JPH04348546A - ダイシング装置 - Google Patents

ダイシング装置

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Publication number
JPH04348546A
JPH04348546A JP12056491A JP12056491A JPH04348546A JP H04348546 A JPH04348546 A JP H04348546A JP 12056491 A JP12056491 A JP 12056491A JP 12056491 A JP12056491 A JP 12056491A JP H04348546 A JPH04348546 A JP H04348546A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
dicing
unit
rotary table
revolving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12056491A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Yasutake
浩之 安武
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Kyushu Ltd filed Critical NEC Kyushu Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハのダイシン
グに使用するダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のダイシング装置は、図３の概要図
に示すように、ウエハのフルカットを行なう場合、ダイ
シングテープ３に貼り付けられたダイシングテープ３の
固定用のフレーム４とウエハ２とをテーブル５に水平に
セットし、ダイシングブレード１によりダイシングを行
なっていた。また、ウエハのハーフカットを行なう場合
は、ダイシングテープを使用せずに直接水平なテーブル
上にウエハをセットしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のダイシング
装置は、被切削物であるウエハを水平にセットしダイシ
ングを行なう為、切削屑を含む切削水がウエハ表面に残
り、乾燥後切削屑がウエハ表面にそのまま付着する恐れ
があるという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のダイング装置は
、被切削物であるウエハを縦方向にセットしてダイシン
グを行なえるようにしたもので、ウエハを吸着する回転
テーブル及びこの回転テーブルを載せた固定テーブルか
らなるテーブルユニットと、固定テーブルの一端を軸支
し、この軸まわりにテーブルユニットを持ち上げ、ウエ
ハを縦方向にセットするシリンダと、ダイシングブレー
ドをＸＹＺ方向に移動させる駆動機構と、固定テーブル
に取り付けられ、回転テーブルを回転させるθ軸回転ユ
ニットとを備えている。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の一実施例の概要を示す図で、同図（ａ
）はテーブルが水平の時の正面図，同図（ｂ）はテーブ
ルが垂直の時の正面図である。
【０００６】同図（ａ）において、被切削物であるウエ
ハ２を水平状態にある回転テーブル５ａ上に吸着固定す
る。回転テーブル５ａは回転テーブル５ｂ上に設けられ
、θ軸回転ユニット６により回転する。回転テーブル５
ｂはシリンダ７と支軸８により水平に支持されている。 次に同図（ｂ）において、シリンダ７が作動し、回転テ
ーブル５ａと固定テーブル５ｂが一体となったテーブル
ユニットを支軸８まわりに９０°上昇回転させ、ウエハ
２を垂直にセットする。
【０００７】図２は垂直にセットしたウエハをダイシン
グする機構を示す図で、同図（ａ）は正面図，同図（ｂ
）は側面図である。同図（ｂ）に示すように、ダイシン
グブレード１はＸＹＺ駆動機構に取り付けられ、同図（
ａ）のように常に縦送りされる。縦方向のダイシング終
了後、θ軸回転ユニット６により回転テーブル５ａを９
０°回転させ、ダイシングブレード１を縦送りし、ウエ
ハ２のダイシングを完了させる。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ウエハを
縦方向にセットしてダイシングを行なう為ダイシングに
使われた切削水がウエハ外に落ちて行き、切削水に含ま
れている切削屑がウエハ表面に付着しないという効果を
有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す図で、同図（ａ）はテ
ーブルが水平の時の正面図，同図（ｂ）はテーブルが垂
直の時の正面図である。
【図２】本発明の一実施例のダイシング機構を示す図で
、同図（ａ）は正面図，同図（ｂ）は側面図である。
【図３】従来のダイシング装置の概要図である。
【符号の説明】
１　　　　ダイシングブレード ２　　　　ウエハ ３　　　　ダイシングテープ ４　　　　フレーム ５　　　　テーブル ５ａ　　　　回転テーブル ５ｂ　　　　固定テーブル ６　　　　θ軸回転ユニット ７　　　　シリンダ ８　　　　支軸 ９　　　　ＸＹＺ駆動機構

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ウエハを吸着する回転テーブル及びこの回
    転テーブルを載せた固定テーブルからなるテーブルユニ
    ットと、固定テーブルの一端を軸支し、この軸まわりに
    前記テーブルユニットを持ち上げ、ウエハを縦方向にセ
    ットするシリンダと、ダイシングブレードをＸＹＺ方向
    に移動させる駆動機構と、前記固定テーブルに取り付け
    られ、回転テーブルを回転させるθ軸回転ユニットとを
    有すること特徴とするダイシング装置。
JP12056491A 1991-05-27 1991-05-27 ダイシング装置 Pending JPH04348546A (ja)

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JP12056491A JPH04348546A (ja) 1991-05-27 1991-05-27 ダイシング装置

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JPH04348546A true JPH04348546A (ja) 1992-12-03

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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