TW202110767A - 透明導電性膜 - Google Patents

Abstract

本發明之透明導電性膜1依序具備玻璃基材2及透明導電層3。玻璃基材2之厚度為150 μm以下。透明導電層3為結晶性。透明導電層3之殘留應力為-100 MPa以上100 MPa以下。

Description

透明導電性膜

本發明係關於一種透明導電性膜，詳細而言，係關於一種可適宜地用於光學用途之透明導電性膜。

先前，將包含銦錫複合氧化物(ITO)之透明導電層形成為所需電極圖案而成之透明導電性膜可用於觸控面板等光學用途。

此種透明導電性膜通常依序具備基材及透明導電層。

先前，已知使用相對較厚之玻璃基材作為基材。

但是，若使用相對較厚之玻璃基材作為基材，則可撓性降低，因此就提高可撓性之觀點而言，研究使用高分子膜作為基材。

另一方面，藉由先使基材之溫度上升後進行成膜，能夠在成膜之同時使ITO結晶化(亦稱為「沈積結晶化」)。已知藉由該沈積結晶化，相較於一次以非晶質成膜後進行結晶化，能夠降低透明電極層之表面電阻值。但是，於此種情形時，由於將基板之溫度設為高溫來進行成膜，故就高分子膜之耐熱性之觀點而言，無法使用高分子膜。

因此，就提高可撓性並且降低表面電阻值之觀點而言，研究使用薄玻璃作為基材。

例如，提出一種具備極薄玻璃透明基板、及透明導電性氧化物層之透明積層基材(例如參照專利文獻1)。 先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2017-106124公報

[發明所欲解決之問題]

然而，如專利文獻1所示，若使用薄玻璃作為基材並於高溫下將透明電極層結晶化，則由於薄玻璃與透明導電性氧化物層之線膨脹係數之差，而存在透明導電性氧化物層會捲曲之缺陷。

此種捲曲即使於使用高分子膜作為基材之情形時亦會產生，尤其是薄玻璃存在因捲曲而破損之情況，因此與高分子膜相比，進一步要求抑制捲曲。

本發明在於提供一種能夠抑制捲曲之透明導電性膜。 [解決問題之技術手段]

本發明[1]係一種透明導電性膜，其依序具備玻璃基材及透明導電層，上述玻璃基材之厚度為150 μm以下，上述透明導電層為結晶性，上述透明導電層之殘留應力為-100 MPa以上100 MPa以下。

本發明[2]包含如技術方案1所記載之透明導電性膜，其中上述透明導電層之表面電阻值為10 Ω/□以下。

本發明[3]包含如上述[1]或[2]所記載之透明導電性膜，其中上述透明導電層含有金屬氧化物。

本發明[4]包含如上述[3]所記載之透明導電性膜，其特徵在於上述金屬氧化物為銦錫複合氧化物。 [發明之效果]

本發明之透明導電性膜依序具備玻璃基材、及透明導電層，玻璃基材之厚度為150 μm以下。因此，可撓性優異。

又，於該透明導電性膜中，透明導電層為結晶性。因此，能夠降低表面電阻值。又，於該透明導電性膜中，透明導電層之殘留應力為-100 MPa以上100 MPa以下。因此，能夠抑制捲曲。

參照圖1，對本發明之透明導電性膜之一實施方式進行說明。

於圖1中，紙面上下方向為上下方向(厚度方向)，且紙面上側為上側(厚度方向一側)，紙面下側為下側(厚度方向另一側)。又，紙面左右方向及深度方向係與上下方向正交之面方向。具體而言，依據各圖之方向箭頭。

1.透明導電性膜 透明導電性膜1具備具有特定厚度之膜形狀(包括片狀)，且具有在與厚度方向正交之面方向上延伸並平坦之上表面及平坦之下表面。透明導電性膜1例如為圖像顯示裝置所具備之觸控面板用基材或電磁波屏蔽等一零件，也就是說並非為圖像顯示裝置。即，透明導電性膜1係用於製作圖像顯示裝置等之零件，不包含OLED(Organic Light Emitting Diode，有機發光二極體)模組等圖像顯示元件，零件單獨地流通，為產業上可利用之器件。

