JPS6234725A - 放電加工装置における位置決め方式 - Google Patents
放電加工装置における位置決め方式Info
- Publication number
- JPS6234725A JPS6234725A JP17491885A JP17491885A JPS6234725A JP S6234725 A JPS6234725 A JP S6234725A JP 17491885 A JP17491885 A JP 17491885A JP 17491885 A JP17491885 A JP 17491885A JP S6234725 A JPS6234725 A JP S6234725A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- electrode
- positioning
- machining
- processing electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H2500/00—Holding and positioning of tool electrodes
- B23H2500/20—Methods or devices for detecting wire or workpiece position
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分ＩＦ）
本発明は、放電加工装置における位置決め方式。
特に基準接触子をそなえた位置決め用基準治具と加工電
極とを相対的に移動せしめることによって得られる上記
基準接触子と加工電極との接触感知情報にもとづいて、
被加工体に対する上記加工電極の位置決めを行うように
する放電加工装置における位置決め方式において、上記
位置決め用基準治具と加工電極との相対的な移動速度を
、上記基準接触子と加工電極とが所定の距離に接近する
までの間高速とし、それ以後微速に切換えるようにする
ことによって正確な位置決めを行うようにすると共に該
位置決めに要する時間を大幅に短縮するようにした放電
加工装置における位置決め方式％式％ （従来の技術と発明が解決しようとする問題点）放電加
工装置においては、加工電極の被加工体に対する位置決
め精度を如何に高くするかが、精密な加工を行う上で重
要な要素となる。そして。
極とを相対的に移動せしめることによって得られる上記
基準接触子と加工電極との接触感知情報にもとづいて、
被加工体に対する上記加工電極の位置決めを行うように
する放電加工装置における位置決め方式において、上記
位置決め用基準治具と加工電極との相対的な移動速度を
、上記基準接触子と加工電極とが所定の距離に接近する
までの間高速とし、それ以後微速に切換えるようにする
ことによって正確な位置決めを行うようにすると共に該
位置決めに要する時間を大幅に短縮するようにした放電
加工装置における位置決め方式％式％ （従来の技術と発明が解決しようとする問題点）放電加
工装置においては、加工電極の被加工体に対する位置決
め精度を如何に高くするかが、精密な加工を行う上で重
要な要素となる。そして。
上記位置決め精度は、上記加工電極と上記被加工体にお
ける加工位置との相対的な位置関係を如何に、正確に把
握するかにかかっている。従って、上記位置決め精度の
向上を図るため、放電加工装置における位置決め方式と
して１例えば球状の基準接触子をそなえた位置決め用基
準治具を用いて位置決めを行う方式が従来から知られて
いる。即ち。
ける加工位置との相対的な位置関係を如何に、正確に把
握するかにかかっている。従って、上記位置決め精度の
向上を図るため、放電加工装置における位置決め方式と
して１例えば球状の基準接触子をそなえた位置決め用基
準治具を用いて位置決めを行う方式が従来から知られて
いる。即ち。
当該従来方式は、被加工体に対して予め定められた位置
に上記位置決め用基準治具を設置し、当該位置決め用基
準治具の基準接触子と加工電極との接触状態を感知する
ことによって、上記被加工体と加工電極との相対的な位
置関係を検出し、当該検出された値にもとづいて位置決
めを行うようにするものである。
に上記位置決め用基準治具を設置し、当該位置決め用基
準治具の基準接触子と加工電極との接触状態を感知する
ことによって、上記被加工体と加工電極との相対的な位
置関係を検出し、当該検出された値にもとづいて位置決
