JPH08335559A - 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 - Google Patents
石英ガラス製ウェハボート搬送治具Info
- Publication number
- JPH08335559A JPH08335559A JP18700796A JP18700796A JPH08335559A JP H08335559 A JPH08335559 A JP H08335559A JP 18700796 A JP18700796 A JP 18700796A JP 18700796 A JP18700796 A JP 18700796A JP H08335559 A JPH08335559 A JP H08335559A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer boat
- holding portion
- board holding
- wafer
- quartz glass
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 機械的強度の大きな石英ガラス製ウェハボー
ト搬送治具を提供。 【解決手段】 半導体ウェハを載置したウェハボートを
炉芯管へ出し入れする際に用いるソフトランディング方
式の石英ガラス製ウェハボート搬送治具において、管状
の石英ガラスの一端部に縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部を設けてウェハボート保持部を形成し、前
記ウェハボート保持部の最も曲げモーメントが大きくな
る部分及びその近傍をウェハボート保持部の全長の１／
４〜１／２にわたって他の部分より肉厚にし、その肉厚
の部分以外は前記ウェハボート保持部を実質的に同じ厚
みにした。
ト搬送治具を提供。 【解決手段】 半導体ウェハを載置したウェハボートを
炉芯管へ出し入れする際に用いるソフトランディング方
式の石英ガラス製ウェハボート搬送治具において、管状
の石英ガラスの一端部に縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部を設けてウェハボート保持部を形成し、前
記ウェハボート保持部の最も曲げモーメントが大きくな
る部分及びその近傍をウェハボート保持部の全長の１／
４〜１／２にわたって他の部分より肉厚にし、その肉厚
の部分以外は前記ウェハボート保持部を実質的に同じ厚
みにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェハを載置した
ウェハボートを炉芯管へ出し入れする際に用いるソフト
ランディング方式の石英ガラス製ウェハボート搬送治具
の改良に関する。
ウェハボートを炉芯管へ出し入れする際に用いるソフト
ランディング方式の石英ガラス製ウェハボート搬送治具
の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハを載置したウェハボートを
炉芯管へ出し入れする際には管状又は棒状の耐熱材料の
一端部に切欠部を設けてウェハボート保持部を形成した
ウェハボート搬送治具が用いられる。従来、この種のウ
ェハボート搬送治具は純度的な観点から石英ガラス材質
のものが主体である。
炉芯管へ出し入れする際には管状又は棒状の耐熱材料の
一端部に切欠部を設けてウェハボート保持部を形成した
ウェハボート搬送治具が用いられる。従来、この種のウ
ェハボート搬送治具は純度的な観点から石英ガラス材質
のものが主体である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、石英ガラス
製の搬送治具では使用時に一端のウェハボート保持部を
高温の炉内に挿入し、他端を室温で固定支持した状態で
搬送治具内に温度勾配が発生すると、この温度勾配によ
って搬送治具内に熱的応力が発生し、それが残留応力と
して材質の機械的強度を低下させる。このため、従来の
石英ガラス製ウェハボート搬送治具は折れたり、曲がっ
たりする欠点があった。この折れや曲がりは、特に曲げ
モーメントが最も大きくなる部分で発生し易い。
製の搬送治具では使用時に一端のウェハボート保持部を
高温の炉内に挿入し、他端を室温で固定支持した状態で
搬送治具内に温度勾配が発生すると、この温度勾配によ
って搬送治具内に熱的応力が発生し、それが残留応力と
して材質の機械的強度を低下させる。このため、従来の
石英ガラス製ウェハボート搬送治具は折れたり、曲がっ
たりする欠点があった。この折れや曲がりは、特に曲げ
モーメントが最も大きくなる部分で発生し易い。
【０００４】このような欠点を解消するために石英ガラ
ス製ウェハボート搬送治具全体を厚くすることが考えら
れるが、このようにすると搬送治具の自重で熱変形が起
り易くなる。
ス製ウェハボート搬送治具全体を厚くすることが考えら
れるが、このようにすると搬送治具の自重で熱変形が起
り易くなる。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、機械的強度の大きな石英ガラス製ウェハボート搬
