JPH113865A

JPH113865A - ウエハー積載用ボート及びその製造方法

Info

Publication number: JPH113865A
Application number: JP28518597A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Minagawa; 和弘皆川; Atsushi Sano; 淳佐野
Original assignee: Sumitomo Metal Industries Ltd
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 1997-04-15
Filing date: 1997-10-17
Publication date: 1999-01-06

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成で、しかも重量増を抑えつつ、１
２インチのような大口径ウエハーの場合でも、スリップ
や撓みの発生を可及的に防止する。【解決手段】縦型の熱処理炉に用いられるウエハー積
載用ボートである。２本で対をなす梁１１を１組あるい
は複数組、支柱１２の長手方向に所要の間隔を存して多
数、水平保持させ、これら対をなす梁１１でウエハー２
を線支持する構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特に大口径の半導
体ウエハー（以下、単に「ウエハー」という）を熱処理
する際に使用するウエハー積載用ボート及びこのウエハ
ー積載用ボートの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】酸化処理や拡散処理等の高温熱処理を行
う場合に用いられる炉は、ウエハーの大口径化に伴っ
て、縦型が主流となってきた。その理由としては、ウエ
ハー搬送システムの自動化対応、クリーンルーム内での
スペースファクターの減少、炉内の均熱性の確保、ガス
の巻き込みの減少等が挙げられる。

【０００３】そして、上記の縦型炉に用いられるウエハ
ーボートは、例えば図１５に示すように、４本の支持部
材１を、これら支持部材１で保持するウエハー２の周縁
に配しながら、これら４本の支持部材１の上下端を、支
持部材１と同一の材料で製作された天板及び底板により
固定するように一体成形した構造である。

【０００４】しかしながら、このような構造のウエハー
ボートでウエハー２を支持して熱処理を行った場合に
は、ウエハー２の挿入側（図１５における紙面上側）に
おける２つの支持部材１ａの、特にウエハー挿入側端縁
にウエハー２の重量が集中するので、例えば１２インチ
ウエハーのような大口径のウエハー２を支持した場合に
は、スリップ（結晶欠陥，転位）の発生は避けられない
という問題があった。

【０００５】そこで、大口径ウエハーに対応した縦型の
ウエハーボートとして、以下のような提案がなされてい
る。例えば、特開平６−１６８９０３号では、図１６に
示すように、ウエハー２の挿入側（図１６における紙面
上側）の支持部材１ａを断面アーク状として、支持部材
１の先端とウエハー挿入方向のなす角θ₁，θ₂を１０
０度以上としたウエハーボートが提案されている。

【０００６】また、特開平５−１１４６４５号では、図
１７に示すように、複数の支柱３と天板４及び底板５か
らなり、ウエハー２の移載用アームのために、凹状に切
り欠いた部分（以下、「切欠部」という）６ａを有する
ウエハー保持用支持板６を前記支柱３に取り付けたウエ
ハーボートが提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前記特開平６−１６８
９０３号で提案されたものは、支持部材１ａをウエハー
２の挿入側に張り出させることにより、ウエハー２の重
量を４本の支持部材１，１ａに可及的に均等に分散させ
ようとしている。しかし、ウエハー２の重量をいかに均
等に分散させたとしても、１２インチのような大口径の
ウエハー２に対しては不十分である。加えて、特開平６
−１６８９０３号で提案されたものでは、ウエハー２の
中心部を支持していないので、中心部に向かって撓みが
生じ、スリップが発生したり、自動搬送システムが誤動
作する原因となるという問題もある。

【０００８】また、特開平５−１１４６４５号で提案さ
れたものは、ウエハー２を支持板６で面支持するため、
スリップや撓みの問題は少ないが、ウエハー２の一枚毎
に支持板６が必要であること、支持板６には切欠部６ａ
が必要になるので構造が複雑となること、等の理由によ
りウエハーボートの重量が増加して、熱応答性の低下や
ハンドリングの問題が生じる。加えて、コストアップの
要因ともなる。

