JPS58212146A - マガジン内のシリコン・ウエフアを炉内へ導入するための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、マガジン内のシリコン・ウェファを炉又は拡
散炉の中に荷積みするための装置に関するものである。

また、荷積み装置が外部から月並みな炉の処理管の中に
差し込まれる時におけるちりの発生を最少にすることが
、本発明の一般的な目的である。

従来、７対の長手方向に延びている支持棒又は支持管か
ら成立っているキャリアが使用されているが、これらの
支持棒は、適当な運動装置によって処理管の中へそう人
する際に、処理管の内側壁の上をこすり、従って、マガ
ジンの中のウェファの処理に対して、有害であるほこり
を発生する０このはこりの発生を減少させる企てにおい
て、当業界において、それらの長さに沿って車輪を設け
られ、車輪付きキャリッジ又は台車を形成しているノ組
の棒又は管から成立っている水かきが使用されているが
、しかしながら、これらの車輪も、車輪が炉管の底部の
上を走行する時に、はこりを発生する。

特開昭、ｔ４−３４／λヂ号公報に記載されている他の
提案においては、只１個の大直径の管がマガジン・キャ
リアとして使用されており、この管の前端部又は炉端部
が切断され、半円筒形のシェルを残すようにし、それか
ら、このシェルが切断部を横切って置かれた底板を設け
られ、シリコン・ウェファを荷積みされたマガジンに対
するプラットホームを構成するようにしている。この構
成は、かさ張っており、また、それ故、その熱容量は高
く、更に、マガジンの下部のプラットホームのために、
ウェファの回りの処理ガスの流れの効率は、最少とされ
る。更に、炉０内部の管の部分の端部が、管の上方部分
に適合するように、熱絶縁材料を充てんされているくら
状の形状の外部プラグを設けられている。

これは、この点においてガスの背圧を生成し、これが、
また、ウェファの回りのガス流の効率を最少にする。

このことを度外視しても、切断は、管の横断面を弱くし
、また、大きな横断面それ自体はガス流を妨害する。

丈夫であり、処理管に沿うガスの流れに対して自由な横
断面を与え、支持管が個々に調節可能であり且つ取換え
可能である上述の目的に対する装置を得ることが、本発
明の他の目的であるＯ 炉管の空間を十分に利用し、処理管の軸に沿う有効な作
動空間の最少の損扼ｉ与えることが。

他の目的である。

この目的及び他の目的を達成するために、本発明は、マ
ガジン内のシリコン−ウェファを炉又は拡散炉の処理管
の中に差し込むために、処理管に隣接する端部において
閉塞された一個又はそれ以上の間隔を置かれた荷積みさ
れたマガジンに対する支持部材を構成し【いるシリカ管
と、前記支持部材を、処理管から離れているその端部に
よって片持ち状に前記支持部利を保持し、支持するため
のクランプ装置と、前記支持部材をその上の荷積みされ
たマガジンと一諸に処理管の中へ及び処理管からほぼ水
平方向に、次ぎのよ５に、すなわち、前記マガジン及び
それらの支持部材が荷積み処理及び荷卸し作業の間を通
してずつと完全に懸垂されたままであるように動かし、
そのどの部分も処理管の内壁と接触しないように動かす
ために、前記クランプ装置と協同されるモータ装置とか
ら成立っている装置にある。　　　１ 、い肖 装置の、特に、炉の゛じ内部において出会わされる高温
における強度及び寸法的な安定性が重要であり、これら
の理由のために、支持管は補強されることが有利である
。

本発明が一層明瞭に理解されるように、以下、本発明を
その実施例を示す添附図面の第１〜６図に基づいて詳細
に説明する。

第７図に示すように、完全な組立体は、一般　・的にｌ
及びコによって示されたｌ対のマガジン支持管から成立
っており、それらの上には、管ｌ、−を間隔を置かれた
関係に維持するために、連結板３が置かれている。また
、これらの支持管／及びコは、１個又は多数の、典型的
には、９個のマガジンダ、ガス分配そらせ板Ｓ、逆そら
せ板６及び炉管端板７を支持している。マガジンダは、
シリコン・ウェファＤを受入れる。

