JPH01251713A - 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 - Google Patents
石英ガラス製ウェハボート搬送治具Info
- Publication number
- JPH01251713A JPH01251713A JP7886588A JP7886588A JPH01251713A JP H01251713 A JPH01251713 A JP H01251713A JP 7886588 A JP7886588 A JP 7886588A JP 7886588 A JP7886588 A JP 7886588A JP H01251713 A JPH01251713 A JP H01251713A
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- JP
- Japan
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- wafer boat
- quartz glass
- transfer jig
- jig
- holding section
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- Pending
Links
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 35
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 10
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体ウェハを載置したウェハボートを炉芯管
へ出し入れする際に用いるソフトランディング方式の石
英ガラス製ウェハボート搬送治具の改良に関する。
へ出し入れする際に用いるソフトランディング方式の石
英ガラス製ウェハボート搬送治具の改良に関する。
半導体ウェハを載置したウェハボートを炉芯管へ出し入
れする際には管状又は棒状の耐熱材料に切欠部を設けて
ウェハボート保持部を形成したウェハボート搬送治具が
用いられる。従来、この種のウェハボート搬送治具とし
ては、石英ガラス製や炭化珪素製のものが用いられてい
るが、純度的な観点から石英ガラス製のものが主流であ
る。
れする際には管状又は棒状の耐熱材料に切欠部を設けて
ウェハボート保持部を形成したウェハボート搬送治具が
用いられる。従来、この種のウェハボート搬送治具とし
ては、石英ガラス製や炭化珪素製のものが用いられてい
るが、純度的な観点から石英ガラス製のものが主流であ
る。
ところが、石英ガラス製の搬送治具では使用時に一端を
室温で固定し、他端のウェハボート保持部を高温の炉内
に挿入した状態で搬送治具内に温度勾配が発生すると、
これが原因となって熱的応力が発生し、残留応力として
材質の機械的強度を低下させる。このため、従来の石英
ガラス製ウェハボート搬送治具は折れたり曲がったりす
る欠点があった。この折れや曲がりは、特に曲げ応力が
最も大きくなる部分で発生しやすい。
室温で固定し、他端のウェハボート保持部を高温の炉内
に挿入した状態で搬送治具内に温度勾配が発生すると、
これが原因となって熱的応力が発生し、残留応力として
材質の機械的強度を低下させる。このため、従来の石英
ガラス製ウェハボート搬送治具は折れたり曲がったりす
る欠点があった。この折れや曲がりは、特に曲げ応力が
最も大きくなる部分で発生しやすい。
そこで、従来はウェハボート保持部の曲げ応力が最も大
きくなる部分及びその近傍の下部の肉厚を他の部分より
も厚くするというような補強がなされていた（例えば特
願昭５８−１４１８１４号）。
きくなる部分及びその近傍の下部の肉厚を他の部分より
も厚くするというような補強がなされていた（例えば特
願昭５８−１４１８１４号）。
しかしながら、このような補強を行っても強度が充分と
はいえず、使用時に折れや曲がりが発生していた。
はいえず、使用時に折れや曲がりが発生していた。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
り、高強度の石英ガラス製ウェハボート搬送治具を提供
することを目的とする。
り、高強度の石英ガラス製ウェハボート搬送治具を提供
することを目的とする。
本発明の石英ガラス製ウェハボート搬送治具は、管状又
は棒状の石英ガラスの一端を固定部とし、他端に切欠部
を設けてウェハボート保持部を形成した石英ガラス製ウ
ェハボート搬送治具において、上記ウェハボート保持部
の固定部側から保持部全長の１／４〜１／２の範囲にわ
たって、中立軸より上方の部分を他の部分よりも肉厚に
したことを特徴とするものである。
は棒状の石英ガラスの一端を固定部とし、他端に切欠部
を設けてウェハボート保持部を形成した石英ガラス製ウ
ェハボート搬送治具において、上記ウェハボート保持部
の固定部側から保持部全長の１／４〜１／２の範囲にわ
たって、中立軸より上方の部分を他の部分よりも肉厚に