具體而言，如圖1所示，透明導電性膜1依序具備玻璃基材2、及透明導電層3。更具體而言，透明導電性膜1具備玻璃基材2、及配置於玻璃基材2之上表面(厚度方向一面)之透明導電層3。

透明導電性膜1之厚度例如為200 μm以下，較佳為150 μm以下，又，例如為20 μm以上，較佳為30 μm以上。

2.玻璃基材 玻璃基材2係用於確保透明導電性膜1之機械強度之透明基材。即，玻璃基材2支持透明導電層3。

玻璃基材2具有膜形狀。玻璃基材2係以與透明導電層3之下表面接觸之方式配置於透明導電層3之下表面整面。

玻璃基材2具有可撓性且由透明玻璃所形成。

作為玻璃，例如可列舉：無鹼玻璃、鈉玻璃、硼矽酸玻璃、鋁矽玻璃等。

玻璃基材2之厚度為150 μm以下，較佳為120 μm以下，更佳為100 μm以下。又，例如為10 μm以上，較佳為50 μm以上。若玻璃基材2之厚度為上述上限以下，則可撓性優異。又，若玻璃基材2之厚度為上述下限以上，則機械強度優異，能夠抑制搬送時之破損。

玻璃基材2之厚度可使用針盤量規(PEACOCK公司製造，「DG-205」)進行測定。

玻璃基材2之全光線透過率(JIS K 7375-2008)例如為80%以上，較佳為85%以上。

3.透明導電層 透明導電層3為結晶質，且為表現優異導電性之透明層。

透明導電層3具有膜形狀。透明導電層3係以與玻璃基材2之上表面接觸之方式配置於玻璃基材2之上表面整面。

作為透明導電層3之材料，例如可列舉：包含選自由In、Sn、Zn、Ga、Sb、Ti、Si、Zr、Mg、Al、Au、Ag、Cu、Pd、W所組成之群中之至少1種金屬之金屬氧化物。於金屬氧化物中，視需要可進而摻雜上述群中所示之金屬原子。

作為透明導電層3，具體而言，可列舉例如銦錫複合氧化物(ITO)等含銦氧化物、例如銻錫複合氧化物(ATO)等含銻氧化物等，較佳為含銦氧化物，更佳為可列舉ITO。

於使用ITO作為透明導電層3之材料之情形時，氧化錫(SnO₂ )含量相對於氧化錫及氧化銦(In₂ O₃ )之合計量，例如為0.5質量%以上，較佳為3質量%以上，又，例如為15質量%以下，較佳為13質量%以下。若氧化錫之含量為上述下限以上，則能夠使ITO層之耐久性更為良好。若氧化錫之含量為上述上限以下，則能夠使ITO層之結晶轉變變得容易，而提高透明性或比電阻之穩定性。

本說明書中之「ITO」只要為至少包含銦(In)及錫(Sn)之複合氧化物即可，亦可包含其等以外之追加成分。作為追加成分，例如可列舉In、Sn以外之金屬元素，具體而言可列舉：Zn、Ga、Sb、Ti、Si、Zr、Mg、Al、Au、Ag、Cu、Pd、W、Fe、Pb、Ni、Nb、Cr、Ga等。

透明導電層3為結晶質。

若透明導電層3為結晶質，則能夠降低下述之表面電阻率。

透明導電層3之結晶質性例如可藉由如下方式進行判斷：將透明導電性膜1浸漬於鹽酸(20℃，濃度5質量%)中15分鐘，繼而進行水洗及乾燥後，對於透明導電層3側之表面測定15 mm左右之間之端子間電阻。於上述浸漬、水洗、乾燥後之透明導電性膜1中，於15 mm間之端子間電阻為10 kΩ以下之情形時，透明導電層為結晶質，另一方面，於上述電阻超過10 kΩ之情形時，透明導電層3為非晶質。

