JPH02288224A - ウェハボート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は縦型拡散炉に用いるウェハボートに関するも
のである。

従来の技術 半導体製造工程における酸化や拡散等の熱処理工程は、
従来横型の拡散炉等で行われる場合が多く、それに使用
するボートも横型に合せた仕様であった。

近年、ウェハの大口径化が進み、またウェハ製造工程の
自動化が促進されている。そのようなウェハの大口径化
と自動化の必要から、縦型拡散炉がより多く用いられる
ようになった。

横型拡散炉に比較して、縦型拡散炉は構造が簡単であり
、炉の断面均熱特性が優れており、ウェハの口径が大き
くなっても制御がし易い。更に、ウェハの自重によるボ
ート支持点部分の結晶欠陥の発生が少なくなるなどとい
う長所がある。

従来Ｓｉウェハ積載用のボートは、高純度を要求される
為に、石英ガラスが主流であった。縦型炉用のものにつ
いても石英ガラスが多く使用されてきた。また、近年Ｓ
ｉＣ材料からなるボートも使われるようになった。

しかし、石英ガラスは耐熱性が低く、特に高温での軟化
が大きな問題である。高温加熱時におけるボートの軟化
によってウェハが落下、折損する事故が多発している。

また、折損に至らない場合でも、軟化による変形のため
に自動積載装置による積載が不可能になる場合が多く、
問題であった。

一方、前述したように耐熱性の秀れた高純度ＳｉＣ材料
から製造されるボートもすでに供給されている。しかし
、従来のＳｉＣボートは一体構造であった。高温時には
、ボートを構成する各部材が熱膨張を起す。各部材間の
熱変形の様子が異なるので、加熱サイクルを多数回繰り
返すと構造的なくるいが生じる。

この場合にも、自動積載装置による積載ができなくなる
。また、部材内部に歪みが蓄積されて破損することもあ
る。このように従来のＳｉＣボートは耐用寿命が十分で
なかった。

また、ＳｉＣボートは石英ガラスのボートに比べて製造
が困難であり、価格的に高いものであった。この理由は
接着可能なＳｉＣ材料はＳｉ注入ＳｉＣだけであり、石
英ガラスと異なり部分的な溶接、修正が困難であるため
である。

そこで本出願人は特願昭６３−３２６２３４号発明とし
てウェハ挿入溝を有する連結体と、２枚のプレートから
構成されていて、方のプレートと連結体が一体に接合さ
れ、他方のプレートと連結体が着脱可能に嵌合されるウ
ェハボートを提案した。

発明が解決しようとする問題点 特願昭６３−３２６２３４号発明によるウェハボートは
、ウェハ挿入溝を有する支持棒が一方の支持プレートと
一体に接合され、他方の支持プレートは着脱自在に嵌合
されているので、ボート自体にガタッキが生じゃすくウ
ェハを安定して保持できないことがある。

このため、ウェハにキズが発生し、結晶欠陥の原因とな
りやすい。

また、ウェハ支持棒が支持プレートに一体に接合される
ため、接合した後にウェハ挿入溝の加工を行わなければ
ならず、加工が非常に困難であった。接合時に接着剤を
用いたり溶着させたりするので、溝の位置を一定にする
ことが困難であるので、接合後に加工を行う必要があっ
た。

発明の目的 この発明はこのような従来技術の問題点を解決するため
になされたものであり、製作が容易で、自動積載方式に
マツチしたウェハボートを提供することを目的としてい
る。

発明の要旨 前述の目的を達成するために、この発明は請求項１に記
載のウェハボートを要旨とじている。

問題点を解決するための手段 上下の支持プレート１，２に、３本の連結支持棒３を接
着して、３本ないし４本のウェハ支持棒５を嵌合する。

下方の支持プレート２にはザグリ穴２ａを形成し、上方
の支持プレート１には貫通穴１ａを形成する。ウェハ支
持棒５の断面形状は位置決めのため円でなく、楕円、長
円、長方形、正方形等にするのが良い。ウェハ支持棒５
は表面にＣＶＤ−３ｉＣをコーティングしても良い。

実施例 上方支持プレート１と下方支持プレート２とを少なくと
も３本の連結支持棒３で連結して一体となるように接着
、溶着等で接合してボート本体１０をつくる。ウェハ４
を挿入支持するための多数の挿入溝（図示せず）を周知
のように設けた３〜４木のウェハ支持棒５を着脱自在に
ボート本体１０に嵌合する。

上方支持プレート１には、ウェハ支持棒５を挿入するた
めの貫通穴１ａを設け、下方支持プレート２にはウェハ
支持棒５を嵌合するザグリ穴２ａを設ける。

ウェハ支持棒５の断面形状は、支持棒自体がセット時に
回転しないような形状とするのが良い。断面形状を円に
しても良いが、この場合は少なくとも一方の支持プレー
トとの嵌合位置に係合固定するように凹凸等を設ける必
要がある。−膜内には断面形状が楕円、長円、長方形、
正方形等のウェハ支持棒５とするのが好ましい。

上下の支持プレート１．２、連結支持棒３およびウェハ
支持棒５の材質は、高純度のＳｉＣまたはＳ　ｉ　−Ｓ
　ｉ　Ｃが好ましく、さらにＣＶＤでＳｉＣやＳｉ３Ｎ
４をコーティングしたものとしても良い。さらに、耐熱
強度などの観点からボート本体１０（支持プレート１．
２や連結支持棒３）はＳｉＣ質で構成し、ウェハ支持棒
５のみを石英ガラスで構成しても良い。

発明の効果 ボート本体１０が一体に構成されているので、ボート自
体にガタッキを生じることがなく、ウェハ４を安定して
保持でき、ウェハ４の欠陥発生を防ぐことができる。ウ
ェハ支持棒５を支持プレート１．２に接着したり溶着し
たすせず着脱自在に嵌合するので、セット前にウェハ挿
入溝の加工が可能となり、加工作業が極めて容易に行え
る。例えば、複数のウェハ支持棒５を並べて一度にウェ
ハ挿入溝を形成することができる。

ウェハ支持棒５がボート本体１０に着脱自在に嵌合され
ているので、破損した場合等に容易に交換できる。

なお、本発明は前述の実施例に限定されない。例えば支
持プレートは矩形でもよいし、連結支持棒の数も任意で
よい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるウェハボートの実施例を示す側面
図、第２図は第１図に示したウェハボートの■−■断面
図である。 １．２・・・支持プレート １ａ・・・・・・貫通穴 ２ａ・・・・・・ザグリ穴 ３・・・・・・・・・連結支持棒 ４・・・・・・・・・ウェハ ５・・・・・・・・・ウェハ支持棒 代　　理　　人　　　弁理士　　　１）　辺　　　徹手
続補正書働式） 平成元年７月２７日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 上方支持プレートと、下方支持プレートと これらの上方支持プレート及び下方支持プレートを連結
   する連結支持棒とを一体に接合してボート本体を構成し
   、多数のウェハ挿入溝を有するウェハ支持棒を前記ボー
   ト本体に着脱自在に嵌合したことを特徴とするウェハボ
   ート。