したことを特徴とするものである。
このような石英ガラス製ウェハボート搬送治具によれば
、中立軸より上方の部分の肉厚を厚くすることにより、
曲げ応力が最も大きくなる部分を効果的に補強すること
ができ、従来よりも強度を向上することができる。
、中立軸より上方の部分の肉厚を厚くすることにより、
曲げ応力が最も大きくなる部分を効果的に補強すること
ができ、従来よりも強度を向上することができる。
本発明において、補強部分の範囲をウェハボート保持部
の固定部側から保持部全長の１７４〜１／２としたのは
以下のような理由による。すなわち。
の固定部側から保持部全長の１７４〜１／２としたのは
以下のような理由による。すなわち。
補強部分の範囲がウェハボート保持部の固定部側から保
持部全長の １八未満では、補強部分よりわずかに先端
側の部分では５曲げモーメントが補強部分と大差ないに
もかかわらず、断面係数が小さくなるため、曲げ応力が
補強部分より大きくなり、安全係数が小さくなるおそれ
がある。一方、補強部分の範囲がウェハボート保持部の
固定部側から保持部全長の１７２を超える場合、曲げ応
力。
持部全長の １八未満では、補強部分よりわずかに先端
側の部分では５曲げモーメントが補強部分と大差ないに
もかかわらず、断面係数が小さくなるため、曲げ応力が
補強部分より大きくなり、安全係数が小さくなるおそれ
がある。一方、補強部分の範囲がウェハボート保持部の
固定部側から保持部全長の１７２を超える場合、曲げ応
力。
安全率の点では問題ないが、自重が増加して取扱いにく
くなるうえ、先端部のたわみ量が若干増加するため、メ
リットがない、結論的には、補強部分の中央部と補強部
分よりわずかに先端側の部分とが同じ強度になるような
長さで肉厚部分を形成するのが理想的な補強の範囲とい
える。
くなるうえ、先端部のたわみ量が若干増加するため、メ
リットがない、結論的には、補強部分の中央部と補強部
分よりわずかに先端側の部分とが同じ強度になるような
長さで肉厚部分を形成するのが理想的な補強の範囲とい
える。
以下１本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図（ａ）は本発明の実施例におけるウェハボート搬
送治具の断面図、同図（ｂ）は平面図、同図（ｃ）は側
面図である。第１図（ａ）〜（ｃ）図示のウェハボート
搬送治具（実施例）は、直径１３０ ａｍ。
送治具の断面図、同図（ｂ）は平面図、同図（ｃ）は側
面図である。第１図（ａ）〜（ｃ）図示のウェハボート
搬送治具（実施例）は、直径１３０ ａｍ。
全長２Ｂ５５層層のガラス管の一端側１１００ｍｍを切
欠いてウェハボート保持部を形成したものである。この
ウェハボート保持部は、その固定部側から先端側に向か
って４５０ ｍ１１１にわたって、中立軸から上方の部
分の肉厚が他の部分より厚くなっている。
欠いてウェハボート保持部を形成したものである。この
ウェハボート保持部は、その固定部側から先端側に向か
って４５０ ｍ１１１にわたって、中立軸から上方の部
分の肉厚が他の部分より厚くなっている。
一方、第２図（ａ）は従来のウェハボート搬送治具の断
面図、同図（ｂ）は側面図である。第２図（ａ）及び（
ｂ）図示のウェハボート搬送治具（比較例）は、第１図
のものと同様に、直径１３０履鳳、全長２８５５膳鵬の
ガラス管の一端側１１００ｍ層を切欠いてウェハボート
保持部を形成したものである。このウェハボート保持部
は、その固定部側から先端側に向かって４５０１１＋１
にわたって、その下部の肉厚が他の部分より厚くなって
いる。
面図、同図（ｂ）は側面図である。第２図（ａ）及び（
ｂ）図示のウェハボート搬送治具（比較例）は、第１図
のものと同様に、直径１３０履鳳、全長２８５５膳鵬の
ガラス管の一端側１１００ｍ層を切欠いてウェハボート
保持部を形成したものである。このウェハボート保持部
は、その固定部側から先端側に向かって４５０１１＋１
にわたって、その下部の肉厚が他の部分より厚くなって
いる。
これらのウェハボート搬送治具について、自重、工地点
（第１図（ａ）参照）又はＩＩ地点（第２図（ａ）参Ｉ
！りにおける断面績、最先端から５００■の地点に１０
ｋｇの荷重をかけたときの工地点又はＩＩ地点における
曲げ応力及び先端部たわみ量を調べた結果を下記第１表
に示す、なお、第１表中の安全率は１石英ガラスの曲げ
強度を５ｋｇ／ｓ層２としたときの（曲げ強度）／（曲
げ応力）の値である。
（第１図（ａ）参照）又はＩＩ地点（第２図（ａ）参Ｉ
！りにおける断面績、最先端から５００■の地点に１０
ｋｇの荷重をかけたときの工地点又はＩＩ地点における
曲げ応力及び先端部たわみ量を調べた結果を下記第１表
に示す、なお、第１表中の安全率は１石英ガラスの曲げ
強度を５ｋｇ／ｓ層２としたときの（曲げ強度）／（曲
げ応力）の値である。
第 １ 表
第１表から明らかなように、第１図（ａ）（実施例）の
Ｉ地点での断面積は、第２図（ａ）（比較例）のＩＩ地
点での断面積よりも小さいにもかかわらず、前者の方が
曲げ応力は小さく、安全率が高くなって高強度を達成で
きていることがわかる。
