JP3332168B2

JP3332168B2 - 縦型ボート及びその製造方法

Info

Publication number: JP3332168B2
Application number: JP34106092A
Authority: JP
Inventors: 辰雄野沢; 豊石塚; 義之渡部; 勝清野; 秀夫中西; 隆田中
Original assignee: 東芝セラミックス株式会社
Priority date: 1992-11-30
Filing date: 1992-11-30
Publication date: 2002-10-07
Anticipated expiration: 2017-10-07
Also published as: JPH06169010A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、複数の支持部材を縦
方向に配列して、それらの支持部材に所定の間隔で形成
された複数のスリットにそれぞれ複数の半導体ウエハを
積載するための縦型ボート及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハの酸化・拡散処理工程で
は、多数の半導体ウエハをウエハ用ボートに積載して、
そのままウエハ用ボートを拡散炉内部に搬入して、そこ
で所望の熱処理を行う。

【０００３】拡散炉の種類に応じて縦型ボートを使用し
たり、横型ボートを使用したりしている。

【０００４】従来の縦型ボートは、複数のウエハを水平
又はそれよりも少し傾斜した状態に支持するために複数
（例えば４本）の棒形状の支持部材が縦方向に配列され
ている。それらの支持部材には所定の間隔で複数のスリ
ットが形成されている。それらの複数のスリットにそれ
ぞれ複数の半導体ウエハを積載する。

【０００５】従来の縦型ボートは、通常、全ての支持部
材が同一断面形状の棒材であった。例えば、断面形状は
円形や四角形などであった。このような断面形状の棒材
に形成されたスリットは、その奥底がウエハの外周に沿
ったアーク形状となっていて、ウエハに接触する面が小
さく、かつウエハの外周に沿っていた。換言すれば、ス
リットによって形成された支持面のウエハ円周方向の幅
が小さかった。

【０００６】一方、大型のウエハの荷重応力を緩和させ
る手段として実開昭６２ー１２８６３３号のように円弧
状板を支持棒に固定した形状が提案されているが、面精
度を出すのが困難で高価となる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ボートは、支持部材が
棒形状であっても板形状であっても支持部材によってウ
エハを支持した状態で熱処理時に高温にさらされる。す
ると、従来の縦型ボートは、ウエハ外周縁部を支持する
ものであるため、特にウエハが大きな寸法のものになる
につれて、ウエハはその重量で撓み量が増大する。その
結果、ウエハが変形したりスリップしたりして、いわゆ
る結晶転移が発生し、製品歩留まりに悪い影響を及ぼ
す。

【０００８】さらに、支持部材の支持面がウエハの外周
縁部のみと接触していると、特定の支持部材に荷重応力
が集中する。そのため、特にウエハが大きな寸法のもの
になるにつれて、スリップの発生頻度が増加する。

【０００９】ウエハをボートに出し入れするために、ウ
エハの挿入始端側に位置する１対の支持部材の間隔をウ
エハの外径よりも大きくしていた。そのため、ウエハを
ボートの所定位置に積載した状態で、ウエハの挿入始端
側に位置する支持部材の前方端と、ウエハの中心と、ウ
エハの挿入方向とのなす角度が９０度を僅かに（例えば
数度）越す構造にするのがせいぜいであるが、その様な
ものであると、ウエハの重心がウエハの挿入始端側に位
置する対向する２つの支持部材の前方端間又はその近傍
に位置することになり、ウエハの挿入始端側に位置する
支持部材に荷重負担が偏ってしまう。例えば、ウエハの
挿入始端側に位置する１対の支持部材に７０〜９０％の
荷重応力が負荷される。

【００１０】また、熱処理時にボートの支持部材の支持
部分とウエハとの温度差による熱応力も複合的に加わっ
て、特にウエハが大きな寸法のものになるにつれて、ス
リップの発生頻度が増加する。