めを行うようにするものである。
上記位置決めのための加工電極と基準接触子との接触感
知は、上記加工電極の側面および底面とにおいて行うよ
うにすることが一般的である。そして、上記加工電極の
側面と基準接触子との接触感知は、加工テーブルをＸ、
Ｙ方向に移動せしめることによって行うようにされてい
る。、また、上記加工電極の底面と上記基準接触子との
接触感知は、加工電極を下降せしめて行うようにされる
。
知は、上記加工電極の側面および底面とにおいて行うよ
うにすることが一般的である。そして、上記加工電極の
側面と基準接触子との接触感知は、加工テーブルをＸ、
Ｙ方向に移動せしめることによって行うようにされてい
る。、また、上記加工電極の底面と上記基準接触子との
接触感知は、加工電極を下降せしめて行うようにされる
。
そして、上記加工電極と基準接触子とが接触すると同時
に、上記加工電極と基準接触子との相対的な移動を一旦
停止させる必要があることは言うまでもない。そのため
、上記加工電極と基準接触子との相対的な移動速度には
限界があり、当該限界を超える速度で移動せしめるよう
にすると、上記接触−停止の対応性が悪くなり加工電極
が破損するという非所望な状態が発生する。従って、従
来の位置決め方式においては。
に、上記加工電極と基準接触子との相対的な移動を一旦
停止させる必要があることは言うまでもない。そのため
、上記加工電極と基準接触子との相対的な移動速度には
限界があり、当該限界を超える速度で移動せしめるよう
にすると、上記接触−停止の対応性が悪くなり加工電極
が破損するという非所望な状態が発生する。従って、従
来の位置決め方式においては。
（ｉ）上記加工電極と基準接触子との相対的な移動を手
動操作により行う。この場合、上記加工電極と基準接触
子とが接近するまで高速でもって移動せしめたのち微速
送りに切換えて前述した接触感知を行うようにする。当
該手動操作による接触感知は９人手を要するために非能
率的であるばかりでなく、誤操作による加工電極の破損
のおそれもある。
動操作により行う。この場合、上記加工電極と基準接触
子とが接近するまで高速でもって移動せしめたのち微速
送りに切換えて前述した接触感知を行うようにする。当
該手動操作による接触感知は９人手を要するために非能
率的であるばかりでなく、誤操作による加工電極の破損
のおそれもある。
（ｉｉ ）加工電極の形状・寸法に関する情報、基準接
触子の形状・寸法および位置に関する情報、移動速度切
換え位置に関する情報等を予め入力しておき１例えばＮ
Ｃ＠＠によって予め定められた位置まで高速移動より上
記加工電極と基準接触子とを接近せしめたのち微速送り
に自動的に切換えて前述した接触感知を行うようにする
自動位置決め方式が考慮されている。しかしながら、当
該自動位置決め方式においては、自動制御を行うために
入力すべき情報数が多いために制御動作が複雑となるば
かりでなく、入力ミスの発生確率も高くなり、その結果
誤動作が生じ易いという非所望な問題があった。
触子の形状・寸法および位置に関する情報、移動速度切
換え位置に関する情報等を予め入力しておき１例えばＮ
Ｃ＠＠によって予め定められた位置まで高速移動より上
記加工電極と基準接触子とを接近せしめたのち微速送り
に自動的に切換えて前述した接触感知を行うようにする
自動位置決め方式が考慮されている。しかしながら、当
該自動位置決め方式においては、自動制御を行うために
入力すべき情報数が多いために制御動作が複雑となるば
かりでなく、入力ミスの発生確率も高くなり、その結果
誤動作が生じ易いという非所望な問題があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記の如き問題点を解決することを目的とし
ており、そのため本発明の放電加工装置における位置決
め方式は、基準接触子を有し被加工体に対して予め定め
られた位置に設置された位置決め用基準治具をそなえ、
加工電極が上記基準接触子に接触するように該加工電極
と上記位置決め用基準治具とを相対的に移動せしめて得
られる上記加工電極と基準接触子との接触感知情報にも
とづいて、加工電極の上記被加工体に対する位置決めを
行うようにする放電加工装置における位置決め方式にお
いて、上記基準接触子と上記加工電極とが予め定められ
た距離に近接したことを検出する近接検出手段をそなえ
、上記加工電極と上記位置決め用基準治具との相対的な
