JPH08102446A - ウエハボート - Google Patents
ウエハボートInfo
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- JPH08102446A JPH08102446A JP23676994A JP23676994A JPH08102446A JP H08102446 A JPH08102446 A JP H08102446A JP 23676994 A JP23676994 A JP 23676994A JP 23676994 A JP23676994 A JP 23676994A JP H08102446 A JPH08102446 A JP H08102446A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、ウエハボートの溝付き棒とその両
側の固定板との接合部分における熱応力、或いは横型ウ
エハボートにおけるウエハ積載用の溝棒とセンシング用
棒との間に発生する熱応力を緩和して繰り返し熱処理に
使用しても折損の恐れのないウエハボートを得ようとす
るものである。 【構成】ウエハを載置する複数の溝付き棒と、この溝付
き棒の各両端を固着する円板状の固定板を具備したウエ
ハボートであって、ウエハを載置する溝付き棒がその上
下部の太さを固定板に向けて次第に増大していることを
特徴とする。
側の固定板との接合部分における熱応力、或いは横型ウ
エハボートにおけるウエハ積載用の溝棒とセンシング用
棒との間に発生する熱応力を緩和して繰り返し熱処理に
使用しても折損の恐れのないウエハボートを得ようとす
るものである。 【構成】ウエハを載置する複数の溝付き棒と、この溝付
き棒の各両端を固着する円板状の固定板を具備したウエ
ハボートであって、ウエハを載置する溝付き棒がその上
下部の太さを固定板に向けて次第に増大していることを
特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハの熱処
理用ウエハボートに関し、特に熱応力による折損を防止
するようにしたウエハボートに関するものである。
理用ウエハボートに関し、特に熱応力による折損を防止
するようにしたウエハボートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から使用されている半導体ウエハの
熱処理用ウエハボートには、上下の円板状の固定板の間
にウエハを載置する溝を設けた溝付き棒を複数本固着し
た縦型ウエハボート、また両側に溝付き棒の固定板を設
け、この間にウエハを載置する溝を設けた溝付き棒を固
着した横型ウエハボートが使用されている。そしてこれ
らのウエハボートの材質には、石英ガラス又は炭化珪素
が用いられる。
熱処理用ウエハボートには、上下の円板状の固定板の間
にウエハを載置する溝を設けた溝付き棒を複数本固着し
た縦型ウエハボート、また両側に溝付き棒の固定板を設
け、この間にウエハを載置する溝を設けた溝付き棒を固
着した横型ウエハボートが使用されている。そしてこれ
らのウエハボートの材質には、石英ガラス又は炭化珪素
が用いられる。
【０００３】図２は上記の縦型ウエハボートを示したも
のである。図２で１０，１０は円板状の固定板、１１，
１１……は溝付き棒である。溝付き棒１１，…には、そ
れぞれ内側に長手方向の全長に亘って多数の溝１２，１
２…が多数設けられている。図は溝１２の一部を示し他
は省略したものである。
のである。図２で１０，１０は円板状の固定板、１１，
１１……は溝付き棒である。溝付き棒１１，…には、そ
れぞれ内側に長手方向の全長に亘って多数の溝１２，１
２…が多数設けられている。図は溝１２の一部を示し他
は省略したものである。
【０００４】溝付き棒１１，１１…の上下は、図２に示
すように一方にシリコンウエハの出入口１３を残して、
上下の円板状の固定板１０，１０の周囲に固着されてい
る。この縦型ウエハボートでは、出口１３から図示しな
い円板状のウエハが挿入され、４本の溝付き棒１１，１
１…の夫々の同じ高さの溝１２，１２，…に挿入されて
収納され、その状態で炉に入れ熱処理される。
すように一方にシリコンウエハの出入口１３を残して、
上下の円板状の固定板１０，１０の周囲に固着されてい
る。この縦型ウエハボートでは、出口１３から図示しな
い円板状のウエハが挿入され、４本の溝付き棒１１，１
１…の夫々の同じ高さの溝１２，１２，…に挿入されて
