KR960043086A - 피처리체 지지보트 - Google Patents
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- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
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Abstract
보트는, 보트 본체, 보트 본체의 양단에 설치된 천정판 및 바닥판을 구비한다. 보트 본체는, 지지기둥 및 지지기둥에 설치된 지지부를 구비한다. 다수의 지지부는 지지기둥의 길이 방향을 따라 서로 대략 평행하게 설치되어 있다. 지지부는 실질적으로 원호형상이다. 지지부는 전면측에 반출입구가 설치되어 있다. 이 반출입구는 웨이퍼(W)를 반송하는 아암의 선단이 지지부의 내측에 침입가능하도록 하기 위하여 설치되어 있다. 지지부의 배면부에는, 아암의 선단이 관통할 수 있도록 지지기둥의 관통공에 대응하여 개구부가 형성되어 있다. 지지부는 웨이퍼(W)의 가장자리를 그 재치면으로 재치시킴으로서 웨이퍼(W)를 지지한다. 재치면을 가지는 지지부가 대략 원호형상으로 형성되며, 따라서, 재치면도 마찬가지로 대략 원호 형상으로 형성되어 있다. 이에 따라, 재치면은 웨이퍼(W)의 가장 자리를 가능한한 긴 거리를 따라 지지한다. 더욱이, 지지부의 재치면은 그 평면도가 재치면의 전체에 걸쳐 0.1㎜ 이하로 설정되어 있다. 웨이퍼(W)를 재치면 위에 재치한 경우에 웨이퍼(W)의 가장 자리 뒷면에 재치면과 실질적으로 면끼리 접촉한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 보트의 일실시예를 도시하는 사시도.
Claims (10)
- 바닥판; 상기 바닥판 위에 세워 설치된 지지기둥; 상기 지지기둥의 상단부에 설치된 천정판; 및 상기 지지기둥에 의해 지지되며, 피처리체가 재치되는 재치면을 가지는 지지부, 상기 재치면의 평면도가 0.1㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 피처리체 지지보트.
- 제1항에 있어서, 상기 지지부의 재치면의 형상이 대략 원호 형상인 것을 특징으로 하는 보트.
- 제1항에 있어서, 상기 지지부가 실질적인 고리로서, 상기 고리의 적어도 일부를 절결한 것을 특징으로 하는 보트.
- 제1항에 있어서, 상기 지지부가 실질적인 고리로서, 해당 고리의 일부에 상기 피처리체를 반송하고 한편, 상기 재치면에 재치하는 반송 수단을 상기 고리내로 진입가능하게 하기 위한 개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 보트.
- 제4항에 있어서, 상기 고리의 일부에 상기 반송 수단이 상기 고리를 관통할 수 있도록 하기 위한 다른 개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 보트.
- 제1항에 있어서, 상기 지지기둥가 실질적으로 원통으로서 상기 피처리체를 반송하고, 또한, 상기 재치면에 재치하는 반송 수단을 상기 원통내로 진입 가능하게 하기 위한 개구부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 보트.
- 제6항에 있어서, 상기 원통의 일부에 상기 반송 수단이 상기 고리를 관통할 수 있도록 하기 위한 다른 개구부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 보트.
- 제7항에 있어서, 상기 원통의 일부에 상기 원통의 길이 방향을 따라 슬릿이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 보트.
- 제6항에 있어서, 상기 원통의 내측에 상기 지지부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 보트.
- 제1항에 있어서, 석영 또는 실리콘 카바이트로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 보트.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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