JP5691940B2 - 長尺ガラスフィルムの処理方法および処理装置 - Google Patents
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Description
まず、本発明に係る長尺ガラスフィルムの成膜装置の一具体例について図1を参照しながら説明する。図1に示す長尺ガラスフィルムの成膜装置は、略直方体形状の減圧容器内に納められている。この減圧容器は、到達圧力10−4Pa程度までの減圧と、その後のスパッタリングガスの導入による0.1〜10Pa程度の圧力調整を行うため、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置を有している。減圧容器は、したがってこれらの圧力に耐えることができる程度の強度を有していればよい。
次に、本発明に係る長尺ガラスフィルムの成膜装置の他の具体例について図2を参照しながら説明する。この図2に示す長尺ガラスフィルムの成膜装置は、図1の巻取ゾーン207に代えてダイシングゾーン308が設けられていることを除いて図1に示す成膜装置とほぼ同等である。すなわち、この図2に示す長尺ガラスフィルムの成膜装置では、成膜された長尺ガラスフィルムに対して例えばレーザーダイシングにより切断を行い、切断された薄板状のガラスフィルムSをスタックすることを特徴としている。
次に、本発明に係る長尺ガラスフィルムの成膜装置の更に他の具体例について図3を参照しながら説明する。この図3に示す長尺ガラスフィルムの成膜装置は、大気中でレーザーダイシングにより切断してスタックする点を除いて図2に示す成膜装置とほぼ同等である。この方法によれば、ガラスフィルムロール1本分の成膜工程が終了する前に成膜後のガラスフィルムを取り出すことができるため、生産性を高めることができる。
図1に示す成膜装置(スパッタリングウェブコータ)を用いて長尺ガラスフィルムに成膜処理を施し、図4に示すようなタッチパネルに用いる4層の膜構造を作製した。基板となる長尺ガラスフィルムGには、幅300mm、長さ300m、厚さ50μmのガラスフィルムを使用した。キャンロール233には、直径400mm、幅500mmのアルミ製のものを使用した。このキャンロール233の本体表面には、ハードクロムめっきを施した。キャンロール233はジャケットロール構造になっており、ここに減圧容器の外部で温調された熱媒を循環した。
図2に示す成膜装置(スパッタリングウェブコータ)を用い、実施例1で行った巻取ロールでの巻取りに代えて長尺ガラスフィルムを裁断手段で切断した以外は実施例1と同様にしてタッチパネルに用いる4層の膜構造を作製した。具体的には、実施例1と同様にして成膜された長尺ガラスフィルムに対してダイシングゾーン308内に設けたレーザー照射装置357によって搬送方向の長さが40cmとなるように幅方向に切断し、切断されたガラスフィルムはスタックボックス355にスタックした。レーザーには、出力50Wの発振波長10.6μmの炭酸ガスレーザーを用いた。
図3に示す成膜装置(スパッタリングウェブコータ)を用い、大気圧下で長尺ガラスフィルムを切断した以外は実施例2と同様にしてタッチパネルに用いる4層の膜構造を作製した。具体的には、アキュムレータゾーン406とダイシングゾーン408の間に差圧ゾーン409を設け、巻出ゾーン400から下流側アキュムレータゾーン406までは減圧雰囲気に維持して実施例1や実施例2と同様にして長尺ガラスフィルムGに成膜しながら、ダイシングゾーン408は大気雰囲気にして実施例2と同様にしてレーザーダイシングを行った。
比較のため、図5に示す成膜装置(スパッタリングウェブコータ)を用いて実施例1と同様に成膜処理を施した。すなわち、アキュムレータ手段を用いなかった以外は実施例1と同様にしてガラスフィルムに成膜処理を施した。その結果、この図5の成膜装置では、搬送中の衝撃によって長尺ガラスフィルムGが割れてしまった。一カ所が割れると、張力が一瞬にして大きな変動を受けて、搬送経路を走行中のガラスフィルムは全て割れてしまったため、どこで割れたか特定できなかった。なお、図5において図1と同一の部材は、符号の下2桁が図1のものと同一になっている。
S 薄板状ガラスフィルム
P 長尺PETフィルム
1 SiO2層
2 Nb2O5層
3 SiO2層
4 ITO層
100、200、300、400 巻出ゾーン
101、201、301、401 ヒーターゾーン
202、302、402 上流側アキュムレータゾーン
103、203、303、403 表面改質ゾーン
104、204、304、404 成膜ゾーン
105、205、305、405 冷却ゾーン
206、306、406 下流側アキュムレータゾーン
107、207 巻取ゾーン
308、408 ダイシングゾーン
409 差圧ゾーン
110、210、310、410 巻出ロール
111、211、311、411 タッチロール
112、212、312、412 フリーロール
113、213、313、413 PETフィルム巻取ロール
114、214、314、414 フリーロール
115、215、315、415 フリーロール
116、216、316、416 駆動ロール
117、217、317、417 駆動ロール
118、218、318、418 フリーロール
119、219、319、419 ヒーター
120、220、320、420 ヒーター
121、221、321、421 ヒーター
122、222、322、422 ヒーター
223、323、423 フリーロール
