JPH0612760B2 - 石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具 - Google Patents
石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具Info
- Publication number
- JPH0612760B2 JPH0612760B2 JP59141614A JP14161484A JPH0612760B2 JP H0612760 B2 JPH0612760 B2 JP H0612760B2 JP 59141614 A JP59141614 A JP 59141614A JP 14161484 A JP14161484 A JP 14161484A JP H0612760 B2 JPH0612760 B2 JP H0612760B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer boat
- quartz glass
- holding portion
- length
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は半導体ウェハを載置したウェハボートを炉芯管
へ出し入れする際に用いるソフトランディング方式の石
英ガラス製ウェハボート搬送治具の改良に関する。
へ出し入れする際に用いるソフトランディング方式の石
英ガラス製ウェハボート搬送治具の改良に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］ 半導体ウェハを載置したウェハボートを炉芯管へ出し入
れする際には管状又は棒状の耐熱材料の一端部に切欠部
を設けてウェハボート保持部を形成したウェハボート搬
送治具が用いられる。従来、この種のウェハボート搬送
治具は純度的な観点から石英ガラス材質のものが主体で
ある。
れする際には管状又は棒状の耐熱材料の一端部に切欠部
を設けてウェハボート保持部を形成したウェハボート搬
送治具が用いられる。従来、この種のウェハボート搬送
治具は純度的な観点から石英ガラス材質のものが主体で
ある。
ところが、石英ガラス製の搬送治具では使用時に一端の
ウェハボート保持部を高温の炉内に挿入し、他端を室温
で固定支持した状態で搬送治具内に温度勾配が発生する
と、この温度勾配によって搬送治具内に熱的応力が発生
し、それが残留応力として材質の機械的強度を低下させ
る。このため、従来の石英ガラス製ウェハボート搬送治
具は折れたり、曲がったりする欠点があった。この折れ
や曲がりは、特に曲げモーメントが最も大きくなる部分
で発生し易い。
ウェハボート保持部を高温の炉内に挿入し、他端を室温
で固定支持した状態で搬送治具内に温度勾配が発生する
と、この温度勾配によって搬送治具内に熱的応力が発生
し、それが残留応力として材質の機械的強度を低下させ
る。このため、従来の石英ガラス製ウェハボート搬送治
具は折れたり、曲がったりする欠点があった。この折れ
や曲がりは、特に曲げモーメントが最も大きくなる部分
で発生し易い。
このような欠点を解消するために石英ガラス製ウェハボ
ート搬送治具全体を厚くすることが考えられるが、この
ようにすると搬送治具の自重で熱変形が起り易くなる。
ート搬送治具全体を厚くすることが考えられるが、この
ようにすると搬送治具の自重で熱変形が起り易くなる。
［発明の目的］ 本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、機械的
強度の大きな石英ガラス製ウェハボート搬送治具を提供
しようとするものである。
強度の大きな石英ガラス製ウェハボート搬送治具を提供
しようとするものである。
［発明の概要］ 本発明の石英ガラス製ウェハボート搬送治具は、管状又
は棒状の石英ガラスの一端部に縦断面形状が円弧状及び
直線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部を形成
した石英ガラス製ウェハボート搬送治具において、前記
ウェハボート保持部の最も曲げモーメントが大きくなる
部分及びその近傍をウェハボート保持部の全長の1/4〜1
/2にわたって他の部分より肉厚にしたことを特徴とする
ものである。
は棒状の石英ガラスの一端部に縦断面形状が円弧状及び
直線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部を形成
した石英ガラス製ウェハボート搬送治具において、前記
ウェハボート保持部の最も曲げモーメントが大きくなる
部分及びその近傍をウェハボート保持部の全長の1/4〜1
/2にわたって他の部分より肉厚にしたことを特徴とする
ものである。
このような石英ガラス製ウェハボート搬送治具によれ
ば、ウェハボート保持部の折れや曲がりを防止すること
ができ、しかもウェハボート保持部の先端のたわみを減
少することができる。
ば、ウェハボート保持部の折れや曲がりを防止すること
ができ、しかもウェハボート保持部の先端のたわみを減
少することができる。
本発明において、肉厚部の長さをウェハボート保持部の
全長の1/4〜1/2としたのは、以下のような理由による。
すなわち、肉厚部の長さがウェハボート保持部の全長の
1/4未満では曲げ応力が著しく大きいうえ、たわみ量も
大きい。一方、肉厚部の長さがウェハボート保持部の全
長の1/2を超えると、肉厚部の自重によりたわみ量が大
きくなる。
全長の1/4〜1/2としたのは、以下のような理由による。
すなわち、肉厚部の長さがウェハボート保持部の全長の
1/4未満では曲げ応力が著しく大きいうえ、たわみ量も
大きい。一方、肉厚部の長さがウェハボート保持部の全
長の1/2を超えると、肉厚部の自重によりたわみ量が大
きくなる。
［発明の実施例］ 以下、本発明の実施例を第１図及び第２図を参照して説
明する。
明する。
第１図は本発明に係る石英ガラス製ウェハボート搬送治
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図、
第２図は平面図である。
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図、
第２図は平面図である。
第１図及び第２図において、搬送治具本体１は全体が管
状であり、その先端部に縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部を設けてウェハボート保持部２が形成され
ている。このウェハボート保持部２の最も曲げモーメン