支持管／及びコの荷を積まれたマガジンダが処理のため
にその中に差し込まれる処理管Ｓから離れている端部に
は、整列ヘラドブの形状のクランプ装置が設けられてい
るが、全組立体は、ブラケットＩＯの上に取付けられて
おり、また、このブラケットｉｏは、モータ装置（図示
されていない）に連結されており、全組立体が軌道ｌ／
に沿って輸送されることができるようになっている。支
持管／、コは、片持ち状に保持され、一端部だけ、すな
わち、外端部だけから支持されており、これによって、
これらの支持管ｌ、コの内端部、すなわち、その全長及
び処理管ｔの中に輸送されるためのそれらの支持管／。

コの上のどのような支持されたマガジンダも、処理管ｇ
の内壁に接触しないようにする。

第三のより小直径の管ノコが、−個の支持管ｌ及び−の
下方並びにそれらの間ＫＭかれて設けられており、また
、熱電対のような温度セ／すがマガジンダの下部に置か
れ、処理作業の間における炉温度を監視するようにする
こともできる。これらのセンサは、当業界においては公
知であり、それ故、図示されていないが、しかしながら
、それらの電気的接続導線は、１３によって示されてい
る。

マガジン支持管ｌ及びコは、それらの内の１個が第ｑ図
に関して一層詳細に説明されるように、合成構造のもの
であり、それぞれ、商業的に純粋な透明なガラス状のシ
リカ外部管、または、さや／４’から成立っており、処
理管ｇに隣接するその内端部において閉塞されると共に
耐火材料、典型的には、再結晶炭化ケイ素製の棒又は、
厚肉管３６を包囲しているが、この棒３６は、同様に、
耐火材料、典型的には、焼結されたアルミナ製の管ｉｓ
の前端部から突出している。

整列ヘッド９（第２図）は、一個の主ハウジング円板１
６及び１７から成立っているが、これらの円板／ｌ、、
／７は、端板／ｇ及びソケット状の頭部を有しているボ
ルト／９によって、長方形の主クランプ・ブロックコＯ
に、円板・′／Ａ、／７が直角で且つ相互に平行である
ように調節自在にクランプされている。この調節自在な
りランプ取り付けは、各円板／ｌ、、／７のその軸の回
りの回転調節を可能とさせる。各主ハウジング円板ｉ　
ｔ、　、　／　ｑ゛は：、３個の穴をあけられているが
、それらの内の７個−ノは、中央に、他の２個、２コは
上方に且つ垂直軸の回りに対称的に排列されている。短
い透明なガラス状のシリカ管、２３が、主ハウジング円
板１６及びＩりの中央穴２１を通過し雪おり、また、穴
−ノの中に管コ３の内部に形成された一個の一体のフラ
ンジコクによって、捕捉され、保持されている。主ハウ
ジング円板／６及び１７の中の残りの一個の穴ココは、
ソケット状の頭部を有している止めねじコ３によって、
マガジン支持管インサートの端部に対する位置決め及び
固着を与える。このようにして、主ハウジング円板／Ａ
、／７の内の一方をわずかに回転させることによって、
支持管／及びコの炉端部のより大きなたわみが生じさせ
られ、これによって、装置の炉管の軸との整列の調節を
可能とさせる。

