JPH03105708A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録媒体にデータを書き込んだり、磁気
記録媒体からデータを読み出したりする磁気記録再生装
置に用いられる磁気ヘッド及びその製造方法に関するも
のである。

従来の技術 第９図は従来の磁気ヘッドを示す斜視図である。第９図
において、１はフエライト等の酸化物磁性材料によって
構威されたコアで、コア１には巻線溝２が設けられ、フ
ロントギャップ対向面１ａとパックギャップ対向面１ｂ
か設けられている。３は巻線溝２を設けた面にセンダス
ト等の金属磁性材料によって形成された磁性膜で、磁性
膜３は膜厚を１μｍ〜５μｍの厚さで形成される。

４は磁性ｌＩＩ３の上に形成され、磁気ギャップとなる
ギャップ充填材で、ギャップ充填材４はガラスをスパッ
タリングする事によって形成される。５は！型のコアで
、コア５はコアｌとともに磁気回路を構戒するように、
コア５にギャップ充填材４を介して付きあわされ、ボン
ディングガラス６にて接合される。このような磁気ヘッ
ドはギャップ充填材４としてガラスのスパッタ膜を用い
たので、磁気的記録再生をつかさどるフロントギャップ
対向面１ａのギャップ長Ａにばらつきが生じにくい。し
かしながら、このタイプの磁気ヘッドはコア１，５を接
合しているのはボンディングガラス６のみであるので接
合力が小さく、ちょっとした衝撃が加わっても磁気ヘッ
ドがギャップ充填材４を境に二つに割れる事があった。

このため、第１０図に示す様な磁気ヘッドが開発された
。第１０図において１，５はコア、２は巻締溝、３は磁
性膜で、これらは第９図に示す構成と同じである。７は
フロントギャップ対向面ｌａ上の磁性膜３上に形成され
たギャップ充填材で、ギャップ充填材７はガラスをスパ
ッタリングして形成されている。この様に膜付けされた
コア１にギャップ充填材７を介してコア５を突き合わせ
、フロントギャップ対向面１ａの近傍に固体のポンディ
ングガラス８を配置する。又バックギャップ対向面１ｂ
近傍にコア１．５のいずれか一方に溝を設ける。この従
来例ではコア１に溝１ｃを設けた。この溝１ｃの中にボ
ンディングガラス９を配置する。そして熱を加えてボン
ディングガラス８，９を溶かしてコア１及びコア５を接
合していた。この様な構造にすると、パックギャップ対
向面１ｂにおいても、コア１，５を接合するようにでき
るため、コア１，５の接合力を大きくする事ができる。

発明が解決しようとする課題 ボンディングガラス９がパックギャップ対向面１ｂ一面
に広がってコア１，５を接合すれば非常に接合力が大き
くなるが、第１１図に示すように、溝１ｃの中の溶けて
柔らかくなったボンディングガラス９がコア５と磁性膜
３の間に浸透して行かず、溝ｌｃ内にとどまっている場
合がある。

この場合冷却した時にほとんど接合力が得られない事が
あった。この理由はボンディングガラスと金属磁性膜の
濡れ性が悪い為、ボンディングガラス９が、磁性膜３と
コア５の間に入りこもうとしても磁性膜３によって弾か
れてしまうからだと考えられる。従ってコア同志の接合
力のばらつきが生じていた。又バックギャップ対向面１
ｂの部分の磁性膜３を除去する方法も考えられるが、こ
の方法では、従来より工程を増やさないと、ギャップ長
が短い所や長い所が生じて磁気特性が劣化する事があっ
た。

本発明は前記従来の問題点を解決しようとするもので、
磁性膜とコアの間にボンディングガラスが浸透しやすく
なり、一様に接合強度の大きな磁気ヘッド及びその製造
方法を提供する事を目的としている。

課題を解決するための手段 この目的を達成するために、コア半体に形成された磁性
膜の上にクロムかモリブデンの少なくとも一方でできた
金属膜を形成したという構成を有している。

作　　　　　用 この構成により、金属膜と金属膜に付き合わされるコア
半体の間にボンディングガラスが浸透するようになる。

実施例 第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドを示す斜
視図である。第１図において１，５はフエライト等の酸
化物磁性材料によって構成されたコア、１ａ，１ｂはそ
れぞれフロントギャップ対向面及びバックギャップ対向
面、２は巻線溝、３は磁性膜、７はギャップ充填材でこ
れらは第９図に示す構成と同じである。１０は磁性膜３
の上に形成され、クロムかモリブデンの少なくとも一方
でできた金属膜で、金属膜１０は２００Ａ〜１５００Ａ
の膜厚で磁性膜３の上にスパッタして形成される。金属
ＩＦＪＩＯの上にギャップ充填材７は形成される。１１
はボンディングガラスで、ボンディングガラスｌ１はフ
ロントギャップ対向面１ａ近傍で、コア１とコア５に渡
って設けられており、１０今ボイスが望ましい。１２は
ボンディングガラスで、ボンディングガラス１２は金属
膜１０とコア５の間に設けられている。ボンデイングガ
ラス１２は金属膜１０と反応せず、１０　〜１０３　ボ
イーズが望ましい。この様な磁気ヘッドはバックギャッ
プ対向面においても優れた接合力を得る事ができるので
、磁気ヘッドは容易にギャップ部分から割れる事はない
。この時の金属膜１０は磁気ヘッドの記録再生時の磁気
特性にはほとんど関係ない。