【００１１】ウエハを熱処理するに際しては、拡散炉か
らの熱の伝達は輻射あるいは伝熱によるが、棒形状の支
持部材に所定の間隔で形成された複数のスリット（溝）
のところからのウエハへの伝熱もあり、局部的なウエハ
内部の温度分布の要因となっている。ウエハ自重及び熱
的温度分布による熱応力が、ウエハの挿入始端側に位置
する対向する１対の支持部材でのウエハのスリップ転移
の原因となり、ウエハの熱処理歩留を低下させていた。

【００１２】この発明は、このような従来技術の欠点を
解消して、大きな寸法のウエハを積載して熱処理をして
もスリップが生じないとともに、ウエハの撓み量を小さ
くできる縦型ボートを提供することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の解決手段を例示
すると、請求項１に記載の縦型ボートと、請求項２に記
載の縦型ボートの製造方法である。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態によれ
ば、複数の支持部材を縦方向に配列して、それらの支持
部材に所定の間隔で形成された複数のスリットにそれぞ
れ複数の半導体ウエハを配置するための縦型ボートにお
いて、支持部材の支持部分に支持突起を設けて、該支持
突起がウエハの外周縁部を超えて中央寄りの所定領域に
配置されている。

【００１５】本発明の別の実施形態によれば、複数の支
持部材を縦方向に配列して、それらの支持部材に所定の
間隔で形成された複数のスリットにそれぞれ複数の半導
体ウエハを配置するための縦型ボートの製造方法におい
て、わん曲した板（たとえばパイプに近い形状やそれに
少し似た「Ｊ」字、「Ｕ」字、「Ｃ」字のような断面形
状を有する板の形状あるいは「へ」や「く」の字、
「Ｌ」字、「Ｖ」字、「Ｙ」字のように角度たとえば４
５°〜１５０°を有する板）の幅方向に板の両側端面の
間で（つまり両側に達しないように）板の幅の約２／３
以上にわたって第１スリットを形成し、その後、板の一
方の側端面（つまり片側から）から第１スリットに達す
るように第２スリットを形成することにより、その第２
スリットのところに狭い面積の支持突起を形成する。他
方の側端面の部分は支柱として機能する。

【００１６】

【発明の効果】この発明の縦型ボートによれば、ウエハ
の撓み、反り、スリップ発生を低減する効果がある。と
くにスリップ発生の抑制効果は非常に大きい。この発明
の縦型ボートを使用すれば、製品の歩留及び信頼性の向
上と、熱処理工程の時間短縮が実現できる。さらに詳細
に述べると、支持突起がウエハの外周縁部を超えてウエ
ハの中央寄りの部分を支持するので、熱処理時に被熱処
理物であるウエハの外周縁部に支持部材の支持部分が接
触しない。その結果、ウエハ外周縁部を支持する従来の
縦型ボートにみられた欠点が解消される。例えば、半導
体ウエハをボートの所定位置に積載した状態で、ウエハ
の重心がウエハの挿入始端側に位置する対向する２つの
支持部材の支持部分間から相当に挿入側に位置するの
で、ウエハの挿入始端側に位置する支持部材への荷重負
担が軽減される。換言すれば、全ての支持部材に荷重が
適当に分散されるのである。それゆえウエハがスリップ
を起こす危険が確実に回避される。

【００１７】また、この発明の縦型ボートによれば、支
持突起がウエハの外周縁部を超えてウエハの中央寄りの
部分を支持するので、ウエハの外周縁部を支持する従来
例に比較して、ウエハの重量による撓み量を抑制する。
この効果は特にウエハが大きな寸法のものになるにつれ
て顕著になる。その結果、ウエハが変形したりスリップ
したりして結晶転移が発生することが防止でき、製品歩
留まりが向上する。