収納され、その状態で炉に入れ熱処理される。
【０００５】しかしながら、こうした従来のウエハボー
トで熱処理を繰り返し行っていると、溝付き棒１１，１
１が均一の太さである上に、これが円板状の固定板１
０，１０に当接して接合されているめに、溝付き棒１
１，１１…の端部に熱応力が集中し、ここにマイクロク
ラックが発生し、やがて破損する恐れが恐れがあった。
そのために、ウエハボートの溝付き棒の上記接合部での
熱応力を緩和してこうした事故を未然に防ぐことが要請
されていた。
トで熱処理を繰り返し行っていると、溝付き棒１１，１
１が均一の太さである上に、これが円板状の固定板１
０，１０に当接して接合されているめに、溝付き棒１
１，１１…の端部に熱応力が集中し、ここにマイクロク
ラックが発生し、やがて破損する恐れが恐れがあった。
そのために、ウエハボートの溝付き棒の上記接合部での
熱応力を緩和してこうした事故を未然に防ぐことが要請
されていた。
【０００６】図３及び図４は横型ウエハボートを示した
ものである。横型ウエハボートは、図に示されているよ
うに両側に設けた溝付き棒の固定板１４の間に、溝１５
を設けた外側の溝付き棒１６，１６を上部に，また同様
の図示しない溝を付けた内側の溝付き棒１７，１７を下
部に固着したもので、これらの溝付き棒１６及び１７の
溝の上に多数のウエハを横並びに載置するものである。
この横型ウエハボートには、ウエハの位置決めを行うた
めに、石英ガラスのセンシング用棒１８，１８をウエハ
積載用の溝付き棒に接合することが普通に行われてい
る。なお、図３において２０はセンシング用棒に所定の
間隔で設けられている支柱である。
ものである。横型ウエハボートは、図に示されているよ
うに両側に設けた溝付き棒の固定板１４の間に、溝１５
を設けた外側の溝付き棒１６，１６を上部に，また同様
の図示しない溝を付けた内側の溝付き棒１７，１７を下
部に固着したもので、これらの溝付き棒１６及び１７の
溝の上に多数のウエハを横並びに載置するものである。
この横型ウエハボートには、ウエハの位置決めを行うた
めに、石英ガラスのセンシング用棒１８，１８をウエハ
積載用の溝付き棒に接合することが普通に行われてい
る。なお、図３において２０はセンシング用棒に所定の
間隔で設けられている支柱である。
【０００７】このセンシング用棒１８は、ウエハの自動
移動載置を可能とするためのもので、レーザー光による
位置決め用スリット１９を加工したものが通常使用され
ている。 こうしたセンシング用棒１８を設置した横型
ウエハボートは、これを特に熱容量の大きな炭化珪素な
どのフォークに載置して炉内に出入した場合、フォーク
との間に温度差を生じてセンシング用棒の端部に熱応力
の集中を生じ、ここにクラックが発生し破損する恐れが
生じていていた。
移動載置を可能とするためのもので、レーザー光による
位置決め用スリット１９を加工したものが通常使用され
ている。 こうしたセンシング用棒１８を設置した横型
ウエハボートは、これを特に熱容量の大きな炭化珪素な
どのフォークに載置して炉内に出入した場合、フォーク
との間に温度差を生じてセンシング用棒の端部に熱応力
の集中を生じ、ここにクラックが発生し破損する恐れが
生じていていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、ウエハボ
ートの溝付き棒とその上下の固定板との接合部分におけ
る熱応力、或いは横型ウエハボートにおけるセンシング
用棒に発生する熱応力を緩和して繰り返し熱処理に使用
しても破損の恐れのないウエハボートを得ようとするも
のである。
ートの溝付き棒とその上下の固定板との接合部分におけ
る熱応力、或いは横型ウエハボートにおけるセンシング
用棒に発生する熱応力を緩和して繰り返し熱処理に使用
しても破損の恐れのないウエハボートを得ようとするも
のである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、ウエハを載
置する複数の溝付き棒と、これらの溝付き棒の各両端を
固着する円板状の固定板を具備したウエハボートであっ
て、ウエハを載置する溝付き棒がその上下部でその太さ
を固定板に向けて次第に増大していることを特徴とする
ウエハボート（請求項１）、ウエハを載置する複数の溝
付き棒と、これらの溝付き棒の両端を固着する溝付き棒
の固定板と、溝付き棒に沿って設けられかつ所定の間隔