トが大きくなる部分Ａ（縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部の円弧と直線の境界）及びその近傍には肉
厚部３が形成されている。上記ウェハボート搬送治具の
各部分の肉厚は、例えば本体１の部分が4.5mm、ウェハ
ボート保持部２の先端部が4.5mm、肉厚部３が7.5mmとな
っている。なお、肉厚部３は例えば肉盛り、肉だめ、溶
接等で形成することができる。また、肉厚部３の長さは
ウェハボート保持部２の全長の約１／４〜１／２に設定
され、最大曲げモーメントが生じる部分Ａ近傍から先端
側に向かって設けられている。
状であり、その先端部に縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部を設けてウェハボート保持部２が形成され
ている。このウェハボート保持部２の最も曲げモーメン
トが大きくなる部分Ａ（縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部の円弧と直線の境界）及びその近傍には肉
厚部３が形成されている。上記ウェハボート搬送治具の
各部分の肉厚は、例えば本体１の部分が4.5mm、ウェハ
ボート保持部２の先端部が4.5mm、肉厚部３が7.5mmとな
っている。なお、肉厚部３は例えば肉盛り、肉だめ、溶
接等で形成することができる。また、肉厚部３の長さは
ウェハボート保持部２の全長の約１／４〜１／２に設定
され、最大曲げモーメントが生じる部分Ａ近傍から先端
側に向かって設けられている。
上記石英ガラス製ウェハボート搬送治具の搬送治具本体
１の基端部は従来のものと同様であり、図示しない搬送
装置の所定の位置に固定される。また、ウェハボート保
持部２上に半導体ウェハボートを載せて搬送し、炉芯管
へ出し入れを行なう。
１の基端部は従来のものと同様であり、図示しない搬送
装置の所定の位置に固定される。また、ウェハボート保
持部２上に半導体ウェハボートを載せて搬送し、炉芯管
へ出し入れを行なう。
しかして上記石英ガラス製ウェハボート搬送治具によれ
ば、ウェハボート保持部２の最も曲げモーメントが大き
くなる部分及びその近傍を他の部分より肉厚にしている
ので、ウェハボート保持部２の折れや曲がりを防止する
ことができ、しかもウェハボート保持部２の先端のたわ
みを減少することができる。
ば、ウェハボート保持部２の最も曲げモーメントが大き
くなる部分及びその近傍を他の部分より肉厚にしている
ので、ウェハボート保持部２の折れや曲がりを防止する
ことができ、しかもウェハボート保持部２の先端のたわ
みを減少することができる。
また、第３図及び第４図を参照して肉厚部３の長さとウ
ェハボート保持部２の変形との関係について詳細に説明
する。
ェハボート保持部２の変形との関係について詳細に説明
する。
第３図はウェハボート保持部の全長に対する肉厚部の長
さとウェハボート保持部の曲げ応力との関係を示す線図
である。第３図から明らかなようにウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さの割合が１／４〜１の範囲
では、曲げ応力は小さくなっている。特に、肉厚部３の
長さがウェハボート保持部の全長に対して約１／４〜１
／２の範囲では曲げ応力が非常に小さくなっている。た
だし、肉厚部３の長さがウェハボート保持部の全長に対
して約１／４未満になると、曲げ応力は緩やかに増加し
ていく。
さとウェハボート保持部の曲げ応力との関係を示す線図
である。第３図から明らかなようにウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さの割合が１／４〜１の範囲
では、曲げ応力は小さくなっている。特に、肉厚部３の
長さがウェハボート保持部の全長に対して約１／４〜１
／２の範囲では曲げ応力が非常に小さくなっている。た
だし、肉厚部３の長さがウェハボート保持部の全長に対
して約１／４未満になると、曲げ応力は緩やかに増加し
ていく。
また、第４図はウェハボート保持部の全長に対する肉厚
部の長さとウェハボート保持部の先端に６kgの荷重をか
けた場合のたわみ量との関係を示す線図である。第４図
から明らかなようにウェハボート保持部の全長に対する
肉厚部の長さが約１／４〜１／２まではたわみ量が徐々
に減少しているが、ウェハボート保持部の全長に対する
肉厚部の長さが約１／２を超えると、肉厚部３の自重に
よりたわみ量が再び増加している。
部の長さとウェハボート保持部の先端に６kgの荷重をか
けた場合のたわみ量との関係を示す線図である。第４図
から明らかなようにウェハボート保持部の全長に対する
肉厚部の長さが約１／４〜１／２まではたわみ量が徐々
に減少しているが、ウェハボート保持部の全長に対する
肉厚部の長さが約１／２を超えると、肉厚部３の自重に
よりたわみ量が再び増加している。
したがって、第３図及び第４図からウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さの割合を１／４〜１／２に
設定した場合に、ウェハボート保持部２の曲げ現象に対
して最も効果的に対処することができると考えられる。
の全長に対する肉厚部の長さの割合を１／４〜１／２に
設定した場合に、ウェハボート保持部２の曲げ現象に対
して最も効果的に対処することができると考えられる。
事実、肉厚部３の長さが短い場合には、肉厚部３を設け
たウェハボート保持部２の部分は強度が増加するが、肉
厚部３より先端側の強度は変わらないため、肉厚部３の
先端近傍でウェハボート保持部２が折れたり曲がったり
することが避けられなかった。
たウェハボート保持部２の部分は強度が増加するが、肉
厚部３より先端側の強度は変わらないため、肉厚部３の
先端近傍でウェハボート保持部２が折れたり曲がったり
することが避けられなかった。
また、ウェハ保持部２の全長にわたって肉厚部３を設け
た場合には、肉厚部３の自重が作用してウェハボート保
持部２の先端のたわみ量が大きくなり、ウェハボートの
搬送に問題が生じることがあった。
た場合には、肉厚部３の自重が作用してウェハボート保
持部２の先端のたわみ量が大きくなり、ウェハボートの
搬送に問題が生じることがあった。
これに対してウェハボート保持部２の全長に対する肉厚
部３の長さの割合を１／４〜１／２にした場合には1.5
倍以上の強度が得られ、ウェハボート保持部２の先端の
たわみ量も少なかった。
部３の長さの割合を１／４〜１／２にした場合には1.5
倍以上の強度が得られ、ウェハボート保持部２の先端の
たわみ量も少なかった。
［発明の効果］ 以上詳述した如く本発明の石英ガラス製ウェハボート搬