送治具を提供しようとするものである。
あり、機械的強度の大きな石英ガラス製ウェハボート搬
送治具を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の石英ガラス製ウ
ェハボート搬送治具は、半導体ウェハを載置したウェハ
ボートを炉芯管へ出し入れする際に用いるソフトランデ
ィング方式の石英ガラス製ウェハボート搬送治具におい
て、管状の石英ガラスの一端部に縦断面形状が円弧状及
び直線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部を形
成し、前記ウェハボート保持部の最も曲げモーメントが
大きくなる部分及びその近傍をウェハボート保持部の全
長の１／４〜１／２にわたって他の部分より肉厚にし、
その肉厚の部分以外は前記ウェハボート保持部を実質的
に同じ厚みにしたことを特徴とする石英ガラス製ウェハ
ボート搬送治具である。
ェハボート搬送治具は、半導体ウェハを載置したウェハ
ボートを炉芯管へ出し入れする際に用いるソフトランデ
ィング方式の石英ガラス製ウェハボート搬送治具におい
て、管状の石英ガラスの一端部に縦断面形状が円弧状及
び直線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部を形
成し、前記ウェハボート保持部の最も曲げモーメントが
大きくなる部分及びその近傍をウェハボート保持部の全
長の１／４〜１／２にわたって他の部分より肉厚にし、
その肉厚の部分以外は前記ウェハボート保持部を実質的
に同じ厚みにしたことを特徴とする石英ガラス製ウェハ
ボート搬送治具である。
【０００７】
【作用】このような石英ガラス製ウェハボート搬送治具
によれば、ウェハボート保持部の折れや曲がりを防止す
ることができ、しかも、ウェハボート保持部の先端のた
わみを減少することができる。
によれば、ウェハボート保持部の折れや曲がりを防止す
ることができ、しかも、ウェハボート保持部の先端のた
わみを減少することができる。
【０００８】本発明において、肉厚部の長さをウェハボ
ート保持部の全長の１／４〜１／２としたのは、以下の
ような理由による。すなわち、肉厚部の長さがウェハボ
ート保持部の全長の１／４未満では曲げ応力が著しく大
きいうえ、たわみ量も大きくなる。一方、肉厚部の長さ
がウェハボート保持部の全長の１／２を超えると、肉厚
部の自重によりたわみ量が大きくなる。
ート保持部の全長の１／４〜１／２としたのは、以下の
ような理由による。すなわち、肉厚部の長さがウェハボ
ート保持部の全長の１／４未満では曲げ応力が著しく大
きいうえ、たわみ量も大きくなる。一方、肉厚部の長さ
がウェハボート保持部の全長の１／２を超えると、肉厚
部の自重によりたわみ量が大きくなる。
【０００９】肉厚の部分以外を実質的に同じ厚みにした
のは、可能な限りウェハボート搬送治具全体を軽量にし
て操作性を高めるためである。
のは、可能な限りウェハボート搬送治具全体を軽量にし
て操作性を高めるためである。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を第１図及び第２図を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１１】第１図は本発明に係る石英ガラス製ウェハ
ボート搬送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で
示す側面図、第２図は平面図である。
ボート搬送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で
示す側面図、第２図は平面図である。
【００１２】第１図及び第２図において、搬送治具本体
１は全体が管状であり、その先端部に縦断面形状が円弧
状及び直線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部
２が形成されている。このウェハボート保持部２の最も
曲げモーメントが大きくなる部分Ａ（縦断面形状が円弧
状及び直線状をなす切欠部の円弧と直線の境界）および
その近傍には肉厚部３が形成されている。上記ウェハボ
ート搬送治具の各部分の肉厚は、たとえば本体１の部分
が４．５ｍｍ、ウェハボート保持部２の先端部が４．５
ｍｍ、肉厚部３が７．５ｍｍとなっている。なお、肉厚
部３は例えば肉盛り、肉だめ、溶接等で形成することが
できる。また、肉厚部３の長さはウェハボート保持部２
の全長の約１／４〜１／２に設定され、最大曲げモーメ
ントが生じる部分Ａ近傍から先端側に向かって設けられ
ている。
１は全体が管状であり、その先端部に縦断面形状が円弧
状及び直線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部
２が形成されている。このウェハボート保持部２の最も
曲げモーメントが大きくなる部分Ａ（縦断面形状が円弧
状及び直線状をなす切欠部の円弧と直線の境界）および
その近傍には肉厚部３が形成されている。上記ウェハボ
ート搬送治具の各部分の肉厚は、たとえば本体１の部分
が４．５ｍｍ、ウェハボート保持部２の先端部が４．５
