JPS6120319A - 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 - Google Patents
石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具Info
- Publication number
- JPS6120319A JPS6120319A JP14161484A JP14161484A JPS6120319A JP S6120319 A JPS6120319 A JP S6120319A JP 14161484 A JP14161484 A JP 14161484A JP 14161484 A JP14161484 A JP 14161484A JP S6120319 A JPS6120319 A JP S6120319A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer boat
- wafer
- length
- supporting part
- thick
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は半導体ウェハを載置したウェハボートを炉芯管
へ出し入れする際に用いるソフトランディング方式の6
芙ガラス製つェハポート搬送治qの改良1こ関する。
へ出し入れする際に用いるソフトランディング方式の6
芙ガラス製つェハポート搬送治qの改良1こ関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
半導体ウェハを載置したウェハボートを炉芯管へ出し入
れする際には管状又は棒状の耐熱材料の一端部に切欠部
を設けてウェハボート保持部を形成したウェハボート搬
送治具が用いられる。従来、この種のウェハボート搬送
治具は純度的な観くから石英ガラス材質のものが主体で
ある。
れする際には管状又は棒状の耐熱材料の一端部に切欠部
を設けてウェハボート保持部を形成したウェハボート搬
送治具が用いられる。従来、この種のウェハボート搬送
治具は純度的な観くから石英ガラス材質のものが主体で
ある。
ところが、石英ガラス製の搬送治具では使用時に一端の
ウェハボート保持部を高温の炉内に挿入し、他端を室温
で固定支持した状態で搬送治具内に温度勾配が発生する
と、この@度勾配によって搬送治具内に熱的応力が発生
し、それが残留応力として材質の機械的強度を低下させ
る。このため、従来の石英ガラス製ウェハボート搬送治
具は折れたり、曲がったりする欠もがあった。この折れ
壱曲がりは、特に曲げモーメントが最も大きくなる部分
で発生し易い。
ウェハボート保持部を高温の炉内に挿入し、他端を室温
で固定支持した状態で搬送治具内に温度勾配が発生する
と、この@度勾配によって搬送治具内に熱的応力が発生
し、それが残留応力として材質の機械的強度を低下させ
る。このため、従来の石英ガラス製ウェハボート搬送治
具は折れたり、曲がったりする欠もがあった。この折れ
壱曲がりは、特に曲げモーメントが最も大きくなる部分
で発生し易い。
このような欠点を解消するために石英ガラス製ウェハボ
ート搬送治具全体を厚くすることが考えられるが、この
ようにすると搬送治具の自重で鵡変ダ′が起り易くなる
。
ート搬送治具全体を厚くすることが考えられるが、この
ようにすると搬送治具の自重で鵡変ダ′が起り易くなる
。
[発明の目的〕
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、機械的
強度の大きな石英ガラス製つェハポートtx送治其を提
供しようとするものである。
強度の大きな石英ガラス製つェハポートtx送治其を提
供しようとするものである。
[発明の概要]
本発明の石英ガラス製ウェハボート搬送治具は、ウェハ
ボート保持部の最も曲げモーメントが大きくなる部分及
びその近傍を他の部分より肉厚にしたことを特徴とする
ものである。
ボート保持部の最も曲げモーメントが大きくなる部分及
びその近傍を他の部分より肉厚にしたことを特徴とする
ものである。
このような石英ガラス製ウェハボート搬送治具によれば
、ウェハボート保持部の折れや曲がりを防止することが
でき、しかもウェハボート保持部の先端のたわみを減少
することができる。
、ウェハボート保持部の折れや曲がりを防止することが
でき、しかもウェハボート保持部の先端のたわみを減少
することができる。
なお、未発明の石英ガラス製つェハポートa送冶具にお
いて、肉厚部の長さはウェハ保持部の全長の1/4〜1
/2であることが望ましい。
いて、肉厚部の長さはウェハ保持部の全長の1/4〜1
/2であることが望ましい。
[発明の実施例]
以下、本発明の実施例を第1図及び第2図を参照して説
明する。
明する。
W″1図は本発明に係る石英ガラス製つェ/・ポート搬
送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面
図、第2図は平面図である。
送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面
図、第2図は平面図である。
第1図及び第2図において、搬送治具本体1は全体が管
状であり、その先端部に縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部を設けてウェハボート保持部2が形成され
ている。このウェハボート保持部2の最も曲げモーメン
トが大きくなる部分A(縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部の円弧と直線の境界)及びその近傍には肉
厚部3が形成されている。上記ウェハボート搬送治具の
各部分の肉厚は、例えば本体1の部分が4.51、ウェ