この構成は、また、各支持管ｌ及びコが、交換又は再磨
きのために容易に取りはずされることを可能とさせる。

典型的には、薄金属板製の保護カバーコロが、−列ヘッ
ドｔの上にはめられている（第１図）。

マガジン支持管／及びコ並びに温度センサ管ノコも通過
することを許すように穴あけされている炉管端板７（第
３図）は、整列ヘラドブに、ばね装置によってたわみ可
能に取付けられており、とのようにして、炉端板７が、
炉管ｔの端部に対して位置決めされ、押圧されることを
可能としている。このことは、ばね負荷されたガラス状
のケイ素スリーブ、又は、ブシュコクによって達成され
るが、このスリーブコアは、端板７を、ガラス状のシリ
カ支持棒コｔの７ランジを設けられたヘッドコｔに対し
て強固に押圧するが、支持棒コアは、端板７の中の開口
を通過しており、また、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオル
エチレン）製のスリーブ３／の内部に含まれているガラ
ス状のシリカブシュコア及びばね３Ｑの中心を通過し、
最終的に、割り支持ブロック３コの中にクランプされて
おり、また、このブロック３コは、取付は板３Ｊを介し
て主ハウジング円板、すなわち、本実施例においては、
炉管ｔに面している円板１６に取付けられている。

このようにして、前記炉端板７は、それ自体、偏平に炉
管ｇの端部に対して整列することができ、また、装置が
処理のために炉の中に差し込まれた時に、モータ駆動機
構の過走行の公差を許し、また、炉管端部のわずかな誤
整列を許すようにする。割り支持ブロック取付は板３３
は、位置的な精度を可能とするために、溝付きの穴を有
している穴（図示されていない）を設けられている。主
ハウジング円板／Ｉ、、／７のそれぞれは、ねじ穴を設
けられ、割り支持ブロック３コが、適当であるように、
各端部に取付けられることを可能とさせる。

管ノコ及び／ｊ＋が通過することが可能であるように穴
あけされている熱シールド３ダが、研磨されたステンレ
ス鋼のような反射第４料から作られており、整列ヘラド
ブと炉端板７との間、特に、割り支持ブロック３コとＰ
ＴＦＥスリーブ３ノとの間に置かれており、炉から輻射
された熱及びガラス状のシリカ管に沿って伝導される熱
が、プラスチック材料、典型的には、ポリプロピレンか
ら作られ九いる主ハウジング管ノロが、損傷することを
阻止している。

焼結されたアルミナ管／＆は、ガラス状のシリカのさや
／ｆの朝顔形の開放端部から突出し、熱シー、ルビ３ダ
並びに２個の主ハウジング円板／６及び１７をも通過し
、そこでそれらの管／Ｓは、所定位置においてソケット
状の頭部を有している止めねじコ３によってクランプさ
れる。炉端板りは、消費されたガスのための排出管３６
を設けられている。

第弘図は、第１〜３図の支持管／及び−の推奨構造を示
すものである。

炉管ざの外部において、装置の中へマガジンに荷積みす
るという要求の結果として、これらの支持管／、コは、
必然的に、ある延長された長さを有しているが、単に前
方部分だけが炉管ｔの中に正に運動をし、後方部分は炉
管ｇの外部に残る。

本発明装置に対して適当な材料・め延伸された長さは、
極端に高価であり、その上、この延伸された長さは、支
持された端部から、支持されていない端部まで、荷重を
負担する強さの減少それ故、好適には、各管ｌ、コは、
多数の部分から作られたインサートを有しているガラス
状の７リカさやから成立ち、これらの部分が、一方を他
方の内部に入れ予成に差し込みとい、より大きな直径を
有している完全な部材が、クランプ装置、又は、整列ヘ
ッド！の中に保持されるようにすることが望ましい。

一般的には、９７個の前部インサート部分及び後部イン
サート部分が設けられることが必要であるが、しかしな
がら、若しも、希望されるならば、１個又はそれ以上の
中間部分が設けられても良い。

次ぎ罠、第を図を参照する。図には、第１〜３図のマガ
ジン支持管／、−の一つの炉管端板・７に関する縦断面
図が尽されている。便宜上、支持管ｌが選択されて秦１
．．されている。

各管の前端部は、非常な高温度、例えば、ｔ３００ｃ以
上に耐えることが要求されるが、後端部“は、このよう
な高温度は受けない。全体の管は、第９図に示されるよ
うに、コ個の部分、ず・なわち、前部部分及び後部部分
に分割されている。前部部分は、棒３６から成立ち、後
部部分は、以上に述べられたように、管／、１から成立
っている。

