JPH03141637A - ウェハボート用の搬送治具 - Google Patents
ウェハボート用の搬送治具Info
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- JPH03141637A JPH03141637A JP27731489A JP27731489A JPH03141637A JP H03141637 A JPH03141637 A JP H03141637A JP 27731489 A JP27731489 A JP 27731489A JP 27731489 A JP27731489 A JP 27731489A JP H03141637 A JPH03141637 A JP H03141637A
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- cutout
- holding
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- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 27
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は半導体ウェハをのせたウェハボートを保持し
て炉芯管に出入れするのに用いる搬送治具に関する。
て炉芯管に出入れするのに用いる搬送治具に関する。
従来の技術
従来の搬送治具、すなわちフォークは、第７図に示すよ
うにパイプ部分１に切欠部２を設けてウェハボートの保
持部３を形成したものである。切欠部２は円孤状の部分
と直線状の部分を有する。曲線状の部分は曲げモーメン
トが最大の部分であるので、部分４．５が他の部分より
肉厚になっている。
うにパイプ部分１に切欠部２を設けてウェハボートの保
持部３を形成したものである。切欠部２は円孤状の部分
と直線状の部分を有する。曲線状の部分は曲げモーメン
トが最大の部分であるので、部分４．５が他の部分より
肉厚になっている。
発明が解決しようとする課題
しかしこのように肉厚にしても十分な強度を有していな
い。長時間の使用しているとウェハボート保持部３が想
像線で示すようにたわむという欠点があった。このとき
の先端たわみ量Ｔを小さくしたい。このたわみ量を小さ
くするにはフォーク全体の肉厚を大きくしなければなら
ず、軽量化が図れない。
い。長時間の使用しているとウェハボート保持部３が想
像線で示すようにたわむという欠点があった。このとき
の先端たわみ量Ｔを小さくしたい。このたわみ量を小さ
くするにはフォーク全体の肉厚を大きくしなければなら
ず、軽量化が図れない。
発明の目的
この発明は上記課題を解決し、搬送治具全体の肉厚を増
さなくてもたわみを小さくでき、切欠部の強度を向上で
きるウェハボート用の搬送治具を提供することを目的と
する。
さなくてもたわみを小さくでき、切欠部の強度を向上で
きるウェハボート用の搬送治具を提供することを目的と
する。
発明の要旨
この発明は特許請求の範囲に記載のウェハボート用の搬
送治具を要旨としている。
送治具を要旨としている。
課題を解決するための手段
第１図の実施例１のフォークを参照する。
切穴部１２の直線状の部分はウェハボート保持部１３を
形成している。切欠部１２の円弧状部分に沿って補強板
１４が配置されている。
形成している。切欠部１２の円弧状部分に沿って補強板
１４が配置されている。
第２図の実施例２では補強板２４の他に２つのリブ３０
が設けられている。
が設けられている。
作 用
補強板１４により切欠部１２の円弧状部分が補強され、
発生する最大応力に対応できる。
発生する最大応力に対応できる。
実施例１
第１図に示すフォークは石英ガラスで作られている。フ
ォークはパイプ部分１１と切欠部１２およびウェハボー
ト保持部１３を有している。ウェハボート保持部１３に
ウェハボート（図示せず）を載せるのである。ウェハボ
ート保持部１３は切穴部１２の直線状部分である。
ォークはパイプ部分１１と切欠部１２およびウェハボー
ト保持部１３を有している。ウェハボート保持部１３に
ウェハボート（図示せず）を載せるのである。ウェハボ
ート保持部１３は切穴部１２の直線状部分である。
パイプ部分１１の肉厚は、切欠部１２およびウェハボー
ト保持部１３の肉厚よりも薄くなっている。寸法例を示
せば、パイプ部分１１の厚みｔｌは３ ｍｍで、切欠部
１２の厚みｔ２は８ｍｍで、補強板１４の厚みｔ３は４
．５ｍｍで、ウェハボート保持部１３の厚みｔ４は４．
５ｍｍである。パイプ部分１１は、切欠部１２に固定さ
れている。
ト保持部１３の肉厚よりも薄くなっている。寸法例を示
せば、パイプ部分１１の厚みｔｌは３ ｍｍで、切欠部
１２の厚みｔ２は８ｍｍで、補強板１４の厚みｔ３は４
．５ｍｍで、ウェハボート保持部１３の厚みｔ４は４．
５ｍｍである。パイプ部分１１は、切欠部１２に固定さ
れている。
切欠部１２は縦断面形状がほぼ円弧状の部分と上記直線
状の部分を有する。円弧状の部分には上述の補強板１４
が固定されている。
状の部分を有する。円弧状の部分には上述の補強板１４
が固定されている。
この補強板１４は切欠部１２の上部からウェハボート保
持部１３の内底部に達している。
持部１３の内底部に達している。
このようにすることにより、切欠部１２の円弧状部分の
