JPH0229172A - 自動焦点調整装置 - Google Patents

自動焦点調整装置

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JPH0229172A
JPH0229172A JP63179551A JP17955188A JPH0229172A JP H0229172 A JPH0229172 A JP H0229172A JP 63179551 A JP63179551 A JP 63179551A JP 17955188 A JP17955188 A JP 17955188A JP H0229172 A JPH0229172 A JP H0229172A
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    • G02B21/241—Devices for focusing
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    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
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    • H04N23/673—Focus control based on electronic image sensor signals based on contrast or high frequency components of image signals, e.g. hill climbing method

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電子機器の製造工程などにおける組立検査作業
で使用される光学装置の自動焦点調整装置に関するもの
である。
従来の技術 従来、組立検査作業では第４図に示すような光学検査装
置が使用されている。検査対象物１はテーブル２の上に
載置されておシ、テーブル２にはスライドテーブル３を
介して顕微鏡４が上下動できるように取り付けられてい
る。顕微鏡４の接眼部には工業用カメラ６が取り付けら
れており、工業用カメラ５は顕微鏡４と一体に上下動す
る。スライドテーブル３はモータ６によって顕微鏡４を
昇降駆動するよう構成されている。モータ６は工業用カ
メラ５の出力信号に基づいて後述のように駆動されて自
動焦点調整が実施されており、合焦点の画像はＡ／Ｄ変
換器７の出力から取り出されて図外の検査装置に入力さ
れ、検査対象物１の形状検査やテーブル２上での検査対
象物１の位置制御などに使用されている。
工業用カメラ６の映像信号はへ／Ｄ変換器７でデジタル
変換されたのち、制御部８を介して第１゜第２のフレー
ムメモリ９．１０に交互に一時的に記憶される。次に制
御部８では第１．第２のフレームメモ！Ｊ９，１０の画
像を交互に読み出してこの画像を画像処理して焦点合致
評価量を算出し、制御部８は次に焦点合致評価量が最大
に近づく方向に駆動回路１１を介してモータ６を１ステ
ツプ駆動する。１２は制御部８の動作基準となるクロッ
ク信号を発生するクロック発生回路である。
制御部８の基本的な動作を第４図〜第６図に示す。基本
的な動作は第４図に示すように顕微鏡４を微小量ずつ送
り、そのときの画像データからエッヂ部分の濃淡レベル
の微分係数または積分値を求めるなどの手法により焦点
合致評価量Ｈ１を計算し、このＨｉが最大値Ｈｍａｘを
とったとき顕微鏡４の位置が最もピントが合ったとして
、その位置ＧＺ１　ヘスライドテーブル３を位置決めす
る。
このとき顕微鏡４を１ステツプ送るたびに画像・電気変
換、フレームメモリへのビデオ転送、焦点合致評価量Ｈ
ｉの計算（画像処理）、モータ動作の各処理を行なう必
要がある。
従来の自動焦点調整装置では焦点合わせ時間を短縮する
ために第５図に示すようにこの一連の処理を並列に、か
つカメラクロックに同期させて行なっている。
すなわち、クロック発生回路１２により発生させるパル
ス間隔Ｔを工業用カメラ６のカメラクロックと同一とな
るように設定し、このクロックに同期して画像・電気変
換、フレームメモリへのビデオ転送、画像処理、モータ
動作の各処理を行ない、かつ、ビデオ転送を行なってい
る間に次のモータ動作を行ない、画像処理を行なってい
る間に次の画像・電気変換を行なうというように２Ｔの
繰り返し周期で各処理を並列的に行なっている。またそ
のため第１．第２のフレームメモ！Ｊ１１，１２は交互
に使用されている。さらに合焦点後の計測精度を確保し