移動を、上記加工電極が上記予備接触子と接触するまで
の間予め定められた高速送りとすると共に、上記近接検
出手段の検出信号にもとづいて予め定められた微速送り
に切換えるようにして上記接触感知を行うことを特徴と
している。以下１図面を参照しつつ説明する。
ており、そのため本発明の放電加工装置における位置決
め方式は、基準接触子を有し被加工体に対して予め定め
られた位置に設置された位置決め用基準治具をそなえ、
加工電極が上記基準接触子に接触するように該加工電極
と上記位置決め用基準治具とを相対的に移動せしめて得
られる上記加工電極と基準接触子との接触感知情報にも
とづいて、加工電極の上記被加工体に対する位置決めを
行うようにする放電加工装置における位置決め方式にお
いて、上記基準接触子と上記加工電極とが予め定められ
た距離に近接したことを検出する近接検出手段をそなえ
、上記加工電極と上記位置決め用基準治具との相対的な
移動を、上記加工電極が上記予備接触子と接触するまで
の間予め定められた高速送りとすると共に、上記近接検
出手段の検出信号にもとづいて予め定められた微速送り
に切換えるようにして上記接触感知を行うことを特徴と
している。以下１図面を参照しつつ説明する。
（実施例）
第１図は本発明に用いられる位置決め用基準治具の一実
施例正面図、第２図は第１図図示位置決め用基準治具の
平面図、第３図は第２図図示矢印Ａ−Ａにおける断面図
を示す。そして１図中の符号１は位置決め用基準治具、
２は基準接触子、３は支柱部、４−１ないし４−４およ
び５は予備接触子、６は加工電極、７は絶縁部材を表す
。
施例正面図、第２図は第１図図示位置決め用基準治具の
平面図、第３図は第２図図示矢印Ａ−Ａにおける断面図
を示す。そして１図中の符号１は位置決め用基準治具、
２は基準接触子、３は支柱部、４−１ないし４−４およ
び５は予備接触子、６は加工電極、７は絶縁部材を表す
。
本発明の位置決め方式は、上記加工電極６と上記基準接
触子２とが所定の距離（例えば０．１０）まで接近した
ことを検出する近接検出手段（第１図図示実施例におけ
る予備接触子４−１ないし４−４および５）をもうけ、
該近接検出手段の検出信号にもとづいて、上記加工電極
と基準接触子２との移動速度を高速（例えば１０ないし
１０００ｍ／ｓｅＣ程度）から微速（例えば０．０１な
いし０．５ ｔｍ／ｓｅｃ程度）に切換えて前述した接
触感知を行うようにするものである。以下第１図ないし
第３図に関連して本発明における接触感知態様を詳細に
説明する。
触子２とが所定の距離（例えば０．１０）まで接近した
ことを検出する近接検出手段（第１図図示実施例におけ
る予備接触子４−１ないし４−４および５）をもうけ、
該近接検出手段の検出信号にもとづいて、上記加工電極
と基準接触子２との移動速度を高速（例えば１０ないし
１０００ｍ／ｓｅＣ程度）から微速（例えば０．０１な
いし０．５ ｔｍ／ｓｅｃ程度）に切換えて前述した接
触感知を行うようにするものである。以下第１図ないし
第３図に関連して本発明における接触感知態様を詳細に
説明する。
本発明に用いられる位置決め用基準治具１は。
球状に形成された基準接触子２．該基準接触子２を支持
する支柱部３１弾性を有する金属片によって形成される
と共に、第１図に図示されているように加工電極６の側
面と上記基準接触子２との接触感知を行う際、上記加工
電極６と基準接触子２との離隔距離が図示矢印Ｘ０にな
ったときに上記加工電極６に接触する予備接触子４−１
ないし４−４．および第３図に図示されているように上
記加工電極６の底面と上記基準接触子２との接触感知を
行う際、上記加工電極６と基準接触子２との離隔距離が
図示矢印ｚ０になったときに上記加工電極６に接触する
予備接触子５によって構成されている。なお、上記予備
接触子４−１ないし４−４および５は、夫々上記基準接
触子２と電気的に絶縁されている。例えば、第３図に図
示されている如く、上記予備接触子５を絶縁部材７を介
して支柱部３に固着せしめるようにすることによって。
する支柱部３１弾性を有する金属片によって形成される
と共に、第１図に図示されているように加工電極６の側
面と上記基準接触子２との接触感知を行う際、上記加工
電極６と基準接触子２との離隔距離が図示矢印Ｘ０にな
ったときに上記加工電極６に接触する予備接触子４−１
ないし４−４．および第３図に図示されているように上
記加工電極６の底面と上記基準接触子２との接触感知を