ハボート保持部2の先端部が4.5mm 、肉厚部3が
7.5mmとなっている。なお、肉厚部3は例えば肉盛
り、肉だめ、溶接等で形成することができる。また、肉
厚部3の長さはウェハボート保持部2の全長の約1/4
〜1/2に設定され、最大曲げモーメントが生じる部分
A近傍から先端側に向かって設けられている。
状であり、その先端部に縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部を設けてウェハボート保持部2が形成され
ている。このウェハボート保持部2の最も曲げモーメン
トが大きくなる部分A(縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部の円弧と直線の境界)及びその近傍には肉
厚部3が形成されている。上記ウェハボート搬送治具の
各部分の肉厚は、例えば本体1の部分が4.51、ウェ
ハボート保持部2の先端部が4.5mm 、肉厚部3が
7.5mmとなっている。なお、肉厚部3は例えば肉盛
り、肉だめ、溶接等で形成することができる。また、肉
厚部3の長さはウェハボート保持部2の全長の約1/4
〜1/2に設定され、最大曲げモーメントが生じる部分
A近傍から先端側に向かって設けられている。
上記石英ガラス製ウェハボート搬送治具の搬送治具本体
lの基端部は従来のものと同様であり、図示しない搬送
装置の所定の位置に固定される。
lの基端部は従来のものと同様であり、図示しない搬送
装置の所定の位置に固定される。
また、ウェハボート保持部2Fに半導体ウェハホードを
載せて搬送し、炉芯管へ出し入れを行なう。
載せて搬送し、炉芯管へ出し入れを行なう。
しかして上記石英カラス製ウェハボート搬送治具によれ
ば ウェハボート保持部2の最も曲げモーメントが大き
くなる部分及びその近傍を他の部分より肉厚にしている
ので、ウェハボート保持部2の折れや曲がりを防止する
ことができ、しかもウェハボート保持部2の先端のたわ
みを減少することができる。
ば ウェハボート保持部2の最も曲げモーメントが大き
くなる部分及びその近傍を他の部分より肉厚にしている
ので、ウェハボート保持部2の折れや曲がりを防止する
ことができ、しかもウェハボート保持部2の先端のたわ
みを減少することができる。
また、第3図及び第4図を参照して肉厚部3の長さとウ
ェハボート保持部2の変形との関係について詳細に説明
する。
ェハボート保持部2の変形との関係について詳細に説明
する。
第3図はウェハボート保持部の全長に対する肉厚部の長
さとウェハボート保持部の曲げ応力との関係を>7<す
線図である。第3図から明らかなようにウェハボート保
持部の全長に対する肉厚部の長さの割合が1/4〜lの
範囲では1曲げ応力は小さぐ゛なりいる。特に、肉厚部
3の長さがウェハボート保持部の全長に対して約174
〜1/2の範囲では曲げ応力が非常に小さくなっている
。ただし、肉厚部3の長さがウェハボート保持部の全長
に対して約1/4未満になると1曲げ応力は緩やかに増
加していく。
さとウェハボート保持部の曲げ応力との関係を>7<す
線図である。第3図から明らかなようにウェハボート保
持部の全長に対する肉厚部の長さの割合が1/4〜lの
範囲では1曲げ応力は小さぐ゛なりいる。特に、肉厚部
3の長さがウェハボート保持部の全長に対して約174
〜1/2の範囲では曲げ応力が非常に小さくなっている
。ただし、肉厚部3の長さがウェハボート保持部の全長
に対して約1/4未満になると1曲げ応力は緩やかに増
加していく。
また、PliJ4図はウェハボート保持部の全長に対す
る肉厚部の長さとウェハボート保持部の先端に6kgの
荷重をかけた場合のたわみ眉との関係を示す線図である
。第4図から明らかなようにウェハボート保持部の全長
に★1する肉厚部の長さが約1/4〜l/2まではたわ
み量が徐々に減少しているが、ウェハボート保持部の全
長に対する肉厚部の長さが約1/2を超えると、肉厚部
3の自重によりたわみ量が再び増加している。
る肉厚部の長さとウェハボート保持部の先端に6kgの
荷重をかけた場合のたわみ眉との関係を示す線図である
。第4図から明らかなようにウェハボート保持部の全長
に★1する肉厚部の長さが約1/4〜l/2まではたわ
み量が徐々に減少しているが、ウェハボート保持部の全
長に対する肉厚部の長さが約1/2を超えると、肉厚部
3の自重によりたわみ量が再び増加している。
したがって、第3図及び第4図からウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さの割合を1/4〜l/2に
設定した場合に、ウェハボート保持部2の曲げ現象に対
して最も効果的に対処することができると考えられる。
の全長に対する肉厚部の長さの割合を1/4〜l/2に
設定した場合に、ウェハボート保持部2の曲げ現象に対
して最も効果的に対処することができると考えられる。
事実、肉厚部3の長さが短い場合には、肉厚部3を設け
たウェハボート保持部20部分は強度が増加するが、肉
厚部3より先端側の強度は変わらないため、肉厚部3の
先端近傍でウェハボート保持部2が折れたり曲がったり
することが避けられなかった。
たウェハボート保持部20部分は強度が増加するが、肉
厚部3より先端側の強度は変わらないため、肉厚部3の
先端近傍でウェハボート保持部2が折れたり曲がったり
することが避けられなかった。
また、ウェハ保持部2の全長にわたって肉厚部3を設け
た場合には、肉厚部3の自重が作用してウェハボート保
持部2の先端のたわみ量が大きくなり、〜エバボートの
搬送に問題が生じることがあった。
た場合には、肉厚部3の自重が作用してウェハボート保
持部2の先端のたわみ量が大きくなり、〜エバボートの
搬送に問題が生じることがあった。
これに対してウェハボート保持部2の全長に対する肉厚
部3の長さの割合をl/4〜1/2にした場合には1.