若しも、希望されるならば、前部部分３４１′！。

その前端部が開放、又は、閉塞された管であつＣも良い
。棒、又は、管Ｊ６の管／Ｓの中への差し入みの程度は
、全部拐の直線状の完全性を保持するのに十分であるこ
と、例えば、各前部部分の長さがｌ！ｒ００ｍである場
合には、差し込み量はｓｏｏｔｍであって良い。前部部
分及び後部部分は、上述のように外部さや／’ｉｌＬを
設けられている。このさや／４（の前端部は、処理管か
らの処理ガスの搬送を阻止するように、試験管の様式で
閉塞されている。後端部は、Ｊｊのように朝顔形どされ
る。

伴われる強力な熱のために、前部及び稜部のインサート
は、耐熱性でなければならず、これによって、非対称的
な熱膨張が伴われないようにする。

それ故、構造物の中に、整列ヘッドの過熱を防止するた
めに、熱障壁とし上杵用をするように、低熱伝導率を有
している拐料を含むことが望ましい。

インサートのための適当な材料は、膨化ケイ素、焼結ア
ルミナ又は単結晶又は多結晶ケイ素であり、さやｉａは
、ガラス状のシリカであることが分かった。ガラス状シ
リカは、非常圧大きくは膨張しないので、さや／４ｉの
内径は、インサートの外径よりも、わずかにより大きく
作られ、これによって、インサートが熱の下に膨張した
時に、さや／ダが割れないようにする。

ガラス状のシリカは、半導体工業において使用される微
量の添加物による汚染に対して比較的に不活性であり、
ウェファを支持体の利料かもの放射物から保誇をする。

比較的に短い部分がインサートのために使用され、各合
成管の延伸された長さを埋合わせているので、この方式
の価格は、各部側がＲ／個の長さである方式に比べて著
しく減少される。

なぜならば、考えられている材料は、一層高価であり、
長さが足りないからである。

その上、種々の管が整列ヘッドの中において゛　　片持
ち状に支持されているので、この構造かへ個りのインサ
ートの位置の入れ子穴の性質力（部側の外部寸法が前部
から後部へ段階的に増加μこれが組立体を強固にし、こ
のようにして、組立体は大きなウェファ荷重を支持する
ことを意味するので、追加の利点があることは理解され
るところである。

好適には、全部の管の前端部だけが、炉の処理管ｔの中
に移動しなければならないだけであるので、前端部だけ
が高価な耐熱材料から作られ、後端部が比較的に高価で
はない側斜から作られることによって、費用が節減され
る。なぜならば、後端部は前端部ａ３４）うには高温度
に耐えなければならないことがないからである。

それ故、この観点から、前端部のインサートは、好適に
は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）であり、後端部は焼結アルミ
ナ（Ａ４０ｇ　）であることが望ましい。

しかしながら、使用される材料は、応用に依存するもの
であり、上に引用された材料は、単に、例に過ぎないも
のであることを理解されたい。明らかに、同じ、又は、
異なった環境の要求に耐え得る他の材料も、任意に選択
されることができ、例えば、単結晶又は多結晶のケイ素
が、上述の材料の一つとして、特に、前部インサートと
して使用されることもできる。その上焼結アルミナが、
任意の形式の非焼結アルミニウム酸イｒ物によって置換
えられることもできる。

第３及び６図は、第三の管が、構造物を強固にするため
に使用されている第二実施例を示すものである。

第Ｓ図は、／対のマガジン負担支持管ｉｏｉ。

、：″）（。

）０コから成立ち−１これらの管の上に連結板ｌＯ３が
置かれ、管ｌＯｌ、ｌｏ、２　を間隔を置かれた関係に
維持するように配置され、また、前記管／θ／、／θコ
は、マガジン／θダを負担しており、また、マガジンｉ
ｏｗは、第１図におけるように、シリコン・ウェファ円
板りを受けるようになっている完全な組立体を示してい
る。