【００１８】さらに、支持突起がウエハの外周縁部を超
えてウエハの中央寄りの部分を支持するので、棒形状の
支持部材に形成された複数の溝のところからのウエハへ
の伝熱がなくなり、局部的なウエハ内部の温度分布が極
力押えられ、熱処理時にボートの支持部材の支持部分と
ウエハの外周部分との温度差による熱応力の発生が効果
的に抑制される。したがって、ウエハ自重及び熱的温度
分布による熱応力が原因となるウエハのスリップ転移が
なくなり、ウエハの熱処理歩留まりが向上する。

【００１９】この発明の製造方法によれば、前述のよう
に顕著な効果を奏する縦型ボートを極めて容易にかつ高
い精度で作ることができる。特に高精度のスリット幅及
びスリット間隔を有する縦型ボートを多量生産するとき
に、この発明の製造方法は抜群の効果を発揮する。

【００２０】さらに、好ましくは、従来の縦型ボートと
比較して、支持部材の断面係数を大きくすることにより
強度を向上させる。好ましい断面係数の範囲は０．３〜
３．０cm³（特に好ましくは０．５〜２．５cm³）であ
る。

【００２１】

【実施例】図１〜７はこの発明の第１実施例による縦型
ボートを示しており、図８はこの発明の第２実施例によ
る縦型ボートを示している。いずれの実施例において
も、縦型ボートは、多数のウエハ１を積載するものであ
り、上下一対の板状固定手段２の間に３本以上（代表的
には４本）の支持部材３、４、１０４が縦方向に配列さ
れている。それらの支持部材３、４、１０４に所定の間
隔で縦方向に沿って形成された複数のスリット７、８、
１０８にそれぞれ複数のウエハ１を積載するようになっ
ている。支持部材３、４、１０４は、いずれも細長い板
の形状をしている。

【００２２】スリット７、８、１０８が板状支持部材
３、４、１０４の幅の約２／３以上（好ましくは３／４
以上）にわたって切り込んで形成してある。しかも、ス
リット７、８、１０８によって画成された支持部分の所
定部分（例えば先端部分）に狭い面積の支持突起１１、
１２、１１２を設けて、支持突起１１、１２、１１２が
ウエハ１の外周縁部を超えてウエハ１の中央寄りの部分
を支持するようになっている。例えば、これらの支持突
起１１、１２、１１２によるウエハ１の支持ポイントが
ウエハ１の中心１ａから同心円状に配置され、しかもウ
エハ１の半径の５０〜９０％の領域Ｐに来てウエハ１の
外周縁部を超えてウエハ１の中央寄りの部分を支持する
ように配置するのが好ましい。

【００２３】板状支持部材３、４、１０４はいろいろな
板形状が採用できるが、図１〜７に示された第１実施例
の縦型ボートにおいては、板状支持部材３、４は円管の
一部分を切断した断面アーク形状又は円弧形状のものが
使用されている。この他の非直線状のものとしては
「く」の字、「Ｌ」字、「Ｊ」字、ブーメラン形、その
他のわん曲数面形状のものが好ましい。厚みを先にいく
にしたがって少しずつ細くすることもできる。図８の実
施例においては、支持部材１０４は、全体が円菅になっ
た板形状である。これらの板状支持部材３、４、１０４
は、図示しなかった形状を含めて、いろいろと組み合わ
せて使用できる。

【００２４】支持突起を設けることにより、ウエハ外周
縁部での支持接触を避け、ウエハ外周縁部での応力集中
及びボートからの熱伝導を避けることができる。

【００２５】支持突起の高さはウエハ外周縁部が触れな
い程度で良いが、ガス置換を考えると０．３〜３ｍｍ程
高い方が望ましい。更に図に示すように複数の第１スリ
ットを設けることによりボートからウエハへの熱伝導
と、ウエハと支持部分間のガス滞留を防ぐことができ
る。

【００２６】ウエハ支持位置はウエハのたわみ量および
荷重応力の少ない位置が望ましい。

【００２７】ボートの材質は、石英ガラス、炭化珪素、
炭素、単結晶、多結晶シリコン、Ｓｉ含浸炭化珪素等が
挙げられ、純度、耐熱性、耐腐食性の高いものが望まし
い。石英ガラスの場合、溶接が容易であるが、他の材質
の場合は組立式も考えられる。