でスリットを設けたセンシング用棒とを具備した横型ウ
エハボートであって、センシング用棒の端部を溝付き棒
の固定板に向けて徐々に細くし、しかもその先端を溝付
き棒の固定板から離間したことを特徴とするウエハボー
ト（請求項２）、ウエハを載置する複数の溝付き棒と、
これらの溝付き棒の両端を固着する溝付き棒の固定板
と、溝付き棒に沿って設けられかつ所定の間隔でスリッ
トを設けたセンシング用棒を具備した横型ウエハボート
であって、センシング用棒の端を溝付き棒の固定板から
離間したことを特徴とするウエハボート（請求項３）、
ウエハを載置する複数の溝付き棒と、これらの溝付き棒
の両端を固着する溝付き棒の固定板と、溝付き棒に沿っ
て設けられかつ所定の間隔でスリットを設けたセンシン
グ用棒を具備した横型ウエハボートであって、センシン
グ用棒をスリット部で切断し、かつこの各々のセンシン
グ用棒を互いに離間して保持棒で溝付き棒に接合したこ
とを特徴とするウエハボート（請求項４）である。以下
に、これらの発明を説明する。
置する複数の溝付き棒と、これらの溝付き棒の各両端を
固着する円板状の固定板を具備したウエハボートであっ
て、ウエハを載置する溝付き棒がその上下部でその太さ
を固定板に向けて次第に増大していることを特徴とする
ウエハボート（請求項１）、ウエハを載置する複数の溝
付き棒と、これらの溝付き棒の両端を固着する溝付き棒
の固定板と、溝付き棒に沿って設けられかつ所定の間隔
でスリットを設けたセンシング用棒とを具備した横型ウ
エハボートであって、センシング用棒の端部を溝付き棒
の固定板に向けて徐々に細くし、しかもその先端を溝付
き棒の固定板から離間したことを特徴とするウエハボー
ト（請求項２）、ウエハを載置する複数の溝付き棒と、
これらの溝付き棒の両端を固着する溝付き棒の固定板
と、溝付き棒に沿って設けられかつ所定の間隔でスリッ
トを設けたセンシング用棒を具備した横型ウエハボート
であって、センシング用棒の端を溝付き棒の固定板から
離間したことを特徴とするウエハボート（請求項３）、
ウエハを載置する複数の溝付き棒と、これらの溝付き棒
の両端を固着する溝付き棒の固定板と、溝付き棒に沿っ
て設けられかつ所定の間隔でスリットを設けたセンシン
グ用棒を具備した横型ウエハボートであって、センシン
グ用棒をスリット部で切断し、かつこの各々のセンシン
グ用棒を互いに離間して保持棒で溝付き棒に接合したこ
とを特徴とするウエハボート（請求項４）である。以下
に、これらの発明を説明する。
【００１０】図１はこの発明の実施例になる縦型のウエ
ハボートの斜視図である。図１で１は円板状の固定板、
２，２…，は溝付き棒である。溝付き棒２，２には、そ
れぞれ内側に長手方向の全長に亘って多数の溝３，３…
が多数設けられている。図１では溝３の一部を示し他は
省略したものである。溝付き棒２の上下は、図に示した
ように一方にシリコンウエハの出入口４を設けるように
して、円板状の固定板１，１の周囲に固着されている。
４本の溝付き棒２，２…の夫々に設けられている溝３，
３…は同じ高さに位置するように設けられ、ここにシリ
コンウエハを挿入したときシリコンウエハが水平に保持
されるようにする。
ハボートの斜視図である。図１で１は円板状の固定板、
２，２…，は溝付き棒である。溝付き棒２，２には、そ
れぞれ内側に長手方向の全長に亘って多数の溝３，３…
が多数設けられている。図１では溝３の一部を示し他は
省略したものである。溝付き棒２の上下は、図に示した
ように一方にシリコンウエハの出入口４を設けるように
して、円板状の固定板１，１の周囲に固着されている。
４本の溝付き棒２，２…の夫々に設けられている溝３，
３…は同じ高さに位置するように設けられ、ここにシリ
コンウエハを挿入したときシリコンウエハが水平に保持
されるようにする。
【００１１】さらに、溝付き棒２，２…の上下部５，５
の太さを固定板に向けて次第に増大するようにしたもの
である。これによって溝付き棒２，２…と円板状の固定
板の接合部の熱応力を緩和しようとしするものである。
の太さを固定板に向けて次第に増大するようにしたもの
である。これによって溝付き棒２，２…と円板状の固定
板の接合部の熱応力を緩和しようとしするものである。
【００１２】即ち、図２に示すような従来の縦型ウエハ
ボートでは、溝付き棒１１，１１…は均一の太さで、し
かもその上下で急激な形状変化を伴って固定板と接合し
ているので、その上下部に熱応力が集中すると、この部
