JPH02218526A - 嵌合挿入装置 - Google Patents

嵌合挿入装置

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JPH02218526A
JPH02218526A JP1036179A JP3617989A JPH02218526A JP H02218526 A JPH02218526 A JP H02218526A JP 1036179 A JP1036179 A JP 1036179A JP 3617989 A JP3617989 A JP 3617989A JP H02218526 A JPH02218526 A JP H02218526A
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裕充 時末
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    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11B17/038Centering or locking of a plurality of discs in a single cartridge
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
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    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は嵌合挿入装置およびハンドリング装置に係り、
特に、挿入物体とそれが挿入される他の物体相互間の位
置決め精度が悪くても、容易に、かつ挿入物体を汚した
り傷つけたりすることなく挿入物体を他の物体に嵌合挿
入する装置およびハンドリングに関する。
〔従来の技術〕
一般に物体の組み立て工程においては、各種各様の部品
嵌合挿入作業がある。特に精密な部品の嵌合挿入作業に
は高い位置決め精度が必要となるが、この様な精密部品
の嵌合挿入作業を容易に行えるようにする装置として、
例えば特開昭51−55076号公報に示されるように
、位置決め機構との挿入物体の保持8!構とを弾性体を
介して結合することにより1分解能および精度が悪い位
置決め機構によっても、挿入物体を他の物体に容易に嵌
合挿入することができるようにするものがある。
〔発明が解決しようとするa題〕
上記従来技術では、位置決め精度が悪くても部品を容易
に挿入することができるという利点を有する反面、保持
機構は弾性体によって支持されていることから、挿入部
品の相対位置合わせにずれがある場合には、部品は挿入
されるべき穴や棒に押し付けられ、こすれによる発塵や
かじりつきが発生することが避けられなかった。これに
より。
挿入部品に汚れ傷がつくという問題点があった。
精密な部品は同時に汚れや傷を嫌うことが多い。
本発明は、挿入物体とそれが挿入される他の物体相互間
の位置決め精度が悪くても、挿入物体と他の物体間に押
し付は力が発生することなく、したがって挿入時に挿入
物体を汚したり傷っけたりすることなく、容易に挿入物
体を他の物体に嵌合挿入することができる嵌合挿入装置
およびハンドリング装置を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の第1の特徴は、物体を他の位置に搬送するハン
ドリング装置において、移動アームを有する位置決め機
構と、この位置決め機構の移動アームに設けた物体保持
機構とを備え、前記物体保持機構はその本体と物体との
間に流体膜を形成して物体を本体に対して非接触相対運
動を可能にする流体軸受は機構を備えることにより達成
される。
本発明の第2の特徴は、物体を他の物体に嵌合挿入する
ものにおいて、前記物体を保持する物体保持機構は、そ
の本体に対し物体を相対運動自由に非接触保持する流体
軸受は機構を備えることにより達成される。また、物体
保持機構は、物体を保持する第2の物体保持機構と、こ
の第2の物体保持機構を相対移動可能に非接触保持する
流体軸受は機構を有する第1の物体保持機構とで構成す
ることも可能である。
〔作用〕 本発明の第1の特徴においては、物体保持機構は、挿入
すべき物体を保持する。位置決め機構は、保持された物
体とそれが挿入される他の物体との間の相対位置を、所
定の精度で位置決めする。このとき物体保持機構、ある