行う際、上記加工電極６と基準接触子２との離隔距離が
図示矢印ｚ０になったときに上記加工電極６に接触する
予備接触子５によって構成されている。なお、上記予備
接触子４−１ないし４−４および５は、夫々上記基準接
触子２と電気的に絶縁されている。例えば、第３図に図
示されている如く、上記予備接触子５を絶縁部材７を介
して支柱部３に固着せしめるようにすることによって。
該予備接触子５は上記基準接触子２と電気的に絶縁され
る。図示省略されているが、上記予備接触子４−１ない
し４−４も同様である。従って、上記加工電極６と予備
接触子４−１ないし４−４゜５、および基準接触子２と
の接触感知は、上記加工電極６と予備接触子４−１ない
し４−４．５゜および基準接触子２との間に電圧を印加
しておき。
る。図示省略されているが、上記予備接触子４−１ない
し４−４も同様である。従って、上記加工電極６と予備
接触子４−１ないし４−４゜５、および基準接触子２と
の接触感知は、上記加工電極６と予備接触子４−１ない
し４−４．５゜および基準接触子２との間に電圧を印加
しておき。
接触時に流れる電流を検出することによって行うことが
できる。即ち、上記予備接触子４−１ないし４−４およ
び５が本発明に言うところの近接検出手段に対応してい
る。なお、第１図ないし第３図図示実施例における上記
予備接触子４−１ないし４−４および５は、いわば機械
的な近接検出手段であるが１本発明における近接検出手
段はこれに限られるものではなく１周知の光による検出
手段、超音波による検出手段等を用いるようにしても良
い。
できる。即ち、上記予備接触子４−１ないし４−４およ
び５が本発明に言うところの近接検出手段に対応してい
る。なお、第１図ないし第３図図示実施例における上記
予備接触子４−１ないし４−４および５は、いわば機械
的な近接検出手段であるが１本発明における近接検出手
段はこれに限られるものではなく１周知の光による検出
手段、超音波による検出手段等を用いるようにしても良
い。
以上本発明に用いられる位置決め用基準治具ｌについて
説明したが１次に当該位置決め用基準治具１における基
準接触子２と上記加工電極６との接触感知態様を説明す
る。
説明したが１次に当該位置決め用基準治具１における基
準接触子２と上記加工電極６との接触感知態様を説明す
る。
放電加工装置における上記基準接触子２に対する加工電
極６の接触感知は９通常、第１図図示の如き加工電極６
の側面および第３図図示の如き加工電極６の底面によっ
て行われる。
極６の接触感知は９通常、第１図図示の如き加工電極６
の側面および第３図図示の如き加工電極６の底面によっ
て行われる。
先づ、上記加工電極６の側面と基準接触子２との接触感
知態様を第１図に関連して説明する。当該接触感知は１
位置決め用基準治具１が載置されている加工テーブル（
図示省略）をＸ、Ｙ方向に移動させて行う。例えば、第
１図に図示されている如く、加工テーブルを図示矢印Ｘ
方向へ移動せしめることによって、予備接触子４−１が
加工電極６（実線図示）に接触する０本発明においては
。
知態様を第１図に関連して説明する。当該接触感知は１
位置決め用基準治具１が載置されている加工テーブル（
図示省略）をＸ、Ｙ方向に移動させて行う。例えば、第
１図に図示されている如く、加工テーブルを図示矢印Ｘ
方向へ移動せしめることによって、予備接触子４−１が
加工電極６（実線図示）に接触する０本発明においては
。
上記予備接触子４−１が加工電極６に接触するまでの上
記加工テーブルの移動は、前述した高速道りによって行
われる。そして、上記予備接触子４−１と加工電極６と
の接触が感知されたとき、上記加工テーブルの移動は、
前述した微速送りに切換えるように制御されて１点鎖線
で図示されているように加工電極６が基準接触子２に接
触するまで続けられる。そして、上記加工電極６と基準
接触子２との接触感知によって上記加工テーブルの移動
が停止される。即ち、上記加工電極６と基準接触子２と
の接触感知時における該加工電極６と基準接触子２との
接近速度が微速であるため、上記接触感知に対応させて
直ちに上記加工テーブルを停止させることができる。な
お、上記予備接触子４−１は１弾性を有する金属片によ
って形成されているため、上記加工電極６と基準接触子
２との接触時には点線によって図示されている状態に押
圧されているが、上記加工電極６が離れたときには、原