分で損傷する恐れがあった。しかるに、これを図１に示
す本願発明のように、溝付き棒２，２の端部である上下
部５，５の太さを固定板１，１に向けて次第に増大する
ようにすると、溝付き棒２，２の端部はこの部分で太く
強度が大きいので、ここに熱応力が集中してもクラック
が発生して破損するようなことは回避される。なお、上
記の説明では縦型ウエハボートを例に説明したが、同様
な構成の横型ウエハボートでも同様の効果が得られる。
ボートでは、溝付き棒１１，１１…は均一の太さで、し
かもその上下で急激な形状変化を伴って固定板と接合し
ているので、その上下部に熱応力が集中すると、この部
分で損傷する恐れがあった。しかるに、これを図１に示
す本願発明のように、溝付き棒２，２の端部である上下
部５，５の太さを固定板１，１に向けて次第に増大する
ようにすると、溝付き棒２，２の端部はこの部分で太く
強度が大きいので、ここに熱応力が集中してもクラック
が発生して破損するようなことは回避される。なお、上
記の説明では縦型ウエハボートを例に説明したが、同様
な構成の横型ウエハボートでも同様の効果が得られる。
【００１３】横型のウエハボートについては図３及び図
４に従来のものを示した。図３及び図４で、１４は溝付
き棒の固定板、１５は溝、１６は溝付き棒（外側）、１
７は溝付き棒（内側）、１８はセンシング用棒、１９は
スリット、２０は支柱である。これを改良した本願発明
のウエハボートについては図５〜図８に示した。なお、
図５〜図８で、同じ部材は図３及び図４と同じ符号で示
した。
４に従来のものを示した。図３及び図４で、１４は溝付
き棒の固定板、１５は溝、１６は溝付き棒（外側）、１
７は溝付き棒（内側）、１８はセンシング用棒、１９は
スリット、２０は支柱である。これを改良した本願発明
のウエハボートについては図５〜図８に示した。なお、
図５〜図８で、同じ部材は図３及び図４と同じ符号で示
した。
【００１４】本発明の横型ウエハボートは、いずれも従
来の横型ウエハボート（図３及び図４）のセンシング用
棒を改良して熱応力を緩和した横型ウエハボートであ
る。まず、図５はこの発明の１実施例になる横型ウエハ
ボートであって、センシング用棒２１に改良を加えたも
のであり、その他は図３及び図４に示すものと同様であ
る。ここでのセンシング用棒２１は、その一端２２を溝
付き棒の固定板１４に向けて徐々に細くし、しかも先端
が溝付き棒の固定板１４から離間したものである。これ
によってセンシング用棒２１と溝付き棒の固定板１４と
の接合部での熱応力の集中を従来のもより大幅に低減で
きるようになる。
来の横型ウエハボート（図３及び図４）のセンシング用
棒を改良して熱応力を緩和した横型ウエハボートであ
る。まず、図５はこの発明の１実施例になる横型ウエハ
ボートであって、センシング用棒２１に改良を加えたも
のであり、その他は図３及び図４に示すものと同様であ
る。ここでのセンシング用棒２１は、その一端２２を溝
付き棒の固定板１４に向けて徐々に細くし、しかも先端
が溝付き棒の固定板１４から離間したものである。これ
によってセンシング用棒２１と溝付き棒の固定板１４と
の接合部での熱応力の集中を従来のもより大幅に低減で
きるようになる。
【００１５】また図６は、センシング用棒２３と溝付き
棒の固定板１４とを単に離間させたもので、そのように
してもその接合部での熱応力の集中を緩和することが出
来る。さらに図７は、センシング用棒２４をそのスリッ
ト２５で切断したもので構成し、そのセンシング用棒２
４の各々を、溝付き棒１５に接合した保持棒２６で支持
するようにしたものである。図８は図７に示す横型ウエ
ハボートの側面図である。これによれば、センシング用
棒２４の熱応力の集中は小さくでき、繰り返し熱処理に
使用しても破損するようなことを回避できる。
棒の固定板１４とを単に離間させたもので、そのように
してもその接合部での熱応力の集中を緩和することが出
来る。さらに図７は、センシング用棒２４をそのスリッ
ト２５で切断したもので構成し、そのセンシング用棒２
４の各々を、溝付き棒１５に接合した保持棒２６で支持
するようにしたものである。図８は図７に示す横型ウエ
ハボートの側面図である。これによれば、センシング用
棒２４の熱応力の集中は小さくでき、繰り返し熱処理に
使用しても破損するようなことを回避できる。
【００１６】次に、従来のウエハボートとこの発明の一
実施例になるウエハボートをそれぞれフォ−クの上に載