処理のために荷積みされたマガジンがその中に差し込ま
れる処理管１０Ｊかも離れている管ノ０／、１０コの端
部には、整列ヘッドの形状のクランプ装置１０＆が設け
られており、この整列ヘッド１０１．は、モータ手段（
図示されていなに）によって連結されており、全組立体
が第１図の軌道／／と同様の軌道に沿って輸送されるこ
とができるようにするが、しかしながら、第Ｓ図におい
ては見えていない。管１０１．１０ハ九片持ち状に保持
され、また、一端部だけがら支持されており、これによ
って、処理管ｌｏｓ。

中に輸送されるべきその全体の長さが、その壁に接触し
ないようにするう 異なった寸法のマガジン１０４！が、同じ支持管ノＯ／
及びノθコの上に使用されることができるために、管の
周辺間隔は、第６図に示された分割された組立体によっ
て変えられることができるが、その輪’＋Ｔは第Ｓ図に
比べて保存されている。７対の間隔を置かれた円板１０
１．１０９はセグメント板／１０．　／／／、　／／コ
及び／／３を設けられており、その固定位置は、／／４
１゜ｌ／Ｓ及びノ／Ａ、／／７によって示されたビン及
びスロット機構によって、調節可能となっている。一方
の管、例えば、図示されるように管７・１０／は、セグ
メント板の組を通過しており、また、ビンを緩めること
によって、セグメント板が各円板の回りを周辺方向に動
がされ、管ｌθノの横方向の間隔が、円板を直接的に通
過している相対的に固定されている他の管、例えば、ｌ
Ｏコに関して、要求されるとおりに変えられることがで
きることは、全く明らかなところである。

円板及びセグメント板の全体の組立体は、プラットホー
ム／／１の上に取付けられるが、このプラットホーム／
／ｇは、モータ駆動装置に連結され且つその一部を形成
している。しかしながら、本発明は、このことＫは、特
に関するものではなく、このようにし【、任意の形状を
取ることができる。

装置を完成するために、第三の管がｉｉｑによって示さ
れるように設けられており、構造物を強固にしている。

この管７／ｑは、また、処理の制御を助けるために１個
又はそれ以上の熱電対を有することもできる。この場合
にも、熱電対は、当業界においては公知であり且つ任意
の希望される形状を取ることができるので、示されてい
ない。前部のガス拡散そらせ板が、／２０によって示さ
れており、また、平面の背部のそらせ板が、／λノによ
って示されていも端板ｌココは、処理管１０にへ導入す
るために、内向された形式の端部閉塞子ｌコ３及び消費
ガスのための排出管／Ｊ’ｌを有することもできる。若
しも、要求されるならば、熱障壁／、Ｉ！ｒが設けられ
木が、これは、ばねｌコ＆、／コアに対する接触板を形
成しており、ま□′：たｊ、、これらのばねはそらせ管
ノコ＆、／Ｊ？によって圧縮されるが、それの管を管１
０／、　１０コ及び／／９が通過しており、整列ヘッド
１０１．から突出している。この配置は、荷積み装置の
炉管の端部に対する漏れのないシールを可能とさせる。

管組立体の水平方向の調節を与えるために、プラットホ
ームｉｉｔは、■字形＼のくぼみＩＪＯを設けられてお
り、これによって、プラットホーム／Ｉざは、棒／Ｊ／
の上に取付けられる。梓／Ｊ／は、プラットホームノ３
コ（第Ｓ図）の上に横たわっているが、このプラットホ
ーム１３コは、モータ手段に連結されており、このよう
にして、組立体の被駆動部材を構成している。

Ｎ１節装置（図示されていない）がプラットホーム／／
ｇの各端部に設けられており、プラットホームを調節さ
れた位置に確保する。これらの調節装置は、揺動可能な
間隔法めねじの形状を取っても良い。

′１１゜ カバー／、？、？が組立体のために設けられており、そ
の後端部を熱電対接続／ＪＱが通過している。

管１０ノ、ｌＯコ及び／ツタは、ガラス状シリカ又は、
他の適当な炉温に耐えることができ且つ図示されるよう
に装置の全長を延びている利料から作られることもでき
る。しかしながら、好適には、これらの管は、第７図に
説明されたように、別個の要素から作られることが望ま
しい。

