JPH01206637A - Ｘｙ駆動機構 - Google Patents
Ｘｙ駆動機構Info
- Publication number
- JPH01206637A JPH01206637A JP3159488A JP3159488A JPH01206637A JP H01206637 A JPH01206637 A JP H01206637A JP 3159488 A JP3159488 A JP 3159488A JP 3159488 A JP3159488 A JP 3159488A JP H01206637 A JPH01206637 A JP H01206637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- frame
- axis direction
- motor
- motors
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はＸＹ駆動機構に係り、特にＸ軸方向に長いフレ
ームをＸＹ軸方向に駆動するに好適なＸＹ駆動機構に関
する。
ームをＸＹ軸方向に駆動するに好適なＸＹ駆動機構に関
する。
［従来の技術］
従来、例えば半導体部品にインナーリードポンディング
を行うインナーリードポンダにおいては、特公昭５７−
５３９７４号公報、特公昭６２−２７７３５号公報及び
特公昭６２−５５２９８号公報に示すように、キャリア
テープのリードとウェファ基板上のダイとを自動位置合
せすることが行われている。
を行うインナーリードポンダにおいては、特公昭５７−
５３９７４号公報、特公昭６２−２７７３５号公報及び
特公昭６２−５５２９８号公報に示すように、キャリア
テープのリードとウェファ基板上のダイとを自動位置合
せすることが行われている。
ところで、キャリアテープは、供給リールよりポンディ
ング部を経て巻取リリールに巻き取られるので、キャリ
アテープを案内するガイド部材を支持するフレームは、
キャリアテープの送り方向（Ｘ軸方向）に長い部材とな
る。そこで、キャリアテープのリードとダイとを位置合
せするために、Ｘ軸方向に長いフレームをＸＹ軸方向に
移動させる必要がある。
ング部を経て巻取リリールに巻き取られるので、キャリ
アテープを案内するガイド部材を支持するフレームは、
キャリアテープの送り方向（Ｘ軸方向）に長い部材とな
る。そこで、キャリアテープのリードとダイとを位置合
せするために、Ｘ軸方向に長いフレームをＸＹ軸方向に
移動させる必要がある。
前記従来技術は、Ｘ軸方向に長いフレームの一端側をＸ
軸用及びＹ軸周モータでＸＹ軸方向に駆動されるＸＹ子
テーブル支持させ、他端側を水平移動可能なスラスト軸
受に支持させてなる。
軸用及びＹ軸周モータでＸＹ軸方向に駆動されるＸＹ子
テーブル支持させ、他端側を水平移動可能なスラスト軸
受に支持させてなる。
［発明が解決しようとする課題］
上記従来技術は、フレーム及びフレームが支持するガイ
ド部材等の重量をＸＹ子テーブルスラスト軸受で受ける
ことになるので、Ｘ軸方向に長いフレームの一端側をＸ
Ｙテーブルで駆動して特にＹ軸方向に移動させた場合、
他端側（スラ□スト軸受）の動きが遅れると共に、移動
量のばらつきが生じ、キャリアテープのリードとダイと
を位置合せのばらつきが生じるという問題があった。
ド部材等の重量をＸＹ子テーブルスラスト軸受で受ける
ことになるので、Ｘ軸方向に長いフレームの一端側をＸ
Ｙテーブルで駆動して特にＹ軸方向に移動させた場合、
他端側（スラ□スト軸受）の動きが遅れると共に、移動
量のばらつきが生じ、キャリアテープのリードとダイと
を位置合せのばらつきが生じるという問題があった。
本発明の目的は、Ｘ軸方向に長いフレームを特にＹ軸方
向に高精度で移動させることができるＸＹ駆動機構を提
供することにある。
向に高精度で移動させることができるＸＹ駆動機構を提
供することにある。
［課題を解決するための手段コ
上記目的は、Ｘ軸方向に長いフレームと、このフレーム
のＸ軸方向の両端側をそれぞれ支持すると共に、ＸＹ軸
方向に移動可能な第１及び第２ｘＹテーブルと、前記第
１ＸＹテーブルをＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動する第１
ｘ軸用モータ及び第１Ｙ軸用モータと、前記第２ＸＹテ
ーブルをＹ軸方向に駆動する第２Ｙ軸用モータと、前記
第１及び第２Ｙ軸用モータを同期させて駆動する同期駆
動手段とを備えた構成にすることにより解決される。
のＸ軸方向の両端側をそれぞれ支持すると共に、ＸＹ軸