置して、これを炉内に出し入れを行った場合の熱応力の
緩和ついて説明する。図９は、センシング用棒の端が固
定板１４に密接し、図３に示すものと実質的に同じの従
来のウエハボートをフォ−ク２７に載置して炉内に出し
入れする状態を示したものである。同１０は図９の側面
図である。図９及び図１０に示されているような従来の
ウエハボートでは、フォ−ク２７の温度が低いのでフォ
−ク２７に近接しているセンシング用棒１８は温度が上
がりにくく、センシング用棒１８と固定板２４との接合
部で熱応力を生じ破損が生じやすい。
実施例になるウエハボートをそれぞれフォ−クの上に載
置して、これを炉内に出し入れを行った場合の熱応力の
緩和ついて説明する。図９は、センシング用棒の端が固
定板１４に密接し、図３に示すものと実質的に同じの従
来のウエハボートをフォ−ク２７に載置して炉内に出し
入れする状態を示したものである。同１０は図９の側面
図である。図９及び図１０に示されているような従来の
ウエハボートでは、フォ−ク２７の温度が低いのでフォ
−ク２７に近接しているセンシング用棒１８は温度が上
がりにくく、センシング用棒１８と固定板２４との接合
部で熱応力を生じ破損が生じやすい。
【００１７】一方、図１１に示す本願発明のウエハボー
トでは、これをフォ−ク２７に載置して炉内に出し入れ
を行っても、部分的に切断されたセンシング棒がそれぞ
れ膨脹収縮を行って、それぞれの熱応力を吸収すること
ができる。
トでは、これをフォ−ク２７に載置して炉内に出し入れ
を行っても、部分的に切断されたセンシング棒がそれぞ
れ膨脹収縮を行って、それぞれの熱応力を吸収すること
ができる。
【００１８】
【作用】この発明は、ウエハボートの溝付き棒の両側部
の太さを固定板に向けて次第に増大させ、この部分での
強度を大きくしたのでここに熱応力が集中してもクラッ
クが発生し破損の恐れがないようにしたものである。ま
た、この発明は、横型ウエハボートのセンシング用棒を
溝付き棒の固定板側に向けて徐々に細くするとか、或い
はセンシング用棒の固定板から離間するとか、更にはス
リット部で切断したセンシング用棒を用いるなどによっ
て、センシング用棒に生じる熱応力を緩和するようにし
たものである。
の太さを固定板に向けて次第に増大させ、この部分での
強度を大きくしたのでここに熱応力が集中してもクラッ
クが発生し破損の恐れがないようにしたものである。ま
た、この発明は、横型ウエハボートのセンシング用棒を
溝付き棒の固定板側に向けて徐々に細くするとか、或い
はセンシング用棒の固定板から離間するとか、更にはス
リット部で切断したセンシング用棒を用いるなどによっ
て、センシング用棒に生じる熱応力を緩和するようにし
たものである。
【００１９】
（実施例１）図１に示す本発明の実施例になる縦型ウエ
ハボートと図２に示す従来のウエハボートを用いて、１
０００℃の熱サイクルを繰り返し、溝付き棒の接合部の
破損に至るまでの回数を求めた。その結果を表１に示し
た。溝付き棒のサイズ、断面係数については表１に示し
た。なお、破壊に必要な応力は、曲げモーメント／断面
係数で算出されるので、曲げモーメントが一定の場合に
は断面係数の大きい方が強度的に大となる。
ハボートと図２に示す従来のウエハボートを用いて、１
０００℃の熱サイクルを繰り返し、溝付き棒の接合部の
破損に至るまでの回数を求めた。その結果を表１に示し
た。溝付き棒のサイズ、断面係数については表１に示し
た。なお、破壊に必要な応力は、曲げモーメント／断面
係数で算出されるので、曲げモーメントが一定の場合に
は断面係数の大きい方が強度的に大となる。
【００２０】
【表１】
【００２１】（実施例２）図３に示す従来の横型ウエハ
ボートと、図５に示すセンシング用棒の一方の端部を溝
付き棒の固定板に向けて徐々に細くし、しかもその先端
を固定板から離間した横型ウエハボートを、それぞれフ
ォークに載置し９００℃の炉内に、挿入速度１００mm／
min ，搬出速度１００min ／min で出し入れを行った。
フォークは石英ガラス製とＳｉＣ製の２種のものを用い
て行った。横型ボートが破損に至るまでの回数を求め、
これを表２に示した。
ボートと、図５に示すセンシング用棒の一方の端部を溝
付き棒の固定板に向けて徐々に細くし、しかもその先端
を固定板から離間した横型ウエハボートを、それぞれフ
ォークに載置し９００℃の炉内に、挿入速度１００mm／
min ，搬出速度１００min ／min で出し入れを行った。