【００２８】また、図示した実施例では４本の支持部材
が使用されているが、本発明はこれに限定されない。

【００２９】以下、第１および第２の実施例の各々を詳
細に説明する。

【００３０】図１〜７の第１実施例まず、図１〜７に示された第１実施例の縦型ボートを説
明すると、この第１実施例においては、曲率の異なる２
種類の断面半円弧状の板状支持部材３、４が使用されて
いる。ウエハ１の挿入始端側に位置する２つの対向する
支持部材３は、曲率の大きい断面半円弧状の板状支持部
材であり、多数のスリット７が所定の間隔Ｄ１（図４〜
５）ごとに板状支持部材３の幅の約５／６まで切り込ん
で形成してある。スリット７によって画成された支持部
分の先端部に狭い面積（例えば１０〜１５０ｍｍ²）の
支持突起１１を設けて、支持突起１１がウエハ１の外周
縁部を超えてウエハ１の中央寄りの部分Ｐを支持するよ
うになっている。

【００３１】他方、ウエハ１の挿入後端側に位置する２
つの対向する支持部材４は、曲率の小さい断面半円弧状
の板状支持部材であり、多数のスリット８が所定の間隔
Ｄ２（図６〜７）ごとに板状支持部材３の幅の約４／５
まで切り込んで形成してある。スリット７によって画成
された支持部分の先端部分に狭い面積（例えば１０〜５
０ｍｍ²）の支持突起１２を設けて、支持突起１２がウ
エハ１の外周縁部を超えてウエハ１の中央寄りの部分Ｐ
を支持するようになっている。

【００３２】前述のスリット７、８は、それぞれ幅の比
較的広い第１スリット７ａ、７ｂと、幅の比較的狭い第
２スリット７ｂ、８ｂとからなる。

【００３３】好ましくは、ウエハ１をボートの所定位置
に積載した状態で、前述の支持突起１１、１２によるウ
エハ１の支持ポイントは、ウエハ１の中心１ａから同心
円状に配置される。しかも、その同心円はウエハ１の半
径の５０〜９０％（さらに望ましくは６５〜８５％）の
領域Ｐに来るようにし、ウエハ１の支持ポイントが全て
ウエハ１の外周縁部を超えるように配置するのが好まし
い。

【００３４】また、これらの支持突起１１、１２による
ウエハ１の支持ポイントの好ましい配置方法あるいは分
配方法を述べると、ウエハ１の挿入始端側に位置する支
持部材３の突起１１と、ウエハ１の中心１ａと、ウエハ
１の挿入方向Ｘとのなす角度Ａが約７５〜１８０度（好
ましくは９５〜１４０度）になるように配置する。他
方、ウエハ１の挿入後端側に位置する２つの対向する支
持部材４の突起１２と、ウエハ１の中心１ａと、ウエハ
１の挿入方向Ｘとのなす角度Ｂが約３０〜１２０度（好
ましくは３０〜８０度）になるように配置する。

【００３５】これとは違った支持ポイントの配置方法あ
るいは分配方法の考え方を採用して、ウエハ１をボート
の所定位置に積載した状態で、ウエハ１の挿入始端側に
位置する２本の支持部材３の突起１１と、他方の、ウエ
ハ１の挿入後端側に位置する２つの対向する２本の支持
部材４の突起１２とが、ウエハ１の中心１ａを通りかつ
ウエハ１の挿入方向Ｘと平行な線Ｍに対して線対称にな
っていると共に、ウエハ１の中心１ａを通りかつウエハ
１の挿入方向Ｘと直角方向の線Ｎに対しても線対称にな
っていると、すべての支持ポイントに等しい荷重がかか
り、４本の突起の荷重バランスが良好になる。