Ｉ地点での断面積は、第２図（ａ）（比較例）のＩＩ地
点での断面積よりも小さいにもかかわらず、前者の方が
曲げ応力は小さく、安全率が高くなって高強度を達成で
きていることがわかる。
以上詳述したように本発明によれば、曲げ応力が最も大
きくなる部分を効果的に補強することにより、従来より
も高強度の石英ガラス製ウェハボート搬送治具を提供で
きるものである。
きくなる部分を効果的に補強することにより、従来より
も高強度の石英ガラス製ウェハボート搬送治具を提供で
きるものである。
第１図（ａ）は本発明の実施例におけるウェハボート搬
送治具の断面図、同図（ｂ）は平面図、同図（ｃ）は側
面図、第２図（ａ）は従来のウェハボート搬送治具の断
面図、同図（ｂ）は側面図である。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 、８）の （ｂ） （ｃ） 第１図 第 ２ 図
送治具の断面図、同図（ｂ）は平面図、同図（ｃ）は側
面図、第２図（ａ）は従来のウェハボート搬送治具の断
面図、同図（ｂ）は側面図である。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 、８）の （ｂ） （ｃ） 第１図 第 ２ 図
Claims (1)
- 管状又は棒状の石英ガラスの一端を固定部とし、他端
に切欠部を設けてウェハボート保持部を形成した石英ガ
ラス製ウェハボート搬送治具において、上記ウェハボー
ト保持部の固定部側から保持部全長の１／４〜１／２の
範囲にわたって、中立軸より上方の部分を他の部分より
も肉厚にしたことを特徴とする石英ガラス製ウェハボー
ト搬送治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7886588A JPH01251713A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7886588A JPH01251713A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01251713A true JPH01251713A (ja) | 1989-10-06 |
Family
ID=13673718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7886588A Pending JPH01251713A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01251713A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03141637A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-17 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ウェハボート用の搬送治具 |
| US6631934B1 (en) | 2000-06-02 | 2003-10-14 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Silicon carbide cantilever paddle |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6120319A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
| JPS6214734B2 (ja) * | 1982-08-10 | 1987-04-03 | Yoshida Kogyo Kk |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP7886588A patent/JPH01251713A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6214734B2 (ja) * | 1982-08-10 | 1987-04-03 | Yoshida Kogyo Kk | |
| JPS6120319A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03141637A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-17 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ウェハボート用の搬送治具 |
| US6631934B1 (en) | 2000-06-02 | 2003-10-14 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Silicon carbide cantilever paddle |
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