いは物体保持機構の支持部に設けられた流体軸受は機構
は、位置決め機構に対する物体の相対位置が、流体軸受
は機構の軸受けすきまを挾む2つの軸受は面がすきま間
隔を変えないで相対運動する方向(軸受は面に沿う方向
)に自由に変化することを可能にする。
流体軸受は機構による挿入物体の移動可能量が位置決め
機構の位置決め誤差による相対位置のずれ量より大きい
とき、物体の移動可能量の範囲内に、両方の物体間の相
対位置の芯が合う挿入位置が存在する。
このとき、例えば挿入物体の挿入部の入り口や先端、あ
るいは挿入物体を嵌合挿入する部分の入り口や先端に挿
入物体の移動可能量より幅の広い面取り状のテーパ部が
設けてあれば、挿入物体と他の物体の相対位置を挿入方
向に近付けて行くことにより、挿入物体はテーパ部にガ
イドされて自動的に挿入位置にまで芯合わせが行われ、
挿入が実現する。
また本発明の第2の特徴においては、挿入すべき物体ま
たは、この物体を保持する機構を流体膜を介して非接触
に保持するので、物体の嵌合挿入時、物体またはその保
持機構に、保持機構からの外力が作用しない、その結果
、物体を汚したり傷つけることなく他の物体に嵌合挿入
することができる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図ないし第4図は本発明の装置の一実施例を示すも
ので、これらの図において、1は他の物体に挿入すべき
例えば磁気ディスク円板の様な挿入物体、4は搬送ある
いは挿入すべき物体1を挿入すべき例えば磁気ディスク
装[5のスピンドルの様な他の物体を示す。
第1図において、予め受は台8に置かれていた物体1は
、物体保持機構2によって保持され、この物体保持機構
2に結合された位置決め機構3によってその位置の移動
が行われ、静止している他の物体4との相対的な位置が
概略合わせられて、挿入が行われる。磁気ディスク装置
5はパレット6の上に置かれ、ローラコンベア7上を運
ばれる。
また第1図では1位置決め機構3は物体保持機構2側に
結合されているが、位置決め機構3は、他の物体4の支
持台側に結合されていてもよい。
第2図および第3図は物体保持機構2の一実施例を示す
もので、これらの図において、物体保持機構2には流体
軸受は機構が設けられており、物体1は物体保持機構2
の本体2Bにおける複数個の保持面2Aに対してすきま
13を介して非接触状態で保持される。物体保持機構2
の保持面2Aには、すきま13内の流体を吸引してすき
ま13内の平均圧力を外気圧以下に保つ流体吸引部と、
すきま13へ加圧流体を導入する流体噴出部とからなる
流体軸受は機構が備えられている。
前記流体吸引部は、保持面2Aの外周部に設けられる環
状の溝19を備えている。この環状の溝19は本体2B
内の流体吸引通路20および管路21を通して流体吸引
源22に連通している。
また、前記流体噴出部は、保持面2Aの中央部に設けら
れた開口部14および絞り15を備えている。この絞り
15は本体2B内の流体供給通路16および管路17を
通して加圧流体供給g]−8に連通している。
また、本体2Bの周囲には、保持した物体1の、保持面
2人に沿う方向の移動範囲を制限する阻止部材23が設
けられている。
また、第4図において、物体1を挿入すべき他の物体4
の挿入部の先端には、挿入方向に投影した距離において
、物体1の移動可能量より幅の広い面取り状のテーパ部
4Aが設けられている。
次に、上述した本発明の装置の一実施例について、その
動作を説明する。
動作の説明に先立って、まず物体1を物体保持機構2の
保持面2Aに対して非接触に保持するための原理を説明
する。
第2図ないし第4図において、流体吸引源22を駆動す
ると、これによって管路21.流体吸引通路20を通し
て環状r#19から流体が吸引され、この環状溝19内
の圧力が外気圧以下に減圧される。この負圧により、物
体1の重量が支持される。
一方、環状溝19内の圧力より高い圧力に保たれている
加圧流体供給源18は、加圧流体を管路17、流体供給
通路16から絞り15.IjFJ口部14を通してすき
ま13へ供給し、この部分に大気圧以上の圧力を与える
。絞り15を通して加圧流体を供給することにより、こ
の部分のすきま内の圧力は、すきま13の間隔が大きく
なれば減少し、すきま13の間隔が小さくなれば増加す
る。
このため、物体1は流体吸引部によって得られる負圧力
との相互作用により、保持面2Aに対し・て一定の微小
なすきま間隔を保って非接触に保持される。
次に、物体1を他の物体2に挿入する動作に付いて説明