【００３６】図１〜７の実施例で使用されている支持部
材３の製造方法の一例を説明すると、まず図４に示すよ
うに、曲率の大きい断面半円弧状の板状支持部材３を得
るように円菅を所定の幅に切断する。例えば、外径Ｒ１
が４０ｍｍで、内径Ｒ２が３４ｍｍである円菅を切断し
て、中心Ｏ１と断面半円弧状の板状支持部材３の両側端
との成す角度が約１００度になるようにする。続いて、
このような断面半円弧状の板状支持部材３に所定の間隔
Ｄ１（例えば１２．７ｍｍ）毎に幅Ｗ１（例えば７ｍ
ｍ）を有しかつ中心Ｏ１からの角度６０〜８０度（図４
における距離Ｌ１、例えば３０ｍｍに相当する角度）の
範囲にわたって第１スリット７ａをレーザー加工機、高
圧ジェット流、フライス、旋盤、ダイヤモンドカッター
等の手段を使って開ける。そのとき、断面半円弧状の板
状支持部材３の一方の側端面３ａのところに中心Ｏ１か
ら数度の残部３ｂを残す。他端側の残部３ｃは支柱とし
て機能する。

【００３７】次は、その板状支持部材３の残部３ｂに側
端面３ａから第１スリット７ａまで幅Ｗ２（例えば３．
２ｍｍ）の第２スリット７ｂをダイヤモンドカッターで
切り込むことにより、図５に示すようにウエハ支持部分
の先端部に狭い面積のウエハ用の支持突起１１を形成す
る。突起１１の高さＨは、例えば１．９ｍｍである。

【００３８】次は、図１〜７の実施例で使用されている
曲率の小さい方の断面半円弧状の板状支持部材４の製造
方法の一例を説明する。まず曲率の小さい円菅を所定の
幅に切断する。例えば、外径Ｒ３が１７．５ｍｍで、内
径Ｒ４が１０ｍｍである円菅を切断して、中心Ｏ２と断
面半円弧状の板状支持部材４の両側端との成す角度が約
２２５度になるようにする。続いて、前述の断面半円弧
状の板状支持部材３に設定した所定の間隔Ｄ１（例えば
１２．７ｍｍ）に合わせて、このような断面半円弧状の
板状支持部材４に所定の間隔Ｄ２（例えば１２．７ｍ
ｍ）毎に幅Ｗ３（例えば７ｍｍ）及び中心Ｏ２からの角
度１８０度の第１スリット８ａをレーザー加工機、高圧
ジェット流、フライス、旋盤、ダイヤモンドカッター等
の手段を使って開ける。そのとき、両方の側端に中心Ｏ
２から見て約２０度の残部４ｂと約４０度の残部４ｃが
残る。次に、約２０度の方の残部４ｂに断面半円弧状の
板状支持部材４の側端面４ａから第１スリット８ａまで
幅Ｗ４（例えば３．２ｍｍ）の第２スリット８ｂをダイ
ヤモンドカッターで切り込むことにより、図７に示すよ
うにウエハ支持部分の先端部分に狭い面積のウエハ用の
支持突起１２を形成する。突起１２の高さは、例えば
１．９ｍｍであり、突起１２の幅Ｗ５は、例えば約３ｍ
ｍである。

【００３９】断面半円弧状の板状支持部材３、４の４本
はスリット７、８を含めてウエハ１の挿入方向Ｘに対し
て線対称に配置されている。ただし、この発明は、その
ような配置例に限定されるものではない。

【００４０】図８の第２実施例図８は、この発明の第２実施例を示している。

【００４１】４本の断面円管状の支持部材１０４を縦方
向に互いに平行に配置している。これらの支持部材１０
４の上方端部と下方端部にはそれぞれ図１の実施例と同
様に固定手段が設けられているが、図示を省略してい
る。これらの支持部材１０４は同一直径のものを使用し
てもよいが、ウエハ１の挿入始端側に位置する２本の対
向する支持部材１０４は、ウエハ１の通路を確保するた
めに大きな直径のものを使用し、ウエハ１の挿入後端側
に位置する２本の対向する支持部材１０４は、できるだ
け軽量化を図るために小さな直径のものを使用する。機
械的強度を考慮して厚みの異なる板状支持部材１０４を
使用してもよい。いずれにしても、支持部材１０４は数
面係数０．３〜３．０cm³（好ましくは０．５〜２．５
cm³）のものを使用する。

【００４２】両支持部材１０４には所定の同一間隔で複
数のスリット１０８を形成する。例えば、まずウエハ１
の挿入始端側に位置する２つの対向する支持部材は、多
数の第１スリットを所定の間隔ごとに円管状支持部材５
の両側からそれぞれ幅の約２／３まで切り込んで形成す
る。他方、ウエハ１の挿入後端側に位置する２つの対向
する支持部材にも、多数の第１スリットを前述のウエハ
１の挿入始端側に位置する２つの対向する支持部材１０
４と同一のやり方で支持部材の両側から幅の約３／４ま
で切り込んで形成する。そのとき２か所に残部を残す。
次に、各々の支持部材の一方の端面から第１スリットま
で所定の幅（例えば３．２ｍｍ）の第２スリットをダイ
ヤモンドカッターで切り込むことにより、ウエハ支持部
分の先端部に狭い面積のウエハ用の支持突起１１２を形
成する。突起１１２の高さは、例えば１．９ｍｍであ
り、突起１２の幅は、例えば約３ｍｍである。

【００４３】これらのスリット１０８によって画成され
た支持部分の先端部に狭い面積（例えば５〜５０ｍ
ｍ²）の支持突起１１２がウエハ１の外周縁部を超えて
ウエハ１の中央寄りの部分を支持するように構成する。
好ましくは、ウエハ１をボートの所定位置に積載した状
態で、前述の支持突起１１２によるウエハ１の支持ポイ
ントは、ウエハ１の中心１ａから同心円状に配置され、
その同心円はウエハ１の半径の５０〜９０％の領域Ｐに
来るようにし、ウエハ１の支持ポイントが全てウエハ１
の外周縁部を超えるように配置する。

【００４４】また、これらの支持突起１１２によるウエ
ハ１の支持ポイントの好ましい配置方法あるいは分配方
法は、前述の図１〜７の第１実施例と同様である。

【００４５】なお、図１〜７の実施例でも、また図８の
実施例でも、支持部材の製造方法において、第１スリッ
トを形成した後、全ての支持部材を固定手段に固定し、
その後で、第２スリットを形成すると、加工面積が少な
くなり又、後で加工する為にスリット全体の精度が向上
する。

【００４６】また、第１スリット形成後にＳｉを含浸し
て、そのあと第２スリットを形成することも好ましい。

【００４７】図１〜７に示した直径８インチウエハ用縦
型ボートをシリコン単結晶より作製して特性を測定し
た。

【００４８】表１に示すウエハのたわみ量は、計算機に
よるシミュレーションとレーザマイクロ計による測定で
求めたものである。支持部材を４本使った従来の対応す
るタイプのボートが３０μｍ以上たわむのに対し、本発
明品では５μｍ以下であり、たわみ量が大幅に少ないこ
とが分かった。

【００４９】また、熱処理を行い、ウエハそり、スリッ
プ発生具合も調べた。表２に１０００℃、１００時間酸
化後のウエハそり量をレーザマイクロ計で測定した結果
を示す。

【００５０】また、表３に熱処理後のスリップ発生具合
を示す。いずれも本発明により、改善されているのが分
かる。

【００５１】このように、本発明品は従来のボートと比
較してウエハのたわみ、そりおよびスリップ発生の低減
に効果が認められた。特にスリップ発生の抑制効果は大
きく、突起を有することによってボート支柱との接触を
避けたことが大きな要因となっている。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例による縦型ボートの概略
を示す、図２のＩーＩ線に沿った断面図。

【図２】図１の縦型ボートの概略を示す正面図。上方領
域と下方領域のスリットのみが代表的に示してあるだけ
で、中間領域のスリットは図の簡略を図るために省略し
てある。

【図３】図１の縦型ボートの概略を示す左側面図。図２
と同様に、上方領域と下方領域のスリットのみが代表的
に示してあるだけで、中間領域のスリットは図の簡略を
図るために省略してある。

【図４】図１の縦型ボートの曲率の大きい支持部材の製
造過程を示す図であり、（Ａ）は支持部材の一部を
（Ｂ）の左側から見た図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＩＶ
ーＩＶ線に沿った断面図である。

【図５】図１の縦型ボートの支持部材を示す図であり、
（Ａ）は支持部材の一部を（Ｂ）の左側から見た図であ
り、（Ｂ）は（Ａ）のＶーＶ線に沿った断面図である。

【図６】図１の縦型ボートの曲率の小さい支持部材の製
造過程を示す図であり、（Ａ）は支持部材の一部を
（Ｂ）の左側から見た図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＶＩ
ーＶＩ線に沿った断面図である。

【図７】図１の縦型ボートの曲率の小さい支持部材を示
す図であり、（Ａ）は支持部材の一部を（Ｂ）の左側か
ら見た図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＶＩＩーＶＩＩ線に
沿った断面図である。

【図８】この発明の第２実施例による縦型ボートの一部
を示す、図１の該当部分の図に対応する断面図。

【符号の説明】

１ウエハ１ａウエハの中心３、４、１０４支持部材７、８、１０８スリット７ａ、８ａ第１スリット７ｂ、８ｂ第２スリット１１、１２、１１２支持突起 ◆

【表１】

【表２】

【表３】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者清野勝山形県西置賜郡小国町大字小国町378番地東芝セラミックス株式会社小国製造所内 (72)発明者中西秀夫神奈川県秦野市曽屋30番地東芝セラミックス株式会社開発研究所内 (72)発明者田中隆神奈川県秦野市曽屋30番地東芝セラミックス株式会社開発研究所内審査官柴沼雅樹 (56)参考文献特開平１−272112（ＪＰ，Ａ) 特開昭60−257132（ＪＰ，Ａ) 実開昭55−29518（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/22

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体ウエハの挿入始端側に位置する２
本の支持部材と、半導体ウエハの挿入後端側に位置する
２本の支持部材とを縦方向に配列して、それらの４本の
支持部材に所定の間隔で形成された複数のスリットにそ
れぞれ複数の半導体ウエハを積載するための縦型ボート
において、いずれの支持部材も支持部分に支持突起を有し、該支持
突起がウエハの半径の５０％の同心円及び９０％の同心
円の間の環状スペースに位置し、半導体ウエハの挿入始端側に位置する２本の支持部材の
支持突起が、ウエハの中心とウエハ挿入方向とのなす角
度が挿入方向の左右線対称に３０〜８０度となるように
配置されており、かつ、半導体ウエハの挿入後端側に位
置する２本の支持部材の支持突起が、ウエハの中心とウ
エハ挿入方向とのなす角度が９５〜１４０度となるよう
に配置されていることを特徴とする縦型ボート。
【請求項２】複数の支持部材を縦方向に配置して、そ
れらの支持部材に所定の間隔で形成された複数のスリッ
トにそれぞれ複数の半導体ウエハを配置するための縦型
ボートの製造方法において、１対の側端面を有する板の
幅方向に板の幅の約２／３以上にわたって両方の側端部
に達しないように第１スリットを形成し、その後、板の
一方の側端面から第１スリットに連通するように第２ス
リットを形成することにより支持部分の先端部分に支持
突起を形成することを特徴とする縦型ボートの製造方
法。