JPS62244417A - フィルタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はフィルタ装置に関し、特にクリーンルームに
清浄な空気を供給するフィルタ装置に関するものである
。

〔従来の技術〕

従来より、半導体工業、電子工業、精密機械工業、製薬
工業、食品工業、バイオテクノロジー関係の工場や研究
所、あるいは病院の手術室等では、空気中の微小な浮遊
粉塵の影響を排除するため、クリーンルームが使用され
ている。このクリーンルームの構造は、第５図に示した
ようなものが一般的である。

すなわち、クリーンルーム（１）の天井（２）のほぼ全
面に複数のフィルタ装置（３）を並設すると共に、床面
（４）の近傍に吸込口（５）を設け、またクリーンルー
ム（１）の外部に空調機（６）及び送風機（７）を設置
する。そして、送風機（７）を作動させることによって
、外気取入口（８）から取り入れた外気を空８１機（６
）内で空調・濾過した後送りダクト（９）を介して各フ
ィルタ装置（３）に供給し、内部でさらに濾過してクリ
ーンルーム（１）内に吹き出すようにする。

吹き出した清浄空気は、吸込口（５）より戻りダクト（
１０）を通って空調機（６）に送られ、外気と共に再び
フィルタ装置（３）に送られる、というものである。

このようなりリーンルーＪ、（１）に設置する従来のフ
ィルタ装Ｗ　（３）　ＬＳＩ、第６図に示すように、下
面を開口した箱形のケーシング（１１）内部に高性能フ
ィルタ　（１２）を交換可能に装着すると共に、ケーシ
ング（１１）の下面にパンチングメタル等よりなるグリ
ル（１３）を着脱可能に取り付けたものである。そして
、グリル（Ｉ３）の多数の孔が吹出口（１４）となって
いる。ケーシング（１１）は、その下端周縁部を天井（
２）に密接して取り付けられ、またその上部において連
結ダクｌ□　（１５）を介して送りダクＩ−（９）と接
続される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、」１記従来のフィルタ装置（３）は、ケーシン
グ（１１）の内部に高性能フィルタ　（１２）を収容す
ると共にその上部に空間（１６）を設ける必要があるた
め、フィルタ（１２）に比してケーシング（１１）をか
なり大きくせざるを得なかった。またクリーンルーム（
１）の天井（２）に多数配設する場合には、送りダクＩ
−（９）に連結ダクト（１５）を介して接続するため、
ダクＩ−（９）（１５）の設置及び接続部分の密封が必
要であり、施工が面倒であった。

この発明は」−記事情に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、小型で嵩が低いと共に製造も容易で
あるフィルタ装置を提供することにある。

この発明の他の目的は、施工が容易でクリーンルーム等
の設備費を低減することができるフィルタ装置を提供す
ることである。

〔問題点を解決するための手段〕

次に、上記目的を達成するために講した技術的手段につ
いて説明する。

この発明では、両端を開口した筒状フィルタ　（１Ｂ）
を長軸方向に複数個連結し、その一端の開口を閉鎖する
と共に他端の開口を空気の供給口とするという技術的手
段を講している。

〔作用〕

筒状フィルタ（１８）の内部空間（３３）が、従来のフ
ィルタ装置（３）の空間（托）と送りダクト（９）の役
割を果たすので、フィルタ装置（１７）自体が小型かつ
高低と２ｒる。また、クリーンルール（１）等の内部に
おいて送りダクト（９）が不要となり、かつ多数のフィ
ルタ装置（１７）を一つずつ設置しなくてよいので、施
工が容易で設備費を低減することができる。

〔実施例〕

以下、添付図面に基いてこの発明の詳細な説明する。

第１図ないし第３図において、（１７）はこの発明に係
るフィルタ装置で、両端を開口した複数個の筒状フィル
タ　（１８）を長軸方向に連結して構成されている。こ
の実施例では、筒状フィルタ（１８）は、ジクザク状に
折曲したフィルタエレメント　（１９）を円筒状に形成
し、その内外両側面を径の異なる一対の円筒状の有孔板
（２０）　（２１）によって被覆すると共に、両端部に
鍔（２２）　（２２）が固着されている。有孔板（２０
）　（２１）としては、パンチングメタル等の多孔金属
板が適当である。

各筒状フィルタ　（１Ｂ）は、互いに隣接する鍔（２２
）　（２２）を円環状のガスケツ）　（２３）を介在さ
せて対向し、＆Ｗ　（２２）　（２２）の周囲を結合部
材（２４）によって締付・保持することにより連結され
いる。最先端の筒状フィルタ　（１８）の先端の開口は
、閉鎖板（２５）をこのフィルタ　（１８）の先端の鍔
（２２）に上記と同様にして締付・保持することにより
閉鎖されている。また、最後端の筒状フィルタ（１８）
の後端の開口は、このフィルタ装置（１７）への空気供
給口であり、たとえばクリーンルーム（１）の送りダク
ト（９）に接続される。この場合、送りダクト（９）の
先端に鍔（２２）と同様の鍔（２６）を取り付けておけ
ば、結合部材（２４）を用いて上記と同様にして接続す
ることができて便利である。