する。
第4図において、9は物体1間に設けられろスペーサを
示す。物体1は物体保持機構2の保持面2Aに対して一
定のすきま間隔を保って非接触に支持されるので、閉止
部材23で制限される範囲内で、物体1は保持面2Aに
沿う方向に何ら抵抗を受けることなく、自由に移動する
ことができる。
このとき、他の物体4の挿入部の先端には、挿入方向に
投影したyt<離において、物体1の移動可能量より幅
の広い面取り上のテーパ部4Aが設けられているので、
物体lと他の物体4の相対位置を挿入方向に近付けて行
くことにより、物体1.はテーバ部4Aにガイドされて
自動的に挿入位置にまで芯合わせが行われる。したがっ
て1位置決め機構による位置決めによって物体1と他の
物体4との間に相対位置のずれがあっても、挿入が実現
する。またこのとき、物体1の保持面2Aに沿う方向の
運動には何の抵抗も働かないので、挿入時に、物体1と
他の物体4との間で押し付は力が発生することがない。
以上述べたように、本発明の実施例においては、挿入物
体は流体軸受は機構を介して物体保持機構に支持されて
いるので、流体軸受けの軸受は面方向への物体の移動に
対する抵抗力はほとんど零である。したがって、挿入物
体とそれが挿入される他の物体相互間の位置決め精度が
悪くても、挿入物体と他の物体間に押し付は力が発生す
ることがなく、シたがって挿入時に物体を汚したり傷つ
けることなく、容易に物体を他の物体に嵌合挿入するこ
とができる。
また、本実施例においては、物体1を流体膜を介して非
接触に保持するので、接触によって物体1に汚れや傷が
つくということがない。
第5図および第6図は本発明の装置の他の実施例を示す
もので、これらの図において第1図ないし第4図と同符
号のものは同一部分または相当する部分である。これら
の実施例は、物体保持機構2に流体軸受は機構を備え、
この流体軸受は機構を構成する物体保持機構2の保持面
2Aに、流体吸引部と流体噴出部を互いに横に並ぶよう
に配置した場合である。すなわち、流体吸引部は、保持
面2Aに設けられた開口部19を備えており、この開口
部19は流体軸受は機構2内の流体吸引通路20および
管路21を通して流体吸引源22に連通している。また
、流体噴出部は、保持面2Aに設けられた開口部14お
よび絞り15を備えており、この絞り15は物体保持機
W2内の流体供給通路16および管路17を通して加圧
流体供給il!X18に連通している。
この実施例によれば、保持面2Aに設けられる流体吸引
部と流体噴出部とが互いに横に並ぶように配置されてい
るので、保持面2Aに対向する挿入物体lの保持される
面の幅が狭い場合や、tJxさい場合でも、流体吸引部
、流体噴出部のそれぞれの周囲に広い面積の保持面2A
を配置することができ、したがって保持される面の幅が
狭い、あるいは小さい物体1を容易に非接触保持するこ
とができる。
第7図および第8図は本発明の装置のさらに他の実施例
を示すもので、これらの図において第1図ないし第4図
と同符号のものは同一部分または相当する部分である。
この実施例は、物体保持機構2に流体軸受は機構を備え
、この流体軸受は機構を備える物体保持機構2の保持面
2Aには、流体吸引部と流体噴出部とが備えられ、さら
に保持面2Aの外周部に5保持面2Aと物体1との間の
支持すきま13への外気の流入を防止するための環状の
シール溝31が備えられている場合である。
環状のシールra31は、保持面2Aに、流体吸引部お
よび流体噴出部を囲むように設けられ、環状のシール溝
31は流体軸受は機構2内の流体通路32を通して、清
浄流体源34に連通している。
清浄流体源34は、周囲環境の清浄外気、あるいは管路
33を通して清浄流体を供給する加圧流体供給源のいず
れかで構成される。
この実施例によれば、支持すきま13内へ支持すきま1
3の周辺部から外気が流入することがないので、流体軸
受は機構2の周囲の外気に浮遊塵埃がある場合でも、そ
の浮遊塵埃が支持すきま13へ流入して、保持した物体
1に付着して挿入物体1を汚すということがない。
第9図および第10図は本発明の装置の他の実施例を示
すもので、これらの図において第1図ないし第4図と同
符号のものは同一部分または相当する部分である。この
実施例は、物体保持機構2に第1の物体1を保持するた
めの第1の流体軸受は機構を設け、さらに他の物体4に
第1の物体1と共に嵌合挿入すべき第2の物体9を前記
第1の物体lと同時に保持して、同時に他の物体4に嵌
合挿入するための第2の流体軸受は機構を設けた場合で