方向に移動可能な第１及び第２ｘＹテーブルと、前記第
１ＸＹテーブルをＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動する第１
ｘ軸用モータ及び第１Ｙ軸用モータと、前記第２ＸＹテ
ーブルをＹ軸方向に駆動する第２Ｙ軸用モータと、前記
第１及び第２Ｙ軸用モータを同期させて駆動する同期駆
動手段とを備えた構成にすることにより解決される。
［作用］
フレームのＸ軸方向の両端側は、同期して回転□駆動さ
れる第１及び第２Ｙ軸用モータによってＹ軸方向に移動
させられるの、で、フレームは平行に高精度でもって移
動させられる。
れる第１及び第２Ｙ軸用モータによってＹ軸方向に移動
させられるの、で、フレームは平行に高精度でもって移
動させられる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図により説明
する。Ｘ軸方向に長いフレーム１のＸ軸方向の両端側は
、それぞれＸＹ軸方向に移動可能な第１及び第２ＸＹテ
ーブル２．３に支持されている。第１ＸＹテーブル２は
、第１Ｘ軸用モータ４及び第１Ｙ軸用モータ５により図
示しない雄ねじ及び雌ねじを介してそれぞれＸ軸及びＹ
軸方向に移動させられる。第２ＸＹテーブル３は、第２
Ｙ軸用モータ６により同様に雄ねじ及び雌ねじを介して
Ｙ軸方向に移動させられる。
する。Ｘ軸方向に長いフレーム１のＸ軸方向の両端側は
、それぞれＸＹ軸方向に移動可能な第１及び第２ＸＹテ
ーブル２．３に支持されている。第１ＸＹテーブル２は
、第１Ｘ軸用モータ４及び第１Ｙ軸用モータ５により図
示しない雄ねじ及び雌ねじを介してそれぞれＸ軸及びＹ
軸方向に移動させられる。第２ＸＹテーブル３は、第２
Ｙ軸用モータ６により同様に雄ねじ及び雌ねじを介して
Ｙ軸方向に移動させられる。
前記第１ｘ軸用モータ４、第１Ｙ軸用モータ５及び第２
Ｙ軸用モータ６にはそれぞれＸ軸ドライバー７、Ｙ軸ド
ライバー８．９が接続されており、パルス発生器１０よ
りＸ軸ドライバー７にはＸ軸パルスが、Ｙ軸ドライバー
８．９には同一のＹ軸パルスが入力される。
Ｙ軸用モータ６にはそれぞれＸ軸ドライバー７、Ｙ軸ド
ライバー８．９が接続されており、パルス発生器１０よ
りＸ軸ドライバー７にはＸ軸パルスが、Ｙ軸ドライバー
８．９には同一のＹ軸パルスが入力される。
次に作用について説明する。パルス発生器１０からＸ軸
パルスがＸ軸ドライバー７に入力されると、第１ＸＹテ
ーブル２がＸ軸方向に移動させられる。即ち、フレーム
１はＸ軸方向に移動させられる。またパルス発生器１０
から同一のＹ軸パルスがＹ軸ドライバー８．９に入力さ
れると、第１及び第２Ｙ軸用モータ５．６は同一量回転
し、第１及び第２ＸＹテーブル２，３は同時にＹ軸方向
に同一量移動させられる。即ち、フレームｌは平行にＹ
軸方向に同一量移動させられる。
パルスがＸ軸ドライバー７に入力されると、第１ＸＹテ
ーブル２がＸ軸方向に移動させられる。即ち、フレーム
１はＸ軸方向に移動させられる。またパルス発生器１０
から同一のＹ軸パルスがＹ軸ドライバー８．９に入力さ
れると、第１及び第２Ｙ軸用モータ５．６は同一量回転
し、第１及び第２ＸＹテーブル２，３は同時にＹ軸方向
に同一量移動させられる。即ち、フレームｌは平行にＹ
軸方向に同一量移動させられる。
このように、フレーム１のＸ軸方向の両端側は、同期し
て回転駆動される第１及び第２Ｙ軸用モータによってＹ
ｉｌｄ＋方向に移動Ｓせられるので、フレーム１は動き
の遅延、位置ずれを生ずることなく平行に高精度でもっ
て移動させられる。
て回転駆動される第１及び第２Ｙ軸用モータによってＹ
ｉｌｄ＋方向に移動Ｓせられるので、フレーム１は動き
の遅延、位置ずれを生ずることなく平行に高精度でもっ
て移動させられる。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、Ｘ軸
方向に長いフレームを特にＹ軸方向に高精度で移動させ
ることができる。
方向に長いフレームを特にＹ軸方向に高精度で移動させ
ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す概略構成平面図、第２
図は第１図の正面図である。 １：フレーム、 ２：第１ＸＹテーブル、 ３：第２ＸＹテーブル、 ４：第１Ｙ軸用モータ、 ５：第１Ｙ軸用モータ、 ６：第２Ｙ軸用モータ、 ７：ｘ軸ドライバー、 ８．９：Ｙ軸ドライバー、 １０：パルス発生器。 代理人 弁理士 １）辺 良 徳
