JP7399643B2 - 積層ガラスの製造装置および製造方法 - Google Patents
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Description
80℃≦T1-T2<160℃ (2)
この積層ガラスの製造装置では、成膜加熱ユニットの加熱部によって加熱された積層ガラスの表面温度T0と、第1冷却温度T1と、第2冷却温度T2とが、式(1)および(2)を満足するので、冷却ユニットにおける積層ガラスの破損を有効に抑制できる。
本発明の製造装置の一実施形態である搬送成膜装置を、図1~図3を参照して、説明する。
搬送成膜装置10を用いて透明導電性ガラス3を製造する方法を説明する。透明導電性ガラス3の製造方法は、搬送基材4を用意する用意工程と、ガラス基材1から第1保護材5を剥離する剥離工程と、ガラス基材1に、透明導電層2を真空下で設ける成膜工程と、透明導電性ガラス3を冷却する冷却工程と、透明導電性ガラス3を巻取ロール41に巻き取る巻取工程とを備える。以下、各工程を詳述する。
50℃≦T1-T2<200℃ (2)
50℃≦T0-T1<130℃ (3)
80℃≦T1-T2<160℃ (4)
60℃≦T0-T1<120℃ (5)
110℃≦T1-T2<130℃ (6)
また、上記した温度T0~T2は、例えば、温度の差の比に関する下記式(7)を満足し、好ましくは、下記式(8)を満足し、より好ましくは、下記式(9)を満足する。
0.5≦(T0-T1)/(T1-T2)<1.75 (8)
0.6≦(T0-T1)/(T1-T2)<1.25 (9)
温度T0~T2が上記した式を満足すれば、冷却装置13における透明導電性ガラス3の破損(とりわけ、クラック)を有効に抑制できる。
透明導電性ガラス3は、例えば、画像表示装置などの光学装置に用いられる。透明導電性ガラス3を画像表示装置(具体的には、LCDモジュール、有機ELモジュールなどの画像表示素子を有する画像表示装置)に備える場合には、透明導電性ガラス3は、例えば、タッチパネル用基材、反射防止基材などとして用いられ、好ましくは、タッチパネル用基材として用いられる。タッチパネルの形式としては、光学方式、超音波方式、静電容量方式、抵抗膜方式などの各種方式が挙げられ、特に静電容量方式のタッチパネルに好適に用いられる。
そして、この搬送成膜装置10では、透明導電性ガラス3が、第1冷却温度T1である第1冷却ロール34と、第1冷却温度T1より低い第2冷却温度T2である第2冷却ロール35とに順に接触できる。そのため、1つのクーリングドラムが透明導電性ガラス3にする特許文献1の装置に比べて、上記した第1冷却ロール34と第2冷却ロール35との接触によって、透明導電性ガラス3の破損、とりわけ、脆弱なガラス基材1の破損を抑制できる。
80℃≦T1-T2<160℃ (4)
加熱機30が、透明導電性ガラス3を200℃以上に加熱するように構成されていれば、透明導電層2の表面抵抗をより一層低減できる。一方、加熱機30の設定温度を上記した高温に設定すれば、冷却装置13において、透明導電性ガラス3が破損し易い。しかし、この搬送成膜装置10では、上記した第1冷却ロール34および第2冷却ロール35を備えるので、透明導電性ガラス3(とりわけ、ガラス基材1)の上記した破損を抑制できながら、透明導電層2の表面抵抗を低減できる。
以下の各変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態およびその変形例を適宜組み合わせることができる。
一実施形態で説明した搬送成膜装置10を準備した。第1冷却ロール34の第1冷却温度T1を200℃に設定した。第2冷却ロール35の第2冷却温度T2を80℃に設定した。
表1に従って、第1冷却ロール34の第1冷却温度T1と、第2冷却ロール35の第2冷却温度T2とを変更した以外は、実施例1と同様に処理した。