強度を上げて最大応力が発生しても対応できる。
強度を上げて最大応力が発生しても対応できる。
実施例２
第２図に示すフォークは、石英ガラスで作られている。
フォークはパイプ部分２１と切欠部２２およびウェハボ
ート保持部２３を有している。ウェハボート保持部２３
にウェハボート（図示せず）を載せるのである。
ート保持部２３を有している。ウェハボート保持部２３
にウェハボート（図示せず）を載せるのである。
パイプ部分２１の肉厚は、切欠部２２およびウェハボー
ト保持部２３の肉厚よりもうすくなっている。寸法例を
示せば、パイプ部分２１の厚みｔ６は、３ ｍｍで、切
欠部２２の厚みｔｌは４ ｍｍで、補強板２４の厚みｔ
８は４．５ｍｍで、ウェハボート保持部２３の厚みｔ９
は４．０ｍｍである。さらにリブ３０の厚みｔ は１２
ｍｍで幅ｔ１１（第３図参照）は１０ Ｑ ｍｍである。ｔｌｏはあまり大きくするとつエバボ
ートを保持しずらい。パイプ部分２１は、切欠部２２に
固定、されている。
ト保持部２３の肉厚よりもうすくなっている。寸法例を
示せば、パイプ部分２１の厚みｔ６は、３ ｍｍで、切
欠部２２の厚みｔｌは４ ｍｍで、補強板２４の厚みｔ
８は４．５ｍｍで、ウェハボート保持部２３の厚みｔ９
は４．０ｍｍである。さらにリブ３０の厚みｔ は１２
ｍｍで幅ｔ１１（第３図参照）は１０ Ｑ ｍｍである。ｔｌｏはあまり大きくするとつエバボ
ートを保持しずらい。パイプ部分２１は、切欠部２２に
固定、されている。
切欠部２２のほぼ円弧状部分には補強板２４が設けられ
ている。この補強板２４は切欠部２２の上部からウェハ
ボート保持部２３の内底部に達している。
ている。この補強板２４は切欠部２２の上部からウェハ
ボート保持部２３の内底部に達している。
上記リブ３０は補強板２４の下部から出てウェハボート
保持部２３の先端近くまで達している。このように実施
例２ではリブ３０とさらに補強板２４の両方により補強
しである。
保持部２３の先端近くまで達している。このように実施
例２ではリブ３０とさらに補強板２４の両方により補強
しである。
実施例３と実施例４
第４図の実施例３は第１図の実施例１の補強板１４の中
央に穴４０が設けたものを示している。これは、フォー
クを移載装置（図示せず）に取付ける際に、この穴４０
にレーザー光を通して炉芯管の炉芯に対してフォークの
芯を出すのである。
央に穴４０が設けたものを示している。これは、フォー
クを移載装置（図示せず）に取付ける際に、この穴４０
にレーザー光を通して炉芯管の炉芯に対してフォークの
芯を出すのである。
第５図の実施例４は第２図の実施例２の補強板２４の中
央に穴５０が設けたものを示している。
央に穴５０が設けたものを示している。
表−１を参照する。
表−１には、第６図のようにして、従来例のフォークと
この発明の実施例１と２のフォークの各ウェハボート保
持部に荷重Ｗをかけたときの先端たわみＴと最大発生応
力を示している。
この発明の実施例１と２のフォークの各ウェハボート保
持部に荷重Ｗをかけたときの先端たわみＴと最大発生応
力を示している。
従来のフォークに比べて、実施例１と２のフォークは肉
薄にすることにより重量が軽くなっているにもかかわら
ず先端のたわみＴは小さく最大発生応力も小さくできる
。
薄にすることにより重量が軽くなっているにもかかわら
ず先端のたわみＴは小さく最大発生応力も小さくできる
。
ところでこの発明は上述の実施例に限定されない。
発明の効果
この発明によれば、搬送治具全体の肉厚をさらに大きく
しなくても、最大応力発生部である切欠部の円孤状部分
の強度を向上できる。
しなくても、最大応力発生部である切欠部の円孤状部分
の強度を向上できる。
そしてウェハボートの保持部のたわみを減少でき、ウェ
ハをのせたウェハボートを安定して保持して搬送するこ
とができる。
ハをのせたウェハボートを安定して保持して搬送するこ
とができる。
第１図はこの発明の搬送治具であるフォークの実施例１
を示す断面図、第２図は実施例２の断面図、第３図は実
施例２の正面図、第４図と第５図は実施例３と４を示す
断面図、第６図は荷重をウェハボート保持部にかけた状
態を説明する図、第７図は従来のフォークを示す断面図
である。 １１．２１・・・・・・・・・パイプ部分１２．２２・
・・・・・・・・切欠部 １３．２３・・・・・・・・・ウェハボート保持部１４
．２４・・・・・・・・・補強板
を示す断面図、第２図は実施例２の断面図、第３図は実
施例２の正面図、第４図と第５図は実施例３と４を示す
断面図、第６図は荷重をウェハボート保持部にかけた状
態を説明する図、第７図は従来のフォークを示す断面図
である。 １１．２１・・・・・・・・・パイプ部分１２．２２・
・・・・・・・・切欠部 １３．２３・・・・・・・・・ウェハボート保持部１４
．２４・・・・・・・・・補強板
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 中空状の石英ガラス材料に円孤状及び直線 状をなす切欠部を設けてウェハボートを保持するウェハ
ボート保持部を形成したウェハボート用の搬送治具にお
いて、切欠部の円孤状の部分に沿って補強部材を設けた