図は第１図の正面図である。 １：フレーム、 ２：第１ＸＹテーブル、 ３：第２ＸＹテーブル、 ４：第１Ｙ軸用モータ、 ５：第１Ｙ軸用モータ、 ６：第２Ｙ軸用モータ、 ７：ｘ軸ドライバー、 ８．９：Ｙ軸ドライバー、 １０：パルス発生器。 代理人 弁理士 １）辺 良 徳
Claims (1)
- （１）Ｘ軸方向に長いフレームと、このフレームのＸ軸
方向の両端側をそれぞれ支持すると共に、ＸＹ軸方向に
移動可能な第１及び第２ＸＹテーブルと、前記第１ＸＹ
テーブルをＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動する第１Ｘ軸用
モータ及び第１Ｙ軸用モータと、前記第２ＸＹテーブル
をＹ軸方向に駆動する第２Ｙ軸用モータと、前記第１及
び第２Ｙ軸用モータを同期させて駆動する同期駆動手段
とを備えてなるＸＹ駆動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3159488A JPH01206637A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | Ｘｙ駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3159488A JPH01206637A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | Ｘｙ駆動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01206637A true JPH01206637A (ja) | 1989-08-18 |
| JPH0572103B2 JPH0572103B2 (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=12335520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3159488A Granted JPH01206637A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | Ｘｙ駆動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01206637A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173264A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Tanaka Seiki Kk | 多軸巻線機 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58141A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-05 | Shinkawa Ltd | 自動インナ−リ−ドボンデイング方法 |
| JPS58120448A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-18 | Fanuc Ltd | 工作機械のテ−ブル制御方式 |
-
1988
- 1988-02-13 JP JP3159488A patent/JPH01206637A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58141A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-05 | Shinkawa Ltd | 自動インナ−リ−ドボンデイング方法 |
| JPS58120448A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-18 | Fanuc Ltd | 工作機械のテ−ブル制御方式 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173264A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Tanaka Seiki Kk | 多軸巻線機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0572103B2 (ja) | 1993-10-08 |
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