験的、経験的にはそ
れぞれのフイルターボツクス３，３ａ，３ｂ，…
…３ｅから吹出風量の最大と最小の差が15％〜20
％であれば、実用的に差し支えがないので、その
範囲内に吹出風量に設定すれば良いことになる。
例えば、第一のフイルターボツクスの吹出風量を
Q₁、第二のフイルターボツクスの吹出風量をQ₂
としたとき、Q₁≒Q₂とするには、その風量にお
ける基準になる点から前記第一のフイルターボツ
クスの吹き出しまでの抵抗をR₁、前記第二のフ
イルターボツクスの吹き出しまでの抵抗をR₂と
したとき、R₁とR₂が同じであればよいのである
が、ダクトその他に種々の抵抗を付設することに
より、R₁とR₂を同じにすることは非常に手数が
かかり実際的ではない。しかしながら、超高精密
空気過器は、他の給気ダクト等の抵抗を無視し
てもよい程、大きな抵抗を有するので、空気抵抗
が同一の超高精密空気過器を使用すると、
R₁／R₂の値は１に近くなる。したがつて、空気
抵抗が同一の超高精密空気過器をそれぞれのフ
イルターボツクスに配装すれば、各フイルターボ
ツクスからの吹出風量はほぼ均一化されることと
なる。さらに、一般的には下流側に行くに従つて
吹出風量は多くなる傾向があるので、各給気ダク
トの太さを下流側に行くに従つて順次それぞれの
上流側の給気ダクトよりも細くすることによつて
吹出風量の均一化を精密にすることができる。

〔考案の効果〕

以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば、各フイルターボツクスからの吹出風量をほぼ
均一化できるとともに、従来、必要であつた分岐
給気ダクトと主流をなす給気ダクトのサイズダウ
ンが不要であるために、送風の主流方向と支流方
向とに沿つて配置したフイルターボツクスを接続
する構造は至つて簡単となり、その配管工事も極
めて簡易化することができ、従つて工期も短縮さ
せることができるなどの実用上における優れた効
果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

図面第１図ないし第４図は本考案のクリーンル
ーム用給気装置の各実施例を示すものであつて、
第１図は第１実施例の使用状態を示す一部切欠縦
断面図、第２図は第１の実施例の平面図、第３図
と第４図は他の実施例の平面図であり、第５図は
従来のクリーンルーム用給気装置の使用状態を示
す平面図である。 １……クリーンルーム、２，２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄ，２ｅ……給気ダクト、３，３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ……フイルターボツクス、
４……超高精密空気過器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 空気抵抗がほぼ同一である超高精密空気過器
   を内蔵したほぼ同形のフイルターボツクスを送風
   の主流方向の末端までに順次間隔をおいた位置
   と、該位置の全部または一部から分岐した支流の
   末端とにそれぞれ配置し、前記送風の主流方向と
   支流方向とのそれぞれに沿つて隣接するフイルタ
   ーボツクス同志を直接給気ダクトにて接続し、前
   記送風の主流方向に沿う各給気ダクトは下流側に
   行くに従つてそれぞれの上流側の給気ダクトより
   も細くなし、送風の支流方向に沿う各給気ダクト
   はほぼ同じ太さとし、前記各フイルタボツクスの
   超高精密空気過器の直上部の風圧をほぼ等しく
   なし、各フイルターボツクスからクリーンルーム
   内への吹出風量をほぼ均一化せしめることを特徴
   とするクリーンルーム用給気装置。