JPS6263422A - シリコンウエ−ハ処理用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発朗は、シリコンウェーハに拡散、酸化、洗浄等の処
理を施す際に使用する治具に関する。

［従来の技術］ 一般に、シリコンウェーハから半導体装置を製造する工
程においては、拡散、酸化等の高温反応処理が行われる
。これらの高温反応処理は、いずれも極めて高い純度が
要求される。このため、これらの高温反応処理に際し、
シリコンウェーハを支持搭載する処理用治具は、耐熱性
に優れ、かつ有害な不純物を発散することのない高純度
の安定した材料で形成する必要がある。

そこで、従来、上記処理用治具には、石英ガラス、シリ
コン、炭化ケイ素等の材料が使用されている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかし、石英ガラス製の処理用治具は、耐熱性がやや低
く、１２００℃以上の温度で使用すると軟化変形を生じ
長時間の使用に耐え得ない。

又、シリコン製の処理用治具は、脆く加工性に難点があ
る。

更に、炭化ケイ木製の処理用治具は、熱的、化学的に安
定であるが、成形、加工が困難であり、かつ不純物の含
有ｍが増加する等の不都合がある。

特に、石英ガラス製の処理用治具は、大径のシリコンウ
ェーハを加熱処理するとシリコンウェーハが石英ガラス
に溶着し、これを剥がすときにシリコンウェーハの周縁
部に欠けやひび成るいはチップ等を生じ易い。

そこで、本発明は、高温反応処理に際し、大径のシリコ
ンウェーハが溶着することのないシリコンウェーハ処理
用治具を提供しようとするものである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、前記問題点を解決するため、複数枚のシリコ
ンウェーハを所要間隔で垂直に整列支持する石英ガラス
製のシリコンウェーハ処理用治具において、前記シリコ
ンウェーハの荷重を支えるシリコン製の支持棒を付設し
たものである。

［作　用］ シリコンウェーハ処理用治具におけるシリコンウェーハ
の荷重を支える部分の耐熱性が向上し、かつ熱による軟
化変形が生じにくくなる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

図において１は石英ガラス棒からなる矩形の上枠で、長
辺部１ａ、ｌｂの相対する外周部には、第４図ａ、ｂに
示すように、シリコンウェーハ２（第３図参照）を垂直
にガイドする多数の溝３が刻設されている。上枠１は、
石英ガラス棒からなる傾斜した複数の支柱４を介し上枠
１より小さな矩形にしてかつ石英ガラス棒からなる下枠
５上に水平に取付けられている。そして、上枠１および
下枠５の長辺部１ａ、１ｂおよび５ａ、５ｂ間には、そ
れぞれの短辺部ＩＣ，ｌｄおよび５ｃ。

５ｄと平行な石英ガラス棒からなる複数の補強杆１ｅお
よび５ｅが横架されている。

下枠５における短辺部５ｃ　、５ｄおよび各補強杆５ｅ
の中間部には、長辺部５ａ、５ｈの延伸方向へ切欠いた
凹部６（第５図ａ、ｂ参照）が設けられている。隣り合
う短辺部５ｃ、５ｄおよび補強杆５ｅ間には、シリコン
からなる角柱状の複数の支持棒７が、端部を凹部６の一
部に係合して横架され、かつ溶接によって短辺部５ｃ　
、５ｄおよび補強杆５ｅに固着されている。各支持棒７
は、シリコンウェーハ２の荷重を支えるためのもので、
その上面が短辺部５ｃ　、５ｄおよび補強杆５ｅの頂部
とほぼ同じ高さに設けられている。そして、下枠５にお
ける短辺部５ｃ　、５ｄの凹部６の一部には、支持棒７
の長手方向への移動を制止するため、石英ガラスからな
る円柱状のストッパー８が嵌合され、かつ溶接によって
固着されている。また、下枠５における長辺部５ａ、５
ｂの下部周面には、処理用治具が後述する如く収容され
る石英炉芯管の内周面との接触面積を低減するため石英
ガラスからなる半球状の複数の脚９が、短辺部５ｃ　、
５ｄおよび補強杆５ｅの接合部と対応する位置に設けら
れている。

上記構成のシリコンウェーハ処理用治具を用いて多数の
シリコンウェーハ２を高温反応処理すべく、多数のシリ
コンウェーハ２を支持搭載するには、各シリコンウェー
ハ２を相対する溝３間に挿入し、かつ下部周面を支持棒
７の上面に当接する。

このとき、各シリコンウェーハ２の中央部周面は、相対
する溝３の底部間の間隔がシリコンウェーハ２の外径よ
り僅かに大きく設けられているので、溝３の底部と接触
することはない。

そして、多数のシリコンウェーハ２を支持搭載したシリ
コンウェーハ処理用治具を石英炉芯管等に収容して高温
反応処理する。このとぎ、シリコンウェーハ２の荷重が
かかる支持棒７が、耐熱性を有し、熱により軟化変形し
にくいシリコンからなるので、シリコンウェーハ２と支
持棒７とが溶着することはない。また、シリコンからな
る支持棒７が複数の分割体からできているので、熱によ
り石英ガラスからなる上枠１や下枠５等に多少変形が生
じても支持棒７が破損することはない。

なお、上記実施例においては、シリコンからなる支持棒
７を角柱状とし、その上面を平面とした場合について述
べたが、上面の形状としては、例えば第６図または第７
図に示すように、凹曲面状または溝形状等とすることが
望ましい。このようにすることにより、シリコンウェー
ハ２の移動が制限され、上枠１の長辺部１ａ、ｌｂとの
接触が防止されるので、シリコンウェーハ２に歪やスリ
ップが入るおそれがない。

［発明の効果コ 以上のように本発明によれば、従来技術に比し、次の効
果が得られる。

（１）シリコンウェーハの荷重を支える部分を、耐熱性
を有し、熱により軟化変形しにくいシリコン棒としたの
で、シリコンウェーハと支持部とが加熱によって溶着せ
ず、シリコンウェーハの周縁部に欠けやひび、チップ等
が生ずることがない。

（２）　　支持棒以外を石英ガラス製としたので容易に
製造することができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示すもので、第１図はシリコン
ウェーハ処理用治具の一部を省略した平面図、第２図お
よび第３図は第１図における■−■線断面図みよび■−
■線断面図、第４図ａ、　ｂは要部の平面図、側断面図
、第５図ａ、ｂは要部の平面図、側面図、第６図および
第７図はそれぞれ他実施例の要部の側断面図である。 １・・・上　枠　　　　　　２・・・シリコンウェーハ
４・・・支　柱　　　　　　５・・・下　枠６・・・凹
　部　　　　　　７・・・支持棒第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数枚のシリコンウェーハを所要間隔で垂直に整列支持
   する石英ガラス製のシリコンウェーハ処理用治具におい
   て、前記シリコンウェーハの荷重を支えるシリコン製の
   支持棒を付設したことを特徴とするシリコンウェーハ処
   理用治具。