JPH0273631A - 薄肉板の表面洗浄装置 - Google Patents

薄肉板の表面洗浄装置

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JPH0273631A
JPH0273631A JP63225666A JP22566688A JPH0273631A JP H0273631 A JPH0273631 A JP H0273631A JP 63225666 A JP63225666 A JP 63225666A JP 22566688 A JP22566688 A JP 22566688A JP H0273631 A JPH0273631 A JP H0273631A
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JP
Japan
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wafer
center
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wipe member
supporting
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Pending
Application number
JP63225666A
Other languages
English (en)
Inventor
Masatoshi Fukuo
福尾　正利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KYUSHU ELECTRON METAL CO Ltd
Osaka Titanium Co Ltd
Original Assignee
KYUSHU ELECTRON METAL CO Ltd
Osaka Titanium Co Ltd
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Publication date
Application filed by KYUSHU ELECTRON METAL CO Ltd, Osaka Titanium Co Ltd filed Critical KYUSHU ELECTRON METAL CO Ltd
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、ウェーハ等の薄肉板の表面洗浄装置に関す
る。
（従来の技術） 従来、ウェーハ等の薄肉板（以下、「ウェーハ」と称す
る）は、ワイプ部材によって表面洗浄の行われることが
知られている。従来の表面洗浄は、第４図に示すように
、吸着板１上にウェーハ２を固定し、該吸着板１をウェ
ーハ２共々高速回転（自転）させると共にウェーハ２の
表面に純水を供給し、ワイプ部材３を上記ウェーハ２表
面に接触させたまま、ウェーハ２の中心から外周化の間
を往復させて行われていた。
（発明が解決しようとする課題） 従って、従来の表面洗浄では、ワイプ部材が外周から中
心へ移動する際、−旦剥離されたゴミがワイプ部材と共
に再び中心にまで運ばれ、このゴミがウェーハの表面に
再付着するので、効率的な洗浄が行えないという問題が
ある。これは従来のワイプ部材３が同一平面上を往復移
動する構成であったことに基づく。
（課題を解決するための手段） 本発明は、上記実情下に効率的に洗浄を行い得る表面洗
浄装置を提供する目的でなされたものである。
すなわち、本発明に係る表面洗浄装置は、自転駆動可能
なワイプ部材を旋回アームに支承せしめ、該旋回アーム
を昇降動作可能な支材に支承させるという構成を採って
いる。
（作　用） 従って、本発明の装置では、ワイプ部材を中心から外周
へ移動させるときにのみワイプ部材をウェーハに当接さ
せる、という使用形態が採用でき、これにより、−旦剥
離されたゴミが再びウェーハの中央部分へ戻ることが回
避できる。
（実施例） 以下、本発明を第１図〜第３図の例示図面に基いて説明
する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図及び第
３図はワイプ部材の洗浄動作を説明する正面図である。
これらの図において、１３はワイプ部材であり、該ワイ
プ部材１３は、その基部に取付けられた回転モータ１３
ａにより自転可能に設けられている。そして、上記ワイ
プ部材１３は、旋回アーム１４の先端に支承されている
。１４ａは旋回アーム１４の基部に取付けられた旋回モ
ータを示す。１５は上記旋回アーム１４の基部を支承す
る部材で、該支承部材１５は、その下端に取付けられた
エアーシリンダ１５ａによって昇降動作可能な構成とさ
れている。
上記本発明の装置は次のようにして用いられる。
まず、洗浄対象たるウェーハ１２を吸着板１１上に固定
し、該吸着板１１をウェーハ１２共々高速回転（自転）
させると共にウェーハ１２の表面に純水を供給する。
この状態下において、自転駆動したワイプ部材１３をウ
ェーハ１２の中心に当て、旋回アーム１４を回転させる
ことにより、ワイプ部材１３をウェーハ１２の表面に当
接したまま外周へと移動させ、ワイプ部材１３が外周に
到った時点で支承部材１５を上昇させることによりワイ
プ部材１３をウェーハ１２の表面から遊離させ、今度は
ウェーハ１２にワイプ部材１３を当接させずして旋回ア
ーム１４を逆転させてワイプ部材１３をウェーハ１２の
中心の上部に戻し、ここで支承部材１５を下降させてワ
イプ部材１３を再びウェーハ１２の中心に当接し、以下
同様の動作によりウェーハ１２の表面洗浄を行う。この
ような片道洗浄を行うことにより、剥離した微少なゴミ
の再付着が防止できる。
なお、ワイプ部材１３をウェーハ１２に当接させる形態
は、第２図に示す中心直上の位置であっても、あるいは
第３図に示すように、中心から離れた位置であってもよ
い。
（発明の効果） 以上説明したように、本発明に係る装置は、ワイプ部材
が昇降及び旋回動作可能な構成とされているので、ワイ
プ部材がウェーハの中央から外周へと、片道洗浄を行う
ことができ、従来行われていた往復洗浄の問題点、すな
わち、中心への戻り時に、−旦剥離された微細なゴミが
再度ウェー八表面に付着するという問題点を解消でき、
効率的な表面洗浄が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図及び第
３図はワイプの部材の洗浄動作を説明する正面図、第４
図は従来の表面洗浄を説明する正面図である。 １２・・・ウェーハ １４・・・旋回アーム １３・・・ワイプ部材 １５・・・支材

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 自転駆動可能なワイプ部材を旋回アームに支承せしめ、
    該旋回アームを昇降動作可能な支材に支承させたことを
    特徴とする薄肉板の表面洗浄装置。
JP63225666A 1988-09-09 1988-09-09 薄肉板の表面洗浄装置 Pending JPH0273631A (ja)

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JP63225666A JPH0273631A (ja) 1988-09-09 1988-09-09 薄肉板の表面洗浄装置

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Publication Number Publication Date
JPH0273631A true JPH0273631A (ja) 1990-03-13

Family

ID=16832878

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102909185A (zh) * 2012-10-26 2013-02-06 世成电子(深圳)有限公司 一种清洁机

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61131460A (ja) * 1984-11-30 1986-06-19 Canon Inc ウエハ洗浄装置
JPS6234432B2 (ja) * 1983-12-19 1987-07-27 Nitsushin Seiki Kk
JPS6367243B2 (ja) * 1986-08-22 1988-12-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd

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