JP2610232B2 - 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 - Google Patents
石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法Info
- Publication number
- JP2610232B2 JP2610232B2 JP6314286A JP31428694A JP2610232B2 JP 2610232 B2 JP2610232 B2 JP 2610232B2 JP 6314286 A JP6314286 A JP 6314286A JP 31428694 A JP31428694 A JP 31428694A JP 2610232 B2 JP2610232 B2 JP 2610232B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer boat
- holding portion
- quartz glass
- boat holding
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は石英ガラス製ウェハボー
ト搬送治具の製造方法に関する。
ト搬送治具の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハを載置したウェハボートを
炉芯管へ出し入れする際には管状又は棒状の耐熱材料の
一端部に切欠部を設けてウェハボート保持部を形成した
ウェハボート搬送治具が用いられる。従来、この種のウ
ェハボート搬送治具は純度的な観点から石英ガラス材質
のものが主体である。
炉芯管へ出し入れする際には管状又は棒状の耐熱材料の
一端部に切欠部を設けてウェハボート保持部を形成した
ウェハボート搬送治具が用いられる。従来、この種のウ
ェハボート搬送治具は純度的な観点から石英ガラス材質
のものが主体である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、石英ガラス
製の搬送治具では使用時に一端のウェハボート保持部を
高温の炉内に挿入し、他端を室温で固定支持した状態で
搬送治具内に温度勾配が発生すると、この温度勾配によ
って搬送治具内に熱的応力が発生し、それが残留応力と
して材質の機械的強度を低下させる。このため、従来の
石英ガラス製ウェハボート搬送治具は折れたり、曲がっ
たりする欠点があった。この折れや曲がりは、特に曲げ
モーメントが最も大きくなる部分で発生し易い。
製の搬送治具では使用時に一端のウェハボート保持部を
高温の炉内に挿入し、他端を室温で固定支持した状態で
搬送治具内に温度勾配が発生すると、この温度勾配によ
って搬送治具内に熱的応力が発生し、それが残留応力と
して材質の機械的強度を低下させる。このため、従来の
石英ガラス製ウェハボート搬送治具は折れたり、曲がっ
たりする欠点があった。この折れや曲がりは、特に曲げ
モーメントが最も大きくなる部分で発生し易い。
【０００４】このような欠点を解消するために石英ガラ
ス製ウェハボート搬送治具全体を厚くすることが考えら
れるが、このようにすると搬送治具の自重で熱変形が起
り易くなる。
ス製ウェハボート搬送治具全体を厚くすることが考えら
れるが、このようにすると搬送治具の自重で熱変形が起
り易くなる。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、機械的強度の大きな石英ガラス製ウェハボート搬
送治具を提供しようとするものである。
あり、機械的強度の大きな石英ガラス製ウェハボート搬
送治具を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の石英ガラス製ウ
ェハボート搬送治具の製造方法は、管状の石英ガラスの
一端部に縦断面形状が円弧状及び直線状をなす切欠部を
設けてウェハボート保持部を形成する石英ガラス製ウェ
ハボート搬送治具の製造方法において、前記ウェハボー
ト保持部の最も曲げモーメントが大きくなる部分及びそ
の近傍をウェハボート保持部の全長の１／４〜１／２に
わたって肉だめ法によって他の部分よりも肉厚にするこ
とを特徴とする石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製
造方法である。
ェハボート搬送治具の製造方法は、管状の石英ガラスの
一端部に縦断面形状が円弧状及び直線状をなす切欠部を
設けてウェハボート保持部を形成する石英ガラス製ウェ
ハボート搬送治具の製造方法において、前記ウェハボー
ト保持部の最も曲げモーメントが大きくなる部分及びそ
の近傍をウェハボート保持部の全長の１／４〜１／２に
わたって肉だめ法によって他の部分よりも肉厚にするこ
とを特徴とする石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製
造方法である。
【０００７】
【作用】このような製造方法により製造された石英ガラ
ス製ウェハボート搬送治具は、ウェハボート保持部の折
れや曲がりを防止することができ、しかも、ウェハボー
ト保持部の先端のたわみを減少することができる。
ス製ウェハボート搬送治具は、ウェハボート保持部の折
れや曲がりを防止することができ、しかも、ウェハボー
ト保持部の先端のたわみを減少することができる。
【０００８】本発明において、肉厚部の長さをウェハボ
ート保持部の全長の１／４〜１／２としたのは、以下の