透明導電層3之上表面之表面電阻率例如為30 Ω/□以下，較佳為10 Ω/□以下，又，例如為1 Ω/□以上。表面電阻率可依據JIS K7194，藉由4端子法進行測定。

若表面電阻率為上述上限以下，則能夠將該透明導電性膜1適宜地用於大型觸控面板等。

透明導電層3之殘留應力為-100 MPa以上，較佳為-50 MPa以上，更佳為-30 MPa以上，進而較佳為-10 MPa以上，又，為100 MPa以下，較佳為60 MPa以下，更佳為10 MPa以下，進而較佳為-5 MPa以下。

再者，負殘留應力意指壓縮方向之殘留應力，正殘留應力意指伸長方向之殘留應力。

再者，殘留應力將於下述實施例中進行詳述，可藉由X射線繞射法求出。

具體而言，殘留應力可依據日本專利特開2017-106124號公報之殘留應力之測定方法求出。

又，詳如後述，殘留應力係藉由將下述反應性氣體導入量、下述之成膜壓力、及下述之基材溫度調整為特定範圍，而調整為上述範圍。

透明導電層3之厚度例如為15 nm以上，較佳為30 nm以上，更佳為100 nm以上，又，例如為300 nm以下，較佳為250 nm以下，更佳為150 nm以下。透明導電層3之厚度例如可藉由使用穿透式電子顯微鏡，觀察透明導電性膜1之剖面而測定。 4.透明導電性膜之製造方法 為了製造透明導電性膜1，例如於卷對卷步驟中，於玻璃基材2之上表面設置透明導電層3。具體而言，一面將長條之玻璃基材2自送出輥送出並搬送至搬送方向下游側，一面於玻璃基材2之上表面設置透明導電層3，且以捲取輥捲取導電性膜1。以下進行詳述。

首先，準備捲繞於送出輥之長條之玻璃基材2，並以由捲取輥捲繞之方式來搬送玻璃基材2。

搬送速度例如為0.1 m/分鐘以上，較佳為0.2 m/分鐘以上，又，例如為1.0 m/分鐘以下，較佳為0.5 m/分鐘以下。

其後，就玻璃基材2與透明導電層3之密接性之觀點而言，視需要可於玻璃基材2之表面例如實施濺鍍、電暈放電、火焰、紫外線照射、電子束照射、化學處理、氧化等蝕刻處理或底塗處理。又，可藉由溶劑洗淨、超音波洗淨等對玻璃基材2進行除塵、清淨化。

接著，於玻璃基材2之上表面設置透明導電層3。例如藉由乾式方法於玻璃基材2之上表面形成透明導電層3。

作為乾式方法，例如可列舉真空蒸鍍法、濺鍍法、離子鍍覆法等。較佳為可列舉濺鍍法。藉由該方法，能夠形成透明導電層3，其為薄膜且厚度均勻。

濺鍍法係藉由於真空腔室內對向配置靶及被接著體(玻璃基材2)，一面供給氣體一面自電源施加電壓而加速氣體離子以照射至靶，自靶表面彈出靶材料，使該靶材料積層於被接著體表面。

作為濺鍍法，例如可列舉：二極濺鍍法、ECR(電子回旋共振)濺鍍法、磁控濺鍍法、離子束濺鍍法等。較佳為磁控濺鍍法。

於採用濺鍍法之情形時，作為靶材料，可列舉構成透明導電層3之上述金屬氧化物等，較佳為可列舉ITO。ITO之氧化錫濃度就ITO層之耐久性、結晶化等觀點而言，例如為0.5質量%以上，較佳為3質量%以上，又，例如為15質量%以下，較佳為13質量%以下。

作為氣體，例如可列舉Ar等惰性氣體。又，視需要可並用氧氣等反應性氣體。

反應性氣體相對於惰性氣體之導入比率(以下設為反應性氣體導入量)例如為0.1體積%以上，較佳為1體積%以上，又，例如為10體積%以下，較佳為3體積%以下，更佳為未達2.5體積%。

濺鍍時之氣壓(以下設為成膜氣壓)例如為1 Pa以下，較佳為0.5 Pa以下，又，例如為0.1 Pa以上，較佳為0.2 Pa以上。

電源例如可為DC(Direct Current，直流)電源、AC(Alternating Current，交流)電源、MF(Medium Frequency，中頻)電源及RF(Radio Frequency，射頻)電源之任一者，又，亦可為其等之組合。

並且，於該濺鍍中，於濺鍍之前將玻璃基材2預先加熱至高溫。藉此，於玻璃基材2之表面形成透明導電層3之粒子處於較高能量狀態，而能夠在利用濺鍍進行成膜之同時進行結晶化(沈積結晶化)。

玻璃基材2之加熱溫度(以下設為基材溫度)例如為350℃以上，又，例如為600℃以下，較佳為550℃以下。

玻璃基材2之加熱時間例如為10秒以上，較佳為20秒以上，又，例如為120秒以下，較佳為60秒以下。

並且，就將上述透明導電層3之殘留應力調整為上述特定範圍之觀點而言，較佳為將上述反應性氣體導入量、成膜壓力、及基材溫度調整為特定範圍。

具體而言，於基材溫度為350℃以上且未達450℃之情形時，反應性氣體導入量例如為1體積%以上3體積%以下，又，成膜壓力例如為0.2 Pa以上0.5 Pa以下。

又，於基材溫度為450℃以上550℃以下之情形時，反應性氣體導入量例如為1.5體積%以上且未達2.5體積%，又，成膜壓力例如為0.1 Pa以上0.5 Pa以下。或者，於基材溫度為450℃以上550℃以下之情形時，反應性氣體導入量例如為2.5體積%以上3.5體積%以下，又，成膜壓力例如為0.1 Pa以上0.2 Pa以下。

藉此，能夠將上述透明導電層3之殘留應力調整為上述特定範圍。

並且，於透明導電層3之加熱後，將透明導電層3進行冷卻。

藉此，於玻璃基材2之上表面形成透明導電層3，可獲得依序具備玻璃基材2、及透明導電層3之透明導電性膜1。

所獲得之透明導電性膜1之厚度例如為2 μm以上，較佳為20 μm以上，又，例如為100 μm以下，較佳為50 μm以下。 5.作用效果 透明導電性膜1依序具備玻璃基材2、及透明導電層3，玻璃基材2之厚度為150 μm以下。因此，可撓性優異。

又，於透明導電性膜1中，透明導電層3為結晶性。因此，能夠降低表面電阻值。

又，於透明導電性膜1中，透明導電層3之殘留應力為-100 MPa以上100 MPa以下。

於該透明導電性膜1中，為了使透明導電層3充分結晶化，將基材溫度設為高溫。

但是，若將基材溫度設為高溫，則有因玻璃基材2與透明導電層3之線膨脹係數之差而透明導電層3捲曲之情況。

但是，於該透明導電性膜1中，由於透明導電層3之殘留應力被調整為-100 MPa以上100 MPa以下，故能夠抑制捲曲。 6.變化例 於上述說明中，透明導電性膜1包含玻璃基材2、及透明導電層3，但亦可於玻璃基材2與透明導電層3之間介置中間層。

作為中間層，可列舉硬塗層。

於製造透明導電性膜1時，硬塗層係用以抑制於玻璃基材2產生傷痕之保護層。又，於積層有透明導電性膜1之情形時，硬塗層係用以抑制於透明導電層3產生擦傷之耐擦傷層。

硬塗層例如由硬塗組合物形成。

硬塗組合物含有樹脂成分。

作為樹脂成分，例如可列舉：硬化性樹脂、熱塑性樹脂(例如聚烯烴樹脂)等。

又，硬塗組合物亦可含有粒子。

作為粒子，可列舉交聯丙烯酸系粒子等有機粒子、二氧化矽粒子等無機粒子等。

硬塗層之厚度就耐擦傷性之觀點而言，例如為0.1 μm以上，較佳為0.5 μm以上，又，例如為10 μm以下，較佳為3 μm以下。硬塗層之厚度例如可基於使用瞬間多通道測光系統(例如大塚電子公司製造，「MCPD2000」)所觀測之干擾光譜之波長而算出。

