JPH0251982B2 - - Google Patents

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JPH0251982B2
JPH0251982B2 JP61090148A JP9014886A JPH0251982B2 JP H0251982 B2 JPH0251982 B2 JP H0251982B2 JP 61090148 A JP61090148 A JP 61090148A JP 9014886 A JP9014886 A JP 9014886A JP H0251982 B2 JPH0251982 B2 JP H0251982B2
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JP
Japan
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roller
film
sub
cooling
cooling roller
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JP61090148A
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Yoshiteru Yamamura
Tetsuo Tsushima
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Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
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