状（図示実線）に復帰する。また、第１図においては、
あたかも加工電極６が図示実線状態から図示１点鎖線状
態に移動するかのように図示されているが、上記加工電
極６と位置決め用基準治具１との接近状態を相対的に図
示したものであって、あくまでも上記加工電極６は停止
状態にあり、上記位置決め用基準治具１が移動して前述
したように接触感知が行われる。
記加工テーブルの移動は、前述した高速道りによって行
われる。そして、上記予備接触子４−１と加工電極６と
の接触が感知されたとき、上記加工テーブルの移動は、
前述した微速送りに切換えるように制御されて１点鎖線
で図示されているように加工電極６が基準接触子２に接
触するまで続けられる。そして、上記加工電極６と基準
接触子２との接触感知によって上記加工テーブルの移動
が停止される。即ち、上記加工電極６と基準接触子２と
の接触感知時における該加工電極６と基準接触子２との
接近速度が微速であるため、上記接触感知に対応させて
直ちに上記加工テーブルを停止させることができる。な
お、上記予備接触子４−１は１弾性を有する金属片によ
って形成されているため、上記加工電極６と基準接触子
２との接触時には点線によって図示されている状態に押
圧されているが、上記加工電極６が離れたときには、原
状（図示実線）に復帰する。また、第１図においては、
あたかも加工電極６が図示実線状態から図示１点鎖線状
態に移動するかのように図示されているが、上記加工電
極６と位置決め用基準治具１との接近状態を相対的に図
示したものであって、あくまでも上記加工電極６は停止
状態にあり、上記位置決め用基準治具１が移動して前述
したように接触感知が行われる。
以上、加工電極６の側面と基準接触子２との接触感知態
様を説明したが、前述した予備接触子４−１と同様に、
予備接触子４−２ないし４−４においても行うようにさ
れる。
様を説明したが、前述した予備接触子４−１と同様に、
予備接触子４−２ないし４−４においても行うようにさ
れる。
次に、加工電極６の底面と基準接触子２との接触感知態
様が第３図に図示されている。該態様は。
様が第３図に図示されている。該態様は。
停止状態にある位置決め用基準治具１に対して加工電極
６を図示矢印Ｚ方向に下降させて７行うものであり、基
本的には上記加工電極６の側面と基準接触子２との接触
感知と同様に行われる。即ち。
６を図示矢印Ｚ方向に下降させて７行うものであり、基
本的には上記加工電極６の側面と基準接触子２との接触
感知と同様に行われる。即ち。
上記加工電極６の図示矢印２方向への下降は、該加工電
極６が予備接触子５に接触するまでは前述した高速送り
で行われ、それ以後は徽速送りに切換えて行うようにさ
れている。
極６が予備接触子５に接触するまでは前述した高速送り
で行われ、それ以後は徽速送りに切換えて行うようにさ
れている。
（発明の効果）
以上説明した如く３本発明によれば、放電加工装置にお
ける被加工体に対する加工電極の位置決めのために行わ
れる加工電極と基準接触子との接触感知において、加工
電極と基準接触子との相対的な移動速度を、自動的に高
速と微速との２段に切換えて行うようにすることが可能
となるため。
ける被加工体に対する加工電極の位置決めのために行わ
れる加工電極と基準接触子との接触感知において、加工
電極と基準接触子との相対的な移動速度を、自動的に高
速と微速との２段に切換えて行うようにすることが可能
となるため。
上記位置決めに要する時間を大幅に短縮することができ
ると共に、上記移動速度の切換えを近接検出手段による
検出信号にもとづいて行うようにしているため、容易に
移動速度の切換えを行うことができる。
ると共に、上記移動速度の切換えを近接検出手段による
検出信号にもとづいて行うようにしているため、容易に
移動速度の切換えを行うことができる。
第１図は本発明に用いられる位置決め用基準治具の一実
施例正面図、第２図は第１図図示位置決め用基準治具の
平面図、第３図は第２図図示矢印Ａ−Ａにおける断面図
を示す。 図中、１は位置決め用基準治具、２は基準接触子、３は
支柱部、４−１ないし４−４および５は予備接触子、６
は加工電極、７は絶縁部材を表す。
施例正面図、第２図は第１図図示位置決め用基準治具の
平面図、第３図は第２図図示矢印Ａ−Ａにおける断面図
を示す。 図中、１は位置決め用基準治具、２は基準接触子、３は
支柱部、４−１ないし４−４および５は予備接触子、６
は加工電極、７は絶縁部材を表す。
