JP2008053439A - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
同時に複数のワークを加工するとともに、ダイシング時に生じる端材やコンタミをワーク上に残留させることなく直ちに除去することが可能なダイシング装置及びダイシング方法を提供すること。
【解決手段】
複数のワークWを垂直に吸着保持するワークテーブル2と、ブレード21が先端に設けられた複数のスピンドル22と、ブレード21とワークWとを相対的に移動させる移動軸12と、洗浄部5と、ワーク供給部5とを備えたことにより同時にダイシング、洗浄、及びワークWの供給が行われ、一度に複数のワークWの加工を可能にするとともに、ダイシングにより生じた端材やコンタミは直ちに落下し、ワークW上には残留せず高品質な加工を可能にする。
【選択図】図1
Description
Claims (3)
- 柱状体の垂直側面にワークを保持するワーク保持部が前記柱状体の周方向に複数形成され、前記柱状体の軸周りに回転するワークテーブルと、
前記ワークテーブルの前記ワーク保持部近傍に位置し、前記ワーク保持部に保持された前記ワークのダイシングを行う円盤状のブレードが先端に設けられた複数のスピンドルと、
前記ブレードと前記ワークとを相対的に移動させる移動手段と、
ダイシング後の前記ワークを洗浄する洗浄手段と、
前記ワークを前記ワークテーブルの前記ワーク保持部へ供給するワーク供給手段とを備えたことを特徴とするダイシング装置。 - 前記スピンドルと前記洗浄手段とワーク供給手段とは、前記ワークテーブルに形成されたそれぞれ異なる前記ワーク保持部に保持された前記ワークに対して同時に対向可能に配置されたことを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。
- 軸の周りに回転可能な柱状体のワークテーブルの垂直側面に複数形成されたワーク保持部にワークを保持するとともに、異なる前記ワーク保持部に対して、先端にブレードが設けられたスピンドルと、ダイシング後の前記ワークを洗浄する洗浄手段と、前記ワーク保持部へ前記ワークを供給するワーク供給手段をそれぞれ対向させて配置し、
前記スピンドルに設けられたブレードによるダイシング工程と、前記洗浄手段による前記ワークの洗浄工程と、前記ワーク供給手段による前記ワークテーブルへのワーク供給工程とを同時に行い、各工程終了後に前記ワークテーブルを回転させて次の工程の位置へ前記ワークを移動させることを可能としたことを特徴とするダイシング方法。
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