モータ装置は、若しも、必要であるならば、又は、望ま
しいことが発見されたならば、コンピュータ制御とされ
ることもできる。

上に説明された実施例は、炉管に沿うガスの流れに対し
て開放構造物を現わしており、ウェファに対してそれら
の開放されたマガジンの中においてガスの容易な近付き
を、材料の妨害及び処理管の端部に対して背圧の生成な
しに与える。支持管の重量は最少であり、従って、非常
圧小さな熱容量を与える。この構造のために、組立体の
輪１では非常に低く、その結釆、炉管の直径は最小に保
持されることができ、処理されつつある実際のウェファ
の直径よりも、非常にはより大きい必要はない。この処
理管の寸法の減少は、運転費用に適度な経済をもたらす
。なぜならば、明らかに、処理のために必要な熱エネル
ギーの費用は最少であり、回復時間は低いからである。

その上、この構造は丈夫であり、整列ヘッドの構成は、
管状支持体の排列が炉管の内部において最善に調節さ第
５ることを可能とする。更に個々の管は、交換又は−新
のために即座に交換可能であり、極だ、個々に調節自在
であり、炉管を間に何らの損失も無く、炉管の軸に沿う
有効な作業空間の損失は最少である。

【図面の簡単な説明】

第７図は、本発明の７実施例の斜視図、第一図は第２図
の装置に対する整列ヘッドの詳細を保護カバーを除去し
て示す拡大図、第３図は、第２図の装置の炉管及び閉塞
、子板の拡大図、第Ｖ図は、マガジン支持管を第１図よ
り（工大尺度であるが、第二及び３図におけるよりもよ
り小尺度で示す詳細図、第Ｓ図は、本発明の第二実施例
を示すｑ［親図、第６図は第７図の装備に使用するため
の整列ヘッドの詳細図である。 ゛Ｖノ、コ、１０／、１０コ・・・支持部月、Ｊ・・・
連結板ダ・・・マカシン、ｇ・・・処理管；り、ノｏ６
・・・クランプ装置；／３．ＪＡ・・・インサート；／
Ａ、　　／７・・・主ハウジング円板；コｏ・・・主ク
ランプ・ブロック１．２　Ｋ　・・−ねじ手段；　／１
０．　／／／、　／／、２．／１３・・・セグメント板
−／／？・・・強化管。 第１頁の続き 優先権主張　９１９８２年８月２６日■イギリス（ＧＢ
）■８２２４５４６ ＠１９８３年２月９日■イギリス （ＧＢ）■８３０３５９２ ＠１９８３年２月９日■イギリス （ＧＢ）［有］８３０３５９６ ０発　明　者　グレアム・ニドワード・コリア英国チャ
ーライ・オターショウ ・スレイド・ロード４ ２０５−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ　マガジン（りの中のシリコン・ウェファφ）を炉又
   は拡散炉の処理管（ｔ）の中に導入するための装置にお
   いて、荷積みされたマガジン（りに対する支持部材を構
   成するために処理管（ｔ）に隣接する端部において閉塞
   されている２個又はそれ以上の間隔を置か庇たシリカ管
   （／、コ）と、処理管（ｔ）から離れ【いる端部によっ
   て片持ち状に前記支持部材（ｌ、コ）を保持し、支持す
   るためのクランプ装置（デ）と、前記支持部材（／、コ
   ）をその上の荷積みされたマガジン（りと共に処理管０
   ＞の中に及び処理管（ｔ）からほぼ水平方向に次ぎのよ
   うに、すなわち、前記マガジン（り及びそれらの支持部
   側（’ｓコ）が、荷積み処理及び荷卸し作業の間ずつと
   完全に懸垂されたままであり、これによってそのどの部
   分も処理管（ｔ）の内壁と接触しないように動かすため
   に前記支持部材（”ｔコ）を動かすために前記り２ンプ