ある。第2の流体軸受は機構は、第2の物体9との間に
平面的なすきまを形成するための保持面2Cと、この保
持面2Cに設けられ、この保持面2Cに対向する第2の
物体9に対して大気圧以上の圧力を発生する絞りを備え
た流体噴出部と、保持面2Cに設けられ、第2の物体9
に対して大気圧以下の圧力を発生する流体吸引部とを備
えている。
この実施例によれば、例えば第4図に示すように、磁気
ディスク円板1を磁気ディスク装[5のスピンドル4に
挿入するとき、−回の挿入動作によって磁気ディスク円
板1と同時に第2の物体であるスペーサ9も挿入するこ
とができるので、挿入作業の能率が向上する。
第11図および第12図は本発明の装置のさらに他の実
施例を示すもので、これらの図において第1図ないし第
4図と同符号のものは同一部分または相当する部分であ
る。この実施例は、物体保持機構2に流体軸受は機構を
設け、この流体軸受は機構を備える物体保持機構2の保
持面2Aの外周端付近に、保持面2人に対向する物体1
に対して大気圧以上の圧力を発生する接触防止用流体噴
出部を備えた場合である。この接触防止用流体噴出部は
、保持面2Aの外周端付近に設けられた開口溝64およ
び絞り65を備えており、この絞り65は流体軸受は機
構内の流体供給通路66および管路67を通して加圧流
体供給源68に連通している。
この実施例によれば、保持面2Aの外周端付近に流体噴
出部が備えられているので、物体1を挿入物体保持機構
の流体軸受は機構に掴むとき、あるいは物体1を他の物
体4に挿入するとき、保持面2Aに対して物体1が傾く
ように変位して、保持面2Aに物体1が接触して物体1
が汚れたり傷ついたりするようなことがない。
第13図および第14図は本発明の装置の他の実施例を
示すもので、これらの図において第1図ないし第4図と
同符号のものは同一部分または相当する部分である。こ
の実施例は、物体保持機構2に流体軸受は機構を設け、
この流体軸受は機構を備える物体保持機構2の保持面2
Aに、物体1を上向きに非接触保持するために、保持面
2Aに対向する物体1に対して大気圧以上の圧力を発生
する流体噴出部を備えた場合である。この流体噴出部は
、保持面2Aに設けられた開口部を兼ねる絞り15を備
えており、この絞り15は流体軸受は機構2内の流体供
給通路16および管路17を通して加圧流体供給g1日
に連通している。また矢印10は重力が働く方向を示し
ている。
この実施例によれば、物体1の荷重は保持面2Aと物体
1との間のすきま13が小さくなる方向に働くので、重
量が重い物体1を非接触保持して挿入することができる
。また保持面2Aには流体噴出部のみを設けるので、流
体軸受は機構の構造が簡単になる。
第15図ないし第18図は本発明の装置のさらに他の実
施例を示すもので、これらの図において第1図ないし第
4図と同符号のものは同一部分または相当する部分であ
る。この実施例は、物体保持機構2を第1の物体保持機
構2Xとこれに保持される第2の物体保持機構11とで
構成されている。第1の物体保持機構2xの保持面2A
には流体軸受は機構を構成する流体吸引部と流体噴出部
とが備えられている場合である6第2の物体保持機構1
1は、第1の物体保持機構2の保持面2Aに対してすき
ま13を介して非接触状態で保持される6第2の物体保
持機構11には、保持面2Aに対向する対向面11Aが
備えられている。また、第2の物体保持機構11には、
物体1を真空吸着保持するための真空吸着部が備えられ
ている。この真空吸着部は、物体1を真空吸着保持する
ための吸着面11Bと、この吸着面11Bに設けられた
環状の真空溝71とを備えている。この真空溝71は第
2の物体保持機構11内の吸引通路72゜管v173を
通して負圧発生i74に連通している。
このとき、物体1を固定保持した第2の物体保持機構1
1は第1の物体保持機構2Xの保持面2Aに対して一定
のすきま間隔を保って非接触に保持されるので、阻止部
材23で制限される範囲内で、第2の物体保持aaL1
1に固定された物体1は保持面2Aに沿う方向に何ら抵
抗を受けることなく自由に移動することができる。この
状況はこれまでに述べた、物体保持機構2に流体軸受は
機構が設けられた場合の実施例と同様であり、第18図
に示すように物体1と他の物体4の相対位置を挿入方向
に近付けて行くことにより、物体1はテーバ部4Aにガ
イドされて自動的に挿入位置にまで芯合わせが行われ、
挿入が実現する。
この実施例によれば、物体1は、小さな吸着面積で大き