フォークは石英ガラス製とＳｉＣ製の２種のものを用い
て行った。横型ボートが破損に至るまでの回数を求め、
これを表２に示した。
【００２２】
【表２】
【００２３】（実施例３）図３に示す従来の横型ウエハ
ボートと、図６に示すセンシング用棒の端を溝付き棒の
固定板から離間した横型ウエハボートを、それぞれフォ
ークに載置し９００℃の炉内に、挿入速度１００mm／mi
n ，搬出速度１００min ／min で出し入れを行った。フ
ォークはＳｉＣ製のものを用いて行った。横型ボートが
破損に至るまでの回数を求めた。また、溝付き棒とセン
シング棒との温度差をサーモグラフィーにより測定し
た。これらの結果を表３に示した。
ボートと、図６に示すセンシング用棒の端を溝付き棒の
固定板から離間した横型ウエハボートを、それぞれフォ
ークに載置し９００℃の炉内に、挿入速度１００mm／mi
n ，搬出速度１００min ／min で出し入れを行った。フ
ォークはＳｉＣ製のものを用いて行った。横型ボートが
破損に至るまでの回数を求めた。また、溝付き棒とセン
シング棒との温度差をサーモグラフィーにより測定し
た。これらの結果を表３に示した。
【００２４】
【表３】
【００２５】（実施例４）図３に示す従来の横型ウエハ
ボートと、図７に示すようにセンシング用棒をスリット
部で切断し、かつこの各々のセンシング用棒を互いに離
間して保持棒で溝付き棒に接合した横型ウエハボートに
ついて、それぞれフォークに載置し９００℃の炉内に、
挿入速度１００mm／min ，搬出速度１００min ／min で
出し入れを行った。フォークはＳｉＣ製のものを用い、
横型ボートが破損に至るまでの回数を求めた。これらの
結果を表４に示した。
ボートと、図７に示すようにセンシング用棒をスリット
部で切断し、かつこの各々のセンシング用棒を互いに離
間して保持棒で溝付き棒に接合した横型ウエハボートに
ついて、それぞれフォークに載置し９００℃の炉内に、
挿入速度１００mm／min ，搬出速度１００min ／min で
出し入れを行った。フォークはＳｉＣ製のものを用い、
横型ボートが破損に至るまでの回数を求めた。これらの
結果を表４に示した。
【００２６】
【表４】
【００２７】
【発明の効果】以上の通り、この発明によれば縦型ウエ
ハボート或いは横型ウエハボートにおいて熱応力を緩和
できる形状としたので、これをウエハの熱処理に多数回
繰り返し使用しても溝付き棒の接合部又はセンサー用棒
の部分で破損することを大幅に低減させることが出来る
ようになった。
ハボート或いは横型ウエハボートにおいて熱応力を緩和
できる形状としたので、これをウエハの熱処理に多数回
繰り返し使用しても溝付き棒の接合部又はセンサー用棒
の部分で破損することを大幅に低減させることが出来る
ようになった。
【図１】この発明の実施例になる縦型ウエハボートの斜
視図。
視図。
【図２】従来の縦型ウエハボートの斜視図。
【図３】従来の横型ウエハボートの正面図。
【図４】図３に示す横型ウエハボートの側面図。
【図５】この発明の１実施例の横型ウエハボートの正面
図。
図。
【図６】この発明の他の実施例の横型ウエハボートの正
面図。
面図。
【図７】この発明の他の実施例の横型ウエハボートの正
面図。
面図。
【図８】図７に示す横型ウエハボートの側面図。
【図９】フォークに載置された従来の横型ウエハボート
の正面図。
の正面図。
【図１０】図９に示すフォークに載置された横型ウエハ
ボートの正面図。
ボートの正面図。
【図１１】フォークに載置されたこの発明の１実施例の
横型ウエハボートの正面図。
横型ウエハボートの正面図。
【図１２】図１０に示すフォークに載置された横型ウエ
ハボートの側面図。
ハボートの側面図。
１…固定板、２…溝付き棒、３…溝、５…溝付き棒の
上，下部、１４…溝付き棒の固定板、１５…溝，１６…
溝付き棒（外側），１７……溝付き棒（内側）、１８，
２１，２３，２４…センサー棒、１９，２５…スリッ
ト，２６…保持棒、２７…フォーク。
上，下部、１４…溝付き棒の固定板、１５…溝，１６…
溝付き棒（外側），１７……溝付き棒（内側）、１８，
２１，２３，２４…センサー棒、１９，２５…スリッ
ト，２６…保持棒、２７…フォーク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｖ // Ｂ６５Ｄ 85/86 (72)発明者 清野 勝 山形県西置賜郡小国町大字小国町378番地 東芝セラミックス株式会社小国製造所内 (72)発明者 渡部 義之 山形県西置賜郡小国町大字小国町378番地 東芝セラミックス株式会社小国製造所内