又，作為中間層，可列舉光學調整層。

光學調整層係為了抑制透明導電層3之圖案視認，或者抑制透明導電性膜1內之界面上之反射，並且於透明導電性膜1確保優異之透明性，而對透明導電性膜1之光學物性(例如折射率)進行調整之層。

光學調整層例如由光學調整組合物形成。

光學調整組合物含有上述樹脂成分及上述粒子。

光學調整層之厚度例如為5 nm以上，較佳為10 nm以上，又，例如為200 nm以下，較佳為100 nm以下。光學調整層之厚度例如可基於使用瞬間多通道測光系統所觀測之干擾光譜之波長而算出。

也就是說，透明導電性膜1亦可於玻璃基材2與透明導電層3之間介置硬塗層或光學調整層，又，透明導電性膜1亦可於玻璃基材2與透明導電層3之間介置硬塗層及光學調整層。

較佳為透明導電性膜1於玻璃基材2與透明導電層3之間介置光學調整層，更佳為透明導電性膜1於玻璃基材2與透明導電層3之間未介置硬塗層及光學調整層，即，透明導電性膜1包含玻璃基材2、及透明導電層3。

詳細而言，於透明導電性膜1中，由於使用玻璃基材2作為基材，故與使用高分子膜作為基材之情形相比，即使於玻璃基材2與透明導電層3之間未介置中間層(尤其硬塗層)，密接性及透過性亦優異。 [實施例]

以下示出實施例及比較例，並對本發明進一步具體地進行說明。再者，本發明並不受實施例及比較例任何限定。又，以下記載中所使用之調配比率(含有比率)、物性值、參數等具體數值可代替上述「實施方式」中所記載之與其等相對應之調配比率(含有比率)、物性值、參數等相應記載之上限值(定義為「以下」、「未達」之數值)或下限值(定義為「以上」、「超過」之數值)。 1.透明導電性膜之製造 實施例1 準備捲繞為卷狀之長條之透明玻璃基材(厚度50 μm，日本電氣硝子公司製造，「G-Leaf」)作為玻璃基材。

將該透明玻璃基材裝設於送出輥，以搬送速度0.27 m/分鐘送出，通過濺鍍裝置(靶部)，捲繞至捲取輥。藉由DC濺鍍法，將厚度為130 nm之ITO層(透明導電層)形成於玻璃基材之上表面。濺鍍係於經導入氬氣98%及氧氣2%(即，氧氣導入量2體積%)之氣壓(成膜氣壓)0.3 Pa之真空氛圍下實施。放電輸出設為3 kW。靶使用87.5質量%之氧化銦及12.5質量%之氧化錫之燒結體。又，於濺鍍前，於濺鍍裝置內，使紅外線加熱器(加熱部)作動，將加熱器溫度(基材溫度)設定為500℃，對玻璃基材加熱25秒。

藉此，製造具備玻璃基材及ITO層、且捲繞為卷狀之透明導電性膜。

實施例2～實施例4及比較例1～比較例4 按照表1變更基材溫度、成膜氣壓及氧氣導入量，除此以外，以與實施例1相同之方式製造透明導電性膜。 2.評估 1)表面電阻率 依據JIS K7194，藉由4端子法測定各實施例及各比較例之ITO層之表面電阻率。將其結果示於表1。 2)殘留應力 藉由X射線散射法，由ITO膜之晶格應變而間接地求出各實施例及各比較例之ITO層之殘留應力。