な保持力を発生することができる真空吸着部で保持し、
物体1を保持した第2の物体保持機1i111を第1の
物体保持機構2Xの流体軸受は機構で非接触保持するの
で、物体1の形状とは無関係に第1の物体保持機構2X
の保持面2Aの面積や形状を決めることができ、大きさ
が小さく重量が重い物体1も保持して挿入することがで
きる。
またここでは第2の物体保持機構11には真空吸着部を
備える場合を示したが、第2の物体保持機構11に物体
1を固定する機構としては、第19図に示すように、鉄
芯81.コイル82.導@83.電源84からなる電磁
石機構、また第20図に示すように、絶縁体85.電極
86.誘電体膜87.導線83.ft源84からなる静
電吸着装置、また第21@に示すように、把持ツメ89
を有するロボットハンド88などを用いることができる
第22図ないし第24図は本発明の装置の他の実施例を
示すもので、これらの図において第1図ないし第4図と
同符号のものは同一部分または相当する部分である。こ
の実施例は、第1の物体保持機構2xに流体軸受は機構
投合して第2の物体保持機構1】を設け、第1の物体保
持機92Xの保持面2Aには流体軸受は機構を構成する
流体吸引部と流体噴出部とが備えられており、第2の物
体保持機構1】に設けられる物体1の真空吸着部の負圧
源として、第1の物体保持機構2Xの保持面2Aに設け
られる流体吸引部による負圧吸引を利用するものである
。第2の物体保持機構11に設けられる真空吸着部の真
空計71は、第2の物体保持機構11内の吸引通路72
を通し、第1の物体保持機構2xの流体吸引部によって
圧力が大気圧に保たれている部分のすきま13に連通し
ている。
この実施例によれば、物体1を第2の物体保持機構11
に真空吸着保持するための負圧発生源が不用であるので
、設備が簡略になる。
第25図は本発明の装置のさらに他の実施例を示すもの
で、この図において第1図ないし第4図と同符号のもの
は同一部分または相当する部分である。この実施例は、
第1の物体保持機構2Xに流体軸受は機構を介して第2
の物体保持機構11を設け、第1の物体保持機構2Xに
は対向する2面の保持面2Aが備えられ、この保持面2
Aには流体噴出部が備えられている場合である。第2の
物体保持機構11は、この対向する2面の保持面2Aに
それぞれ対向する2面の対向面11Aが備えられ、2つ
の保持面2Aに対して2つのすきま13を介し非接触状
態で保持される。また、前記流体噴出部は、保持面2A
に設けられた開口部を兼ねる絞り15を備えており、こ
の絞り15は第1の物体保持機構2X内の流体供給通路
16および、管路17を通して加圧流体供給源18に連
通している。
この実施例によれば、物体1を保持した第2の物体保持
機構11の荷重は、保持面2Aと対向面11Aとの間の
すきま13が小さくなる方向に支持することができるの
で、重量が重い物体1を保持した物体1を非接触保持す
る。ことができ1重量が重い物体1の挿入作業を行うこ
とができる。
第26図は本発明の装置の他の実施例を示すもので、こ
の図において第1図ないし第4図と同符号のものは同一
部分または相当する部分である。
この実施例は、第25図に示した上述の実施例の場合、
すなわち、第1の物体保持機構2Xに流体軸受は機構を
介して第2の物体保持機構11を設け、第1の物体保持
機構2Xには対向する2面の保持面2Aが備えられ、こ
の保持面2Aには流体噴出部が備えられている場合に加
えて、第2の物体保持機構11が第1の物体保持機n2
Xの保持面2Aに沿って動くとき、その保持面2Aに沿
う方向の運動の内のある特定の方向の運動を制限するた
めに、保持面2Aに沿う方向の運動の方向に対して傾き
を持つ第2の保持面2Cを第1の物体保持機構、2Xに
設け、この第2の保持面2Cには流体噴出部が備えられ
ている場合である。この流体噴出部は、第2の保持面2
Cに設けられた開口部を兼ねる絞り15を備えており、
この絞り15は流体軸受は機構内の流体供給通路16お
よび管路17を通して加圧流体供給源18に連通してい
る。
この実施例によれば、物体lの、第1の物体保持機m2
Xの第1の保持面2Aに沿う方向の運動の内、ある特定
の方向の運動を制限することができるので1例えば物体
1が保持面2Aに沿って一方向に平行移動することのみ
を許すことにより。
角柱状の物体1をそれに外嵌する角柱状の穴に挿入する
ことができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、挿入すべき物体