結合部材（２４）としては、対向する二つの鍔（２２）
　（２２）を締付・保持できるものであればよい。

たとえば、一方の鍔（２２）に配した数本のボルトを他
方の鍔（２２）に形成したネジ穴に螺合して締付けるこ
とができる。しかしこの実施例では、筒状フィルタ（１
８）の連結及び離脱が容易に行えるように断面Ｕ字形と
した半円形の部材とされておリ、その一方の側片（２４
ａ）に二本のボルト（２７）（２７）を螺合している。

結合部材（２４）の四部を両方の鍔（２２）　（２２）
の夕（周部に嵌合してポルＩ−（２７）を締付けること
により、両筒状フィルタ　（１Ｂ）（１８）を密封状態
で連結することができる。連結を解除するときは、各ポ
ル）　　（２７）を緩めて結合部材（２４）　（２４）
を鍔（２２）　（２２）より取り外せばよい第４図は、
この発明に係るフィルタ装置（１７）をクリーンルーム
（１）の天井（２）に設置する場合の一実施例を示して
いる。フィルタ装置（１７）は、天井（２）の一部を帯
状に上方に没入させて形成した収容部（２１１＞　　に
その上半分を収容する形で設置され、その後端の開りは
クリーンルーツ、（１）の側壁に近い位置で送りダクＩ
−（９）に接続されている。フィルタ装置（１７）の保
持は、細幅の帯状とした複数の保持部材（２９）によっ
て行われている。これらの保持部材り２９）は、両端を
除いて略円弧状とされ、その一端は蝶番（３ｏ）によっ
て天井（２）に回動自在に取り付けられると共に、他端
はポルｌ−（３１）によって天井（２）に螺着されるよ
うになっている。保持部材（２９）の略中央部には、一
対の断回路り字形の支持突起（３２）　（３２）が形成
されており、これら支持突起（３２）　（３２）がフィ
ルタ装置（１７）の各筒状フィルタ　（１８）の外側面
に当接して支持することになる。従って、筒状フィルタ
　（１８）は直接保持部＋Ａ’　（２９）に接触しない
ので、その側面からの空気の吹出しに及ぼす影響を小さ
くすることができる。

このフィルタ装置（１７）を使用する場合、その開口端
から内部空間（３３）に空気を送り込むと、内側有孔板
（２０）の孔とフィルタエレメント　（１９）を通って
外側有孔板（２１）の孔から放射状に吹き出ることにな
る。従って、フィルタ装置（１７）の全長及び全周にわ
たって空気流の方向と流速分布を一定とすることができ
る。

尚、フィルタ装置（１７）の全長は、設置場所に応して
筒状フィルタ（１８）の連結個数を変えれば、容易に調
整することができる。

〔発明の効果〕

上述の説明から明らか４′ように、この発明のフィルタ
装置（１７）　ｔ；ｔ：、従来のフィルタ装置（３）の
ようにゲージング（１１）内に空間（１６）を設ける必
要がないので、占有スペースを小さくして嵩低とするこ
とができる利点がある。また、複数の筒状フィルタ　（
１８）を連結して製造されるので、製造が容易でニス１
−低減を図ることができると共に、従来のフィルタ装置
（３）のように一つずつ天井（２）に設置する必要がな
く施工が容易となり、クリーンルーム（１）等の設倫費
を低減することができる。

さらに、このフィルタ装置（］７）は、使用場所に応じ
て長さを容易に６Ｐ、１節できるので、クリーンルーム
四）等の内部で連結ダクｌ−（１５）等と接続する必要
がない。従って、清浄化＋ｉｉＪの空気がクリーンルー
ム（１）等の内部に漏れるおそれが非常に少ないという
利点も有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係るフィルタ装置の先端部の一部
断面正面図。第２図は、同後端部の一部断面正面図。第
３図は、このフィルタ装置をクリーンルームの天井に取
り付けた状態の断面図。第４冊は、このフィルタ装置を
用いたクリーンルームの断面説明図。第５図は、従来の
クリーンルームの断面説明図。第６図は従来のフィルタ
装置の断面図。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、両端を開口した筒状フィルタ（１８）を長軸方向に
   複数個連結し、その一端の開口を閉鎖すると共に他端の
   開口を空気の供給口としたことを特徴とするフィルタ装
   置。 ２、筒状フィルタ（１８）が、径の異なる一対の筒状の
   有孔板（２０）（２１）の間に筒状としたフィルタエレ
   メント（１９）を配し、かつ両端に鍔（２２）（２２）
   を固着したものである特許請求の範囲第１項記載のフィ
   ルタ装置。