ことを特徴とするウェハボート用の搬送治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1277314A JP2601355B2 (ja) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | ウェハボート用の搬送治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1277314A JP2601355B2 (ja) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | ウェハボート用の搬送治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03141637A true JPH03141637A (ja) | 1991-06-17 |
| JP2601355B2 JP2601355B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=17581814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1277314A Expired - Fee Related JP2601355B2 (ja) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | ウェハボート用の搬送治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2601355B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6631934B1 (en) | 2000-06-02 | 2003-10-14 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Silicon carbide cantilever paddle |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55118630A (en) * | 1979-03-03 | 1980-09-11 | Heraeus Schott Quarzschmelze | Quartz glass bellljar container for semiconductor technique |
| JPS5636129A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Hitachi Ltd | Method and device for heat treatment of semiconductor thin plate |
| JPS634343A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-09 | Nec Corp | 評価用マイクロコンピユ−タ |
| JPH01187811A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Tel Sagami Ltd | ソフトランディング装置用搬送治具およびソフトランディング装置 |
| JPH01251713A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
-
1989
- 1989-10-26 JP JP1277314A patent/JP2601355B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55118630A (en) * | 1979-03-03 | 1980-09-11 | Heraeus Schott Quarzschmelze | Quartz glass bellljar container for semiconductor technique |
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| JPS634343A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-09 | Nec Corp | 評価用マイクロコンピユ−タ |
| JPH01187811A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Tel Sagami Ltd | ソフトランディング装置用搬送治具およびソフトランディング装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6631934B1 (en) | 2000-06-02 | 2003-10-14 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Silicon carbide cantilever paddle |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2601355B2 (ja) | 1997-04-16 |
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Legal Events
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