とそれが挿入される他の物体相互間の位置決め精度が悪
くても、物体と他の物体間に押し付は力が発生すること
なく、したがって挿入時に挿入物体を汚したり傷つけた
りすることなく、容易に物体を他の物体に嵌合挿入する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1rRは本発明の装置の一実施例を示す眺観図、第2
図は本発明の装置の一実施例を示す縦断正面図、第3図
はその底面図、第4図は本発明の装置による物体挿入動
作を説明するために供した部分縦断正画図、第5図は本
発明の装置の他の実施例を示す縦断正面図、第6図はそ
の底面図、第7図は本発明の装置のさらに他の実施例を
示す縦断正面図、第8図はその底面図、第9図は本発明
の装置の他の実施例を示す縦断正面図、第10図はその
底面図、第11図は本発明の装置のさらに他の実施例を
示す縦断正面図、第12図はその底面図、第13図は本
発明の装置の他の実施例を示す縦断正面図、第14図は
その底面図、第15図は本発明の装置のさらに他の実施
例を示す物体保持機構および挿入物体保持機構の縦断正
面図、第16図はその物体保持機構の底面図、第17図
はその挿入物体保持機構の底面図、第18図は挿入動作
を説明するために供した部分縦断正面図、第19図ない
し第20図は本発明に用いられる挿入物体の挿入物体保
持機構への固定方法の他の例を示す縦断正面図、第21
図は本発明に用いられる挿入物体の挿入物体保持機構へ
の固定方法の他の例を示す正面図、第22図は本発明の
装置の他の実施例を示す物体保持機構および挿入物体保
持8!構の縦断正面図、第23図はその物体保持機構の
底面図、第24図はその挿入物体保持機構の底面図、第
25図は本発明の装置のさらに他の実施例を示す物体保
持機構および挿入物体保持機構の縦断正面図、第26図
は本発明の装置の他の実施例を示す物体保持機構および
挿入物体保持機構の縦断正面図である。 1・・・挿入物体、2・・・物体保持機構、2A・・・
保持面、3・・・位置決め機構、4・・・他の物体、1
1・・・挿入物体保持機構、14・・・開口部、15・
・・絞り、18・・・加圧流体供給源、19・・・溝、
22・・・流体吸引源。 71・・・真空溝、74・・・負圧発生g。 漬 団 禮q特捧 不 図 A −一一テーハ1F 纂 図 薗 鷲 図 IO−一一動方向 纂 図 74・−e斤塾生現 冨 B 図 鷺 図 不 葛 図 葛 2θ 図 ど/−−一誘4砕屓 爾 zl 図 /1 g3−−一ロホ′ヅトハンF′ 89−−一把持ソメ 第 図 図 不 図 1B 葛 薗

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、物体を他の位置に搬送するハンドリング装置におい
    て、移動アームを有する位置決め機構と、この位置決め
    機構の移動アームに設けた物体保持機構とを備え、前記
    物体保持機構はその本体と物体との間に流体膜を形成し
    て物体を本体に対して非接触相対運動を可能にする流体
    軸受け機構を備えたことを特徴とするハンドリング装置
    。 2、請求項1記載のハンドリング装置において、物体保
    持機構は位置決め機構に結合され、位置決め機構によつ
    て保持物体の位置を変化させることを特徴とするハンド
    リング装置。 3、請求項1記載のハンドリング装置において、物体が
    挿入される他の物体を置く載置台は位置決め機構に結合
    され、位置決め機構によつて物体が挿入される他の物体
    の位置を変化させることを特徴とするハンドリング装置
    。 4、請求項1記載のハンドリング装置において、物体の
    挿入部の入り口や先端、あるいは挿入物体を嵌合挿入す
    る他の物体の挿入部の入り口や先端に、面取り状のテー
    パ部を設けたことを特徴とするハンドリング装置。 5、請求項1記載のハンドリング装置において、物体の
    挿入部の入り口や先端、あるいは物体を嵌合挿入する他
    の物体の挿入部の入り口や先端に設けた面取り状のテー
    パ部の挿入方向に投影した幅は、物体保持機構による物
    体の挿入方向に投影した移動可能量より大きいことを特
    徴とするハンドリング装置。 6、物体を他の物体に嵌合挿入するものにおいて、前記
    物体を保持する物体保持機構は、物体との間に平面的な
    すきまを形成するための保持面と、この保持面に設けら
    れ、この保持面に対向する物体に対して大気圧以上の圧
    力を発生する絞りを備えた流体噴出部と、保持面に設け
    られ、物体に対して大気圧以下の圧力を発生する流体吸
    引部とを備えたことを特徴とする嵌合挿入装置。 7、物体を他の物体に嵌合挿入するものにおいて、物体
    を保持する物体保持機構は、第1の物体保持機構と、こ
    の第1の物体保持機構により保持される第2の物体保持
    機構とを備え、前記第1の物体保持機構は、前記第2の
    物体保持機構との間に平面的なすきまを形成するための
    保持面と、この保持面に設けられ、この保持面に対向す
    る第2の物体保持機構の対向面に対して大気圧以上の圧
    力を発生する絞りを備えた流体噴出部と、保持面に設け
    られ、対向面に対して大気圧以下の圧力を発生する流体
    吸引部とを備えたことを特徴とする嵌合挿入装置。 8、請求項6または7記載の嵌合挿入装置において、保
    持面に設けられた流体噴出部は保持面に開口する絞りを
    備える流体噴出孔で構成し、流体吸引部は保持面に開口
    する流体吸引孔で構成したことを特徴とする嵌合挿入装
    置。 9、請求項8記載の嵌合挿入装置において、保持面に設
    けられた流体吸引孔は、流体噴出孔を取り囲むように設
    けた流体吸引溝で構成したことを特徴とする嵌合挿入装
    置。 10、請求項9記載の嵌合挿入装置において、流体噴出
    孔を取り囲む用に設けた流体吸引溝のさらに外側の保持
    面に、流体吸引溝を囲むように、流体吸引溝内の圧力以
    上の圧力の流体が供給される給気溝を設けたことを特徴
    とする嵌合挿入装置。 11、請求項6ないし10のいずれかに記載の嵌合挿入
    装置において、保持面の外周端付近に設けられ、保持面
    に対向する対向面に対して大気圧以上の圧力を発生する
    流体噴出部を備えたことを特徴とする嵌合挿入装置。 12、物体を他の物体に嵌合挿入するものにおいて、物
    体を保持する物体保持機構は、物体の下面との間に平面
    的なすきまを形成するための保持面と、この保持面に設
    けられ、この保持面に対向する物体に対して大気圧以上
    の圧力を発生する絞りを備えた流体噴出部とを備えたこ
    とを特徴とする嵌合挿入装置。 13、物体を他の物体に嵌合挿入するものにおいて、物
    体を保持する物体保持機構は、第1の物体保持機構と、
    この第1の物体保持機構により保持される第2の物体保
    持機構とを備え、前記第1の物体保持機構は前記第2の
    物体保持機構の2つの対向面との間に平面的なすきまを
    形成するための保持面と、この保持面に設けられ、この
    保持面に対向する対向面に対して大気圧以上の圧力を発
    生する絞りを備えた流体噴出部とを備えたことを特徴と
    する嵌合挿入装置。 14、物体を他の物体に嵌合挿入するものにおいて、物
    体を保持する物体保持機構は、他の物体に嵌合挿入すべ
    き第1の物体を非接触に保持する第1の流体軸受け機構
    と、他の物体に第1の物体と共に嵌合挿入すべき第2の
    物体を非接触に保持する第2の流体軸受け機構とを備え
    、前記各流体軸受け機構は、それぞれ第1の物体と第2
    の物体との間に平面的なすきまを形成するための保持面
    と、この保持面に設けられ、この保持面に対向する第1
    および第2の物体に対して大気圧以上の圧力を発生する
    絞りを備えた流体噴出部と、保持面に設けられ、第1お
    よび第2の物体に対して大気圧以下の圧力を発生する流
    体吸引部とを備えたことを特徴とする嵌合挿入装置。 15、物体を他の物体に嵌合挿入するもにおいて、物体
    を保持する物体保持機構は、他の物体に嵌合挿入すべき
    第1の物体を非接触状態に浮上させる第1の流体軸受け
    機構と、他の物体に第1の物体と共に嵌合挿入すべき第
    2の物体を非接触状態に浮上させる第2の流体軸受け機
    構とを備え、前記各流体軸受け機構は、第1および第2
    の物体の下面との間に平面的なすきまを形成するための
    保持面と、この保持面に設けられ、この保持面に対向す
    る第1および第2の物体の下面に対して大気圧以上の圧
    力を発生する絞りを備えた流体噴出部とを備えたことを
    特徴とする嵌合挿入装置。
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