JPH01130541A - 半導体装置の製造装置 - Google Patents
半導体装置の製造装置Info
- Publication number
- JPH01130541A JPH01130541A JP62290124A JP29012487A JPH01130541A JP H01130541 A JPH01130541 A JP H01130541A JP 62290124 A JP62290124 A JP 62290124A JP 29012487 A JP29012487 A JP 29012487A JP H01130541 A JPH01130541 A JP H01130541A
- Authority
- JP
- Japan
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- pellet
- positioning
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- pawls
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 16
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置の製造装置に関し、特にマウント装
置のペレット位置決め機構に関する。
置のペレット位置決め機構に関する。
従来、ペレット位置決め機構はファイバーセンサを使用
し、ペレットの有無検出を行っていた。
し、ペレットの有無検出を行っていた。
上述した従来のペレット位置決め機構はファイバーセン
サを位置決め部の外側の横に置き、高さ調整を行うこと
で、ペレットの有無の認識を行っているので、振動や接
触により、センサの位置ずれを起こし、再調整に時間が
かかるという欠点がある。
サを位置決め部の外側の横に置き、高さ調整を行うこと
で、ペレットの有無の認識を行っているので、振動や接
触により、センサの位置ずれを起こし、再調整に時間が
かかるという欠点がある。
本発明の目的は前記問題点を解消した半導体装置の製造
装置を提供することにある。
装置を提供することにある。
上述した従来のペレット位置決め機構に対し、本発明は
、ペレット有無検出のファイバーセンサをなくシ１位置
決め部本体の爪に電流を流すことによるペレットの有無
の検出を行うという相違点を有する。
、ペレット有無検出のファイバーセンサをなくシ１位置
決め部本体の爪に電流を流すことによるペレットの有無
の検出を行うという相違点を有する。
本発明はマウント工程内のペレットの位置決めを行うペ
レット位置決め機構において、電気的に絶縁して上面に
ペレットを搭載する位置決め台と、該位置決め台上のペ
レットを挟んで対向し、該ぺレットの対向端縁の位置を
規制して該ペレットの位置決めを行う複数組の位置決め
爪の対とを有し、前記各位置決め爪の先端に、前記ペレ
ットを通して電流の回路を形成する端子部を有すること
を特徴とする半導体装置の製造装置である。
レット位置決め機構において、電気的に絶縁して上面に
ペレットを搭載する位置決め台と、該位置決め台上のペ
レットを挟んで対向し、該ぺレットの対向端縁の位置を
規制して該ペレットの位置決めを行う複数組の位置決め
爪の対とを有し、前記各位置決め爪の先端に、前記ペレ
ットを通して電流の回路を形成する端子部を有すること
を特徴とする半導体装置の製造装置である。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す全体図、第２図は本発
明における位置決め爪を示す拡大図である。
明における位置決め爪を示す拡大図である。
図において、本発明は位置決め台４のペレット３を搭載
する部分を絶縁性素材で構成し、該位置決め台４上のペ
レット３を挟んで対向する複数組の位置決め爪１ａ、ｌ
ｂ、ｌｃ、ｌｄの対を前後左右に移動可能に設置し、各
位置決め爪１８〜１ｄの先端に、ペレット３を通して電
流の回路を形成する端子部２を装備したものである。第
２図に示すように各位置決め爪１ａ〜１ｄは絶縁性基体
５と該基体５の先端に設けられた導電性端子部２とから
なり、その両者はボルト６により締結されている。
する部分を絶縁性素材で構成し、該位置決め台４上のペ
レット３を挟んで対向する複数組の位置決め爪１ａ、ｌ
ｂ、ｌｃ、ｌｄの対を前後左右に移動可能に設置し、各
位置決め爪１８〜１ｄの先端に、ペレット３を通して電
流の回路を形成する端子部２を装備したものである。第
２図に示すように各位置決め爪１ａ〜１ｄは絶縁性基体
５と該基体５の先端に設けられた導電性端子部２とから
なり、その両者はボルト６により締結されている。
実施例において、位置決め台４上に搭載されたペレット
３の対向端縁に対をなす位置決め爪１ａ。
３の対向端縁に対をなす位置決め爪１ａ。
ｌｂ、ｌｃ、ｌｄの先端を当接させ、該ペレット３の対
向端縁の位置を規制してペレット３の位置決めを行う。
向端縁の位置を規制してペレット３の位置決めを行う。
その際、４本の爪１８〜１ｄに挟み込まれてペレット３
が存在する場合には、第３図に示すように１本の爪１ａ
の端子部２から電流を流すと、他の３本の爪１ｂ、ｌｃ
、ｌｄの端子部２にペレット３内の配線部を通して電流
が流れ、電流経路７が形成される。
が存在する場合には、第３図に示すように１本の爪１ａ
の端子部２から電流を流すと、他の３本の爪１ｂ、ｌｃ
、ｌｄの端子部２にペレット３内の配線部を通して電流
が流れ、電流経路７が形成される。
一方、ペレット３が存在しない場合には１本の爪１ａの
端子部２に電流を流したとしても、他の爪１ｂ〜１ｄの
端子部２に電流が流れない。したがって、この電流を検
知して、ペレット３の有無を検知する。
端子部２に電流を流したとしても、他の爪１ｂ〜１ｄの
端子部２に電流が流れない。したがって、この電流を検
知して、ペレット３の有無を検知する。
以上説明したように本発明はペレットの位置決めを行う
爪よりペレットに電流を流し、その電流の流れを検知し
てペレットの有無を確認するため、従来のファイバーセ
ンサのように高さ調整を行う必要がなく、調整に費やす
時間を短縮でき、また位置ずれ等によるペレット有無検
出の不良発生を防止できる効果を有するものである。
爪よりペレットに電流を流し、その電流の流れを検知し
てペレットの有無を確認するため、従来のファイバーセ
ンサのように高さ調整を行う必要がなく、調整に費やす
時間を短縮でき、また位置ずれ等によるペレット有無検
出の不良発生を防止できる効果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は位置
決め爪を示す拡大図、第３図はペレットを位置決めした
際の電流経路図である。
決め爪を示す拡大図、第３図はペレットを位置決めした
際の電流経路図である。
Claims (1)
- （１）マウント工程内のペレットの位置決めを行うペレ
ット位置決め機構において、電気的に絶縁して上面にペ
レットを搭載する位置決め台と、該位置決め台上のペレ
ットを挟んで対向し、該ペレットの対向端縁の位置を規
制して該ペレットの位置決めを行う複数組の位置決め爪
の対とを有し、前記各位置決め爪の先端に、前記ペレッ
トを通して電流の回路を形成する端子部を有することを
特徴とする半導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62290124A JPH01130541A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 半導体装置の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62290124A JPH01130541A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 半導体装置の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130541A true JPH01130541A (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=17752112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62290124A Pending JPH01130541A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 半導体装置の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01130541A (ja) |
-
1987
- 1987-11-17 JP JP62290124A patent/JPH01130541A/ja active Pending
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