つつ焦点合わせ時間を短縮するため焦点合わせ時はカメ
ラをノンインターレースモードで使用し１１重合点後は
２：１インターレースモードに切換えて計測している。
第６図は上記動作を７０−チャートに示したものである
。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記のような構成では、ノンインターレ
ースモードから２：１インターレースモードへの切換え
時に、画像が安定するまで約０．２秒程度の時間が必要
でその分ロスタイムとなっていること、ノンインターレ
ースと２：１インターレースでは電荷の蓄積時間が倍違
うため、焦点合わせ時の画像の明るさと、合焦点後の計
測時の画像の明るさが大きく異なシ、画像処理上不都合
を生じていることの２つの問題点がある。
本発明は以上の問題点に鑑み、焦点合わせ時間を短縮し
、焦点合わせ時と合焦点後の計測時の画像の明るさの違
いのない自動焦点調査装置を提供することを目的とする
。
課題を解決するための手段 本発明の自動焦点調整装置は、先光系を介して検査対象
物を撮像し、カメラで光電変換した映像信号をデジタル
変換してフレームメモリに転送し、フレームメモリから
読み出した信号を画像処理して焦点合致評価量を求め、
この焦点合致評価量が最大に近づく方向に前記光学系を
位置制御するよう構成するとともに、前記光学系の位置
制御動作をカメラの２つの連続した画像の電荷蓄積時間
の間のブランキング時間内又は焦点合致評価量計算精度
に影響を与えない範囲内のブランキング時間の前後の電
荷蓄積時間の１部分の時間内で行なうように構成したこ
とを特徴とする。
作　　用 この構成によると、光学系の移動を２つの連続した画像
の電荷蓄積時間の間のブランキング時間内又はその前後
の極めて短い時間内に行なうため、一つの画像の電荷蓄
積時間をＴとすると、従来の方法では２Ｔの周期で、静
止・移動を繰り返していたものが、ノンインターレース
モードではＴの周期、すなわち従来の２倍の速さで静止
・移動を繰シ返すことになる。又、２：１インターレー
スモードでもモード変換する必要がないので、ロスタイ
ムがなくなシ、かつ焦点合わせ時と合焦点後の計測時に
おいて画像の明るさが変化しない。
実施例 以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図に基づいて説
明する。
本発明の自動焦点調整装置を有する光学検査装置は、第
３図に示した従来例と基本的に同一であシ、制御部８の
内部構成が異なるだけである。ただし２：１インターＶ
スモードで使用するときは第２のフレームメモリ１０は
なくても良い。
１συ御部８の基本的な動作を２：１インタ一レースモ
ード時とノンインターレースモード時に分けて説明する
。
第１図は２：１インタ一レースモード時の動作を示した
もので、画像処理には奇数フィールドのデータのみを使
用し、偶数フィールドのデータは使用していない。
第１の画像Ｂのフレームメモリへのビデオ転送り１とそ
れに基づく焦点合致評価量計算（画像処理）Ｂ２を第２
の画像Ｃの電荷蓄積時間内に完了し、第１の画像Ｂに基
づく光学系の位置制御Ｂ３を第２の画像Ｃと第３の画像
りの電荷蓄積時間の間のブランキング時間内に行なう。
以下同様に１フイールドの転送時間をＴとすると、２Ｔ
の周期で上記処理を繰り返す。
なお、第１の画像Ｂに基づく光学系の位置制御Ｂ３がブ
ランキング時間内に完了せず第３の画像りの電荷蓄積時
間にズレ込んでも、その量がわずかで焦点合致評価量計
算精度に影響を与えない、すなわち第４図におけるＨユ
ニの位置Ｇｚ１が変化しない範囲であればかまわない。
同様に影響を与えない範囲内で第２の画像Ｃの電荷蓄積
時間の終了直前から光学系の位置制御Ｂ３を始めてもか
まわない。
以上のように本実施例によれば、光学系の位置制御をカ
メラの蓄積ブランク時間内に行なうことによ、！ｌ）、
２：１インターレースモードのままで従来のノンインタ
ーレス時の処理と同じ周期（２Ｔ）で焦点合わせができ
、かつノンインターレスカラ２＝１インターレースへの
切換えが不要なため約０．２秒程度の時間短縮ができ、
画像の明るさも一定である。
次にノンインターレース時の制御部８の基本的な動作を
第２図に示す。第１の画像Ａのフレームメモリへのビデ
オ転送Ａ１は第２の画像Ｂの電荷蓄積時間内に行なわれ
、第１の画像ＡＫ基づく画像処理Ａ２は第３の画像Ｃの
電荷蓄積時間内、第２の画像Ｂのビデオ転送り１時間内
に行ない、その結果に基づく光学系の位置制御Ａ３は第
３の画像Ｃと第４の画像りの電荷蓄積時間の間のブラン
キング時間内に行なう。以下同様に、１フイールドの転
