JPH01130541A - 半導体装置の製造装置 - Google Patents

半導体装置の製造装置

Info

Publication number
JPH01130541A
JPH01130541A JP62290124A JP29012487A JPH01130541A JP H01130541 A JPH01130541 A JP H01130541A JP 62290124 A JP62290124 A JP 62290124A JP 29012487 A JP29012487 A JP 29012487A JP H01130541 A JPH01130541 A JP H01130541A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pellet
positioning
current
pawls
present
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62290124A
Other languages
English (en)
Inventor
Kimihiro Ogishi
尾岸 公弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP62290124A priority Critical patent/JPH01130541A/ja
Publication of JPH01130541A publication Critical patent/JPH01130541A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の製造装置に関し、特にマウント装
置のペレット位置決め機構に関する。
〔従来の技術〕
従来、ペレット位置決め機構はファイバーセンサを使用
し、ペレットの有無検出を行っていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来のペレット位置決め機構はファイバーセン
サを位置決め部の外側の横に置き、高さ調整を行うこと
で、ペレットの有無の認識を行っているので、振動や接
触により、センサの位置ずれを起こし、再調整に時間が
かかるという欠点がある。
本発明の目的は前記問題点を解消した半導体装置の製造
装置を提供することにある。
〔発明の従来技術に対する相違点〕
上述した従来のペレット位置決め機構に対し、本発明は
、ペレット有無検出のファイバーセンサをなくシ1位置
決め部本体の爪に電流を流すことによるペレットの有無
の検出を行うという相違点を有する。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明はマウント工程内のペレットの位置決めを行うペ
レット位置決め機構において、電気的に絶縁して上面に
ペレットを搭載する位置決め台と、該位置決め台上のペ
レットを挟んで対向し、該ぺレットの対向端縁の位置を
規制して該ペレットの位置決めを行う複数組の位置決め
爪の対とを有し、前記各位置決め爪の先端に、前記ペレ
ットを通して電流の回路を形成する端子部を有すること
を特徴とする半導体装置の製造装置である。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す全体図、第2図は本発
明における位置決め爪を示す拡大図である。
図において、本発明は位置決め台4のペレット3を搭載
する部分を絶縁性素材で構成し、該位置決め台4上のペ
レット3を挟んで対向する複数組の位置決め爪1a、l
b、lc、ldの対を前後左右に移動可能に設置し、各
位置決め爪18〜1dの先端に、ペレット3を通して電
流の回路を形成する端子部2を装備したものである。第
2図に示すように各位置決め爪1a〜1dは絶縁性基体
5と該基体5の先端に設けられた導電性端子部2とから
なり、その両者はボルト6により締結されている。
実施例において、位置決め台4上に搭載されたペレット
3の対向端縁に対をなす位置決め爪1a。
lb、lc、ldの先端を当接させ、該ペレット3の対
向端縁の位置を規制してペレット3の位置決めを行う。
その際、4本の爪18〜1dに挟み込まれてペレット3
が存在する場合には、第3図に示すように1本の爪1a
の端子部2から電流を流すと、他の3本の爪1b、lc
、ldの端子部2にペレット3内の配線部を通して電流
が流れ、電流経路7が形成される。
一方、ペレット3が存在しない場合には1本の爪1aの
端子部2に電流を流したとしても、他の爪1b〜1dの
端子部2に電流が流れない。したがって、この電流を検
知して、ペレット3の有無を検知する。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明はペレットの位置決めを行う
爪よりペレットに電流を流し、その電流の流れを検知し
てペレットの有無を確認するため、従来のファイバーセ
ンサのように高さ調整を行う必要がなく、調整に費やす
時間を短縮でき、また位置ずれ等によるペレット有無検
出の不良発生を防止できる効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は位置
決め爪を示す拡大図、第3図はペレットを位置決めした
際の電流経路図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)マウント工程内のペレットの位置決めを行うペレ
    ット位置決め機構において、電気的に絶縁して上面にペ
    レットを搭載する位置決め台と、該位置決め台上のペレ
    ットを挟んで対向し、該ペレットの対向端縁の位置を規
    制して該ペレットの位置決めを行う複数組の位置決め爪
    の対とを有し、前記各位置決め爪の先端に、前記ペレッ
    トを通して電流の回路を形成する端子部を有することを
    特徴とする半導体装置の製造装置。
JP62290124A 1987-11-17 1987-11-17 半導体装置の製造装置 Pending JPH01130541A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62290124A JPH01130541A (ja) 1987-11-17 1987-11-17 半導体装置の製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62290124A JPH01130541A (ja) 1987-11-17 1987-11-17 半導体装置の製造装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01130541A true JPH01130541A (ja) 1989-05-23

Family

ID=17752112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62290124A Pending JPH01130541A (ja) 1987-11-17 1987-11-17 半導体装置の製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01130541A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN214067408U (zh) 保护胶带检测装置
JPH01130541A (ja) 半導体装置の製造装置
JPH01283993A (ja) 回路プリント板、その面付け部品位置認識装置、及び面付け部品検査装置
JPS63139617A (ja) ワイヤ放電加工におけるワイヤ垂直位置決め処理方式
JP2575643B2 (ja) 電子素子の表面実装装置
US6357108B1 (en) Depaneling system having multiple router stations
JPS6234725A (ja) 放電加工装置における位置決め方式
JP2815211B2 (ja) 電子部品の試験装置
JP2966794B2 (ja) ウェハ位置決め装置
JPH03235043A (ja) 電線異常検出装置
JPH0746000Y2 (ja) チップ吸着異常検出装置
KR950009613Y1 (ko) 반도체 검사용 핸들러의 접촉핑거장치
JP3817021B2 (ja) ワイヤボンディング装置のボンディングレベル設定方法
JPS63306700A (ja) 電子部品位置矯正装置
JPS5923418Y2 (ja) 自動ワイヤボンデイング装置
JPS6222311Y2 (ja)
JPH03114243A (ja) ボンディング工具のアームへの取付誤差検知方法
JPH0238450Y2 (ja)
JPH03145200A (ja) 電子部品の自動挿入方法及びその装置
JPH0332408B2 (ja)
KR200278273Y1 (ko) 코일밴드감지장치
JPH0341520Y2 (ja)
JPH0341517Y2 (ja)
JPH0122127Y2 (ja)
JPS6374544A (ja) 物品吊り上げ機構