表1に従って、加熱機30の温度を350℃に変更した以外は、実施例1と同様に処理した。なお、透明導電性ガラス3の表面温度T0は、210℃である。
表1に従って、冷却装置13に、第2冷却ロール35を備えず、第1冷却ロール34を備え、さらに、第1冷却ロール34の第1冷却温度T1を表1の通りに変更した以外は、実施例1と同様に処理した。
以下の事項を評価した。それらの結果を表1に示す。
各実施例および各比較例のガラス基材1の破損等を以下の基準に従って評価した。
×:冷却装置13においてガラス基材1が破損した。
○:冷却装置13においてガラス基材1がほんのわずかなクラックが見られたが、全体の破損はなかった。
◎:冷却装置13においてガラス基材1がクラックも破損もなかった。
各実施例および各比較例の透明導電層2の表面抵抗を、四端子法により測定し、下記の基準に従って、透明導電層2の導電性を評価した。
○:透明導電層2の表面抵抗が、10Ω/□以下であった。
△:透明導電層2の表面抵抗が、10Ω/□超過、100Ω/□以下であった。
×:透明導電層2の表面抵抗が、100Ω/□超過であった。
2 透明導電層
3 透明導電性ガラス
10 搬送成膜装置
11 搬送装置
12 スパッタ装置
13 冷却装置
21 繰出ロール
30 加熱機
34 第1冷却ロール
35 第2冷却ロール
41 巻取ロール
T0 積層ガラスの表面温度
T1 第1冷却温度
T2 第2冷却温度
Claims (4)
- 可撓性を有するガラス基材を繰り出すように構成される繰出ロールと、
前記繰出ロールの搬送方向下流側に配置され、前記ガラス基材に機能層を設けて積層ガラスを作製するように構成される成膜加熱ユニットと、
前記成膜加熱ユニットの搬送方向下流側に配置され、前記積層ガラスを冷却するように構成される冷却ユニットと、
前記冷却ユニットの搬送方向下流側に配置され、前記積層ガラスを巻き取るように構成される巻取ロールとを備え、
前記成膜加熱ユニットは、前記積層ガラスを加熱するように構成される加熱部を備え、
前記冷却ユニットは、前記加熱部によって加熱された前記積層ガラスを冷却するときに、少なくとも
第1冷却温度T1で前記積層ガラスに接触する第1冷却ロールと、
前記第1冷却温度T1より低い第2冷却温度T2で前記積層ガラスに接触する第2冷却ロールとを備え、
前記加熱部によって加熱された前記積層ガラスの表面温度T0は、200℃以上であり、
前記第1冷却温度T1は、125℃以上であることを特徴とする、積層ガラスの製造装置。 - 前記加熱部によって加熱された前記積層ガラスの表面温度T0と、前記第1冷却温度T1と、前記第2冷却温度T2とが、下記式(1)および(2)を満足することを特徴とする、請求項1に記載の積層ガラスの製造装置。
50℃≦T0-T1<130℃ (1)
80℃≦T1-T2<160℃ (2) - 前記機能層が、金属酸化物からなる透明導電層であり、
前記加熱部が、前記積層ガラスを200℃以上に加熱するように構成されることを特徴
とする、請求項1または2に記載の積層ガラスの製造装置。 - 請求項1~3のいずれか一項に記載の積層ガラスの製造装置を用いて積層ガラスを製造する方法であり、
前記ガラス基材を前記繰出ロールから繰り出す工程と、
前記成膜加熱ユニットによって、前記ガラス基材に前記機能層を設けて前記積層ガラスを加熱する工程と、
前記積層ガラスを前記第1冷却ロールと接触させて冷却する第1冷却工程と、
前記積層ガラスを前記第2冷却ロールと接触させて冷却する第2冷却工程と、
前記前記積層ガラスを前記巻取ロールによって巻き取る工程と
を備えることを特徴とする、積層ガラスの製造方法。
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