送時間をＴとすると、Ｔの周期で上記処理を並列的に繰
シ返す。
以上のように本実施例によれば、光学系の位置制御をカ
メラの蓄積ブランク時間内に行なうことニヨリ、ノンイ
ンターレースモードでは従来の２倍の速さで焦点合わせ
ができる。検査対象物の特性によジノンインターレース
のままで２：１インターレースと同等の計測精度が得ら
れる場合や、ノンインターレースのままでも充分な精度
が得られた場合は焦点合わせ時も合焦点後の計測もノン
インターレースモードで行なえば最も速い焦点合わせが
できる。
発明の効果 以上のように本発明によると、光学系の移動を連続した
２つの画像の電荷蓄積時間の間のブランキング時間内又
はその前後の極めて短い時間内に行なうため、従来のよ
うに次の画像の蓄積時間内に移動しているものに比べて
２倍の周期で焦点合わせの処理ができ、２：１インター
レースでは従来のノンインターレースよシ若干速度が上
が夛なおかつ焦点合わせ時と合焦後の計測時において画
像の明るさが変化しないという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の自動焦点調整装置の一実施例の２：１
インタ一レースモード時の処理のタイミングチャート、
第２図は同装置のノンインターレースモード時の処理の
タイミングチャート、第３図は自動焦点調整装置を有す
る光学検査装置の構成図、第４図は同装置における顕微
鏡の送シ量に対する焦点合致評価量の曲線図、第５図は
従来の自動焦点調整装置の処理のタイミングチャート、
第６図は同処理のフロー図である。 １・・・・・・検査対象物、３・・・・・・スライドテ
ーブル、４・・・・・・顕微鏡（光学系）、５・・・・
・・工業用カメラ、６・・・・・・モータ、７・・・・
・・Ａ／Ｄ変換器、８・・・・・・制御部、９，１ｏ・
・・・・・第１．第２のフレームメモリ、１１・・・・
・・駆動回路、１２・・・・・・クロック発生回路。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名第１
図 １・−襖査＃象物 ５−・Ｌ棗）￥１ηメラ Ｃ−・モータ 図 第 図 第 図 Ｈ４ 顕恢♂債ｊＡ送り彌ヒ 第 図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）光学系を介して検査対象物を撮像し、カメラで光
    電変換した映像信号をデジタル変換してフレームメモリ
    に転送し、フレームメモリから読み出した信号を画像処
    理して焦点合致評価量を求め、この焦点合致評価量が最
    大に近づく方向に前記光学系を位置制御するよう構成す
    るとともに、前記光学系の位置制御動作をカメラの２つ
    の連続した画像の電荷蓄積時間の間のブランキング時間
    内又は焦点合致評価量計算精度に影響を与えない範囲内
    のブランキング時間の前後の電荷蓄積時間の１部分の時
    間内で行なうように構成した自動焦点調整装置。
  2. （２）２：１インターレースモードにおいて奇数フィー
    ルド又は偶数フィールドのみを使用し、第１の画像のフ
    レームメモリへの転送と画像に基づく焦点合致評価量の
    算出処理を第２の画像の電荷蓄積時間内に完了し、第１
    の画像に基づく前記光学系の位置制御を第２の画像と第
    ３の画像の電荷蓄積時間の間のブランキング時間内又は
    焦点合致評価量計算精度に影響を与えない範囲内で第３
    の画像の電荷蓄積時間の始めの１部分もしくは第２の画
    像の電荷蓄積時間の終わりの１部分の時間内で行なうよ
    うに構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
    載の自動焦点調整装置。
  3. （３）ノンインターレースモードにおいて、第１の画像
    のフレームメモリへの転送を第２の画像の電荷蓄積時間
    内に行ない、フレームメモリから読み出した第１の画像
    に基づく焦点合致評価量の算出処理を第３の画像の電荷
    蓄積時間内に行ない、その結果に基づく光学系の位置制
    御を第３の画像と第４の画像の電荷蓄積時間の間のブラ
    ンキング時間内又は焦点合致評価量計算精度に影響を与
    えない範囲内で第４の画像の電荷蓄積時間の始めの１部
    分もしくは第３の画像の電荷蓄積時間の終わりの１部分
    の時間内で行なうように構成したことを特徴とする特許
    請求の範囲第１項記載の自動焦点調整装置。
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