JP6456439B2 - スパッタ装置 - Google Patents
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Description
真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に回転可能に配置された前記成膜ロールと、
前記真空チャンバー内に配置され、成膜ロールの表面に沿って搬送される長尺フィルム基材の表面に成膜材料を形成するターゲット材と、
前記成膜ロールと前記ターゲット材との間の成膜空間にガスを供給するガス供給機構と、
前記真空チャンバー内において、前記成膜ロールに対して長尺フィルム基材の搬送方向下流側に配置され、前記成膜ロールの表面に沿って搬送された長尺フィルム基材を該搬送方向下流側へ搬送する複数の下流側搬送ロールと、
前記複数の下流側搬送ロールの中の少なくとも1本の温度を、80°C以下で前記真空チャンバー内の最低温度よりも高い範囲で、略一定に維持する温度調節機構と、
を備えたことを特徴とする。
14:真空チャンバー
16:長尺フィルム基材
18:成膜ロール
20:ターゲット材
22:成膜空間
24:ガス供給機構
26、86:駆動ロール(下流側搬送ロール)
28:ガイドロール(下流側搬送ロール)
30:温度調節機構
32:中空部
34、80:ロータリージョイント
36:巻取ロール
40:原反ロール
42:ガイドロール(上流側搬送ロール)
46:真空ポンプ
48:温水
50:固定部材
52:回転部材
54:入口
56:出口
60:温度計
62:温度調節器
64:流量計
66:可変絞り弁
68:駆動ベルト
70:内管
72、74:タンク
82:入口開口部
84:出口開口部
Claims (5)
- 成膜ロールの表面に沿って搬送される長尺フィルム基材の表面に薄膜を形成するスパッタ装置であり、
真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に回転可能に配置された前記成膜ロールと、
前記真空チャンバー内に配置され、前記成膜ロールの表面に沿って搬送される長尺フィルム基材の表面に成膜材料を形成するターゲット材と、
前記成膜ロールと前記ターゲット材との間の成膜空間にガスを供給するガス供給機構と、
中空部を有し、前記真空チャンバー内において、前記成膜ロールに対して長尺フィルム基材の搬送方向下流側に配置され、前記成膜ロールの表面に沿って搬送された長尺フィルム基材を該搬送方向下流側へ搬送する複数の下流側搬送ロールと、
前記複数の下流側搬送ロールの中の少なくとも、一の下流側搬送ロール及び該一の下流側搬送ロールよりも下流側の他の下流側搬送ロールの二本の下流側搬送ロールに、流体を送り、該一の下流側搬送ロール及び該他の下流側搬送ロールの温度を、80°C以下で前記真空チャンバー内の最低温度よりも高い範囲で、略一定に維持する温度調節機構と、を備え
前記温度調節機構は、前記他の下流側搬送ロールの中空部から排出された流体を溜め、前記一の下流側搬送ロールへ送るタンクと、該他の下流側搬送ロールへ送る該流体を加熱する温度調節器と、該タンクから該一の下流側搬送ロールへ送る該流体を加熱する温度調節器と、を備えたスパッタ装置。 - 前記流体が温水である請求項1に記載するスパッタ装置。
- 前記温度調節機構により温度を略一定に維持される2本以上の前記下流側搬送ロールは、前記搬送方向下流側へいくに従って、より低温に維持される請求項1又は2に記載するスパッタ装置。
- 前記温度調節機構が、前記一の下流側搬送ロール及び前記他の下流側搬送ロールの中空部内へ流体を導くロータリージョイント又はスイベルジョイントを有する請求項1〜3のいずれかに記載するスパッタ装置。
- 前記一の下流側搬送ロール及び前記他の下流側搬送ロールが、駆動手段によって回転する駆動ロールである請求項1〜4のいずれかに記載するスパッタ装置。
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