5倍以上の強度が得られ、ウェハホード保持部2の先端
のたわみ量も少なかった。
部3の長さの割合をl/4〜1/2にした場合には1.
5倍以上の強度が得られ、ウェハホード保持部2の先端
のたわみ量も少なかった。
[発明の効果]
以ト詳述した如く本発明の石英ガラス製ウェハボート搬
送治具によれば、リエハポート保持部の折れや曲がりを
防止することができ、しかもウェハボート保持部の先端
のたわみを減少することができる等顕著な効果を奏する
ものである。
送治具によれば、リエハポート保持部の折れや曲がりを
防止することができ、しかもウェハボート保持部の先端
のたわみを減少することができる等顕著な効果を奏する
ものである。
第1図は本発明に係る石英ガラス製つニノ\ポート搬送
治具のウェハボート保持部近傍を−・部断面で示す側面
図、第2図は同搬送治其の平面図、第3図はウェハボー
ト保持部の全長に対する肉厚部の長さとウェハボート保
持部の曲げ応力との関係を示す線図、第4図はウェハボ
ート保持部の全長に対する肉厚部の長さとウェハホ−ド
保持部の先端に6kgの荷重をかけた場合のたわみ量と
の関係を示す線図である。 1・・・搬送治具本体、2・・・ウェハボート保持部。 3・・・肉厚部。
治具のウェハボート保持部近傍を−・部断面で示す側面
図、第2図は同搬送治其の平面図、第3図はウェハボー
ト保持部の全長に対する肉厚部の長さとウェハボート保
持部の曲げ応力との関係を示す線図、第4図はウェハボ
ート保持部の全長に対する肉厚部の長さとウェハホ−ド
保持部の先端に6kgの荷重をかけた場合のたわみ量と
の関係を示す線図である。 1・・・搬送治具本体、2・・・ウェハボート保持部。 3・・・肉厚部。
Claims (2)
- (1)管状又は棒状の石英ガラスの一端部に縦断面形状
が円弧状及び直線状をなす切欠部を設けてウェハボート
保持部を形成した石英ガラス製ウェハボート搬送治具に
おいて、前記ウェハボート保持部の最も曲げモーメント
が大きくなる部分及びその近傍を他の部分より肉厚にし
たことを特徴とする石英ガラス製ウェハボート搬送治具
。 - (2)肉厚部の長さがウェハボート保持部の全長の1/
4〜1/2である特許請求の範囲第1項記載の石英ガラ
ス製ウェハボート搬送治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59141614A JPH0612760B2 (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59141614A JPH0612760B2 (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6314277A Division JP2724972B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 |
JP6314286A Division JP2610232B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6120319A true JPS6120319A (ja) | 1986-01-29 |
JPH0612760B2 JPH0612760B2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=15296124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59141614A Expired - Lifetime JPH0612760B2 (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0612760B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01187811A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Tel Sagami Ltd | ソフトランディング装置用搬送治具およびソフトランディング装置 |
JPH01251713A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
JPH01171027U (ja) * | 1988-05-24 | 1989-12-04 | ||
JPH07169707A (ja) * | 1994-11-25 | 1995-07-04 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
JPH08335559A (ja) * | 1996-06-28 | 1996-12-17 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
US11203188B2 (en) | 2016-02-12 | 2021-12-21 | Ampacet Corporation | Multilayered polymeric film |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5636129A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Hitachi Ltd | Method and device for heat treatment of semiconductor thin plate |
JPS58212146A (ja) * | 1982-04-29 | 1983-12-09 | ヘレウス・クアルツシユメルツエ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクタ−・ハフツング | マガジン内のシリコン・ウエフアを炉内へ導入するための装置 |
-
1984
- 1984-07-09 JP JP59141614A patent/JPH0612760B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5636129A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Hitachi Ltd | Method and device for heat treatment of semiconductor thin plate |
JPS58212146A (ja) * | 1982-04-29 | 1983-12-09 | ヘレウス・クアルツシユメルツエ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクタ−・ハフツング | マガジン内のシリコン・ウエフアを炉内へ導入するための装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01187811A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Tel Sagami Ltd | ソフトランディング装置用搬送治具およびソフトランディング装置 |
JPH01251713A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
JPH01171027U (ja) * | 1988-05-24 | 1989-12-04 | ||
JPH07169707A (ja) * | 1994-11-25 | 1995-07-04 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
JPH08335559A (ja) * | 1996-06-28 | 1996-12-17 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
JP2777791B2 (ja) * | 1996-06-28 | 1998-07-23 | 東芝セラミックス株式会社 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
US11203188B2 (en) | 2016-02-12 | 2021-12-21 | Ampacet Corporation | Multilayered polymeric film |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0612760B2 (ja) | 1994-02-16 |
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