ような理由による。すなわち、肉厚部の長さがウェハボ
ート保持部の全長の１／４未満では曲げ応力が著しく大
きいうえ、たわみ量も大きくなる。一方、肉厚部の長さ
がウェハボート保持部の全長の１／２を超えると、肉厚
部の自重によりたわみ量が大きくなる。
ート保持部の全長の１／４〜１／２としたのは、以下の
ような理由による。すなわち、肉厚部の長さがウェハボ
ート保持部の全長の１／４未満では曲げ応力が著しく大
きいうえ、たわみ量も大きくなる。一方、肉厚部の長さ
がウェハボート保持部の全長の１／２を超えると、肉厚
部の自重によりたわみ量が大きくなる。
【０００９】とくに、肉だめ法により肉厚部分を形成す
ると、肉厚部分と他の部分が完全に一体のものとなり、
強度が大である。さらに、肉だめ法は、溶接法等に比較
して製造コストを低減しやすい。
ると、肉厚部分と他の部分が完全に一体のものとなり、
強度が大である。さらに、肉だめ法は、溶接法等に比較
して製造コストを低減しやすい。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を第１図及び第２図を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１１】第１図は本発明に係る石英ガラス製ウェハ
ボート搬送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で
示す側面図、第２図は平面図である。
ボート搬送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で
示す側面図、第２図は平面図である。
【００１２】第１図及び第２図において、搬送治具本体
１は全体が管状であり、その先端部に縦断面形状が円弧
状及び直線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部
２が形成されている。このウェハボート保持部２の最も
曲げモーメントが大きくなる部分Ａ（縦断面形状が円弧
状及び直線状をなす切欠部の円弧と直線の境界）および
その近傍には肉厚部３が形成されている。上記ウェハボ
ート搬送治具の各部分の肉厚は、たとえば本体１の部分
が４．５ｍｍ、ウェハボート保持部２の先端部が４．５
ｍｍ、肉厚部３が７．５ｍｍとなっている。
１は全体が管状であり、その先端部に縦断面形状が円弧
状及び直線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部
２が形成されている。このウェハボート保持部２の最も
曲げモーメントが大きくなる部分Ａ（縦断面形状が円弧
状及び直線状をなす切欠部の円弧と直線の境界）および
その近傍には肉厚部３が形成されている。上記ウェハボ
ート搬送治具の各部分の肉厚は、たとえば本体１の部分
が４．５ｍｍ、ウェハボート保持部２の先端部が４．５
ｍｍ、肉厚部３が７．５ｍｍとなっている。
【００１３】肉厚部３は、肉だめ法で形成する。
【００１４】また、肉厚部３の長さはウェハボート保持
部２の全長の約１／４〜１／２に設定され、最大曲げモ
ーメントが生じる部分Ａ近傍から先端側に向かって設け
られている。
部２の全長の約１／４〜１／２に設定され、最大曲げモ
ーメントが生じる部分Ａ近傍から先端側に向かって設け
られている。
【００１５】上記石英ガラス製ウェハボート搬送治具の
搬送治具本体１の基端部は従来のものと同様であり、図
示しない搬送装置の所定の位置に固定される。また、ウ
ェハボート保持部２上に半導体ウェハボートをのせて搬
送し、炉芯管へ出し入れを行なう。
搬送治具本体１の基端部は従来のものと同様であり、図
示しない搬送装置の所定の位置に固定される。また、ウ
ェハボート保持部２上に半導体ウェハボートをのせて搬
送し、炉芯管へ出し入れを行なう。
【００１６】しかして上記石英ガラス製ウェハボート搬
送治具によれば、ウェハボート保持部２の最も曲げモー
メントが大きくなる部分及びその近傍を他の部分より肉
厚にしているので、ウェハボート保持部２の折れや曲が
りを防止することができ、しかもウェハボート保持部２
の先端のたわみを減少することができる。
送治具によれば、ウェハボート保持部２の最も曲げモー
メントが大きくなる部分及びその近傍を他の部分より肉
厚にしているので、ウェハボート保持部２の折れや曲が
りを防止することができ、しかもウェハボート保持部２
の先端のたわみを減少することができる。
【００１７】また、第３図及び第４図を参照して肉厚部
３の長さとウェハボート保持部２の変形との関係につい
て詳細に説明する。
３の長さとウェハボート保持部２の変形との関係につい
て詳細に説明する。
【００１８】第３図はウェハボート保持部の全長に対す
る肉厚部の長さとウェハボート保持部の曲げ応力との関
係を示す線図である。第３図から明らかなようにウェハ
ボート保持部の全長に対する肉厚部の長さの割合が１／
４〜１の範囲では、曲げ応力は小さくなっている。特
に、肉厚部３の長さがウェハボート保持部の全長に対し
て約１／４〜１／２の範囲では曲げ応力が非常に小さく
なっている。ただし、肉厚部３の長さがウェハボート保
持部の全長に対して約１／４未満になると、曲げ応力は
緩やかに増加している。
る肉厚部の長さとウェハボート保持部の曲げ応力との関
係を示す線図である。第３図から明らかなようにウェハ
ボート保持部の全長に対する肉厚部の長さの割合が１／
４〜１の範囲では、曲げ応力は小さくなっている。特
に、肉厚部３の長さがウェハボート保持部の全長に対し