ｍｍ、肉厚部３が７．５ｍｍとなっている。なお、肉厚
部３は例えば肉盛り、肉だめ、溶接等で形成することが
できる。また、肉厚部３の長さはウェハボート保持部２
の全長の約１／４〜１／２に設定され、最大曲げモーメ
ントが生じる部分Ａ近傍から先端側に向かって設けられ
ている。
【００１３】上記石英ガラス製ウェハボート搬送治具の
搬送治具本体１の基端部は従来のものと同様であり、図
示しない搬送装置の所定の位置に固定される。また、ウ
ェハボート保持部２上に半導体ウェハボートをのせて搬
送し、炉芯管へ出し入れを行なう。
搬送治具本体１の基端部は従来のものと同様であり、図
示しない搬送装置の所定の位置に固定される。また、ウ
ェハボート保持部２上に半導体ウェハボートをのせて搬
送し、炉芯管へ出し入れを行なう。
【００１４】しかして上記石英ガラス製ウェハボート搬
送治具によれば、ウェハボート保持部２の最も曲げモー
メントが大きくなる部分及びその近傍を他の部分より肉
厚にしているので、ウェハボート保持部２の折れや曲が
りを防止することができ、しかもウェハボート保持部２
の先端のたわみを減少することができる。
送治具によれば、ウェハボート保持部２の最も曲げモー
メントが大きくなる部分及びその近傍を他の部分より肉
厚にしているので、ウェハボート保持部２の折れや曲が
りを防止することができ、しかもウェハボート保持部２
の先端のたわみを減少することができる。
【００１５】また、第３図及び第４図を参照して肉厚部
３の長さとウェハボート保持部２の変形との関係につい
て詳細に説明する。
３の長さとウェハボート保持部２の変形との関係につい
て詳細に説明する。
【００１６】第３図はウェハボート保持部の全長に対す
る肉厚部の長さとウェハボート保持部の曲げ応力との関
係を示す線図である。第３図から明らかなようにウェハ
ボート保持部の全長に対する肉厚部の長さの割合が１／
４〜１の範囲では、曲げ応力は小さくなっている。特
に、肉厚部３の長さがウェハボート保持部の全長に対し
て約１／４〜１／２の範囲では曲げ応力が非常に小さく
なっている。ただし、肉厚部３の長さがウェハボート保
持部の全長に対して約１／４未満になると、曲げ応力は
緩やかに増加している。
る肉厚部の長さとウェハボート保持部の曲げ応力との関
係を示す線図である。第３図から明らかなようにウェハ
ボート保持部の全長に対する肉厚部の長さの割合が１／
４〜１の範囲では、曲げ応力は小さくなっている。特
に、肉厚部３の長さがウェハボート保持部の全長に対し
て約１／４〜１／２の範囲では曲げ応力が非常に小さく
なっている。ただし、肉厚部３の長さがウェハボート保
持部の全長に対して約１／４未満になると、曲げ応力は
緩やかに増加している。
【００１７】また、第４図はウェハボート保持部の全長
に対する肉厚部の長さとウェハボート保持部の先端に６
ｋｇの荷重を欠けた場合のたわみ量との関係を示す線図
である。第４図から明らかなようにウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さが約１／４〜１／２までは
たわみ量が徐々に減少しているが、ウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さが約１／２をこえると、肉
厚部３の自重によりたわみ量が再び増加している。
に対する肉厚部の長さとウェハボート保持部の先端に６
ｋｇの荷重を欠けた場合のたわみ量との関係を示す線図
である。第４図から明らかなようにウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さが約１／４〜１／２までは
たわみ量が徐々に減少しているが、ウェハボート保持部
の全長に対する肉厚部の長さが約１／２をこえると、肉
厚部３の自重によりたわみ量が再び増加している。
【００１８】したがって、第３図及び第４図からウェハ
ボート保持部の全長に対する肉厚部の長さの割合を１／
４〜１／２に設定した場合に、ウェハボート保持部２の
曲げ現象に対して最も効果的に対処することができると
考えられる。事実、肉厚部３の長さが短い場合には、肉
厚部３を設けたウェハボート保持部２の部分は強度が増
加するが、肉厚部３より先端側の強度は変わらないた
め、肉厚部３の先端近傍でウェハボート保持部２が折れ
たり曲がったりすることが避けられなかった。
ボート保持部の全長に対する肉厚部の長さの割合を１／
４〜１／２に設定した場合に、ウェハボート保持部２の
曲げ現象に対して最も効果的に対処することができると
考えられる。事実、肉厚部３の長さが短い場合には、肉
厚部３を設けたウェハボート保持部２の部分は強度が増
加するが、肉厚部３より先端側の強度は変わらないた
め、肉厚部３の先端近傍でウェハボート保持部２が折れ
たり曲がったりすることが避けられなかった。
【００１９】また、ウェハ保持部２の全長にわたって肉
厚部３を設けた場合には、肉厚部３の自重が作用してウ
ェハボート保持部２の先端のたわみ量が大きくなり、ウ
ェハボートの搬送に問題が生じることがあった。
厚部３を設けた場合には、肉厚部３の自重が作用してウ
ェハボート保持部２の先端のたわみ量が大きくなり、ウ