224、324、424 アキュムレータロール
225、325、425 フリーロール
126、226、326、426 フリーロール
127、227、327、427 フリーロール
128、228、328、428 イオンビーム遮蔽版
129、229、329、429 イオンビーム
130、230、330、430 イオンビーム
131、231、331、431 張力センサーロール
132、232、332、432 前フィードロール
133、233、333、433 キャンロール
134、234、334、434 後フィードロール
135、235、335、435 張力センサーロール
136、236、336、436 スパッタリングカソード
137、237、337、437 スパッタリングカソード
138、238、338、438 スパッタリングカソード
139、239、339、439 スパッタリングカソード
140、240、340、440 スパッタリングカソード
141、241、341、441 スパッタリングカソード
142、242、342、442 スパッタリングカソード
143、243、343、443 スパッタリングカソード
144、244、344、444 フリーロール
145、245、345、445 冷却ロール
146、246、346、446 冷却ロール
147、247、347、447 駆動ロール
248、348、448 フリーロール
249、349、449 アキュムレータロール
250、350、450 フリーロール
151、251 フリーロール
152、252 フリーロール
155、255 二アロール
156、256 巻取ロール
157、257 PETフィルム巻取ロール
358、458 ニップロール
359、459 引出駆動ロール
360、460 レーザー照射装置
361、461 照射レーザー
362、462 スタックボックス
463 ゴムロール対
464 ゴムロール対
Claims (14)
- ロールから連続的に引き出された長尺ガラスフィルムを搬送経路に沿って搬送しながら順に加熱処理、表面処理および冷却処理を施す長尺ガラスフィルムの処理方法であって、前記表面処理では長尺ガラスフィルムの一方の面を熱媒で加熱されたキャンロールの外周面上に接触させながら他方の面に熱負荷の掛かる処理を施し、前記搬送経路における前記表面処理と前記加熱処理との間および前記冷却処理の後において長尺ガラスフィルムの伸縮を調整することを特徴とする長尺ガラスフィルムの処理方法。
- 前記伸縮の調整は、前記搬送経路に設けられた1つ以上のアキュムレータロールの変位によって行うことを特徴とする、請求項1に記載の長尺ガラスフィルムの処理方法。
- 前記伸縮の調整は、更に前記1つ以上のアキュムレータロールの変位に基づいて前記搬送経路に設けられた駆動力を備えたロールの周速度の変化によって行うことを特徴とする、請求項2に記載の長尺ガラスフィルムの処理方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の表面処理が、減圧雰囲気下で行われる乾式めっきであることを特徴とする長尺ガラスフィルムの成膜方法。
- 前記冷却処理の後に長尺ガラスフィルムを略同じ寸法の複数の薄板に裁断することを特徴とする、請求項4に記載の長尺ガラスフィルムの成膜方法。
- 前記裁断がレーザーダイシングによることを特徴とする、請求項5に記載の長尺ガラスフィルムの成膜方法。
- 前記乾式めっきがスパッタリングであることを特徴とする、請求項4〜6のいずれかに記載の長尺ガラスフィルムの成膜方法。
- 長尺ガラスフィルムをロールから引き出して搬送経路に沿って搬送する搬送手段と、該引き出された長尺ガラスフィルムを加熱する加熱手段と、該加熱された長尺ガラスフィルムを接触させる、熱媒で加熱された外周面を備えたキャンロールと、該外周面に接触している長尺ガラスフィルムに表面処理を施すべく該外周面に対向して設けられた表面処理手段と、該表面処理された長尺ガラスフィルムを冷却する冷却手段と、長尺ガラスフィルムの伸縮を調整すべく該搬送経路における該加熱手段と該キャンロールとの間および該冷却手段の下流側に設けられたアキュムレータ手段とを有することを特徴とする長尺ガラスフィルムの処理装置。
- 前記アキュムレータ手段が、前記長尺ガラスフィルムの搬送経路に設けられた1つ以上の変位自在なアキュムレータロールからなることを特徴とする、請求項8に記載の長尺ガラスフィルムの処理装置。
- 前記1つ以上のアキュムレータロールの位置を検出するアキュムレータロール位置検出手段を更に備え、該アキュムレータロール位置検出手段で検出された位置信号に基づいて前記搬送経路に設けられた駆動力を備えたロールの周速度を制御することを特徴とする、請求項9に記載の長尺ガラスフィルムの処理装置。
- 請求項8または9に記載の前記表面処理手段が、減圧容器内で行う乾式めっき手段であることを特徴とする長尺ガラスフィルムの成膜装置。
- 前記搬送経路の最下流に長尺ガラスフィルムを略同じ寸法の複数の薄板に裁断する裁断手段が設けられていることを特徴とする、請求項11に記載の長尺ガラスフィルムの成膜装置。
- 前記裁断手段がレーザーダイシング装置であることを特徴とする、請求項12に記載の長尺ガラスフィルムの成膜装置。
- 前記乾式めっき手段が、スパッタリングカソードであることを特徴とする、請求項11〜13のいずれかに記載の長尺ガラスフィルムの成膜装置。
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