Claims (4)
- 【請求項１】 ウエハを載置する複数の溝付き棒と、こ
れらの溝付き棒の各両端を固着する円板状の固定板を具
備したウエハボートであって、ウエハを載置する溝付き
棒がその上下部でその太さを固定板に向けて次第に増大
していることを特徴とするウエハボート。 - 【請求項２】 ウエハを載置する複数の溝付き棒と、こ
れらの溝付き棒の両端を固着する溝付き棒の固定板と、
溝付き棒に沿って設けられかつ所定の間隔でスリットを
設けたセンシング用棒とを具備した横型ウエハボートで
あって、センシング用棒の端部を溝付き棒の固定板に向
けて徐々に細くし、しかもその先端を溝付き棒の固定板
から離間したことを特徴とするウエハボート。 - 【請求項３】 ウエハを載置する複数の溝付き棒と、こ
れらの溝付き棒の両端を固着する溝付き棒の固定板と、
溝付き棒に沿って設けられかつ所定の間隔でスリットを
設けたセンシング用棒を具備した横型ウエハボートであ
って、センシング用棒の端を溝付き棒の固定板から離間
したことを特徴とするウエハボート。 - 【請求項４】 ウエハを載置する複数の溝付き棒と、こ
れらの溝付き棒の両端を固着する溝付き棒の固定板と、
溝付き棒に沿って設けられかつ所定の間隔でスリットを
設けたセンシング用棒を具備した横型ウエハボートであ
って、センシング用棒をスリット部で切断し、かつこの
各々のセンシング用棒を互いに離間して保持棒で溝付き
棒に接合したことを特徴とするウエハボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23676994A JP3650423B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | ウエハボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23676994A JP3650423B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | ウエハボート |
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|---|---|
| JPH08102446A true JPH08102446A (ja) | 1996-04-16 |
| JP3650423B2 JP3650423B2 (ja) | 2005-05-18 |
Family
ID=17005527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23676994A Expired - Lifetime JP3650423B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | ウエハボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3650423B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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- 1994-09-30 JP JP23676994A patent/JP3650423B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| KR101463785B1 (ko) * | 2006-06-02 | 2014-11-20 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 | 필렛 반경 조인트를 가진 장치 |
| JP2015070046A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 株式会社日立国際電気 | 基板保持具 |
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| JP3650423B2 (ja) | 2005-05-18 |
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