Claims (1)
- 基準接触子を有し被加工体に対して予め定められた位置
に設置された位置決め用基準治具をそなえ、加工電極が
上記基準接触子に接触するように該加工電極と上記位置
決め用基準治具とを相対的に移動せしめて得られる上記
加工電極と基準接触子との接触感知情報にもとづいて、
加工電極の上記被加工体に対する位置決めを行うように
する放電加工装置における位置決め方式において、上記
基準接触子と上記加工電極とが予め定められた距離に近
接したことを検出する近接検出手段をそなえ、上記加工
電極と上記位置決め用基準治具との相対的な移動を、上
記加工電極が上記予備接触子と接触するまでの間予め定
められた高速送りとすると共に、上記近接検出手段の検
出信号にもとづいて予め定められた微速送りに切換える
ようにして上記接触感知を行うことを特徴とする放電加
工装置における位置決め方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17491885A JPS6234725A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | 放電加工装置における位置決め方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17491885A JPS6234725A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | 放電加工装置における位置決め方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6234725A true JPS6234725A (ja) | 1987-02-14 |
Family
ID=15986985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17491885A Pending JPS6234725A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | 放電加工装置における位置決め方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6234725A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01216724A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-30 | Hoden Seimitsu Kako Kenkyusho Ltd | ワイヤ放電加工機の制御装置 |
| US5260056A (en) * | 1988-11-15 | 1993-11-09 | Sanwa Kagaku Kenkyusho Co. Ltd. | Composition for enhancing biosynthesis of interferon |
| JP4850316B1 (ja) * | 2011-04-11 | 2012-01-11 | 三菱電機株式会社 | 放電加工装置 |
-
1985
- 1985-08-08 JP JP17491885A patent/JPS6234725A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01216724A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-30 | Hoden Seimitsu Kako Kenkyusho Ltd | ワイヤ放電加工機の制御装置 |
| US5260056A (en) * | 1988-11-15 | 1993-11-09 | Sanwa Kagaku Kenkyusho Co. Ltd. | Composition for enhancing biosynthesis of interferon |
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| WO2012140723A1 (ja) * | 2011-04-11 | 2012-10-18 | 三菱電機株式会社 | 放電加工装置 |
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