   装置＜１＞と協同されるモータ装置とから成立っている
   ことを特徴とする装置。 ユ　シリカ管（ｌ、コ）が、連結板（３）によって間隔
   を置かれた関係に保持され、また、この連結板（３）を
   前記シリカ管（）、コ）七〇貫通している特許請求の範
   囲第７項記載の装置０ ３、　各支持部材（／、コ）が、少なくとも２個のイン
   サー）　（ＪＡ、／ｊ）によって補強されており、これ
   らのインサー）　（ｊＡ、　／、ｔ）は、入れ予成に一
   方が他方の内部に相互にはまっており、より大きな寸法
   を有している完全な部材の端部が、前記クランプ装置（
   ９）の中に保持されている特許請求の範囲第７又は−項
   記載の装置０侶　各前記インサー）　（ＪＡ、／！ｒ）
   の前部部分（３６）が棒である特許請求の範囲第３項記
   載の装置０よ　各前記インサート（、ｙａ、ｌｔ）が、
   炭化ケイ素、単結晶ケイ素、多結晶ケイ素、及びアルミ
   ニラム酸化物から成る群から選択された材料から作られ
   ている特許請求の範囲第３又はｑ現記１の装置。 ム　各前記インサー）　（、？Ａ、　＃）の内の前部イ
   ンサー）　（ＪＡ）が、その後部インサー）　（＃）と
   は異なった材料から作られている特許請求の範囲第Ｊ、
   ！又はＳ項記載の装置。 ２　前記各インサー）　（３４，Ｉｔ）の内の前部イン
   サー）　（ＪＡ）が、炭化ケイ素から作られ、その後部
   インサート（／Ｓ）がアルミニウム酸化物から作られて
   いる特許請求の範囲第６項記載の装置。 ＆　前記後部インサー）　（／ｊ）が、焼結アルミナか
   ら作られている特許請求の範囲第７項記載の装置。 デ　強化させる管（／／デンが、−個の前記支持管（ｌ
   Ｏ〕、７０．２）“゛の間に設けられており、前記支持
   １１： 管（１０／、　１０コ）及び前記−花させる管（／／？
   ）が、一端部によつ【前記クランプ装置（１０ｂ）の中
   に取付けられている特許請求の範囲第７現記／ａ　前記
   クランプ装置（？）が、主クランプ・ブロック（コのに
   調節自在にクランプされたコ個の主ハウジング円板（〕
   Ａ、／７）から成立っており、前記主ハウジング円板（
   ＪＡ、　／？）を平行関係に保持しており、また、前記
   主ノ・ウジング円板（ＪＡ、／り）は、前記支持管（ｌ
   Ｏ）、ｔｏｉ）がそれを通過することを許すように穴あ
   けされており、更に、前記支持管（ｔｏｉ、　ｔｏｉ）
   は前記主ハウジング円板（Ｈ，、／り）を通過している
   ねじ手段（，２！りによって所定位置に鎖錠されるよう
   になっている特許請求の範囲第１項記載の装置。 ／ｌ　前記クランプ装置（テ）が、ｌ対の間隔を置かれ
   た円板（１０１，１０９）から成立っており、各円板（
   ｔｏｙ、　ｉｏり）は、セグメント板（／　／　０．ノ
   ノノ。 ／／コ、１１３）を設けられており、また、その周１１
   １１：、を 辺方向の位置は調節自在であると共にそれらの板を貫い
   て前記支持管の一方（）Ｏノ）が通っており、この前記
   一方の支持管（１０υの周辺方向の位置は、ピン及びス
   ロット［１（／／４’ｔｔｉｓ、　／／Ａ、　／／７　
   ）によって調節自在となっており、また、各機構は、前
   記セグメント板のそれぞれを前記間隔を置かれた円板の
   その協同される一つに連結しており、更に１強化するた
   めの管（／／？）も前記間隔を置かれた円板を通過して
   いる特許請求の範囲第１項記載の装置。