【０００９】本発明は、上記した従来の問題点に鑑みて
なされたものであり、簡単な構成で、しかも重量増を抑
えつつ、１２インチのような大口径ウエハーの場合で
も、スリップや撓みの発生を可及的に防止できるウエハ
ー積載用ボート及びこのウエハー積載用ボートを簡略に
製造する方法を提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明のウエハー積載用ボートは、２本で対を
なす梁を１組あるいは複数組、支柱の長手方向に所要の
間隔を存して多数、水平保持させることとしている。そ
して、このような１組あるいは複数組の対をなす２本の
梁によりウエハーは線支持され、撓みと応力集中が可及
的に抑制される。

【００１１】また、本発明のウエハー積載用ボートの製
造方法は、少なくとも、天板ブロックと、櫛型ブロック
と、平板ブロックと、底板ブロックを製作した後、これ
らの各ブロックを組立て、その後、櫛型ブロックに接合
した平板ブロックを、櫛型ブロックの長手方向に所要の
間隔を存して切断し、ウエハーを支持する梁を形成する
こととしている。そして、このようにすることで、精度
を必要とする最終的な機械加工が平板ブロックだけです
み、機械加工に要する時間が大幅に短縮できる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明のウエハー積載用ボート
は、縦型の熱処理炉に用いられるウエハー積載用ボート
であって、２本で対をなす梁を１組あるいは複数組、支
柱の長手方向に所要の間隔を存して多数、水平保持させ
たものである。

【００１３】本発明のウエハー積載用ボートにおいて、
２本の梁１１は、支柱１２に水平保持できれば、図１や
図２（ａ）（ｂ）に示すように左右に配置した支柱１２
に接続部材１３を介して支持したものでも、また、図２
（ｃ）（ｄ）に示すように、接続部材１３を介在させ
ず、支柱１２に片持ち支持させたものでも良い。この図
２（ｃ）（ｄ）に示すものでは、左右の支柱１２が不要
となるので、熱処理時におけるウエハー２の均熱性が良
くなる。

【００１４】また、本発明のウエハー積載用ボートにお
いて、対をなす２本の梁１１は、図１や図２（ａ）〜
（ｃ）に示すように、平行に配置することが、ウエハー
２を支持する際の対称性や撓みの低減には好ましいが、
例えば図２（ｄ）に示すように、Ｖ字型に配置したもの
でも良い。対をなす２本の梁１１を平行に配置する場
合、これらの梁１１の間隔Ｄは特に限定されるものでは
ないが、支持するウエハー２の直径の１／３〜２／３が
好ましい。１／３未満であると、ウエハー移載用アーム
が挿入しにくくなると共に、接続部材１３の長さが長く
なって、梁１１の保持強度が弱くなるからである。ま
た、２／３を超えると、ウエハー２の中心における撓み
が大きくなって結晶欠陥が発生するからである。

【００１５】また、本発明のウエハー積載用ボートにお
いて、対をなす２本の梁１１の長さＬは、支持位置によ
っても異なるが、応力集中の抑制という点からは、ウエ
ハー２を完全に支持できる長さを有することが好まし
い。また、梁１１の径は、梁１１の材質，断面形状、あ
るいはウエハー２の直径，重量によっても異なるが、例
えば円形の場合にはφ３〜φ１５ｍｍが好ましい。φ３
ｍｍ未満であれば、強度が弱くなって、図２（ｃ）
（ｄ）に示すように、支柱１２に片持ち支持させた場合
に、ウエハー２の重量で折損するおそれがあるからであ
る。また、φ１５ｍｍを超えると、重量が増加してハン
ドリング性や応答性が悪くなり、かつ、ウエハー２の支
持数が減少するからである。

【００１６】また、本発明のウエハー積載用ボートにお
いて、対をなす２本の梁１１の断面形状は、三角，四
角，六角等の多角形、円、楕円等が採用できるが、製造
が簡単で、かつウエハーに疵を付けないためには、円形
が好ましい。但し、多角形の場合には、頂角部にはアー
ルをつけておくことで対処できる。また、重量軽減と熱
応答性の向上を図るために、中空の梁を使用しても良
い。また、本発明のウエハー積載用ボートにおいて、対
をなす２本の梁１１は、図１や図２（ａ）（ｃ）（ｄ）
に示すように１組であっても、また、図２（ｂ）に示す
ように２組であっても、また、３組以上であっても良
い。