送治具によれば、ウェハボート保持部の折れや曲がりを
防止することができ、しかもウェハボート保持部の先端
のたわみを減少することができる等顕著な効果を奏する
ものである。
送治具によれば、ウェハボート保持部の折れや曲がりを
防止することができ、しかもウェハボート保持部の先端
のたわみを減少することができる等顕著な効果を奏する
ものである。
第１図は本発明に係る石英ガラス製ウェハボート搬送治
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図、
第２図は同搬送治具の平面図、第３図はウェハボート保
持部の全長に対する肉厚部の長さとウェハボート保持部
の曲げ応力との関係を示す線図、第４図はウェハボート
保持部の全長に対する肉厚部の長さとウェハボート保持
部の先端に６kgの荷重をかけた場合のたわみ量との関係
を示す線図である。 １……搬送治具本体、２……ウェハボート保持部、３…
…肉厚部。
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図、
第２図は同搬送治具の平面図、第３図はウェハボート保
持部の全長に対する肉厚部の長さとウェハボート保持部
の曲げ応力との関係を示す線図、第４図はウェハボート
保持部の全長に対する肉厚部の長さとウェハボート保持
部の先端に６kgの荷重をかけた場合のたわみ量との関係
を示す線図である。 １……搬送治具本体、２……ウェハボート保持部、３…
…肉厚部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 熊倉 眞 山形県西置賜郡小国町大字小国町378番地 東芝セラミツクス株式会社小国製造所内 (56)参考文献 特開 昭58−212146（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−36129（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】管状の石英ガラスの一端部に縦断面形状が
円弧状及び直線状をなす切欠部を設けてウェハボート保
持部を形成した石英ガラス製ウェハボート搬送治具にお
いて、前記ウェハボート保持部の最も曲げモーメントが
大きくなる部分及びその近傍をウェハボート保持部の全
長の１／４〜１／２にわたって他の部分より肉厚にした
ことを特徴とする石英ガラス製ウェハボート搬送治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59141614A JPH0612760B2 (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59141614A JPH0612760B2 (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6314277A Division JP2724972B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 |
| JP6314286A Division JP2610232B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6120319A JPS6120319A (ja) | 1986-01-29 |
| JPH0612760B2 true JPH0612760B2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=15296124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59141614A Expired - Lifetime JPH0612760B2 (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0612760B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01187811A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Tel Sagami Ltd | ソフトランディング装置用搬送治具およびソフトランディング装置 |
| JPH01251713A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
| JPH01171027U (ja) * | 1988-05-24 | 1989-12-04 | ||
| JP2724972B2 (ja) * | 1994-11-25 | 1998-03-09 | 東芝セラミックス 株式会社 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 |
| JP2777791B2 (ja) * | 1996-06-28 | 1998-07-23 | 東芝セラミックス株式会社 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
| US11203188B2 (en) | 2016-02-12 | 2021-12-21 | Ampacet Corporation | Multilayered polymeric film |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5636129A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Hitachi Ltd | Method and device for heat treatment of semiconductor thin plate |
| JPS58212146A (ja) * | 1982-04-29 | 1983-12-09 | ヘレウス・クアルツシユメルツエ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクタ−・ハフツング | マガジン内のシリコン・ウエフアを炉内へ導入するための装置 |
-
1984
- 1984-07-09 JP JP59141614A patent/JPH0612760B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6120319A (ja) | 1986-01-29 |
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