具體而言，首先，藉由日本理學股份有限公司(Rigaku Corporation)製造之粉末X射線繞射裝置，於測定散射角2θ＝59～62°之範圍內每隔0.04°測定繞射強度。各測定角度下之累計時間(曝光時間)設為100秒。

並且，根據所獲得之繞射像之波峰(ITO之(622)面之波峰)角2θ、及X射線源之波長λ，算出ITO膜之晶格間隔d，基於d而算出晶格應變ε。算出時使用下述式(1)及下述式(2)。

此處，λ為X射線源(Cu Kα射線)之波長(＝0.15418 nm)，d₀ 為無應力狀態之ITO之晶格面間隔(＝0.15241 nm)。再者，d₀ 係自ICDD(The International Centre for Diffraction Data，國際繞射數據中心)資料庫所獲取之值。

對膜面法線與ITO結晶面法線所成之角Ψ為45°、50°、55°、60°、65°、70°、77°、90°之各者實施上述X射線繞射測定，算出各者之Ψ下之晶格應變ε。再者，膜面法線與ITO結晶面法線所成之角Ψ係藉由將TD方向作為旋轉軸中心使試樣旋轉而進行調整。ITO膜面內方向之殘留應力σ係藉由下述式(3)自繪製sin² Ψ與晶格應變ε之關係所得之直線之斜率而求出。

再者，於上述式中，E為ITO之楊氏模數(116 GPa)，ν為泊松比(0.35)。該等值為D.G. Neerinck and T.J. Vink、“Depth profiling of thin ITO films by grazing incidence X-ray diffraction”、Thin Solid Films、278 (1996)、PP12-17.中所記載之已知實測值。

將所得之殘留應力示於表1。 3)捲曲量 首先，將透明導電性膜切割成寬度100 mm×長度100 mm，將所切割之透明導電性膜放置於平滑之平台。接著，測定所切割之透明導電性膜之各角之頂點自平台懸起之距離，求出4個頂點之平均值，設為捲曲量。將其結果示於表1。

[表1]

表1
實施例、比較例 No.	基材溫度 (℃)	搬送速度 (m/分鐘)	成膜氣壓 (Pa)	氧氣導入量 (體積%)	表面電阻率 (Ω/□ )	殘留應力 (MPa)	捲曲量 (mm)
實施例1	400	0.27	0.3	2	9.9	-8.4	0.0
實施例2	500	0.27	0.3	2	8.8	57.8	0.3
實施例3	500	0.27	0.13	2	8.1	-28.6	0.5
實施例4	500	0.27	0.13	3	8.2	-27.2	0.5
比較例1	500	0.27	0.3	3	12.4	-456.0	2.3
比較例2	300	0.27	0.13	2	11.9	-362.4	2.6
比較例3	300	0.27	0.3	2	13.6	-250.7	3.0
比較例4	500	0.27	0.13	6	13.5	-497.7	3.3

再者，上述發明係以本發明例示之實施方式之形式提供，但其等僅為例示，並不進行限定性解釋。對於該技術領域之業者而言顯而易見之本發明之變化例包含於下述申請專利範圍中。 [產業上之可利用性]

本發明之透明導電性膜可適宜地用於光學用途。

1:透明導電性膜 2:玻璃基材 3:透明導電層

圖1係表示本發明之透明導電性膜之一實施方式之剖視圖。

1:透明導電性膜

2:玻璃基材

3:透明導電層

Claims (4)

1. 一種透明導電性膜，其特徵在於：依序具備玻璃基材及透明導電層，且 上述玻璃基材之厚度為150 μm以下， 上述透明導電層為結晶性， 上述透明導電層之殘留應力為-100 MPa以上100 MPa以下。
2. 如請求項1之透明導電性膜，其中上述透明導電層之表面電阻值為10 Ω/□以下。
3. 如請求項1之透明導電性膜，其中上述透明導電層含有金屬氧化物。
4. 如請求項3之透明導電性膜，其中上述金屬氧化物為銦錫複合氧化物。

Images