て約１／４〜１／２の範囲では曲げ応力が非常に小さく
なっている。ただし、肉厚部３の長さがウェハボート保
持部の全長に対して約１／４未満になると、曲げ応力は
緩やかに増加している。
【００１９】また、第４図はウェハボート保持部の全長
に対する肉厚部の長さとウェハボート保持部の先端に６
ｋｇの荷重を欠けた場合のたわみ量との関係を示す線図
である。第４図から明らかなようにウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さが約１／４〜１／２までは
たわみ量が徐々に減少しているが、ウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さが約１／２をこえると、肉
厚部３の自重によりたわみ量が再び増加している。
に対する肉厚部の長さとウェハボート保持部の先端に６
ｋｇの荷重を欠けた場合のたわみ量との関係を示す線図
である。第４図から明らかなようにウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さが約１／４〜１／２までは
たわみ量が徐々に減少しているが、ウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さが約１／２をこえると、肉
厚部３の自重によりたわみ量が再び増加している。
【００２０】したがって、第３図及び第４図からウェハ
ボート保持部の全長に対する肉厚部の長さの割合を１／
４〜１／２に設定した場合に、ウェハボート保持部２の
曲げ現象に対して最も効果的に対処することができると
考えられる。事実、肉厚部３の長さが短い場合には、肉
厚部３を設けたウェハボート保持部２の部分は強度が増
加するが、肉厚部３より先端側の強度は変わらないた
め、肉厚部３の先端近傍でウェハボート保持部２が折れ
たり曲がったりすることが避けられなかった。
ボート保持部の全長に対する肉厚部の長さの割合を１／
４〜１／２に設定した場合に、ウェハボート保持部２の
曲げ現象に対して最も効果的に対処することができると
考えられる。事実、肉厚部３の長さが短い場合には、肉
厚部３を設けたウェハボート保持部２の部分は強度が増
加するが、肉厚部３より先端側の強度は変わらないた
め、肉厚部３の先端近傍でウェハボート保持部２が折れ
たり曲がったりすることが避けられなかった。
【００２１】また、ウェハ保持部２の全長にわたって肉
厚部３を設けた場合には、肉厚部３の自重が作用してウ
ェハボート保持部２の先端のたわみ量が大きくなり、ウ
ェハボートの搬送に問題が生じることがあった。
厚部３を設けた場合には、肉厚部３の自重が作用してウ
ェハボート保持部２の先端のたわみ量が大きくなり、ウ
ェハボートの搬送に問題が生じることがあった。
【００２２】これに対して、ウェハボート保持部２の全
長に対する肉厚部３の長さの割合を１／４〜１／２にし
た場合には１．５倍以上の強度が得られ、ウェハボート
保持部２の先端のたわみ量も少なかった。
長に対する肉厚部３の長さの割合を１／４〜１／２にし
た場合には１．５倍以上の強度が得られ、ウェハボート
保持部２の先端のたわみ量も少なかった。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述した如く本発明の石英ガラス製
のウェハボート搬送治具の製造方法によれば、強度が大
きくなり、ウェハボート保持部の折れや曲がりを防止す
ることができ、しかもウェハボート保持部の先端のたわ
みを減少することができる等顕著な効果を奏する。
のウェハボート搬送治具の製造方法によれば、強度が大
きくなり、ウェハボート保持部の折れや曲がりを防止す
ることができ、しかもウェハボート保持部の先端のたわ
みを減少することができる等顕著な効果を奏する。
【図１】本発明に係る石英ガラス製ウェハボート搬送治
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図。
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図。
【図２】図１の石英ガラス製ウェハボート搬送治具の平
面図。
面図。
【図３】ウェハボート保持部の全長に対する肉厚部の長
さとウェハボート保持部の曲げ応力との関係を示す線
図。
さとウェハボート保持部の曲げ応力との関係を示す線
図。
【図４】ウェハボート保持部の全長に対する肉厚部の長
さとウェハボート保持部の先端に６ｋｇの荷重をかけた
場合のたわみ量との関係を示す線図。
さとウェハボート保持部の先端に６ｋｇの荷重をかけた
場合のたわみ量との関係を示す線図。
１ 搬送治具本体 ２ ウェハボート保持部 ３ 肉厚部
フロントページの続き (72)発明者 熊倉 眞 山形県西置賜郡小国町大字小国町378番 地 東芝セラミックス株式会社 小国製 造所内 (56)参考文献 特公 平６−30349（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】 管状の石英ガラスの一端部に縦断面形状
が円弧状及び直線状をなす切欠部を設けてウェハボート
保持部を形成する石英ガラス製ウェハボート搬送治具の
製造方法において、前記ウェハボート保持部の最も曲げ
モーメントが大きくなる部分及びその近傍をウェハボー
ト保持部の全長の１／４〜１／２にわたって肉だめ法に
よって他の部分よりも肉厚にすることを特徴とする石英
ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6314286A JP2610232B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6314286A JP2610232B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59141614A Division JPH0612760B2 (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8187007A Division JP2777791B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07169708A JPH07169708A (ja) | 1995-07-04 |
| JP2610232B2 true JP2610232B2 (ja) | 1997-05-14 |
Family
ID=18051541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6314286A Expired - Fee Related JP2610232B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2610232B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63129264A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-06-01 | 株式会社豊田中央研究所 | 固気反応粉末の流動層式熱交換装置 |
| JP2703460B2 (ja) * | 1992-06-25 | 1998-01-26 | 三洋電機株式会社 | ディスククランプ装置 |
| JPH0630349A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Fujitsu General Ltd | ２画面表示テレビ受信機 |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP6314286A patent/JP2610232B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07169708A (ja) | 1995-07-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0129656B1 (ko) | 종형보트 및 그 제조방법 | |
| JP2610232B2 (ja) | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 | |
| JP2724972B2 (ja) | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 | |
| EP0924750A3 (en) | Thermal processing jig for use in manufacturing semiconductor devices and method of manufacturing the same | |
| JPH0612760B2 (ja) | 石英ガラス製ウェハボ−ト搬送治具 | |
| JP2777791B2 (ja) | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 | |
| JP2945661B1 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS60119715A (ja) | 石英ガラス製半導体ウエハ−ボ−ト搬送用具 | |
| JPH01131898A (ja) | アルミニウム製熱交換器 | |
| CN115307782A (zh) | 用于使用膨胀/收缩装置改进温度检测器的系统和方法 | |
| JPH01251713A (ja) | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 | |
| JP2702631B2 (ja) | 炉床開口カバー支持用部材 | |
| JP2553932B2 (ja) | ＳｉＣ質ウェーハ積載ボート | |
| JP2568209B2 (ja) | 半導体処理用カンチレバ− | |
| JP2002292426A (ja) | コイル形状保持治具およびコイルの変形防止方法 | |
| JPH01734A (ja) | ウエーハ搬送用治具 | |
| JPS59200431A (ja) | ウエハ−ボ−ト搬送用具 | |
| JP2640691B2 (ja) | 半導体ウェーハ搬送用治具 | |
| JPH06169010A (ja) | 縦型ボート及びその製造方法 | |
| JP3323803B2 (ja) | 高温鋼材の搬送用ピンチロール | |
| JPS6221001Y2 (ja) | ||
| JP2599005Y2 (ja) | ウェーハ支持ボート | |
| JPH051223U (ja) | 管型炉のウエハ熱処理用治具 | |
| JPH0539827Y2 (ja) | ||
| JP2001158572A (ja) | 線材巻取ボビン |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |