JPH01309579A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH01309579A
JPH01309579A JP63139519A JP13951988A JPH01309579A JP H01309579 A JPH01309579 A JP H01309579A JP 63139519 A JP63139519 A JP 63139519A JP 13951988 A JP13951988 A JP 13951988A JP H01309579 A JPH01309579 A JP H01309579A
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泰章 西田
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芳己 飯野
Hiroshi Otake
浩 大竹
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阿部 正英
Shigeo Yoshikawa
吉川 重夫
Yukio Endo
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Masayuki Matsunaga
誠之 松長
Nozomi Harada
望 原田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的コ (産業上の利用分野) 本発明は、2次元固体撮像装置に係り、特に少ないフィ
ールド内サンプリングポイント数で高解像度、低偽解像
な信号を得るよう構成した固体撮像装置に関する。
(従来の技術) 固体撮像装置における解像度は固体撮像装置に集積され
た画素数によって決まり、高解像度を得るには画素数の
増加が必要となる。ところが、画素数が多いことは、画
素信号読出し周波数が高くなることを意味している。こ
のため、画素数が多いと信号帯域が広がり、ノイズが増
加する。また、画素数の増大は1画素サイズの減少につ
ながり、さらに1画素に蓄積される信号電荷数の減少に
なる。そして、このノイズの増加と最大蓄積信号電荷数
の減少により、ダイナミックレンジが低下する。
一方、固体撮像装置においては、ナイキスト限界以上の
空間周波数を持つ被写体の撮像では、モアレ等の偽信号
が発生し再生像を劣化させる。この偽信号を減少させる
ため従来、例えば入射面に光導電膜を積層したり、レン
チキラーレンズを用いる等して画素開口を等価的に大き
くしていた。
しかしながら、画素ピッチより大きな開口を得ることは
できず、この方法では限界があった。また、特公昭[1
2−40910号公報に開示されている駆動法では、偶
数フィールドと奇数フィールドで垂直CCD転送方向に
2画素の組合わせを変え、その加算信号を出力しインタ
ーレース走査を行っている。この方法は、主として信号
蓄積期間をフレーム周期からフィールド周期にして残像
を低減する目的で用いられているものであり、垂直方向
の偽信号は減少できるものの、水平方向については従来
と変らず偽信号が発生する問題があった。
これらの問題に対して、特開昭61−133782号公
報に開示されている固体撮像装置では、画素集積度を上
げることなく、且つ画素読出し周波数を下げても従来の
正方格子配置画素の固体撮像装置並みの解像度を実現で
きる。しかも、解像度を上げてもダイナミックレンジを
大きくできる特徴がある。しかしながら、この装置は1
画素に4個の信号電荷読出しゲートが必要となること、
垂直CCDの信号電荷転送路がジグザグとなることによ
り、素子構成が複雑になるという問題があった。
(発明が解決しようとする課題) このように従来、高解像度を得るために画素数を増やす
と画素サイズが小さくなり、ノイズの増大及び最大蓄積
信号の減少を招き、ダイナミックレンジが低下する。さ
らに、ナイキスト限界以上の空間周波数を持つ被写体の
撮像では、モアレ等の偽信号が発生し再生画像の劣化を
招く。また、これらを解決するために特開昭61−13
3782号公報のような構成を採ると、信号電荷読出し
ゲート数が増え、信号電荷転送路がジグザグとなり、素
子構成が複雑になるという問題があった。
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目
的とするところは、素子構造の複雑化を招くことなく、
画素数の増加に伴うダイナミックレンジの低下及びモア
レ等の偽信号の発生を防止することができ、高解像度で
簡易な構成の固体撮像装置を提供することにある。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明の骨子は、水平方向画素の信号加算を行い、且つ
フィールド毎に信号電荷の組合わせを異なるように駆動
することにある。
即ち本発明は、複数の受光素子を2次元的に配置し、複
数フィールドで1フレームを構成する固体撮像装置にお
いて、前記各受光素子に接続され該受光素子で検出され
た信号電荷を取出し垂直方向に転送する複数本の第1の
信号転送路(垂直CCDレジスタ)と、これらの第1の
信号転送路から転送される信号電荷を入力し、該電荷を
水平方向に転送して読出す第2の信号転送路(水平CC
Dレジスタ)と、隣接する第1の信号転送路の信号電荷
を加算する手段とを設け、該加算手段により、第1の信
号転送路のn番目(nは正の整数)と(n−1)番目の
信号電荷の加算、又はn番目と(n+1)番目の信号電
荷の加算をフィールド毎に選択して行うようにしたもの
である。
(作用) 本発明によれば、1画素(受光素子及び電荷蓄積部)に
1個の信号読出しゲートで構成する簡単な装置にも拘ら
ず、複数(例えば垂直及び水平の4個の)画素の信号電
荷を加算し、さらにフィールド毎に各画素の組合わせを
異ならせることができる。また、1フイールド内で全て
の信号電荷を読出すことができる。従って、ノイズも少
なく十分大きな信号電荷を得ることができ、ダイナミッ
クレンジの増大をはかると共に、残像の少ない高画質の
再生像を得ることが可能である。
また本発明においては、第2の信号転送路を水平画素数
の少なくとも 1/2の段数の水平転送数で構成でき、
水平転送電極を駆動する周波数も少なくとも1/2にで
きる。これにより信号帯域が狭くなり、その分ノイズが
減少してダイナミックレンジを大きくでき、高解像度画
像を得ることができる。さらに、水平方向と垂直方向の
画素信号の加算を行うことにより、画素ピッチよりも大
きな画素開口を持たせることができ、少ない画素数で偽
信号が少なく、解像度、感度が高い再生画像が得られる
。また、従来装置に見られた垂直CCDレジスタ形状の
複雑さがなく、単純な形で構成できる特徴があるので、
より多画素の固体撮像装置を実現することが可能となる
(実施例) 以下、本発明の詳細を図示の実施例によって説明する。
第1図は本発明の第1の実施例を説明するための模式図
で画素の配列と加算すべき画素の組合わせ例を示してい
る。垂直、水平方向に配列された各画素(P +−+ 
、  P l−2、〜+ PI−N 5P2−1 +P
2−2+  〜、 ” 2−N  S P 3−1  
+  P  3−2  +  、〜P3−N、〜、PM
−1+ PM−2+〜、PM−N)とこれらの画素から
得られる信号電荷を垂直、水平の各2画素づつ加算して
、そのサンプリング中心点を第1フイールド○印(S 
Al−1n  S Al−2+ 〜。
5A2−1+ ・・・)、第2フイールド・印(SB□
−1゜5BI−2+〜+  582−1+ ・・・)で
示す。再生画像上の走査線を第1フイールドをN、N+
1.N+2゜・・・で示し、第2フイールドをN’、(
N+1)’、・・・で示す。
各画素の信号電荷の加算組み換え順番を説明する。ここ
では、4画素加算の場合について説明する。第1.第2
フイールドで1フレームを構成する撮像方式において、
第1フイールドのN走査線に相当する画素サンプリング
中心点は5Al−1+S Al−21・・・となる。こ
のとき、サンプリング中心点S Al−1に対する検出
は、画素P l−1+  PI−2+” 2−1 + 
 P 2−2の信号電荷を加算して行う。そして、次の
サンプリング中心点S^1−2のときは、画素P l−
3+  P I−4+ ” 2−3 +  P2−4の
信号電荷を加算して行う。同様に、N+1走査線に相当
する画素サンプリング中心点SA□−1+  5A2−
2は、それぞれ画素P31 +  P32 +  P4
−1 +  P4−2及び画素P 3−3 +  P3
−4 r  P43 +  P4−4を加算して行う。
この動作を各走査に応じて行い、次の第2フイールドの
N′走査線に相当する画素サンプリング中心点SBl 
l+  S B□−2は、それぞれ画素P2’−2゜P
23 +  P32 +  P 33及び画素P 2−
4 +  P2−5 +P3−4 、  P3−5を加
算して行う。このとき、第1フイールドと第2フイール
ドの水平方向と垂直方向の画素加算は1画素づつずらし
て行う。この結果、各フィールドにおけるサンプリング
中心点は図に示すように○印、・印で表示した位置にな
る。
上記の動作を行うことにより、各画素より構成される画
素ピッチより大きな開口が得られ、且つ第1フイールド
と第2フィールド間で開口が重なる効果が生じる。これ
により、モアレ等の偽信号が減少できる。第1フイール
ドと第2フイールドのサンプリング中心点は180°位
相がずれているので、再生画像上での解像度は素子の水
平画素数で決まる値と同じ高解像度が得られる。また、
この動作ではフィールド内で全画素の信号電荷を読出す
ので残像の少ない再生画像が得られる。さらに、画素信
号電荷を4画素分加算して読出すので、垂直方向の2画
素分加算に対して2倍の信号電荷になる。従って、素子
出力部で混入するノイズの影響を小さくでき、S/Hの
向上をはかることができる。また、本動作では水平転送
電極段数を従来の 1/2にでき、且つこの転送周波数
も1/2にできる。このため、従来水平転送電極構成で
水平画素ピッチか決まっていたのが、この分作り方が容
易になるので、より高解像度の固体撮像素子が実現可能
になる。
次に、第1図で示した動作を実現する具体的素子の一実
施例について説明する。第2図は本発明の一実施例に係
わる固体撮像装置を示す概略構成図、第3図は信号電荷
を加算するための加算電極部を示す要部構成図である。
本装置は画素(P 1−+ 、  P l−2、〜、P
M−N)10、垂直CCDレジスタ(第1の信号転送路
)2〇(20+ 、 〜、  2 ON) 、加算電極
3o、水平CCDレジスタ(第2の信号転送路)40、
出力アンプ50、出力端子60で構成される。垂直CC
Dレジスタ20は4相(φVl+  φV2+  φV
 3 +φV4)で駆動され、水平CCDレジスタ4o
は2相(φ旧、φH2)で駆動される場合について示し
ている。加算電極30は、第1及び第2の加算ゲート3
1,32と垂直ccDレジスタ2oの一部(この図の場
合はφVl+  φV2が印加される電極)を使用する
。第3図で示す点線は信号電荷の転送路を示す。
画素10からの信号電荷読出しは、垂直CCDレジスタ
20の転送電極のうち、φVI+  φV3が印加され
る転送電極にフィールドシフトゲート21を設けて行っ
ている。垂直方向の画素信号加算は垂直CCDレジスタ
2oのタイミングを工夫して行っている。そして、本発
明の特徴である水平方向の画素加算は、加算電極3oで
行う。このとき、例えば垂直CCDレジスタ20..2
02の列の信号電荷を加算するには、加算ゲート31を
閉じて加算ゲート432を開く。この動作によりレジス
タ20□の信号電荷Q。1とレジスタ20□の信号電荷
QC2との加算が図の。点で行える。また、垂直CCD
レジスタ202.203の列の信号電荷を加算するには
、加算ゲート32を閉じて加算ゲート31を開く。この
動作によりレジスタ20□の信号電荷Q。2とレジスタ
20.の信号電荷Q。3との加算が図のB点で行える。
以上の動作を、第4図乃至第8図を参照してより具体的
に説明する。第4図は第1フイールドの動作タイミング
、第5図は第2フイールドの動作タイミングを示し、第
6図は垂直画素方向の加算状態を示し、第7図及び第8
図は水平画素方向の加算状態を示す。第4図及び第5図
のV、、V2゜V3 、 V4 、 Vs 、 V6 
、 V7 it所定の電圧ヲ印加することを示す。FS
は画素から信号電荷を読出すフィールドシフト期間を示
す。ADは垂直方向の加算期間を示す。LSI−+ 、
LSI−2。
L S 2−1 、  L S 2−2は垂直方向の転
送を示すラインシフト期間である。RO1−1,ROl
 −2。
RO2−1、RO2−2は水平CCDレジスタ40の読
出し動作を示す。
第6図(a)は第1フイールドの動作であり、第4図の
タイミングパルスを各電極へ印加した状態を示す。O印
は信号電荷の位置を示す。まず、φV l +  φV
3が与えられる電極にフィールドシフト電圧■1を印加
し、この電極に対応した画素の信号電荷を読出す。そし
て、ADの期間で垂直方向の2画素加算を行う。そして
、第7図(a)に示す位置までラインシフト動作を行い
信号電荷を転送する。第7図(a)では加算ゲート31
を閉じて、加算ゲート32を開くことにより垂直CCD
レジスタ20、を転送してきた信号電荷と垂直CCDレ
ジスタ20□を転送してきた信号電荷の加算が行える。
2つの水平方向画素の信号電荷を加算後、第7図(b)
に示すように水平CCDレジスタ40へ転送し、その後
読出す。
第2フイールドでは第5図のタイミングパルスを各電極
へ印加し、第6図(b)の・印の信号電荷の状態となる
。このとき、第1フイールドとは垂直方向に1画素組合
せをずらす。そして、第8図(a)に示すように加算ゲ
ート32を閉じて、加算ゲート31を開く。このことに
より、垂直CCDレジスタ20□と垂直CCDレジスタ
203を転送してきた信号電荷の加算が行える。この加
算は、第1フイールドに対して水平方向に1画素ずらし
ている。以上の動作の全画素について行うと、第1図で
説明した4画素加算のサンプリング点を得た信号を再生
することができる。
このように本実施例によれば、1画素に1個のフィール
ドシフトゲート21を設けるだけで、垂直及び水平の4
画素の信号電荷を加算することができ、且つフィールド
毎に加算組合わせを異ならせることができる。従って、
ノイズも少なく十分大きな信号電荷を得ることができ、
ダイナミックレンジの増大をはかると共に、解像度の向
上及びモアレの低減をはかることができる。さらに、垂
直CCDレジスタ20が直線状となり、信号転送路を単
純な形で加算が実施できるので、より多画素の固体撮像
素子も提供できる。また、従来素子に比べ同じ解像度を
得るための水平転送段数を1/2にすることができ、水
平転送の周波数を172に下げることができる。このた
め信号帯域が下げられ、この分ノイズが減少するのでダ
イナミックレンジを大きくできる。さらに、フィールド
毎に全ての画素の信号電荷を蓄積、読出すので、残像の
少ない高画質な再生像が得られる利点がある。
次に、本発明の第2の実施例について説明する。
これは、先に説明した第1の実施例の加算電極の機能を
、水平CCDレジスタの駆動法で実施した例である。第
9図は本実施例装置の要部構成図であり、第10図は水
平CCDレジスタ4oの転送電極へ印加する転送パルス
φHI r  φH2を示すタイミングチャートであり
、第11図はこのときの信号電荷の状態を示す模式図で
ある。この動作を行うには、φHI +  φ+12が
与えられる水平CCDレジスタ40の転送電極に垂直C
CDレジスタ2oがらの信号電荷が転送できるような構
成としておく。
第9図の点線で示したレジスタの範囲はこの転送路を示
している。φV l +  φV2+  φV3+  
φV4は垂直CCDレジスタ20の転送電極に与えられ
るパルスを示し、φ旧、φll□は水平CCDレジスタ
40の転送電極に与えられるパルスを示す。Q+。
Q2.・・・、Qsは垂直CCDレジスタ20から流れ
てくる信号電荷を示す。
水平画素の加算は第10図のタイミング図で示すように
水平ブランキングで行う。まず、第1フイールドのtl
では垂直画素の信号電荷が水平方向に独立に転送されて
くる。このときφ旧はHレベル、φH2はHレベルであ
り、レジスタ40内の電荷の状態は第11図(b)に示
す通りである。そして、t2ではφH1をHレベル、φ
H2をLレベルにする。これにより、第11図(C)に
示すようにQ1+Q2 、Q3 +Q4 、・・・の信
号電荷の加算が行える。次の第2フイールドではまず、
第1フイールドと同様にφ2,1.φH2をHレベルに
して垂直CCDレジスタ20からの信号電荷の転送を行
う。
このときの信号電荷の状態は、第11図(d)に示す如
く同図(b)と同様である。そして、こんどはφ、1□
をLレベル、φH2をHレベルにする。これにより、第
11図(e)に示すように第1フイールドとは水平方向
に1画素組合せをずらしたQ2+Q3 、 Q4 +Q
5 、・・・の信号電荷の加算が行える。
以上の動作を行うことにより、水平方向の画素の加算が
できるので第1図で説明したサンプリング点が得られる
従って本実施例によれば、先の実施例と同様の効果が得
られるのは勿論のこと、水平方向の信号電荷の加算に特
別に加算電極を設ける必要がなくなり、構成をより簡略
化し得る等の利点がある。
次に、本発明の第3の実施例について説明する。
第12図は感光部にインクライン転送構造のCCDを用
いて信号電荷の蓄積部70を設け、その転送方向に水平
CCDレジスタを有するフレームインターライン転送型
CCDに本発明を適用した素子構成図である。この構成
の特徴は、垂直CCDレジスタ20と蓄積部70との間
に加算電極30を設けたことである。これにより、蓄積
部70と水平CCDレジスタ40における転送段数を1
/2にできる特徴が生じる。具体的な動作は、第2図で
説明した内容とほぼ同しであり、ここでは垂直CCDレ
ジスタ20の信号電荷を水平方向に加算してから蓄積部
70へ転送する。
なお、本発明は上述した各実施例に限定されるものでは
ない。例えば、画素加算の組合せは第1図に説明したも
のに限定されない。第1図では第1、第2の2つのフィ
ールドで1画面を構成した例について説明しているが、
これを第1.第2゜第3.第4の4つのフィールドで1
画面を構成した例を第13図及び第14図に示す。4フ
イールドで1画面を構成するとモアレをより減少させ、
実効的なサンプリングポイント数が増加するので、解像
度の更なる向上を期待できる。第13図及び第14図で
矢印は加算組合せを示し、0印は第1フイールドのサン
プリング中心点、・印は第2フイールドのサンプリング
中心点、△印は第3フイールドのサンプリング中心点、
ム印は第4フイールドのサンプリング中心点である。こ
のようなサンプリング点を得る動作は、第2図乃至第1
2図で説明した方法と同様にして実施できる。
また、実施例ではインターライン転送型CCDを中心に
行ったが、本発明はこれに限らず、フレーム転送型CC
D、MOS型固体撮像素子、ラインアドレス型固体撮像
素子等へ適用できる。本発明を適用するには1フイール
ド内に全画素の信号電荷を読出す構成であればよい。M
OS型固体撮像素子の場合は、第1及び第2の信号転送
路が信号線となり、信号線と受光素子との間にそれぞれ
MOSゲートが配置される。そして、これらのMOSゲ
ートのオン・オフタイミングを制御することにより、実
施例と同様な加算処理が行える。
また、本発明は例えばアモルファスシリコン等の光電変
換膜を受光面に用いた2階建構造の固体撮像素子に適用
すれば素子自身の開口が大きくなるのでよりモアレの減
少、感度の向上となり、大幅に画質向上が得られる。そ
の他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して
実施することができる。
[発明の効果コ 以上詳述したように本発明によれば、第1の信号転送路
と第2の信号転送路との間に加算電極等を設けることに
より、1画素に1個の信号読出しゲートで構成する簡易
な構成にも拘らず、水平方向画素の信号加算を行うこと
ができ、且つフィールド毎に信号電荷の組合わせを異な
らせることができる。従って、素子構造の複雑化を招く
ことなく、画素数の増加に伴うダイナミックレンジの低
下及びモアレ等の偽信号の発生を防止することができ、
高解像度で簡易な構成の固体撮像装置を実現することが
可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第8図は本発明の第1の実施例を説明するた
めのもので、第1図は画素配置及び加算組合わせ状態を
示す模式図、第2図は固体撮像装置を示す概略構成図、
第3図は同装置を示す要部構成図、第4図及び第5図は
タイミングチャート、第6図乃至第8図は信号電荷の転
送及び加算状態を示す模式′図、第9図乃至第11図は
本発明の第2の実施例を説明するためのもので、第9図
は要部構成図、第10図はタイミングチャート、= 2
2 − 第11図は加算状態を示す模式図、第12図は本発明の
第3の実施例を示す要部構成図、第13図及び第14図
は変形例を説明するための模式図である。 10・・・画素(P 、  P 1−1.  P l−
2、〜、  PM−N)、20・・・垂直CCDレジス
タ(第1の信号転送路)、21・・・フィールドシフト
ゲート、30・・・加算電極、31.32・・・加算ゲ
ート、40・・・水平CCDレジスタ(第2の信号転送
路)、50・・・アンプ、60・・・出力端子、70・
・・蓄積部。 出願人代理人  弁理士 鈴江武彦 工  ニ ーi−Q−

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数の受光素子を2次元的に配置し、複数フィー
    ルドで1フレームを構成する固体撮像装置において、前
    記各受光素子に接続され該受光素子で検出された信号電
    荷を取出し垂直方向に転送する複数本の第1の信号転送
    路と、これらの第1の信号転送路から転送される信号電
    荷を入力し、該電荷を水平方向に転送して読出す第2の
    信号転送路と、隣接する第1の信号転送路の信号電荷を
    加算する手段とを具備し、前記加算手段は、第1の信号
    転送路のn番目(nは正の整数)と(n−1)番目の信
    号電荷の加算、又はn番目と(n+1)番目の信号電荷
    の加算をフィールド毎に選択して行うものであることを
    特徴とする固体撮像装置。
  2. (2)前記第1及び第2の信号転送路は、CCDレジス
    タ又は信号線であることを特徴とする請求項1記載の固
    体撮像装置。
  3. (3)前記加算手段は、加算すべき第1の信号転送路の
    組合わせを、フィールド毎に異ならせるものであること
    を特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
  4. (4)前記加算手段は、第1及び第2の信号転送路の間
    に設けられた加算ゲートからなり、第1の信号転送路か
    ら第2の信号転送路に信号電荷が転送される際に2つの
    信号電荷を加算するものであることを特徴とする請求項
    1又は3記載の固体撮像装置。
  5. (5)前記加算手段は、第1の信号転送路から第2の信
    号転送路に信号電荷を転送する期間又はその直後に、第
    2の信号転送路内で2つの信号電荷を加算するものであ
    ることを特徴とする請求項1又は3記載の固体撮像装置
  6. (6)複数の受光素子を2次元的に配置し、複数フィー
    ルドで1フレームを構成する固体撮像装置において、前
    記各受光素子に接続され該受光素子で検出された信号電
    荷を取出し垂直方向に転送する複数本の垂直CCDレジ
    スタと、これらのレジスタから転送される信号電荷を入
    力し、該電荷を水平方向に転送して読出す水平CCDレ
    ジスタと、垂直及び水平CCDレジスタの間にそれぞれ
    配置され隣接する垂直CCDレジスタの信号電荷を加算
    する加算ゲートとを具備し、前記加算ゲートは、垂直C
    CDレジスタのn番目(nは正の整数)と(n−1)番
    目の信号電荷の加算、及びn番目と(n+1)番目の信
    号電荷の加算をフィールド毎に交互に行うものであるこ
    とを特徴とする固体撮像装置。
  7. (7)複数の受光素子を2次元的に配置し、複数フィー
    ルドで1フレームを構成する固体撮像装置において、前
    記各受光素子に接続され該受光素子で検出された信号電
    荷を取出し垂直方向に転送する複数本の垂直CCDレジ
    スタと、これらのレジスタから転送される信号電荷を水
    平方向に転送して読出し、且つ垂直CCDレジスタから
    信号電荷を転送する期間又はその直後に隣接する垂直C
    CDレジスタからの信号電荷を加算する水平CCDレジ
    スタとを具備し、前記水平CCDレジスタは、該レジス
    タの転送電極に与える電圧により、垂直CCDレジスタ
    のn番目(nは正の整数)と(n−1)番目の信号電荷
    の加算、及びn番目と(n+1)番目の信号電荷の加算
    をフィールド毎に交互に行うものであることを特徴とす
    る固体撮像装置。
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