以上の様に横威された磁気ヘッドについて以下その製造
方法を説明する。

まず第２図に示す様にコア１を用意し、切削加工によっ
て巻線溝２を形戒するとともに、バックギャップ対向面
に溝ＩＣを設ける。次に第３図に示す様にＲＦマグネト
ロンスパッタリング装置によって、磁性膜３をコア１の
巻線溝２を設けた側に膜厚１μｍ〜５μｍで形成する。

この時ターゲットとしてセンダスト合金等の金属磁性材
料にする。又スバッタ条件は加圧電圧を２．５ｋＶ，ア
ルゴンガスの圧力を０．０００３　ｔｏ　ｒ　ｒにする
。次に磁性膜２の上にクロムかモリブデンによって金属
膜１０を形成する。次にフロントギャップ対向面１ａ上
に石英ガラス，ほう珪酸ガラス，鉛ガラス等によってギ
ャップ充填材４をスパッタリング等によって形成する。

次に第４図に示す様にギャップ充填材４を介してコア１
とコア５を突き合わせる。次にフロントギャップ対向面
ｌａ近傍の巻線溝２内にボンディングガラス１１を配置
するとともに溝ＩＣ内にボンディングガラス１２を配置
する。そして治具によってコア１，５を挟んだまま電気
炉内に配置し５５０℃〜７５０℃の範囲で熱を加える。

そして第５図に示す様にバックギャップ対向面１ｂでは
ボンディングガラス１２は金属膜１０とコア５の間に浸
透しており、優れた接合力を得られた。又この様子を第
６図に示す。第６図は以上の様に形成された磁気ヘッド
をモノリシック型ヘッドとして用いた時のコアの接合力
を従来のヘッドと比較したグラフである。第６図におい
てよく軸はモノリシック型ヘッドのＣコアの側方から加
えられる抗析力をとり、縦軸はそれぞれの抗析力に対す
る破壊確率、すなわち同じ抗析力を規定回数加え、Ｃコ
アがスライダーから取れた回数を規定数回で割ったもの
を取っている。この時抗析力はそれぞれ一定時間加える
。このグラフから判る様に本実施例の製造方法によって
構或された磁気ヘッドは強固な接合力を得る事が判る。

なお本実施例の場合、溝ＩＣを設けその中にボンディン
グガラス１２を入れたが、第７図に示す様にバックギャ
ップ対向面１ｂの近傍の巻線溝ＩＣに配置しても同様な
効果が得られた。

又第８図に示す様にバックギャップ対向而１ｂの部分に
もフロントギャップ対向面１ａと同じ厚さでギャップ充
填材７を形成して、ポンデイングガラス１２を配置しボ
ンデイングガラスを溶融してコア同志を接合する事によ
り、ギヤ・ノブ長さを一定にする事ができ、磁気特性の
ばらつきを小さくする事ができる。

発明の効果 本発明は、コア半体に形成された磁性膜の上にクロムか
モリブデンの少なくとも一方でできた金属膜を形成した
事により、金属膜と金属膜に付き合わされるコア半体の
間にポンディングガラスが浸透するようになるので、接
合強度のばらつきを小 さくする事ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドを示す側
面図、第２図から第５図は本発明の一実施例における磁
気ヘッドの製造方法を示した図、第６図は本実施例と従
来の抗析強度の比較をしたグラフ、第７図は他の実施例
を示す側面図、第８図は他の実施例を示す側面図、第９
図は従来の磁気ヘッドを示す斜視図、第１０図は他の従
来の磁気ヘッドを示す側面図、第１１図は従来のパック
ギャップ対向面を示す拡大部分側面図である。 １　，５　・・・・・・　コア １ａ・・・・・・　フロントギャップ対向面１ｂ・・・
・・・　パックギャップ対向面１　ｃ・・・・・・ ２　　・・・・・・ ３　　・・・・・・ ７　　・・・・・・ １０　　　・・・・・・ ｌ　２　　・・・・・・ 溝 巻線溝 磁性膜 ギャップ充填材 金属膜 ボンディングガラス

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）酸化物磁性基板の上に金属磁性膜を設け、前記金
   属磁性膜の上にクロムかモリブデンの少なくとも一方で
   できた金属膜を設けたコア半体と、前記コア半体ととも
   に磁気回路を構成するように磁気ギャップとなる非磁性
   物を介して前記金属膜に対向する他のコア半体を備え、
   前記他のコア半体と前記金属膜に渡って設けられたボン
   ディングガラスによって前記二つのコア半体を互いに接
   合した事を特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）磁性ブロック上に、金属磁性膜を形成し、前記金
   属磁性膜の上にクロムかモリブデンの少なくとも一方で
   できた金属膜を形成し、前記工程により形成されたコア
   半体と他のコア半体を、磁気ギャップとなる非磁性物の
   を介して、しかも前記金属膜と前記他のコア半体が対向
   するように突き合わせ、前記金属膜と前記他のコア半体
   とに渡ってボンディングガラスを付着させ、前記二つの
   コア半体を接合する事を特徴とする磁気ヘッドの製造方
   法。