【００１７】本発明のウエハー積載用ボートによれば、
１組あるいは複数組の対をなす２本の梁によってウエハ
ーを線支持するので、可及的に応力集中を抑制すること
ができる。また、ウエハー移載用アームの挿入空間も容
易に確保できる。さらに、２本の梁の間隔を適宜調整す
ることで、ウエハーの撓みを極力抑制することができ
る。

【００１８】上記した本発明のウエハー積載用ボートの
うち、接続部材を介して梁を支持するものにあっては、
ウエハー積載用ボートを構成する、少なくとも、天板ブ
ロックと、支柱と接続部材を構成する櫛型ブロックと、
この櫛型ブロックと接合され後に梁となされる平板ブロ
ックと、底板ブロックを製作した後、これらの各ブロッ
クを組立て、その後、櫛型ブロックに接合した平板ブロ
ックを、櫛型ブロックの長手方向に所要の間隔を存して
切断し、ウエハーを支持する梁を形成すれば、精度を必
要とする最終的な機械加工は、平板ブロックのみについ
て行えば良くなるので、機械加工に要する時間を大幅に
短縮できる。

【００１９】本発明方法によって製造するウエハー積載
用ボートの素材は、Ｓｉ含浸ＳｉＣや、これにＳｉＣの
ＣＶＤコートをしたものなどのＳｉＣ質材料に限らず、
石英などであっても良い。また、本発明の製造方法にお
いて、ＳｉＣ質材料のウエハー積載用ボートを構成する
元のブロックの製造方法は、鋳込み成形、プレス成形、
ＣＩＰ成形などの従来より用いられるいずれの成形方法
で製作しても良い。

【００２０】

【実施例】以下、本発明のウエハー積載用ボート及び製
造方法を図１〜図１１に示す実施例に基づいて説明す
る。図１は本発明のウエハー積載用ボートの第１及び第
２実施例を示す概略説明図で、（ａ）は第１実施例を平
面方向から見た図、（ｂ）は第２実施例を平面方向から
見た図、（ｃ）は第１実施例を正面方向から見た図、図
２（ａ）〜（ｄ）は本発明のウエハー積載用ボートの第
３〜６実施例を平面方向から見た概略説明図、図３は図
１（ａ）に示す第１実施例の製造方法の一例を説明する
図、図４は図２（ｃ）に示す第５実施例の製造方法の一
例を説明する図、図５〜図９は本発明の製造方法を順を
追って示す図で、図５（ａ）は天板ブロックを、（ｂ）
は櫛型ブロックを、（ｃ）は平板ブロックを、（ｄ）は
底板ブロックを、（ｅ）は支柱ブロックを示し、図６は
櫛型ブロックと平板ブロックを接合した状態を示す図
で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、図７は各ブロッ
クを組立てた状態を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ断面図、図８は櫛型
ブロックと平板ブロックを接合した後に、平板ブロック
を切断する際の説明図で、（ａ）は切断前、（ｂ）は切
断後を示す図、図９は本発明の製造方法により製造した
本発明のウエハー積載用ボートの第２実施例を示す図
で、（ａ）は（ｂ）のＢ- Ｂ断面図、（ｂ）は平面図、
（ｃ）は底面図、図１０は図１（ｂ）に示す第２実施例
にウエハーの受け座や受けピンを設けた例を示した図、
図１１は図１（ｂ）に示す第２実施例において、梁がウ
エハーより短い場合に、ボートの天板から底板にかけて
位置決め用の支柱を設けた例を示した図である。

【００２１】図１及び図２において、１１は例えば一辺
又は直径が６ｍｍの梁であり、２本で対を成している。
そして、これらの対をなす梁１１は、例えば断面が四角
形又は円形の支柱１２の長手方向に所要の間隔を存して
多数、水平状に保持される。これらの対をなす梁１１
は、例えば図１（ａ）に示す第１実施例では、断面が四
角形のものを、それぞれ反挿入側（図１（ａ）における
紙面上側）の支柱１２に一端側を取り付けると共に、中
間部分を、両側に配置した支柱１２に取り付けた接続部
材１３で平行に保持したものを、また、図１（ｂ）に示
す第２実施例では、前記した第１実施例と同じ梁１１の
中間部分を、両側に配置した支柱１２に取り付けた接続
部材１３で平行に保持したものを示している。なお、図
１（ａ）（ｂ）に示す第１，２実施例では、その頂角部
にアールをつけたものを示しており、梁１１におけるウ
エハー２の載置部の高さ位置は、接続部材１３の上面位
置よりも若干高い位置となっている。

【００２２】また、図２（ａ）に示す第３実施例では、
対をなす梁１１は、それぞれの両側に２個づつ配置した
断面が円形の支柱１２に取り付けた接続部材１３で、中
間部分を保持したものを示している。また、図２（ｂ）
に示す第４実施例では、対をなす梁１１は、それぞれの
両側に配置した断面が四角形の支柱１２に取り付けた接
続部材１３で、中間部分を保持したものを２組配置した
ものを示している。この第３，４実施例も、前記した第
１，２実施例と同様に、対をなす梁１１を平行に配置し
たものを示している。

【００２３】また、図２（ｃ）（ｄ）に示す第５，６実
施例では、対をなす梁１１は、反挿入側（図２（ｂ）
（ｃ）における紙面上側）に立設した断面が円形の支柱
１２に、一端側を取り付けて片持ち状に支持したものを
示している。この第５実施例も、前記した第１〜４実施
例と同様に、対をなす梁１１を平行に配置したものを示
しているが、第６実施例ではＶ字型に配置したものを示
している。

【００２４】ところで、前記したように図１や図２
（ａ）〜（ｃ）に示すように、対をなす梁１１を平行に
配置する場合、これら梁１１間の寸法は特に限定される
ものではないが、例えば支持するウエハー２の直径の２
／５程度に設定する。

【００２５】上記したような本発明のウエハー積載用ボ
ートにおいて、梁１１と支柱１２あるいは接続部材１３
との接合方法については，特に限定されない。例えば、
図１に示す第１実施例のようなものであれば、図３に示
すように、Ｔ字状に形成したものに、高さ方向に一定間
隔でスリットを入れることで、支柱１２と梁１１及び接
続部材１３を同時に形成することができる。

【００２６】また、図２（ｃ）に示す第５実施例のよう
なものであれば、図４に示すように、板状の支柱１２の
高さ方向に、例えば梁１１の直径より小径の孔１２ａを
設け、一方、梁１１の前記支柱１２への取り付け側を、
前記孔１２ａに嵌合するように縮径加工すると共に、支
柱１２からはみ出す部分をさらに縮径加工し、このさら
なる縮径加工部１１ａにスナップリング１４を嵌入する
ことで取り付けることができる。

【００２７】次に、本発明方法により、図１（ｂ）に示
す形状のＳｉＣ質材料製の本発明のウエハー積載用ボー
トを製造する場合を図５〜図９を用いて説明する。本発
明方法では、先ず、天板１５を構成する天板ブロック２
１、支柱１２と接続部材１３を構成する櫛型ブロック２
２、梁１１を構成する平板ブロック２３、底板１６構成
する底板ブロック２４、ウエハー２の反挿入側の支柱ブ
ロック２５を鋳込み成形によって製作する（図５参
照）。なお、櫛型ブロック２２の櫛部形状の付与は鋳込
み成形時に行っても良いし、成形後、若しくは櫛型ブロ
ック２２を焼成後に機械加工により行っても良い。

【００２８】次に、図６に示すように、櫛型ブロック２
２の櫛部に平板ブロック２３を接合した後、図７に示す
ように、製品となる形状に組立て及び焼成を行う。

【００２９】焼成後は、Ｓｉを含浸させて製品を強化
し、その後、支柱１２と接続部材１３を構成する櫛型ブ
ロック２２に接合した平板ブロック２３の、図８（ａ）
に二点鎖線でハッチングして示す部分を、図８（ｂ）に
示すように、櫛型ブロック２２の長手方向に所要の間隔
を存して切断加工し、ウエハー２を支持する梁１１を形
成する。

【００３０】以上説明した本発明の製造方法によれば、
精度を必要としない接続部材１３は焼成した状態のまま
で使用でき、Ｓｉ含浸により硬化した、精度を必要とす
るＳｉＣ質材料の最終的な機械加工は、梁１１を形成す
る部分のみを切断加工するだけで良いので、製造に要す
る時間を大幅に短縮することができる。なお、上記した
実施例における反挿入側の支柱１２は、必ずしも必須の
ものではない。

【００３１】ところで、上記した本発明のウエハー積載
用ボートでは、前後方向に均等にウエハーを支持できる
反面、例えば図１（ｂ）や図２（ａ）（ｂ）のように、
ウエハー２の反挿入側に支柱１２がない場合には、ウエ
ハーが梁１１上を滑って、正確な支持位置に載置出来な
い場合が起こる可能性が有る。

【００３２】このような滑りを起こさせないようにする
には、例えば図１０（ａ）に示すように梁１１の両側に
受け座１７を設けたり、図１０（ｂ）に示すように梁１
１の両側に受けピン１８を設けたり、図１０（ｃ）に示
すように梁１１の反挿入側にのみ受け座１７を設ける等
の対策を施せば良い。この場合、受け座１７や受けピン
１８の梁１１からの突出高さは、ウエハー２を固定でき
れば良いので、１ｍｍも有れば十分である。但し、図１
（ａ）や図２（ｃ）（ｄ）、図１０（ｃ）に示すように
梁１１の反挿入側に支柱１２がある場合や、受け座１
７、受けピン１８を設ける場合には、ウエハー２が挿入
側に向かって滑らないように、若干の傾斜を設けておく
ことが望ましい。

【００３３】また、梁１１がウエハー２より短い場合に
は、ボートの天板１５から底板１６にかけて図１１に示
すように、位置決め用の支柱１９を設ければ良い。この
支柱１９には、ウエハー２の荷重が作用する訳ではない
ので、２ｍｍ程度の細いもので十分であり、溝切等も不
要である。この場合にも、前記したように、若干の傾斜
を設けておくことが望ましい。

【００３４】本発明のウエハー積載用ボートは上記した
ような構成であり、次に本発明のウエハー積載用ボート
の効果を確認するために行った実験結果について説明す
る。実験に供したウエハー積載用ボートを図１２〜図１
４に、また、図１２（ａ）〜（ｅ）に示した本発明のウ
エハー積載用ボートの各種寸法を下記表１に示す。な
お、図１３及び図１４には実験に供したウエハー積載用
ボートの各種寸法も併せて示す。

【００３５】そして、これらのウエハー積載用ボート
に、直径が３００ｍｍ、厚さが０．７７５ｍｍの試験用
シリコンウエハー４枚と同寸法同材質のダミーウエハー
５６枚を支持させて、１２００℃の雰囲気内に２時間保
持した後、８℃／分の速度で常温まで冷却した。なお、
前記１２００℃の雰囲気のうち、最初の１時間は０₂雰
囲気で、後の１時間はＮ₂雰囲気であった。ダミーウエ
ハーは繰り返し試験に使用した。スリップの評価は４枚
の試験用シリコンウエハーについてのみ実施した。

【００３６】

【表１】

【００３７】実験結果を下記表２に示すが、この表２よ
り明らかなように、本発明のウエハー積載用ボートを使
用した場合、Ｎｏ１４のみ若干スリップが発生したが、
Ｎｏ１〜Ｎｏ１３及びＮｏ１５はいずれもスリップは発
生しなかった。これに対して、図１３に示す従来のウエ
ハー積載用ボート（従来例１）、及び図１４に示す特開
平６−１６８９０３号で提案されたウエハー積載用ボー
ト（従来例２）を使用した場合には、いずれもスリップ
が発生した。なお、表２には参考として、前記実験に供
したウエハー積載用ボートの最大撓み量と最大主応力の
計算結果も併せて示している。

【００３８】

【表２】

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のウエハー
積載用ボートは、支柱の長手方向に所要の間隔を存して
取り付けた１組あるいは複数組の対をなす２本の梁でウ
エハーを線支持する簡単な構成であるので、重量増加を
抑えつつ、１２インチのような大口径ウエハーを支持す
る場合でも、スリップや撓みの発生を可及的に防止する
ことができる。

【００４０】また、本発明のウエハー積載用ボートの製
造方法によれば、ＳｉＣ質材料であっても、このＳｉＣ
質材料以外の、例えば石英であっても、精度を必要とし
ない接続部材は焼成した状態のままで使用でき、精度を
必要とする最終的な機械加工は梁を形成する部分のみで
良いので、製造に要する時間を大幅に短縮することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウエハー積載用ボートを第１及び第２
実施例を示す概略説明図で、（ａ）は第１実施例を平面
方向から見た図、（ｂ）は第２実施例を平面方向から見
た図、（ｃ）は第１実施例を正面方向から見た図であ
る。

【図２】（ａ）〜（ｄ）は本発明のウエハー積載用ボー
トの第３〜６実施例を平面方向から見た概略説明図であ
る。

【図３】図１に示す第１実施例の製造方法の一例を説明
する図である。

【図４】図２（ｃ）に示す第５実施例の製造方法の一例
を説明する図である。

【図５】（ａ）は天板ブロックを、（ｂ）は櫛型ブロッ
クを、（ｃ）は平板ブロックを、（ｄ）は底板ブロック
を、（ｅ）は支柱ブロックを示した図である。

【図６】櫛型ブロックと平板ブロックを接合した状態を
示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。

【図７】各ブロックを組立てた状態を示す図で、（ａ）
は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ断
面図である。

【図８】櫛型ブロックと平板ブロックを接合した後に、
平板ブロックを切断する際の説明図で、（ａ）は切断
前、（ｂ）は切断後を示す図である。

【図９】本発明の製造方法により製造した本発明のウエ
ハー積載用ボートの第２実施例を示す図で、（ａ）は
（ｂ）のＢ−Ｂ断面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は底面
図である。

【図１０】図１（ｂ）に示す第２実施例にウエハーの受
け座や受けピンを設けた例を示した図で、（ａ）は梁の
両側に受け座を設けたもの、（ｂ）は梁の両側に受けピ
ンを設けたもの、（ｃ）は梁の反挿入側にのみ受けピン
を設けたものである。

【図１１】（ａ）（ｂ）は梁がウエハーより短い場合
に、ボートの天板から底板にかけて位置決め用の支柱を
設けた図である。

【図１２】（ａ）〜（ｅ）は本発明のウエハー積載用ボ
ートの効果を確認するために行った実験に使用したウエ
ハー積載用ボートの平面方向から見た概略図である。

【図１３】本発明のウエハー積載用ボートの効果を確認
するために行った実験に使用した従来のウエハー積載用
ボートの平面方向から見た概略図である。

【図１４】本発明のウエハー積載用ボートの効果を確認
するために行った実験に使用した特開平６−１６８９０
３号で提案されたウエハー積載用ボートを平面方向から
見た概略図である。

【図１５】従来のウエハー積載用ボートを平面方向から
見た概略説明図である。

【図１６】特開平６−１６８９０３号で提案されたウエ
ハー積載用ボートを平面方向から見た概略説明図であ
る。

【図１７】特開平５−１１４６４５号で提案されたウエ
ハー積載用ボートの概略説明図であり、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は平面方向から見た図である。

【符号の説明】

２ウエハー１１梁１２支柱１３接続部材２１天板ブロック２２櫛型ブロック２３平板ブロック２４底板ブロック

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】縦型の熱処理炉に用いられるウエハー積
載用ボートであって、２本で対をなす梁を１組あるいは
複数組、支柱の長手方向に所要の間隔を存して多数、水
平保持させたことを特徴とするウエハー積載用ボート。
【請求項２】縦型の熱処理炉に用いられるウエハー積
載用ボートの製造方法であって、ウエハー積載用ボート
を構成する、少なくとも、天板ブロックと、支柱と接続
部材を構成する櫛型ブロックと、この櫛型ブロックと接
合され後に梁となされる平板ブロックと、底板ブロック
を製作した後、これらの各ブロックを組立て、その後、
櫛型ブロックに接合した平板ブロックを、櫛型ブロック
の長手方向に所要の間隔を存して切断し、ウエハーを支
持する梁を形成することを特徴とする請求項１記載のウ
エハー積載用ボートの製造方法。