ェハボートの搬送に問題が生じることがあった。
【００２０】これに対して、ウェハボート保持部２の全
長に対する肉厚部３の長さの割合を１／４〜１／２にし
た場合には１．５倍以上の強度が得られ、ウェハボート
保持部２の先端のたわみ量も少なかった。
長に対する肉厚部３の長さの割合を１／４〜１／２にし
た場合には１．５倍以上の強度が得られ、ウェハボート
保持部２の先端のたわみ量も少なかった。
【００２１】
【発明の効果】以上詳述した如く本発明の石英ガラス製
のウェハボート搬送治具によれば、ウェハボート保持部
の折れや曲がりを防止することができ、しかもウェハボ
ート保持部の先端のたわみを減少することができる等顕
著な効果を奏する。
のウェハボート搬送治具によれば、ウェハボート保持部
の折れや曲がりを防止することができ、しかもウェハボ
ート保持部の先端のたわみを減少することができる等顕
著な効果を奏する。
【図１】本発明に係る石英ガラス製ウェハボート搬送治
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図。
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図。
【図２】図１の石英ガラス製ウェハボート搬送治具の平
面図。
面図。
【図３】ウェハボート保持部の全長に対する肉厚部の長
さとウェハボート保持部の曲げ応力との関係を示す線
図。
さとウェハボート保持部の曲げ応力との関係を示す線
図。
【図４】ウェハボート保持部の全長に対する肉厚部の長
さとウェハボート保持部の先端に６ｋｇの荷重をかけた
場合のたわみ量との関係を示す線図。
さとウェハボート保持部の先端に６ｋｇの荷重をかけた
場合のたわみ量との関係を示す線図。
１ 搬送治具本体 ２ ウェハボート保持部 ３ 肉厚部
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウェハを載置したウェハボートを
炉芯管へ出し入れする際に用いるソフトランディング方
式の石英ガラス製ウェハボート搬送治具において、管状
の石英ガラスの一端部に縦断面形状が円弧状及び直線状
をなす切欠部を設けてウェハボート保持部を形成し、前
記ウェハボート保持部の最も曲げモーメントが大きくな
る部分及びその近傍をウェハボート保持部の全長の１／
４〜１／２にわたって他の部分より肉厚にし、その肉厚
の部分以外は前記ウェハボート保持部を実質的に同じ厚
みにしたことを特徴とする石英ガラス製ウェハボート搬
送治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8187007A JP2777791B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8187007A JP2777791B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6314286A Division JP2610232B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08335559A true JPH08335559A (ja) | 1996-12-17 |
| JP2777791B2 JP2777791B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=16198577
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8187007A Expired - Fee Related JP2777791B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2777791B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6120319A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
| JPS64734A (en) * | 1988-05-26 | 1989-01-05 | Shinetsu Sekiei Kk | Jig for carrying wafer |
-
1996
- 1996-06-28 JP JP8187007A patent/JP2777791B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6120319A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
| JPS64734A (en) * | 1988-05-26 | 1989-01-05 | Shinetsu Sekiei Kk | Jig for carrying wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2777791B2 (ja) | 1998-07-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |