JP7469855B2 - ウェハ搬送ユニットおよびウェハ搬送システム - Google Patents

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Description

本発明は、請求項１に記載のウェハ搬送ユニット、請求項４２に記載のウェハ搬送ユニットを有するウェハ輸送容器、請求項５１に記載のウェハ搬送ユニットを有するロードおよび／またはアンロードステーション、請求項５３に記載のウェハ輸送容器とロードおよび／またはアンロードステーションとを有するウェハ搬送システム、ならびに請求項５６に記載のウェハ搬送ユニットを有する方法に関する。
本発明の目的は特に、特にウェハ製造環境（ファブリケーション（ファブ））内での、少なくとも１つのウェハの輸送、少なくとも１つのウェハの格納、および／またはウェハ搬送システムの副構成要素間の少なくとも１つのウェハの搬送に関して有利な特性を有する包括的装置を提供することである。本発明によれば、請求項１、４２、５１、５３および５６の特徴によって目的が達成されるが、本発明の有利な実施形態および改良は従属請求項から明らかになる。
欧州特許第１１０２１３７号明細書 米国特許出願公開第２００２／１８７０２５号明細書 国際公開第９８／５９２２９号 米国特許出願公開第２００２／１３２４８０号明細書
ウェハ搬送ユニットを有するウェハ搬送システムの概略図。 ウェハ搬送システムの、ウェハ輸送容器として実装される副構成要素の概略部分断面図。 ウェハ搬送ユニットの測定技術ユニットの概略図。 ウェハ搬送システムのロードおよび／またはアンロードステーションにウェハ輸送容器を結合するための方法の概略フローチャート。 ウェハ搬送ユニットのエネルギー貯蔵部へのエネルギーの無線供給のための方法の概略フローチャート。 ウェハ搬送システム内のウェハの幾何学的逸脱をチェックする方法の概略フローチャート。 センサデータの読取方法の概略フローチャート。 ウェハ搬送システムを制御する方法の概略フローチャート。
以下の図面の説明からさらなる利点が明らかになるであろう。図面は本発明の例示的な実施形態を示す。図面、説明、および特許請求の範囲は、組合せにおける多数の特徴を含む。当業者はまた便宜的に特徴を個々に考慮し、そしてそれらを組み合わせてさらなる意味のある組合せを形成するであろう。
センサモジュールの、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素に割り当てられる、少なくとも１つのセンサからのセンサデータの登録および／または処理のために少なくとも構成された少なくとも１つのデータ処理ユニットを含むウェハ搬送ユニットであって、特に、ウェハ搬送システムの少なくとも１つのウェハ処理モジュールを含み、ウェハ輸送容器とウェハ輸送容器および／またはウェハ処理モジュールのロードおよび／またはアンロードのためのロードおよび／またはアンロードステーションとを伴うウェハ搬送システムの少なくとも１つのウェハインターフェースシステムを含み、ウェハ搬送システムの少なくとも１つのウェハ輸送容器輸送システムを含み、ならびに／またはウェハ搬送システムの少なくとも１つのウェハ取扱ロボットを含む、ウェハ搬送ユニットが提案される。このように、特にファブ内での、少なくとも１つのウェハの輸送、少なくとも１つのウェハの格納、および／またはウェハ搬送システムの副構成要素間の少なくとも１つのウェハの搬送に関して有利な特性を提供することが特に可能である。さらに、ウェハおよび／またはウェハ周囲環境条件の監視を有利に可能にすることができ、それによって、故障、例えば製造不良、ウェハの損傷および／またはウェハの不純物を回避することが特に可能になる。このように、廃棄物を減らすことが有利に可能であり、それによって、効率、特にコスト効率および／または単位量効率を高めることが特に可能である。
「ウェハ搬送ユニット」は、少なくとも、ウェハ搬送システムの少なくとも２つの副構成要素間の少なくとも１つのウェハの搬送および／または少なくとも、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素内の少なくとも１つのウェハの輸送を制御、規制および／または監視するように構成された、ユニット、優先的には電子ユニットを特に意味する。特に、ウェハ搬送ユニットは、ウェハ状態チェック装置および／またはウェハ環境条件チェック装置として実装される。「データ処理ユニット」は、少なくとも電子データ処理設備、特に、好ましくはプログラム可能計算規則手段によりデータ、特にセンサモジュールにより得られるデータを処理する、少なくともコンピュータおよび／またはコンピュータシステムを特に意味する。
データ処理ユニットは、互いに別個に具体化された複数の個々のコンピュータを好ましくは含み、それは特にネットワーク化データ処理システムを実装してもよい。特に、データ処理ユニットが、個々のコンピュータからのデータを収集、管理および／または編成するように構成される中央コンピュータを有することが考えられる。代替的にまたは追加的に、データ処理ユニットは、ファブの中央制御および／または規制システムに組み込まれてもよく、またはファブの中央制御および／または規制システムと少なくとも部分的に一体的に実装されてもよい。特に、ファブの中央制御および／または規制システムは、ウェハ搬送システムの副構成要素を形成する。２つのユニットおよび／またはシステムおよび／またはモジュールおよび／または装置が「部分的に一体的に」実装されるという記述は、ユニットが少なくとも１つ、特に少なくとも２つ、有利には少なくとも３つの共通要素を有することを特に意味し、共通要素は、両方のユニットおよび／またはシステムおよび／またはモジュールおよび／または装置の構成部分、特に機能的に重要な構成部分である。特に、データ処理システムの個々のコンピュータは、少なくとも一時的に互いに通信することができる。特に、個々のコンピュータの少なくとも一部は、特に技術的文脈においてウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素に組み込まれる組み込みシステムとして実装される。特に、データ処理ユニット、好ましくは個々のコンピュータは、情報入力部と、情報処理手段および／または情報出力部とを含む。データ処理ユニット、好ましくは個々のコンピュータは、少なくとも１つのプロセッサ、メモリ、特にＲＯＭまたはフラッシュメモリ、入出力手段、さらなる電気的構成要素、オペレーティングプログラム、規制ルーチン、制御ルーチンおよび／または計算ルーチンを有利に含む。データ処理ユニット、好ましくは個々のコンピュータの構成要素は、好ましくはプリント回路基板上に配置され、および／または有利にはハウジング内に配置される。
「センサモジュール」は、少なくとも１つのセンサを含むモジュールを特に意味する。センサは、少なくとも１つのパラメータを検出するように少なくとも構成される。パラメータは特に物理的、化学的および／または幾何学的パラメータの形態である。代替的にまたは追加的に、パラメータはまた、物理的パラメータの時間に関する変動の形態および／または指定、例えばウェハに割り当てられた識別子の形態であってもよい。物理的パラメータは、特に温度、力、電流、電気抵抗、電圧、磁場、圧力、質量、材料量、数、強度、特に放射強度、周波数、エネルギー、容量、持続時間、速度、および加速度、ジャーク、推進力、機械的応力、電場および／または波長を含む。化学的パラメータは、特に材料組成、濃度、特にガス、例えば酸素、Ｈ２Ｏなどの濃度、密度、湿度、ｐＨ値および／または蒸気圧を含む。幾何学的パラメータは、特にウェハの幾何学的特性、例えば長さ、特に直径、厚さ、状況、傾斜、表面状態、曲率、角度、体積および／または面積を含む。センサモジュールは、異なるパラメータを検出するように特に構成された複数のセンサを含むことが考えられる。
「ウェハ搬送システム」は、少なくとも１つのウェハを操作する、例えば移動および／または処理するように構成される構成要素で実装されるシステムを特に意味する。ウェハ搬送システムの「ウェハ処理モジュール」は、チップを製造する目的でウェハ上に少なくとも１つの処理工程を実行するように構成される、ファブのモジュールとして特に実装される。「ウェハインターフェースシステム」は、例えばハウジングおよび／またはシールドによって、特にファブおよび／またはファブ設備内での少なくとも１つの対象物、特に少なくとも１つのウェハの移動、例えば輸送、リロードおよび／または回転、ならびに／または、少なくとも１つの対象物、特に少なくとも１つのウェハの保護された移動の許可のために構成される構成要素で実装されるシステムを特に意味する。
「ウェハ輸送容器」は、閉鎖可能な内部空間または内部を有する輸送容器を特に意味し、内部空間または内部は、ウェハを受容するように構成される。特に、ウェハ輸送容器は、少なくとも２００ｍｍ、好ましくは少なくとも３００ｍｍ、好ましくは少なくとも４５０ｍｍの直径を有するウェハを輸送するように少なくとも構成される。特に、ウェハ輸送容器は、少なくとも１枚のウェハ、好ましくは少なくとも３枚のウェハ、有利には少なくとも５枚のウェハ、特に有利には少なくとも１０枚のウェハ、好ましくは少なくとも２５枚のウェハ、特に好ましくは最大１００枚のウェハを輸送するように少なくとも構成される。代替的にまたは追加的に、ウェハ輸送容器は、ウェハとは異なるように実装された少なくとも１つの対象物、例えば露光マスクを受容するように構成される。特に、ウェハ輸送容器は、運搬可能に実装される。特に、ウェハ輸送容器は、それを真空気密に閉じることができるように実装される。好ましくは、ウェハ輸送容器は、その内部に真空雰囲気を提供および／または維持するように特に構成された、真空型ウェハ輸送容器として実装される。特に、ウェハ輸送容器は、ウェハを真空雰囲気中に格納するように構成される。「真空雰囲気」は、その圧力が３００ｈＰａ未満、好ましくは１ｈＰａ未満、好ましくは１０－３ｈＰａ未満、特に好ましくは１０－６ｈＰａ未満にある雰囲気を特に意味する。特に、ウェハ輸送容器は、真空雰囲気中で、高レベルの気密性を有し、特に、ウェハ輸送容器の漏れ速度は、１０－４ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、好ましくは１０－５ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、有利には１０－６ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、特に有利には１０－７ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、好ましくは１０－８ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満、特に好ましくは１０－９ｍｂａｒ＊ｌ／ｓ未満である。代替的に、ウェハ輸送容器は、標準雰囲気および／または特殊組成雰囲気中、例えば窒素雰囲気中でウェハを格納および／または保持するように構成されてもよい。特に、ウェハ輸送容器は、データ処理システムの組み込みシステムとして実装される個々のコンピュータを有する。特に、ウェハ輸送容器は、センサモジュールの少なくとも１つのセンサを有し、それは好ましくはウェハ輸送容器の内部からのパラメータを検出する。特に、ウェハ輸送容器は、「フロント・オープニング・ユニファイド・ポッド」、「フロント・オープニング・ユニバーサル・ポッド」（ＦＯＵＰ）および／または「スタンダード・メカニカル・インターフェース・ポッド」（ＳＭＩＦポッド）とは異なるように実装される。特に、ウェハ輸送容器は、ウェハ輸送容器への／からのウェハのロードおよび／またはアンロード用のロードおよび／またはアンロード開口を有し、ロードおよび／またはアンロード開口はウェハ輸送容器のウェハ輸送容器開口要素により真空式に特に閉鎖可能である。正しい輸送位置では、ロードおよび／またはアンロード開口は、ウェハ輸送容器の下面に配置される。
「ロードおよび／またはアンロードステーション」は、ウェハ輸送容器とウェハ搬送システムのさらなる副構成要素、例えばウェハ処理モジュールとの間でウェハを搬送するように構成されたロックを特に意味する。特に、ロードおよび／またはアンロードステーションによるウェハの搬送は、特に保護された雰囲気中で行われ、それにより、敏感なウェハの汚染または損傷をできる限り防止することが有利に可能である。特に、ウェハ輸送容器とロードおよび／またはアンロードステーションとは、特にウェハ輸送容器がロードおよび／またはアンロード位置にてロードおよび／またはアンロードステーションの表面に固定されている結合状態において、共通ミニ環境を形成するように構成される。「ミニ環境」は、周囲雰囲気から隔離された雰囲気、例えば真空を伴うハウジングを特に意味する。少なくとも１つのウェハをウェハ輸送容器から搬送するために、ウェハのアンロード中、ウェハ輸送容器開口要素がロードおよび／またはアンロードステーションの内部へと下げられる。
「ウェハ輸送容器輸送システム」は、例えばファブ内のレールシステムのレール上で推進される、ウェハ輸送容器を保持するように構成された輸送キャリッジを有するウェハ輸送容器を輸送するためのシステムを特に意味する。ウェハ輸送容器輸送システムは、特にクリーンルームでの使用に適したオーバーヘッドホイストトランスポートシステム（ＯＨＴ）として実装される。代替的にまたは追加的に、ウェハ輸送容器輸送システムは、さらなる輸送方法、例えば、特に自律的に動作する、輸送ドローン、車輪付きキャリッジ、コンベヤベルト、（真空）輸送管等を含んでもよい。
「センサデータの登録」は、センサモジュールのセンサデータの読取、取得、および／または受信、センサモジュールのセンサの活性化および／または非活性化、および／またはセンサデータの記憶も特に意味すると理解される。「センサデータの処理」は、センサデータの受信、変換および／または準備、および好ましくは、例えばデータ処理ユニットの中央コンピュータへの、ファブの中央制御および／または規制システムへの、ならびに／またはデータ処理ユニットの少なくとも１つの個々のコンピュータおよび／もしくはセンサモジュールの他のセンサへのセンサデータの送信も特に意味すると理解される。「構成された」とは、具体的にプログラムされ、設計され、および／または装備されていることを特に意味する。対象物が特定の機能のために構成されるという記述は、対象物が少なくとも１つの使用法および／または動作状態でこの特定の機能を実行および／または実施することを特に意味する。
データ処理ユニットが、センサの少なくともセンサデータ、特にセンサのセンサデータの少なくとも１つの経過に基づいて、および／または、センサを用いて決定された少なくとも１つのパラメータ値に基づいて、将来の結果および／または将来の事象、特にウェハ搬送システムの少なくとも一部の構成要素の将来の使用準備完了についての予測を生成するように少なくとも構成された少なくとも１つの予測モジュールを有することも提案される。このように、特に重要パラメータ、例えば処理パラメータ、安全性パラメータおよび／または品質パラメータの将来展開を確実に推定することができるという点によって、高レベルの処理信頼性を達成することが有利に可能である。チップ製造処理における時系列を最適化することがさらに有利に可能であり、それによって低い処理コストおよび／または高い製品品質を達成することが有利に可能である。ウェハ搬送システムの副構成要素の故障および／または機能不全を、好ましくは損傷発生前に検出または予測することがさらに有利に可能である。このように、故障時間を短く保ち、保守間隔を最適化することが有利に可能である。さらに、このように、ウェハ搬送システムの副構成要素の長い耐用年数を達成することが可能である。予測モジュールは、データ処理ユニット内の別個のサーバおよび／またはコンピュータ、特に個々のコンピュータとして有利に実装されてもよい。代替的に、削減モジュールは、データ処理ユニットのサーバおよび／またはコンピュータ、例えばデータ処理ユニットの中央コンピュータならびに／またはファブの中央制御および／もしくは規制システムに有利に一体化されてもよい。「パラメータ値」は、特にパラメータの個々の値および／またはパラメータの変化、例えばパラメータの増加および／または減少の形態をとる。「チップ製造処理」は、純粋なウェハ基板から完全に個別化されたチップまでのチップの全製造処理を特に意味する。
「予測」は、パラメータ値、パラメータの経過および／またはパラメータ範囲を特に意味する。予測は、機械読取可能ステートメント、および／または将来の経過に関してオペレータにとって明らかに理解可能なステートメント、例えば、事象、例えば機能不全ならびに／またはパラメータの閾値のオーバーシュートおよび／もしくはアンダーシュートの発生前の特定の時点でまだ利用可能な計算された期間および／または特定の時点でまだ処理することができる計算された単位量の表示の出力を意味すると好ましくは理解される。「事象」は、閾値の達成および／またはオーバーシュートおよび／またはアンダーシュートを特に意味する。代替的にまたは追加的に、事象は例えば、原料タンク内での、処理に必要な原料の枯渇、および／または輸送媒体の完全充填状態の達成、および／または製造工程の完了（例えば、完全なガス放出／冷却など）の形態をとってもよい。予測は、機械読取可能ステートメント、および／または達成可能な事象、例えば、特に予測されたウェハの品質、ウェハの完成までの期間、予想される処理コスト、ウェハ搬送システムの副構成要素の予想される耐用年数、および／またはウェハ搬送システムの副構成要素の使用に関する予想される準備完了に関して、オペレータにとって明らかに理解可能なステートメントの出力を意味すると特に好ましくは理解される。「事象」は、例えば使用準備完了、処理コスト、処理期間、処理速度などの処理パラメータ、および／または、例えば製品品質などの製品パラメータを特に意味する。
データ処理ユニットが、少なくともセンサのセンサデータの少なくとも１つの経過に基づいて、センサデータの将来の経過についての予測を生成するように少なくとも構成された少なくとも１つの予測モジュールを有することがさらに提案される。このように特に、重要なパラメータ、例えば処理パラメータ、安全性パラメータ、および／または品質パラメータの将来のさらなる経過を信頼性をもって推定することができることにより、高レベルの処理信頼性および／または高レベルの処理品質を達成することが有利に可能である。「センサデータの経過」とは、センサモジュールのセンサによって決定されたパラメータおよび／またはデータ処理ユニットによって処理されたパラメータのパラメータ値の時系列的シーケンスを特に意味する。特に、予測モジュールは、例えば数学的外挿により、センサデータの将来の経過を計算するように構成される。外挿された将来の経過に加えて、予測モジュールが、計算された将来の経過の少なくとも１つの故障推定値および／または少なくとも１つの不確実性範囲を決定および／または出力することが考えられる。例えば、予測モジュールは、パラメータの増加を検出し、増加に一致する数学関数、例えば線形関数を決定し、対応するさらなる、この例では線形の増加を外挿し、それらに基づいて、予測モジュールは、予測された経過が正確である場合に、パラメータが設定閾値をオーバーシュートする時点を予測することができる。
予測モジュールは、少なくとも２つ、特に２つを超えるセンサからのセンサデータの組合せおよび／または比較、特に同時比較に基づいて、将来の事象、将来の結果、特にウェハ搬送システムの少なくとも副構成要素の使用準備完了の将来の展開、および／または少なくとも１つのセンサデータセットの将来の経過についての予測を生成するように少なくとも構成されることがさらに提案される。このように、特に信頼できる予測を生成することが有利に可能である。特に、予測のために、予測モジュールは、異なる測定方法および／または異なる測定タスクを伴うセンサによって決定された少なくとも２つの異なるパラメータを考慮に入れる。特に、予測モジュールは、異なるパラメータを比較および／または組み合わせて予測を生成する。そして「同時比較」は、同時に測定されたパラメータの比較を特に意味する。例えば、予測モジュールは、ウェハ輸送容器内の湿度と圧力との同時増加を、ウェハ輸送容器の差し迫った漏洩に割り当て、一方、湿度の増加を伴わない圧力の増加を、まだ暖かいウェハの平衡ガス放出に割り当てる。代替的にまたは追加的に、予測のために、予測モジュールが、異なる測定方法および／または同一の測定方法を伴うセンサによって決定された少なくとも２つの同一のパラメータを考慮に入れることが考えられる。このように、高レベルの冗長性を有利に達成することができる。
予測モジュールが、センサデータの決定された将来の経過から、安全データ範囲からのセンサデータの逸脱が発生する前に経過する少なくとも１つの期間について少なくとも１つの予測を生成することがさらに提案される。このように、ウェハ搬送処理および／またはウェハ製造処理の編成性を改善および／または促進することが有利に可能である。「安全データ範囲から逸脱する」および／または「安全データ範囲外にある」センサデータは、少なくとも１つの所定の閾値に達するまたはそれをアンダーシュートもしくはオーバーシュートする、および／または許容パラメータ範囲外にあるセンサデータ、好ましくはパラメータ値を特に意味すると理解される。データ処理ユニットは、ディスプレイユニットによって少なくとも１つの期間を示すように構成されることが考えられる。
予測モジュールが、少なくとも予測を生成するために、少なくとも１つのセンサデータセットに基づいて、特に少なくとも複数のセンサデータセットに基づいて、パターン認識を実行するように構成されることがさらに提案される。このように、特に効果的なおよび／または特に正確な予測を有利に可能にすることができる。例えば、ウェハ輸送容器の内部の圧力の規則的な急増およびその後の同様の急減から、依存モジュールは仮想真空漏れを推論することがあり、それはウェハ輸送容器中のウェハの品質に影響を、特に悪影響を与えることがある。「パターン認識」は、例えばクラスタリングアルゴリズムおよび／または分類アルゴリズムによるコンピュータ支援パターン認識を特に意味する。特に、予測モジュールは、一組のセンサデータにおける均一性、反復性、類似性および／または規則性を識別することができる。
ウェハ搬送ユニットが、予測モジュールの予測に基づいて、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素の少なくとも１つのパラメータの少なくとも１つの適合化を開始するように少なくとも構成された制御および／または規制ユニットを有する場合、事象および／または負の結果を伴う事象が打ち消されることが有利に可能である。このように、製品品質のレベルおよび／または製造効率のレベルを高めることが有利に可能である。さらに、製造コストおよび故障時間をそれぞれ有利に低くおよび短く保つことができる。「制御および／または規制ユニット」は、少なくとも一組の制御電子機器を伴うユニットを特に意味する。「一組の制御電子機器」は、プロセッサユニットと、メモリモジュールと、メモリモジュールに格納されているオペレーティングプログラムとを伴うユニットを特に意味する。
制御および／または規制ユニットは、ファブの中央制御および／または規制システムならびに／またはデータ処理ユニット、特にデータ処理ユニットの少なくとも１つの個々のコンピュータと少なくとも部分的に一体的に好ましくは具体化される。特に、予測モジュールは、予測を中央コンピュータならびに／またはファブの中央制御および／または規制システムに送信するように構成される。特に、制御および／または規制ユニットは、特に自動的に、予測モジュールの予測の読取、必要ならば、予測からの、例えばウェハ輸送容器輸送システムを制御するための制御インパルスの導出を行うように構成される。「少なくとも１つのパラメータの適合化」は、パラメータの積極的な適合化、例えば、ウェハ輸送容器の内圧の積極的な低減を特に意味する。例えば、ウェハ輸送容器内の最大圧力の切迫したオーバーシュートを予測する予測を受信すると、制御および／または規制ユニットは、例えばウェハ輸送容器の内蔵真空ポンプの作動によって、および／またはウェハ輸送容器への結合およびウェハ輸送容器の内圧の規制のために構成された外部ポンプステーションへのウェハ輸送容器輸送システムによるウェハ輸送容器の分流によって減圧を開始する。さらなる例は、少なくとも１つのパラメータ、例えば、内圧、ポンプパターン、および／または、特定のウェハ輸送容器に関連する送信された予測に基づく特定のウェハ輸送容器の送達前のロードおよび／またはアンロードステーションならびに／またはウェハ処理モジュールの、ウェハと接触する構成要素の温度の事前設定である。
ウェハ搬送ユニットが、少なくともセンサデータに基づいてウェハ輸送容器輸送システムによって少なくとも１つのウェハ輸送容器のロジスティクスを制御および／または規制するように少なくとも構成された少なくとも１つの制御および／または規制ユニットを有することがさらに提案される。このように、高い効率および有効性を示すロジスティクスを有利に達成することができる。「ロジスティクス」は、商品の輸送、特にファブ内でのウェハ輸送容器の輸送の計画、制御、最適化および／または実行を特に意味すると理解される。特に、ウェハ輸送容器のロジスティクスの制御は、ファブのウェハ処理および／またはウェハ格納設備に対するウェハ輸送容器の分配、割当および／または輸送の制御を少なくとも含む。例えば、制御および／または規制ユニットは、センサデータに従って等級分けされた方法でウェハ輸送容器を個々の処理工程に送達するように構成されてもよい。ここで、例えば、現在最も悪いセンサデータを伴うウェハ輸送容器を優先的に送達することも可能であり、それによって廃棄物の発生を有利に減らすことができる。代替的に、例えば現在最良のセンサデータを伴うウェハ輸送容器を優先的に送達することも可能であり、それによって特に高品質の製造バッチを選別することが有利に可能である。
ウェハ輸送容器輸送システムを介したウェハ輸送容器のロジスティクスの制御が、予測モジュールによって生成された予測に基づいて制御および／または規制ユニットによって行われることがさらに提案される。このように、事象および／または負の結果を伴う事象への対策が有利に可能である。このように、製品品質のレベルおよび／または製造効率のレベルを高めることが有利に可能である。さらに、製造コストおよび故障時間をそれぞれ有利に低くおよび短く保つことができる。例えば、制御および／または規制ユニットは、それらの予測に従って等級分けされた方法で個々の処理工程にウェハ輸送容器を送達するように構成されてもよい。ここで、例えば、特に否定的な予測、または特に事象の発生までの短い期間を伴うウェハ輸送容器を優先的に送達することも可能であり、それによって有利に廃棄物の生成を減少させることが可能である。代替的に、例えば、特に好ましい予測、または特に良好なパラメータ値、例えば特に低い湿度を伴うウェハ輸送容器を優先的に送達することも可能であり、それによって特に高品質の製造バッチを選別することが有利に可能である。
制御および／または規制ユニットが、特にウェハ輸送容器輸送システムによって、安全データ範囲からのウェハ輸送容器の少なくとも１つのパラメータの逸脱を防ぐように構成される場合、廃棄物の発生を有利に低く抑えることができ、および／または、汚染されたウェハ輸送容器を製造回路から除去することによって、ウェハ搬送システムの副構成要素の汚染を回避することができる。特に、制御および／または規制ユニットは、安全データ範囲から逸脱したセンサデータをそのセンサが出力する、および／または予測モジュールによって、前記ウェハ輸送容器を再生および／または選別するために、安全データ範囲からの差し迫った逸脱を予測する予測が割り当てられているウェハ輸送容器を、ウェハ輸送容器輸送システムによって転送するように構成される。特に、ウェハ搬送システムは、ウェハ輸送容器の少なくとも１つのパラメータ、例えば内圧および／または汚染レベルを再生するように構成された再生ステーションを含む。例えば、再生ステーションが、ウェハ輸送容器のポンプ排気のためのポンプ排気ステーションおよび／またはウェハ輸送容器の内壁を再生するためのプラズマ再生ステーションを含むことが可能であろう。代替的にまたは追加的に、再生ステーションは、故障ウェハ輸送容器および／または再生されるべきウェハ輸送容器から新たに調整された故障なしウェハ輸送容器にウェハをリロードするように構成されたリロードステーションを含むことが可能であろう。
少なくともデータ処理ユニット、少なくとも予測モジュール、特に予測モジュールの予測方法、ならびに／または、少なくとも制御および／または規制ユニット、特に制御および／または規制ユニットの予測モジュールの予測に対する反応が、事後プログラムおよび／または再プログラム可能な設計であることがさらに提案される。このように、高レベルの柔軟性を有利に達成することができる。特に、データ処理ユニット、予測モジュール、ならびに／または制御および／または規制ユニットのオペレーティングプログラムは、予測モジュールの出力へのウェハ搬送システムの反応を定義する規則の容易かつ柔軟な事後プログラムおよび／または再プログラミングが可能であるように特別に構成されてもよい。特に、データ処理ユニット、予測モジュール、ならびに／または、制御および／または規制ユニットは、少なくとも１つの入力ユニット、例えばキーボード、および１つの出力ユニット、例えばスクリーンを含むユーザインターフェースを有し、これは、既存の規則の表示、修正、および／または組合せ、ならびに新しい規則の入力を許可するように特別にプログラムされている。
ウェハ搬送ユニットが、機械学習による予測を最適化するため、および／または機械学習による予測に対する反応を最適化するために構成された機械学習モジュールを有することがさらに提案される。このように、ウェハ搬送ユニットの継続的な改良ができることが有利に可能になる。さらに、特に少なくとも部分的に、ウェハ搬送ユニットを特定のファブに適合化させることができることが有利に可能である。機械学習モジュールは、データ処理ユニット内の別個のサーバおよび／またはコンピュータ、特に個々のコンピュータとして有利に実施されてもよい。代替的に、機械学習モジュールは、データ処理ユニットのサーバおよび／またはコンピュータ、例えばデータ処理ユニットの中央コンピュータおよび／またはファブの中央制御および／または規制ユニットに有利に一体化されてもよい。特に、機械学習モジュールは、少なくとも部分的に予測モジュールと一体的に具体化されている。特に、機械学習モジュールは、特に自動的に、センサデータセット内の新しいパターンを検出し、好ましくはこれらを予測モジュールによるパターン認識に利用可能にするように構成される。特に、機械学習モジュールは監視学習のために構成され、好ましくは、機械学習モジュールによって検出されたパターンは、オペレータによってチェックされて承認されなければならない。オペレータによって承認された後に、承認されたパターンには、データ処理ユニット、予測モジュール、ならびに／または、制御および／または規制ユニットの事後プログラミングによって、少なくとも１つの新しいおよび／または少なくとも１つの既存の規則が割り当てられてもよい。代替的にまたは追加的に、機械学習モジュールは、少なくとも部分的に監視された学習および／または監視されていない学習のために構成されてもよい。特に、機械学習モジュールは、機能不全に潜在的につながる可能性があったパターン（複数可）をするために、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素の機能不全への準備期間に格納されたセンサデータセットを徹底的に探すように構成される。このように、これまで未知の故障原因および／または故障表示を識別することが有利であり、決定されたパターンは将来の対策のための戦略を決定するために使用される可能性がある。
ウェハ搬送ユニットが少なくとも１つのセンサを有するセンサモジュールを含むことがさらに提案される。このように、ウェハおよび／またはウェハの環境条件の監視を有利に可能にすることができ、それによって、特に故障、特に製造不良、ウェハの損傷および／またはウェハの汚染を防止することができる。特に、少なくとも１つのセンサモジュール、好ましくは少なくとも１つのセンサが、ウェハ搬送システムの個々の副構成要素に割り当てられる。特に、少なくとも１つのセンサモジュール、好ましくは少なくとも１つのセンサが、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの個々の副構成要素に固定的に接続されている。特に、ウェハ搬送ユニットは、特に複数の中心を含んでもよい複数のセンサモジュールを含む。特に、センサモジュールの少なくとも１つのセンサは、光学センサとして、電子センサとして、特に抵抗センサおよび／または容量センサとして、磁気センサとして、機械センサとして、熱電センサとして、圧電センサならびに／または誘導センサとして実装される。センサは、ウェハ搬送システムの副構成要素に少なくとも部分的に一体化されるように好ましくは実装される。例えば、センサは、ウェハ輸送容器の内壁に配置されている。
センサモジュールがセンサと少なくとも実質的に同一に実装される少なくとも１つのさらなるセンサを有することがさらに提案される。このように、冗長性のレベルを有利に高めることができ、それによって、特に、個々のセンサの機能不全を容易におよび／または迅速に識別することができる。特に、センサモジュールのさらなるセンサは、センサモジュールのセンサと同じウェハ搬送システムの副構成要素の同じパラメータを検出するように構成される。
センサモジュールのセンサがパラメータを決定するように構成され、センサモジュールがセンサと同じパラメータを決定するように構成された少なくとも１つの追加のさらなるセンサを有し、追加のさらなるセンサがパラメータを決定するために、センサがパラメータを決定する測定方法と少なくとも実質的に異なる測定方法を用いることがさらに提案される。このように、冗長性のレベルをさらに有利に高めることができ、それによって特に個々のセンサの機能不全を容易におよび／または迅速に識別することができ、測定値の妥当性を容易かつ迅速にチェック可能にすることができる。特に、センサモジュールの追加のさらなるセンサは、センサモジュールのセンサおよび／またはセンサモジュールのさらなるセンサと同じウェハ搬送システムの副構成要素の同じパラメータを検出するように構成される。
ウェハ搬送ユニットが少なくとも１つの測定技術ユニットを有し、これは少なくともセンサ、特にセンサモジュールの少なくともセンサ、および／または、データ処理ユニットの少なくとも一部、特にデータ処理ユニットの少なくとも１つの個々のコンピュータを含み、特に共通パッケージとして実現されるアセンブリグループを実装し、測定技術ユニットは、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素、特にウェハ輸送容器、ウェハ処理モジュール、ならびに／またはロードおよび／またはアンロードステーション上で交換可能に配置されるように構成されることがさらに提案される。このように、特に測定技術ユニットが再使用可能および／または交換可能であるように実装されるという点によって、柔軟性のレベルを有利に高めることができる。測定技術ユニットの構造を特定の境界条件、例えば特定のセンサ構成および／または特定のセンサ構造に適合化させることが有利に可能である。さらに、測定技術ユニットは、ウェハ搬送システムの、廃止された副構成要素、再生されるべき副構成要素、および／または現在使用されていない副構成要素、特にウェハ輸送容器から有利に取り外されて、ウェハ搬送システムの新しい、再生されたおよび／または現在使用されている副構成要素、特にウェハ輸送容器に取り付けられてもよい。このように、交換部品のコストを低く抑えることが有利に可能である。特に、測定技術ユニットは、センサによってセンサデータをキャプチャし、検出されたセンサデータをデータ処理ユニットによって処理するように構成される。測定技術ユニットは、好ましくは、ウェハ搬送システムのさらなる構成要素、特にウェハ輸送容器上に非破壊的に搭載可能であるように、および／または副構成要素から取外し可能であるように実装されるセンサ測定機器として実装される。
この文脈において、複数の構成要素が「アセンブリを形成する」という記述は、構成要素が少なくとも１つの共通ハウジングを有すること、および／または構成要素が道具の使用なしで互いに分離できないおよび／または互いに非破壊的に分離できないように実装されることを特に意味すると理解される。測定技術ユニットが「交換可能に配置」されるように構成されるという記述は、測定技術ユニットが全体として、さらなる構成要素に非破壊的に搭載可能および／またはさらなる構成要素から取外し可能であるように構成されることを特に意味する。測定技術ユニットは、好ましくは、さらなる構成要素上に搭載可能であり、および／または道具を使用することなくさらなる構成要素から取外し可能であるように実装される。
特に、測定技術ユニットは、さらなる構成要素、例えばウェハ輸送容器の対応するアセンブリ要素に結合するように有利に構成されるアセンブリ要素を有する。特に、アセンブリ要素および対応するアセンブリ要素は、特に少なくともポジティブロックによって互いに結合する、特に例えば少なくとも１つのラッチラグでのクリップ型接続によって互いに係合するように構成されたポジティブロック要素として実現される。代替的にまたは追加的に、アセンブリ要素はまた、非ポジティブロック接続、例えばネジ接続および／または工具によって作成および／または解放することができる接続を含んでもよい。測定技術ユニットが、特に測定技術ユニットに一体化されたセンサの代わりに、センサの少なくとも１つのデータ出力を接続するための少なくとも１つのコネクタ要素、特にプラグコネクタを含むこともさらに考えられる。例えば、センサは、ウェハ搬送システムの副構成要素、特にウェハ輸送容器に固定的に一体化され、特にプラグコネクタとして実装されて好ましくは外部からアクセス可能なデータ出力を有する。ここで、測定技術ユニットがウェハ搬送システムの副構成要素に結合されると、データ処理ユニットとセンサとの間にデータ接続が好ましくは生成される。代替的にまたは追加的に、センサをセンサデータの無線通信用に構成することが考えられる。特に、センサは、センサデータの無線通信のための送信モジュールを有する。特に、測定技術ユニットは、センサデータの無線通信のための受信モジュールを有する。センサの送信モジュールと測定技術ユニットの受信モジュールとは、近距離無線通信（ＮＦＣ）技術によって好ましくは通信する。このように、センサモジュールの別個のエネルギー供給、例えばバッテリーを省略することが有利に可能である。
ウェハ搬送ユニットが、ウェハ搬送システムの副構成要素、特にウェハ輸送容器ならびに／またはロードおよび／またはアンロードステーションへと測定技術ユニットを解放可能および／または交換可能に結合するように構成されたクイックカップリング装置を有することがさらに提案される。このように、測定技術ユニットの簡単および／または迅速な交換、搭載および／または取外しを有利に可能にすることができる。さらに、このように、搭載および／または取外し中の作業労力のレベルが有利には低減可能であり、したがって特に操作の利便性が向上する。クイックカップリング装置は、特に、クリップ型接続またはラッチ接続を含み、これは、好ましくはポジティブロックを生成するように構成される。代替的にまたは付加的に、クイックカップリング装置は、例えば少なくとも１つの永久磁石での磁気接続を含んでもよく、これは好ましくは非ポジティブロック、特に磁気非ポジティブロックを生成するように構成される。磁気接続は、好ましくは複数の磁石要素、特に磁石を含み、これらは好ましくは少なくとも実質的に１つの平面内に配置される。このような配置によって、ウェハ搬送システムの副構成要素に対する、特にウェハ輸送容器に対する測定技術ユニットの向きを画定すること、および／または、滑り／回転を避けることが有利に可能である。特に、クイックカップリング装置は、非破壊的におよび／または工具を使用せずに作成および／または解放することができるように実装される。
少なくとも１つのセンサが、特にウェハ搬送システムの副構成要素内に配置されている少なくとも１つのウェハの外形の少なくとも一部、特に変形度を特に光学的にキャプチャするように構成される場合、ウェハの品質チェックは、チップ製造処理の実行中に既に有利に実行することができる。さらに、したがってチップ製造処理全体の実行中に、特に個々の処理工程間に、外形の状態の経過を監視することが有利に可能であり、それにより、特にウェハの外形へ影響を与える原因の識別が可能である。したがって、高レベルの処理信頼性および高レベルの品質を実現することが有利に可能である。「変形度」は、理想的には円形および／または理想的には平坦な外形からのウェハの形状の逸脱、例えば特にウェハ平面内における、少なくとも部分的な膨らみを特に意味する。外形の取得は、特に光学センサによって、例えばカメラによって、光バリアによって、および／またはレーザセンサによって行われる。例えば、ウェハの外形の、特にウェハの変形の取得は、自動画像認識を使用するカメラによって実行されてもよい。例えば、ウェハの外形の、特にウェハの変形の取得は、透過したおよび／または反射した放射光を評価することによって、光バリアによって、または光センサによって行われる。代替的にまたは追加的に、ウェハの外形は、例えば容量測定法によっておよび／または走査によって検出されてもよい。
検出された外形がウェハの実際の外形を形成し、データ処理ユニットがウェハの実際の外形を少なくともウェハの公称外形と比較するように構成されることがさらに提案される。このように、自動品質監視および／または自動故障監視を有利に可能にすることができる。特に、公称外形は、データ処理ユニットのメモリモジュールに格納されている。特に、外形のチェックのために、特にウェハの外形の逸脱の決定のために、データ処理ユニットは、測定された実際の外形を記憶された公称外形と仮想的に重ね合わせる。特に、データ処理ユニットは、ウェハの外形の決定された逸脱が特定の、特に手動で設定可能な閾値をオーバーシュートする場合、オペレータに通知を出力するように、ならびに／またはファブの中央制御および／または規制システムに命令を出力するように構成され、それは、対応するラベリングおよび／またはウェハの選別につながる。
少なくとも１つのセンサが、ウェハ搬送システムの副構成要素内、特にウェハ搬送ユニットのウェハ保持装置、好ましくはウェハ搬送ユニットのウェハラック内での、少なくとも１つのウェハの少なくとも位置、特に少なくとも１つのウェハの少なくとも１つの位置決めを検出するように構成されることがさらに提案される。このように、ウェハの位置の特に自動化された監視を可能にすることが有利に可能であり、それによって処理信頼性のレベルを有利に高めることができる。特に、位置決めは、ウェハ搬送システムの副構成要素内の意図された位置にウェハをセンタリングするという形態をとる。センサは好ましくは、ウェハのセンタリング精度を監視するように構成される。
検出された位置、特に位置決めが、ウェハの実際の位置、特に実際の位置決めを実装し、データ処理ユニットは、ウェハの実際の位置、特に実際の位置決めを、少なくともウェハの公称位置、特に公称位置決めと比較するように構成されることがさらに提案される。このように、自動品質監視および／または自動故障監視を可能にすることが有利に可能である。特に、公称位置、特に公称位置決めは、データ処理ユニットのメモリモジュールに記憶されている。特に、ウェハの位置、特に位置決めのチェック、特に位置、特に位置決めの逸脱の決定のために、データ処理ユニットは、測定された実際の位置、特に実際の位置決めを、記憶されている公称位置、特に公称位置決めに仮想的に重ね合わせる。特に、データ処理ユニットは、ウェハの位置、特に位置決めの決定された逸脱が、特定の、特に手動で設定可能な閾値をオーバーシュートする場合、オペレータへの通知ならびに／またはファブの中央制御および／または規制システムへの命令を出力するように構成され、それは、ウェハの対応するラベル付けおよび／または選別をもたらす。
センサモジュールの少なくとも１つのセンサが受動センサとして実装される場合、安価でおよび／または容易に識別可能または読取可能な検出方法を有利に可能にすることができる。「受動センサ」は、電気エネルギー供給とは無関係に機能するセンサを特に意味する。受動センサは、カラーインジケータ、特に可逆カラーインジケータとして好ましくは実装される。例えば、受動センサは、監視パラメータ、例えば湿度および／または酸素濃度の増加の場合に色を変える。色の変化は、特にオペレータによって直接またはカメラの画像処理によって読み取ることができる。ウェハ搬送システムの監視されている副構成要素、特にウェハ輸送容器が、好ましくは受動センサを見ることを可能にする例えば観察窓などの透明要素を有することが考えられ、受動センサは、特にウェハ搬送システムの副構成要素、特にウェハ輸送容器の内部に配置される。代替的にまたは追加的に、受動センサは、例えば、バイメタル温度計または液体温度計などの少なくとも１つの歪みゲージおよび／または少なくとも１つの機械的温度計を含んでもよい。
センサモジュールの少なくとも１つのセンサが、ウェハ輸送容器の、特にウェハ輸送容器内部の少なくとも１つのパラメータを検出するように構成されることがさらに提案される。このように、特に個々の処理工程間の輸送および／または格納中にウェハを監視することができるという点によって、高レベルの処理信頼性を有利に達成することができる。このように、汚染および／または不良ウェハによるウェハ処理モジュールの汚染および／または損傷の危険性を低くすることが有利に可能である。ウェハ輸送容器の検出パラメータの、特にウェハ輸送容器内部のパラメータのうちの少なくとも１つは、好ましくは上述の物理的、化学的および／または幾何学的パラメータのうちの少なくとも１つ、例えばウェハ輸送容器の内圧、酸素濃度および／または湿度の形態をとる。
センサモジュールの少なくとも１つのセンサが、ウェハ輸送容器の内容物、特にウェハ輸送容器に格納されている対象物、好ましくはウェハ輸送容器に格納されているウェハの少なくとも１つのパラメータを検出するように構成される場合、特に個々の処理工程間の輸送および／または格納中にウェハを監視することができるという点によって、高レベルの処理信頼性を有利に達成することができる。このように、汚染および／または不良ウェハによるウェハ処理モジュールの汚染および／または損傷の危険性を低くすることが有利に可能である。ウェハ輸送容器の内容物、特にウェハ輸送容器に格納されている対象物、好ましくはウェハ輸送容器に格納されているウェハの検出パラメータの少なくとも１つは、上記の物理的、化学的および／または幾何学的パラメータの少なくとも１つ、例えば対象物の温度、対象物の膨らみおよび／または対象物の位置決めとして優先的に実現される。ウェハ輸送容器に格納された対象物は、特にウェハ、ウェハ用の露光マスク、またはチップ製造に必要な類似の対象物の形態をとる。
センサモジュールの少なくとも１つのセンサが、ウェハ輸送容器に格納されている対象物の少なくとも１つのサブグループ、特にウェハに、特にウェハ輸送容器に格納されているまさに１つの対象物に、特にウェハ輸送容器に格納されているまさに１つのウェハに、割り当て可能であることがさらに提案される。このように、対象物の個々のサブグループ、特にウェハ、好ましくは個々の対象物、特にウェハ、および／または複数の対象物、特にウェハを別個に監視することが有利に可能になる。このように、高レベルの監視精度を有利に可能にすることができる。「対象物のサブグループ」は、全対象物の最大９０％、好ましくは全対象物の最大５０％、有利には全対象物の最大３０％、好ましくは全対象物の最大１０％、特に好ましくはまさに１つの対象物を含む対象物のグループを特に意味する。特に、全対象物の全体が１の値を超える場合、全対象物の全体は、少なくとも２つのサブグループと、最大で対象物の数に対応する数のサブグループとを含む。対象物の１つのサブグループ、特に個々の対象物に割り当てられたセンサは、サブグループの対象物、特に個々の対象物に関連するセンサデータのみをキャプチャするように特に構成される。好ましくは、対象物の各サブグループ、特に各対象物には、少なくとも１つのセンサが割り当てられる。例えば、対象物の各サブグループ、特に各対象物には温度センサが割り当てられている。このように、ウェハ輸送容器内での、パラメータの変動、例えば異なる速度で行われる冷却処理によって生じる温度変動をキャプチャすることが有利に可能である。個々の不良対象物をより良く識別し、必要ならば選別することが有利に可能である。 センサモジュールの少なくとも１つのセンサが、ロードおよび／またはアンロードステーション、特にロードおよび／またはアンロードステーションの内部の少なくとも１つのパラメータを検出するように構成されることがさらに提案される。このように、特に個々のウェハ輸送容器間および／またはウェハ輸送容器とウェハ処理モジュールとの間の搬送中にウェハを監視することができるという点によって、高レベルの処理信頼性を有利に達成することができる。このように、汚染および／または不良ウェハによるウェハ輸送容器および／またはウェハ処理モジュールの汚染および／または損傷の危険性を低くすることが有利に可能である。ロードおよび／またはアンロードステーション、特にロードおよび／またはアンロードステーションの内部の検出パラメータの少なくとも１つは好ましくは、上述の物理的、化学的および／または幾何学的パラメータ、例えばロードおよび／またはアンロードステーションの内圧、酸素濃度および／または湿度の少なくとも１つの形態をとる。
センサモジュールの少なくとも１つのセンサが、ウェハ処理モジュール、ウェハ輸送容器輸送システム、および／またはウェハ取扱ロボットの少なくとも１つのパラメータを検出するように構成されることがさらに提案される。このように、特に処理中または個々のウェハ処理モジュール間の輸送中にウェハを監視することができるという点により、高レベルの処理信頼性を有利に達成することができる。このように、汚染および／または不良ウェハによるウェハ処理モジュールの汚染および／または損傷の危険性を低くすることが有利に可能である。ウェハ処理モジュール、ウェハ輸送容器輸送システム、および／またはウェハ取扱ロボットの検出パラメータの少なくとも１つは好ましくは、上述の物理的、化学的および／または幾何学的パラメータ、例えば加速度および／またはジャークの少なくとも１つの形態をとる。
センサモジュールの少なくとも１つのセンサが、ウェハ搬送処理中にウェハ輸送容器の内部ならびにロードおよび／またはアンロードステーションの内部によって実装される局所環境のパラメータを検出するように構成されることがさらに提案される。このように、特に個々のウェハ輸送容器間および／またはウェハ輸送容器とウェハ処理モジュールとの間の搬送中にウェハを監視することができるという点によって、高レベルの処理信頼性を有利に達成することができる。このように、汚染および／または不良ウェハによるウェハ輸送容器および／またはウェハ処理モジュールの汚染および／または損傷の危険性を低くすることが有利に可能である。さらに、ロードおよび／またはアンロードステーションのセンサを、ウェハ輸送容器のパラメータ、例えばウェハ輸送容器の内圧を決定するために、またはその逆を決定するために使用することが有利に可能である。局所環境、特にウェハ搬送処理中に形成されたミニ環境の検出パラメータの少なくとも１つは好ましくは、上述の物理的、化学的および／または幾何学的パラメータ、例えばミニ環境の内圧、酸素濃度および／または湿度の少なくとも１つの形態をとる。「ウェハ搬送処理」は、特に、ウェハ輸送容器開口要素をロードおよび／またはアンロードステーションの内部に降下させることによってウェハ輸送容器からウェハをアンロードし、ウェハ取扱ロボットによってウェハ処理モジュールに搬送する処理を含む。特に、局所環境はミニ環境を形成する。
データ処理ユニットおよび／またはセンサモジュールが、少なくとも１つのメモリモジュール、特に、少なくともセンサデータの経過を記憶するように構成された上述のメモリモジュールを有する場合、故障原因の正確な追跡が有利に可能になる。特に、センサモジュールは、センサデータをメモリモジュールに周期的に記憶するように構成される。特に、センサモジュールおよびデータ処理ユニットは、互いに別個に実装されたメモリモジュールを有する。センサモジュールのメモリモジュールは、好ましくは定期間隔でデータ処理ユニットによって読み取られ、特に評価のために、格納されたセンサデータの経過がセンサモジュールのメモリモジュールからデータ処理ユニットのメモリモジュールに転送される。データ処理ユニットのメモリモジュールは、センサモジュールのメモリモジュールよりもはるかに大きい記憶容量を好ましくは有する。
データ処理ユニットが、少なくとも１つのセンサデータの経過を評価するように少なくとも構成された少なくとも１つの評価モジュールを有することがさらに提案され、それは特にデータ処理ユニットのメモリモジュールに格納され、評価モジュールは、少なくともセンサモジュールのセンサの機能不全および／またはセンサモジュールの少なくとも１つのセンサの異常センサデータを検出するように少なくとも構成された自動故障検出手段を含む。このように、誤ったデータに基づくファブの制御および／または規制システムによる機能不全および／または誤った制御動作を防止することが有利に可能である。評価モジュールは、データ処理ユニット内の別個のサーバおよび／またはコンピュータ、特に個々のコンピュータとして有利に実施されてもよい。代替的に、評価モジュールは、データ処理ユニットのサーバおよび／またはコンピュータ、例えばデータ処理ユニットの中央コンピュータならびに／またはファブの中央制御および／または規制システムに有利に一体化されてもよい。「異常センサデータ」は特に、異常な経過、例えば激しいノイズおよび／または特に急な段階変化、および／または異常なパラメータ値、例えば物理的に現実的な範囲外にあるパラメータ値を有するセンサデータである。自動故障検出手段は、特に事後プログラムおよび／または再プログラム可能であるように実装される。自動故障検出手段が機能不全および／または異常センサデータを検出する際に基づく規則は、好ましくは手動で補足、削除および／または修正することができる。
少なくとも１つのセンサがカメラシステム、特にインテリジェントカメラシステムとして具体化される場合、画像認識による少なくとも１つのパラメータおよび／またはパラメータ値の決定が有利に可能とされることができる。カメラシステムが、特に同時にまたは順次に、１つを超える個々のパラメータをキャプチャするように構成されることが有利に可能である。カメラシステム、特にカメラシステムのカメラは、２つの異なるパラメータ、特にウェハの膨らみ、ウェハの位置決め、および／またはウェハの直径などの幾何学的パラメータをキャプチャするように好ましくは構成される。カメラシステム、特にカメラシステムのカメラは、２つを超える異なるパラメータをキャプチャするように好ましくは構成される。「インテリジェントカメラシステム」は、データ処理ユニットと通信して好ましくはキャプチャされるべきパラメータに応じた方法でカメラの自動焦点合わせおよび／または方向付けを実行し、カメラシステムによって記録された画像からパラメータを自動的に抽出するための自動画像処理手段を特に含むカメラシステムを特に意味する。例えば、カメラシステムは、カメラシステムの撮像野内に位置するウェハを自動的に識別するように特に構成された自動ウェハ認識手段を含む。カメラシステムは、センサモジュールの少なくとも１つの受動センサを少なくとも自動的に読み取るように好ましくは構成される。
ウェハ搬送ユニットが、センサモジュールの少なくとも１つのセンサがその上および／または中に配置されている少なくとも１つのウェハ保持装置、特にウェハラックを有することがさらに提案される。このように、ウェハに近接して配置されたセンサによるパラメータの取得が有利に可能になり、それによって特に、高レベルの精度を達成することが可能になる。さらに、このように、キャプチャされたパラメータを複数のウェハ内の単一のウェハに割り当てることが有利に可能であり、それによって特に、異なるウェハのパラメータの差、例えば温度差をキャプチャすることが可能である。「ウェハ保持装置」は特に、少なくとも１つのウェハ、好ましくは複数のウェハを固定位置に保持するように構成された装置として実装される。ウェハ保持装置は、ウェハ輸送容器の内部に好ましくは配置される。ウェハ保持装置は、ウェハ輸送容器開口要素に固定的に好ましくは接続されている。特にミニ環境の形成中に、ウェハ保持装置は、ウェハ輸送容器開口要素とともにロードおよび／またはアンロードステーションの内部に移動する。ウェハ保持装置は、真空適合性材料、例えば金属、機械加工可能ガラスセラミックおよび／または例えばＰＥＥＫなどのプラスチックで特に実装される。ウェハ保持装置は、特に、保持されたウェハの滑りを防止するように構成されたクランプ要素を有する。センサは特に、ウェハ保持装置、特にウェハ保持装置の少なくとも１つのクランプ要素と少なくとも部分的に一体化され、好ましくは、ウェハ保持装置、特にウェハ保持装置の少なくとも１つのクランプ要素と一体的に具体化されている。
ウェハ搬送ユニットが、センサモジュールのエネルギー貯蔵部および／またはデータ処理ユニットのエネルギー貯蔵部に充電エネルギーを非接触で供給するように構成された充電モジュールを有することがさらに提案される。このように、特定の単純な充電処理を有利に可能にすることができる。エネルギー貯蔵部は特に、物理的エネルギー貯蔵部、例えばコンデンサなど、および／または化学的エネルギー貯蔵部、例えばバッテリーなどとして実装される。「充電エネルギーの非接触供給」は特に、少なくともある部分において、エネルギー貯蔵部を充電するためのエネルギーが完全に無線で送信される場合の充電エネルギーの供給として理解される。特に、充電モジュールによるエネルギーの送信は、磁場によって、例えば誘導によって、電磁波によって、および／または光によって、例えばフォトセルによって行われる。充電モジュールは特に、例えば磁場発生器として、電磁放射を発生させせるための発生器として、および／または光波を放射するための源として実装される少なくとも１つのエネルギー送信要素を含む。エネルギー送信要素は、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素、例えばロードおよび／またはアンロードステーションに好ましくは配置される。特に、ウェハ搬送システムは、ウェハ搬送システムの異なる箇所に配置された複数のエネルギー送信要素を含む。代替的にまたは追加的に、少なくとも１つのエネルギー送信要素は、ウェハ搬送システムのさらなる副構成要素から独立しているウェハ搬送システムの別個の副構成要素を形成してもよい。さらに、充電モジュールは特に、例えば少なくとも磁石コイルとして、電磁放射を受信するためのアンテナとして、および／またはフォトセルとして具体化されているエネルギー受信要素を含む。エネルギー受信要素は特に、センサモジュールの少なくとも１つのセンサ、好ましくはセンサモジュールの複数のセンサ、および／またはデータ処理ユニットの少なくとも１つの個々のコンピュータに割り当てられる。エネルギー受信要素は、ウェハ搬送システムの１つの副構成要素上、例えばウェハ輸送容器上に少なくとも配置されている。代替的にまたは追加的に、ロードおよび／またはアンロードステーション上でのウェハ輸送容器のドッキング処理中に、ウェハ輸送容器の少なくとも１つのエネルギー受信要素が、ウェハ輸送容器に関連する少なくとも１つのエネルギー貯蔵部を充電する目的のため少なくとも１つのエネルギー送信要素との直接接触プラグ接続を生成することが考えられる。
充電モジュールが、電場および／または磁場から充電エネルギーを抽出し、それを電気エネルギーに変換するように構成された少なくとも１つの導電性トラックを有することがさらに提案される。このように、特に充電モジュールの構成要素間の無線エネルギー送信を有利に可能にすることができる。無線エネルギー送信によって、特にプラグ接続の装備を省くことによって、故障しやすさを有利に低減することができる。特に、導電性トラックはエネルギー受信要素に割り当てられる。特に、導電性トラックは、ＲＦＩＤアンテナおよび／または誘導コイルなどとして具体化される。
ウェハ搬送ユニットが、センサモジュールのエネルギー貯蔵部および／またはデータ処理ユニットのエネルギー貯蔵部に充電エネルギーを供給するように構成された少なくとも１つのフォトセルユニットを有することがさらに提案される。このように、単純な無線充電設備を有利に作成することができる。特に、フォトセルユニットは少なくとも部分的にエネルギー受信要素を形成する。特に、フォトセルユニットは、少なくとも１つのフォトセル、好ましくは上述のフォトセルを有する。
ウェハ搬送ユニットが、フォトセルユニットの少なくとも１つのフォトセルを照明するように構成される少なくとも１つの照明ユニットを有することがさらに提案される。エネルギー受信要素へのエネルギーの単純な無線供給を、このように有利に実現することができる。特に、照明ユニットはエネルギー送信要素を形成する。特に、照明ユニットは光源、特に上述の光源を有する。
データ処理ユニット、特にデータ処理ユニットの少なくとも１つの個々のコンピュータが、センサデータの処理のために少なくとも１つのＮＦＣインターフェースおよび／またはＷＬＡＮインターフェースを有することがさらに提案される。これにより、データ処理ユニットの少なくとも一時的に隣接する部分、特に個々のコンピュータの間の直接通信が有利に可能になる。例えば、ロードおよび／またはアンロードステーション内の内圧を決定するためのセンサに割り当てられているデータ処理ユニットの個々のコンピュータは、例えばウェハ輸送容器内の内圧を決定するためのセンサに割り当てられているデータ処理ユニットのさらなる個々のコンピュータが前者の個々のコンピュータに近接するよう移動するときに、ＮＦＣインターフェースを介してさらなる個々のコンピュータのデータを自動的に受信し、測定データと受信データとの組合せから、ロードおよび／またはアンロードステーションとウェハ輸送容器との間の差圧を決定するように構成されてもよい。代替的にまたは追加的に、データ処理ユニットは、センサデータの処理のために、無線データ転送、好ましくは近距離データ転送のためのＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、ＺｉｇＢｅｅ（登録商標）、ＷｉＭＡＸまたは類似のインターフェースを含んでもよい。
少なくとも１つの読取点を有し、データ処理ユニット、特にデータ転送要素が読取点に近接して配置されている場合に、データ処理ユニット、特にデータ処理ユニットのデータ転送要素のデータ通信をトリガするように構成された少なくとも１つの読取装置を、ウェハ搬送ユニットが含むことがさらに提案される。このように、特に受信機が受信範囲内で確実に利用可能である場合にのみエネルギーを消費するデータ通信がアクティブになるという点によって、高レベルのエネルギー効率を有利に達成することができる。特に、読取点は、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素、特に少なくともウェハ輸送容器輸送システムならびに／またはロードおよび／またはアンロードステーションに割り当てられる。特に、データ通信は、特にセンサ設定、測定間隔などの適合化の目的のために、センサデータセット、ウェハ輸送容器を一意に識別するように構成されたウェハ輸送容器の識別子、および／または、例えばセンサの個々のコンピュータへの取扱命令の少なくとも１つの送信を含む。ウェハ搬送システムは、好ましくは複数の読取点を含む。特に、読取点は、チップ製造処理中にすべてのウェハ輸送容器が好ましくは通過するファブのレールシステムのジャンクションに配置される。さらに、読取点は、チップ製造処理中にウェハ輸送容器がドッキングするロードおよび／またはアンロードステーションに好ましくは割り当てられる。読取装置は、特にＲＦＩＤ読取ユニットなどとして具体化されている。
代替的にまたは追加的に、読取点は、ウェハ搬送システムのさらなる副構成要素から好ましくは独立しているウェハ搬送システムの別個の副構成要素を形成してもよい。特に、前記タイプの独立した読取点は、診断ステーションを形成する。すべてのウェハ輸送容器が、通常の製造サイクルの経過の間に少なくとも１回、診断ステーションおよび／または読取点に選択的に移動することが考えられる。代替的にまたは追加的に、特に予測、ウェハ輸送容器に格納されているウェハの合計格納時間、および／または測定パラメータ値に依存して、ウェハ輸送容器をオペレータによって手動でまたはファブの中央制御および／または規制システムによって自動的に、診断ステーションおよび／または読取点に選択的に転送することが考えられる。診断ステーションおよび／または読取点への選択的移動の頻度が予測に依存して変化することもさらに考えられる。ここで、特に、予測の該当性が増すにつれて頻度が減少する。
対象物、特に読取点、レールシステムおよび／または輸送キャリッジの「近傍」とは、対象物から最大５ｍ、好ましくは最大２ｍ、有利には最大１ｍ、好ましくは最大５０ｃｍ、特に好ましくは最大２５ｃｍの距離にある点によって実現される領域を特に意味する。データ転送要素は特に、データ処理ユニット、特に個々のコンピュータの電子データを送信するように構成された少なくとも１つの送信機構と、データ処理ユニット、特に個々のコンピュータの電子データを受信するように構成された少なくとも１つの受信機構とを含む。特に、データ通信中、データ転送要素は、データ処理ユニットのメモリモジュールに含まれるすべての情報項目、特に、近接して位置する、好ましくは、読取装置に近接して位置する個々のコンピュータのメモリモジュール内にあるデータ処理ユニットのその部分のメモリモジュールに含まれるすべての情報項目を送信する。代替的にまたは追加的に、読取装置は、データ処理ユニットの特定の選択可能なデータ項目、例えば特定のセンサデータセットのみを問い合わせるように構成されてもよく、そのとき、データ処理ユニットは問い合わせされたデータのみを送信する。データ通信が「トリガされる」という記述は、データ処理ユニットの少なくとも一部、好ましくは少なくとも１つの個々のコンピュータが近接して存在することを検出すると、データ通信が自動的に開始されることを特に意味する。
充電処理中に、充電モジュールの少なくとも一部、特にエネルギー受信要素に充電エネルギーを非接触で送信するように構成された、ウェハ搬送ユニットの充電モジュールおよび／または充電エネルギー供給モジュールが少なくとも部分的に読取装置と一体的に具体化される場合、構成要素の減少を有利に可能にすることができ、それによって特に製造および材料コストを低く抑えることが可能である。
データ処理ユニットの少なくとも一部、特にデータ処理ユニットの少なくとも１つの個々のコンピュータが、ウェハ搬送システムのウェハ輸送容器に割り当てられ、特にウェハ搬送処理のための局所環境の形成中に、ウェハ輸送容器のセンサデータ、特に圧力センサデータを、データ処理ユニットの少なくとも１つのさらなる部分、特にウェハ搬送システムのロードおよび／またはアンロードステーションに割り当てられるデータ処理ユニットの少なくとも１つのさらなる個々のコンピュータと交換するように構成されることがさらに提案される。このように、ロードおよび／またはアンロードステーションの少なくとも１つのパラメータ、例えば内圧をウェハ輸送容器のパラメータと整合させることが有利に可能である。このように、好ましくはミニ環境の情報に先立って、ロードおよび／またはアンロードステーションおよびウェハ輸送容器のパラメータをミニ環境の形成のために互いに調整することが有利に可能である。例えば、ウェハ輸送容器の内圧は、ロードおよび／またはアンロードステーションに送信され、それにより、ロードおよび／またはアンロードステーションの内圧は、ウェハ輸送容器開口要素によってウェハ輸送容器を開口させる前に受信した圧力値に適合化される。
ウェハ搬送ユニットが、特に事前設定可能な、安全データ範囲からの少なくとも１つのセンサのセンサデータの逸脱の検出の場合に、および／またはウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素の機能不全の検出の場合に、少なくとも１つの特に音響的および／または視覚的な警報を出力するよう少なくとも構成される少なくとも１つの警報モジュールを有することがさらに提案される。このように、起こり得る機能不全に対し注意を迅速かつ効果的な方法で有利に払うことができ、それによって特に機能不全に対する効果的かつ迅速な対応を可能にすることができる。このように、故障時間を回避し、および／または時間的に短く保つことが有利に可能である。警報モジュールは、特に少なくとも１つのサイレン、少なくとも１つの警報ランプ、および／または少なくとも１つのデータ送信装置を含み、データ送信装置は、検出された逸脱および／または機能不全に関する警報および／または通知を少なくとも１人のオペレータならびに／または少なくともファブの中央制御および／または規制システムへ送信するように特に構成される。特に、警報モジュールは、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素に割り当てられる。ウェハ搬送ユニットは、ウェハ搬送システムの異なる副構成要素に特に割り当てられた複数の警報モジュールを好ましくは含む。少なくとも１つの警報モジュールを少なくとも１つの、特に好ましくはそれぞれのウェハ輸送容器に割り当てることが好ましい。特に、警報モジュールはウェハ輸送容器に固定的に接続されている。警報モジュールによって、機能不全を伴うウェハ輸送容器が、例えば目立つ色、強い光強度および／または輝度変調を有する対応するはっきりと見える照明によって、および／または対応するはっきりと聞こえる音響信号によって、多数のウェハ輸送容器において迅速かつ容易に識別されることが有利に可能である。
特に、評価モジュールは、自動故障検出手段による故障の検出の際に、警報モジュール、特に故障のあるウェハ搬送システムのその副構成要素に関連する警報モジュールを作動させるように構成される。ファブの中央制御および／または規制システムは、警報が受信および／または検出された場合に、ウェハ搬送システムの影響を受けた副構成要素を非活性化し、および／またはチップ製造処理からそれを除去する自動制御を実行するように特に構成される。ファブの中央制御および／または規制システムは、警報が存在するウェハ輸送容器を診断ステーションに転送させ、前記ウェハ輸送容器を再生ステーションに転送させ、および／または製造サイクルから前記ウェハ輸送容器を完全に除去するように、ウェハ輸送容器輸送システムに好ましくは命令する。代替的にまたは追加的に、ファブの中央制御および／または規制システムは、それ以上のウェハ、特にウェハ輸送容器をウェハ搬送システムの副構成要素、例えば、警報が存在する、ならびに／または警報が存在するウェハ処理モジュールに接続されているロードおよび／またはアンロードステーションに送達しないようにウェハ輸送容器輸送システムに命令するように構成される。
さらに、ウェハ搬送ユニットと、少なくとも１つのセンサを有する少なくとも１つのセンサモジュールとを伴うウェハ輸送容器が提案される。このように、特に、少なくとも１つのウェハの輸送、少なくとも１つのウェハの格納、および／または少なくとも１つのウェハのウェハ搬送システムのさらなる副構成要素への搬送に関して有利な特性を達成することが可能である。
ウェハ輸送容器は、温度センサとして実装される少なくとも１つのセンサのセンサデータに基づいて、ウェハ輸送容器に格納された少なくとも１つの対象物、特にウェハ輸送容器に格納された少なくとも１つのウェハを焼戻し、特に加熱および／または冷却するように少なくとも構成された少なくとも１つの焼戻しユニットを有することがさらに提案される。このように、ウェハ輸送容器の内部の対象物を、対象物および／またはチップ製造処理にとって有利な温度に維持すること、ならびに／または有利な温度にすることを有利に可能にすることができる。焼戻しユニットは、特に加熱システムおよび／または冷却システムを含む。焼戻しユニットによる対象物の焼戻しは、特に、対象物の一部と焼戻しユニットの一部、特に焼戻しユニットの焼戻し要素との間の少なくとも１つの直接の物理的接触点を介した熱流によって行われる。代替的にまたは追加的に、温度上昇は、加熱システムによる熱放射、例えば赤外線放射による対象物の照射によって実現されてもよい。焼戻しユニットによる焼戻しは、特に制御および／または規制ユニットによって、好ましくは制御および／または規制される。特に、温度センサは、制御および／または規制ユニットとともにサーモスタットを形成する。温度センサは、特にサーミスタとして、半導体温度センサとして、熱要素として、高温計などとして実現される。
焼戻しユニットは、焼戻しユニットによって焼戻しされるべき対象物、特に焼戻しユニットによって焼戻しされるべきウェハと物理的に接触する少なくとも１つの焼戻し要素、特に上述の焼戻し要素を有することがさらに提案される。このように、焼戻しのための効果的な熱流を有利に可能にすることができる。特に、ウェハ輸送容器に格納された各対象物には、少なくとも１つの焼戻し要素、好ましくは複数の焼戻し要素が割り当てられる。対象物に割り当てられた焼戻し要素は、対象物全体として最も均一にすることが可能な焼戻しが可能になるように対象物と好ましくは接触する。例えば、互いに結合された複数の焼戻し要素は、対象物の円周に沿って可能な限り均一な間隔で対象物と接触する。焼戻し要素は、特に加熱要素および／または冷却要素を含む。冷却要素によって、特に、対象物の冷却を補助および／または加速することが有利に可能であり、それにより、熱輸送媒体が存在しないために冷却が通常、非常にゆっくりとのみ起こる、特に真空環境において、例えば時間節約などの大きな利点をもたらすことができる。加熱要素は、特に抵抗加熱要素として、熱電要素として、特にペルチェ要素として、および／または加熱流体が流れる加熱回路の一部として具体化される。冷却要素は、特に熱電要素として、特にペルチェ要素として、および／または冷却流体が流れる冷却回路の一部として具体化される。加熱要素および／または冷却要素を、特に高い熱伝導率を示し、特にウェハ輸送容器の外部に配置された加熱および／または冷却源との熱伝導接触を生じさせるように構成された熱伝導要素として実装することがさらに考えられる。
加熱および／または冷却源は特に、ウェハ搬送システムの副構成要素に割り当てられる。例えば、ロードおよび／またはアンロードステーションが加熱および／または冷却源を有することが考えられ、加熱および／または冷却源と少なくとも１つの焼戻し要素との間の熱伝導接続は、ウェハ輸送容器のロードおよび／またはアンロードステーションへのドッキング時に生成される。代替的にまたは追加的に、加熱および／または冷却源が、特に焼戻しステーションとして実装される、ウェハ搬送システムの別個の副構成要素を形成することが考えられる。ウェハ輸送容器輸送システムは特に、チップ製造処理中に、好ましくは少なくとも１つのパラメータ、例えばセンサによって測定された温度に依存する方法での、そこに格納されたウェハの焼戻しのために、ウェハ輸送容器を焼戻しステーションに送達するように構成されてもよい。
ウェハ輸送容器の焼戻しユニットが、ウェハ輸送容器に格納された少なくとも２つの対象物、特にウェハを別個に焼戻しする、特に加熱および／または冷却するために構成される場合、ウェハ輸送容器内での極めて均一な温度分布が得られることが有利に可能である。対象物の温度を対象物の特定の特性に適合化させることがさらに有利に可能であり、例えばこのように異なる対象物を異なる温度に保つことおよび／または異なる温度にすることも可能である。特に、焼戻しユニットは、ウェハ輸送容器に格納されている対象物のうちの３つ、４つ、５つ、および／または複数、好ましくはすべてを別個に焼戻しするように構成される。この目的のために、焼戻しユニットは焼戻し要素、特に熱伝導の観点から互いに分離され、かつそれぞれの場合に別個に焼戻しされるべき対象物に割り当てられた、熱伝導要素を有する。
センサモジュールが、特に温度センサとして実装された２つのセンサによって、第１の対象物、特にウェハ輸送容器に格納されたウェハの温度と、第２の対象物、特にウェハ輸送容器に格納されたウェハのさらなる温度とを、別個にキャプチャするように少なくとも構成されることがさらに提案される。このように、ウェハ輸送容器内の温度分布を有利に決定することができ、それによって例えば異なる対象物の異なる冷却速度を登録することが可能である。特に、センサモジュールは、ウェハ輸送容器に格納されている対象物のうちの３つ、４つ、５つ、および／または複数、好ましくはすべての温度を別個に決定するように構成される。
ウェハ輸送容器が、ウェハ輸送容器の上および／または中に配置可能な少なくとも１つの真空ポンプを有する場合、ウェハ輸送容器の内圧の直接適合化が、特にロードおよび／またはアンロードステーションへの結合とは無関係に有利に実行されることができる。このように、特に輸送処理中および／またはウェハ輸送容器の格納中であっても、ウェハ輸送容器の内部に十分な容積を有利に維持することができる。「真空ポンプ」は、密閉空間、例えばウェハ輸送容器の内部の圧力を変化させる、好ましくは少なくとも実質的に減少させるように構成される構成要素を特に意味し、圧力減少は、特に材料がウェハ輸送容器の内部から運び出されることにより、および／または材料が特定の位置で収集および／または結合されることにより引き起こされる。特に、ポンプは、容積式ポンプとして、ジェットポンプとして、分子ポンプ、特にターボ分子ポンプとして、極低温ポンプとしておよび／または収着ポンプとして具体化される。真空ポンプが「ウェハ輸送容器上に配置可能である」という記述は、真空ポンプがウェハ輸送容器に固定的に接続可能であり、好ましくはそれにより、真空ポンプがウェハ輸送容器に固定的に関連付けられ、ウェハ輸送容器の輸送中にウェハ輸送容器とともに移動可能であることを特に意味する。真空ポンプが「ウェハ輸送容器内に配置可能である」という記述は、真空ポンプが少なくとも部分的に、好ましくは全体的にウェハ輸送容器の内部に配置されることを特に意味する。
特に、ウェハ輸送容器は、少なくとも１つの真空ポンプ固定ユニットを有し、これは、真空ポンプを固定位置でウェハ輸送容器に、特に非ポジティブロック式に、例えばネジ接続などによって、ならびに／またはポジティブロック式に、例えば、クリップ型および／またはラッチ接続などによって、固定するように構成される。真空ポンプ固定ユニットによる接続は、好ましくは、非破壊的におよび／または道具を使用せずに解放可能であるように実装される。このように、真空ポンプを異なるウェハ輸送容器間で前後に切り替えることが有利に可能であり、および／または輸送容器の使用停止の場合には、真空ポンプを、例えば新しいウェハ輸送容器への搭載を介して使用し続けることができる。真空ポンプは、閉鎖されたウェハ輸送容器をポンプ排気するように好ましくは構成され、ポンピング処理は、特にウェハ輸送容器の格納中および／または輸送中に行われる。
特に、ウェハ搬送システムが真空ポンプ交換ステーションとして実装される副構成要素を有することが考えられる。真空ポンプ交換ステーションは、真空ポンプをウェハ輸送容器に配置し、ウェハ輸送容器から真空ポンプを取外し、および／またはウェハ輸送容器に割り当てられた真空ポンプを交換するように特に構成される。ウェハ輸送容器輸送システムは、好ましくはファブの中央制御および／または規制ユニットによる自動制御によって、ならびに／またはオペレータによる手動制御によって、ウェハ輸送容器を真空ポンプ交換ステーションに送達するように特に構成される。真空ポンプ交換ステーションへのウェハ輸送容器の送達は、ウェハ輸送容器の少なくとも１つのセンサ、特に内圧センサからのセンサデータに基づいて、および／または、予測モジュールの予測に基づいて、好ましくは実行される。特に、これまで真空ポンプが割り当てられておらず、その内圧が特定の圧力閾値を超えている、および／またはその予測が圧力閾値の差し迫ったオーバーシュートを予測しているウェハ輸送容器は、真空ポンプ交換ステーションに送達される。これらのウェハ輸送容器には、真空ポンプ交換ステーションによって真空ポンプが割り当てられる。さらに、特に、真空ポンプが既に割り当てられており、その内圧が特定の圧力閾値をアンダーシュートしている、および／またはその予測が、圧力閾値をオーバーシュートするまでに長期間を予測するウェハ輸送容器が、真空ポンプ交換ステーションに送達される。関連する真空ポンプは、真空ポンプ交換ステーションによってこれらのウェハ輸送容器から除去される。
特に、データ処理ユニットの、ウェハ輸送容器に割り当てられた少なくとも制御および／または規制ユニット、好ましくは個々のコンピュータの制御および／または規制ユニットは、真空ポンプによってセンサモジュールのセンサデータに基づいてウェハ輸送容器の内部の圧力を制御および／または規制するように構成される。特に、ウェハ輸送容器に割り当てられた真空ポンプはしたがって、設定圧力閾値をオーバーシュートするとすぐに真空ポンプの作動を開始し、さらなる設定圧力閾値をアンダーシュートするとすぐに真空ポンプを停止し、特に、さらなる圧力閾値は、圧力閾値よりも有意に低く、好ましくは少なくとも１桁、好ましくは少なくとも２桁、そして好ましくは少なくとも３桁低い。
真空ポンプが少なくとも１つのゲッタ、特にイオンゲッタを含む場合、および／または少なくとも１つのゲッタがウェハ輸送容器の内部に配置される場合、単純および／または効果的な圧力規制を有利に可能にすることができる。ゲッタは、特にイオンゲッタポンプの一部として実装されてもよいが、ゲッタは好ましくは、イオンゲッタポンプとは独立して具体化される。特に、ゲッタは不揮発性ゲッタとして具体化される。ゲッタは特に「バルクゲッタ」として実装され、これは極めて大きな表面積を伴う外形、例えば少なくとも１つ、好ましくは複数のプレート、ストリップ、ワイヤなどの配置を有する。代替的にまたは追加的に、ゲッタは、特に、ウェハ輸送容器の好ましくは金属製の表面、好ましくはウェハ輸送容器および／またはウェハ輸送容器開口要素の内壁の少なくとも一部の表面上に、ならびに／またはウェハ保持装置の好ましくは金属製の表面上に配置されたコーティングとして実施されてもよい。特に、ゲッタは、少なくとも部分的にジルコニウム、バナジウム、コバルト、アルミニウム、チタン、鉄および／またはセリウムミッシュメタルを少なくとも含む合金から実装される。
ウェハ輸送容器が真空ポンプに対して解放可能および／または交換可能接続を有する場合、特にそれぞれの内圧に依存した方法で、特にすべてのウェハ輸送容器のうちのいくつかのみに真空ポンプが割り当てられるという点により、高レベルの柔軟性が有利に達成されることができる。さらに、選別されたウェハ輸送容器に割り当てられた真空ポンプの再利用が有利に可能になり、それによってコストを低く抑えることができる。特に、真空ポンプのウェハ輸送容器への解放可能および／または交換可能接続は、上述の真空ポンプ固定ユニットによって実現される。 ウェハ輸送容器が、真空ポンプ、特に真空ポンプの少なくとも１つの吸込口をウェハ輸送容器の内部に解放可能および／または交換可能に結合するように構成された真空気密真空ポンプクイックカップリング装置を有することがさらに提案される。このように、真空ポンプの搭載、取外しおよび／または交換に必要な時間および／または作業の費用を低く抑えることが有利に可能である。
さらに、ウェハ搬送ユニットと少なくとも１つのセンサを有する少なくとも１つのセンサモジュールとを伴うロードおよび／またはアンロードステーションが提案される。このように、ウェハ搬送システムの副構成要素間、特にウェハ輸送容器、ロードおよび／またはアンロードステーションならびに／またはロードおよび／またはアンロードステーションに接続されたウェハ処理モジュールの間での少なくとも１つのウェハの搬送に関する有利な特性が特に提供されてもよい。さらに、ウェハおよび／またはウェハ周囲の環境条件の監視を有利に可能にすることができ、それによって、特に故障、例えば製造不良、ウェハの損傷および／またはウェハの汚染を防止することが可能である。
ロードおよび／またはアンロードステーションが、ウェハ搬送システムの少なくとも１つのさらなる副構成要素、特に少なくともウェハ搬送システムのウェハ処理モジュール、少なくともウェハ搬送システムのウェハ輸送容器、少なくともウェハ搬送システムのウェハ輸送容器輸送システム、および／または少なくともウェハ搬送システムのウェハ取扱ロボットとのデータ通信、ならびに／または、ウェハ搬送システムの少なくとも２つの副構成要素間のデータ通信、ならびに／または外部データ処理システムとのロードおよび／またはアンロードステーションのデータ通信の制御および／または規制のために少なくとも構成された中央制御および／または規制ユニットを有することがさらに提案される。このように、ロードおよび／またはアンロードステーションによって行われるウェハの搬送の信頼性のある制御を有利に可能にすることができる。ロードおよび／またはアンロードステーションの中央制御および／または規制ユニットは、ウェハ搬送ユニットの制御および／または規制ユニットと一体的に特に具体化されている。ロードおよび／またはアンロードステーションの中央制御および／または規制ユニットとウェハ搬送ユニットの制御および／または規制ユニットとは好ましくは同一である。ロードおよび／またはアンロードステーションの中央制御および／または規制ユニットは、ファブの中央制御および／または規制システムと、データ処理ユニットと、ならびに／またはデータ処理ユニットの少なくとも１つの個々のコンピュータと、少なくとも部分的に一体的に特に具体化される。特に、データ通信は、センサデータセットの決定されたパラメータ、例えば圧力値、および／または副構成要素のための制御コマンドの交換を少なくとも含む。外部データ処理システムは、特にファブの中央制御および／または規制システムとして、ならびに／または、ファブ外のさらなるデータ処理システム、例えばクラウドなどとして実装される。特に、ロードおよび／またはアンロードステーションの中央制御および／または規制ユニットのデータ通信、ならびに／またはウェハ搬送システムのさらなる副構成要素のデータ通信は、既存のおよび／または確立されたシステム、例えば既存のウェハ処理モジュール、既存のウェハ輸送容器輸送システム、ならびに／またはファブの既存の中央制御および／または規制システムとの互換性が確保されるように構成される。
ウェハ搬送システム、特にウェハ輸送容器およびウェハ輸送容器のロードおよび／またはアンロードのためのロードおよび／またはアンロードステーションを含む少なくとも１つのウェハインターフェースシステムと、特にウェハ処理モジュールと、少なくとも１つのウェハ輸送容器輸送システムと、ならびに／または少なくとも１つのウェハ取扱ロボットとを伴う上述のウェハ搬送システムも提案される。このように、特にファブ内での、少なくとも１つのウェハの輸送、少なくとも１つのウェハの格納、および／または少なくとも１つのウェハの処理に関して有利な特性を提供することが特に可能である。
ウェハ搬送システムが、レールシステムとレールシステムに沿って移動可能な少なくとも１つの輸送キャリッジとを有する少なくとも１つのウェハ輸送容器輸送システムを含み、ウェハ輸送容器輸送システムが、少なくとも１つのセンサモジュールおよび／またはデータ処理ユニットの少なくとも一部、特にデータ処理ユニットの１つの個々のコンピュータを少なくとも読み取るための読取装置の少なくとも１つの読取点を有することがさらに提案される。このように、有利な読取パターンを提供することができる。少なくとも１つの読取点が、チップ製造処理中に少なくとも１回はすべてのウェハ輸送容器が通過するジャンクションに好ましくは配置され、それによってすべてのウェハ輸送容器のセンサデータが各場合に少なくとも一度は読み取られることが有利に確実なものとされる。１つの読取点が各ジャンクションに配置されることが好ましい。１つの読取点が、ウェハ搬送システムの各副構成要素の上流および／または下流に配置されることが特に好ましく、これは、特にチップ製造処理におけるステーションを形成し、そこにウェハ輸送容器輸送システムが少なくとも１つのウェハ輸送容器を送達し、そこからウェハ輸送容器輸送システムが少なくとも１つのウェハ輸送容器をピックアップする。このように、データ処理ユニットの中央コンピュータ、制御および／または規制ユニットならびに／またはファブの中央制御および／または規制システムは、ウェハ輸送容器に出入りするウェハの毎回のロードおよび／またはアンロードの少なくとも後に最新のセンサデータセットを有利に受信する。このように、高レベルの処理信頼性を有利に達成することができる。
読取点がレールシステムの少なくとも１つのレールに近接しておよび／または輸送キャリッジ上に配置されている場合、特にレールシステムに沿ったウェハ輸送容器の移動の際に読取点を越えて移動した場合にセンサデータの自動読取がトリガされるという点によって、および／または、ウェハ輸送容器が輸送キャリッジの近傍に移動するたびに、すなわち、特にウェハ輸送容器がウェハ輸送容器輸送システムによって受容されるたびにセンサデータの自動読取がトリガされるという点によって、センサデータの容易な読取を有利に可能にすることができる。さらに、読取点がレールシステムの少なくとも１つのレールに近接して配置されている場合、および／または、読取点が輸送キャリッジに配置されている場合、特に省エネルギーのためにＮＦＣテクノロジーがセンサデータの読取に使用されることが有利に可能である。
少なくとも１つのウェハ搬送ユニット、少なくとも１つのウェハ輸送容器、少なくとも１つのロードおよび／またはアンロードステーション、ならびに／または少なくとも１つのウェハ搬送システムを伴う方法も提案される。このように、特にファブ内での、少なくとも１つのウェハの輸送、少なくとも１つのウェハの格納、および／または少なくとも１つのウェハの処理に関して有利な特性を提供することが特に可能である。
少なくとも１つのウェハ輸送容器を有し、少なくとも１つのロードおよび／またはアンロードステーションを有する方法も提案されており、ロードおよび／またはアンロードステーションに送達するための一連のウェハ輸送容器は、ウェハ輸送容器のセンサモジュールのセンサデータに基づいて、特にウェハ輸送容器のデータ処理ユニットの予測モジュールの予測に基づいて固定的に特定される。このように、高レベルの処理信頼性を有利に達成することができる。さらに、特に準最適条件下での過度の時間にわたるウェハの格納を回避することによって、高レベルの製品品質を有利に達成することができる。さらに、このように、ウェハ搬送システムの副構成要素の汚染を低く保つことが有利に可能であり、それによって、ウェハ搬送システムの副構成要素の長い耐用年数を達成することが特に可能である。特に、ファブの中央制御および／または規制システムならびに／または制御および／または規制ユニットは、受信したセンサデータセットに基づいてシーケンスを特定する。特に、シーケンスの特定のために、異なるウェハ輸送容器のセンサデータセットからの特定のパラメータ値が互いに比較され、好ましくは降順および／または昇順にソートされる。そして、パラメータ値のソートに基づいてシーケンスが特定される。ここで、特に良好な特性を伴うウェハのバッチを得るために、最良のパラメータ値を伴うウェハ輸送容器がシーケンスの最初の位置をとることが考えられ、または、起こり得る最小限の廃棄物生産を実現するために、最悪のパラメータ値を伴うウェハ輸送容器がシーケンスの最初の位置をとることが考えられる。
そのセンサデータが安全データ範囲外にあり、および／またはその予測が安全データ範囲からのセンサデータの早期逸脱を予測するウェハ輸送容器を優先的に、例えばロードおよび／またはアンロードステーションに送達すること、ならびに／またはウェハ輸送容器に、シーケンスにおいてさらに前方に位置する新しい位置が与えられることがさらに提案される。このように、特に準最適条件下で過度の時間にわたるウェハの格納を防止することによって、高い平均レベルの製造品質を達成することが有利に可能である。さらに、このように、ウェハ搬送システムの副構成要素の汚染の危険性を低減し、廃棄物の発生を低減することが有利に可能である。特に、シーケンス内のスペースが再割り当てされた場合は、シーケンス内のそれ以降のすべてのスペースが更新されて上書きされる。制御および／または規制ユニットならびに／またはファブの中央制御および／または規制システムは、規則的および／または不規則な間隔で、例えば特定の時間、例えば１分の満了後、設定された数のセンサデータセットの新しい到着分の登録後、好ましくはセンサデータセットの新しい到着ごとに、および／または、設定された数のセンサデータセットの更新の登録後、特に少なくとも１つのセンサデータセットが更新されるたびに、シーケンスの再決定、特に、パラメータ値および／またはウェハ輸送容器の再ソートを実行するように好ましくは構成される。
そのセンサデータが安全データ範囲外にあり、および／またはその予測が安全データ範囲からのセンサデータの早期逸脱を予測するウェハ輸送容器を、ウェハ輸送容器輸送システムによって、ウェハ搬送システムのウェハ輸送容器用の再生ステーション、特に上述の再生ステーション、ウェハ搬送システムのウェハ輸送容器用の診断ステーション、特に上述の診断ステーション、および／またはウェハ用のウェハチェックステーションに転送することがさらに提案される。このように、特に準最適条件下で過度の時間にわたるウェハの格納を防止することによって、高い平均レベルの製造品質を達成することが有利に可能である。さらに、このように、ウェハ搬送システムの副構成要素の汚染の危険性を低減し、廃棄物の発生を低減することが有利に可能である。特に、ウェハ輸送容器輸送システムによるウェハ輸送容器の分割が、制御および／または規制ユニットによって、ならびに／またはファブの中央制御および／または規制システムによって開始される。「ウェハチェックステーション」は、少なくとも１つのウェハの損傷をチェックするように構成された装置を特に意味する。特に、ウェハチェックステーションは、ウェハ搬送システムの別個の副構成要素を形成する。
少なくともロードおよび／またはアンロードステーションと、少なくとも１つのセンサモジュールおよびデータ処理ユニットの個々のコンピュータとして実装されるそれぞれ少なくとも１つの部分をそれぞれ含む複数のウェハ搬送ユニットとを伴うウェハ搬送システムを伴う方法も提案され、ウェハ搬送ユニットによって送信されたすべてのセンサデータのデータセットが収集され、データセットは、ロードおよび／またはアンロードステーションの中央制御および／または規制ユニットにより、ウェハ搬送システムの少なくとも１つの副構成要素、特にウェハ輸送容器輸送システムの制御および／または規制に使用される。このように、ウェハ搬送システム、特にウェハ輸送容器輸送システムの副構成要素の特に有利な、とりわけ特に効果的な制御を実現することが可能である。特に、ファブ内のウェハ輸送容器の有効な分配および／または有効なロジスティクスのための制御および／または規制情報項目は、ロードおよび／またはアンロードステーションの中央制御および／または規制ユニットによってデータセットから決定される。特に、ファブ内のウェハ輸送容器の分配および／またはロジスティクスは、決定された制御および／または規制情報項目に基づいて、ロードおよび／またはアンロードステーションの中央制御および／または規制ユニットによって編成および／または実行される。代替的にまたは追加的に、ロードおよび／またはアンロードステーションの中央制御および／または規制ユニットは、決定された制御および／または規制情報項目をファブの中央制御および／または規制システムに送信し、これはそして、ファブ内のウェハ輸送容器の分配および／またはロジスティクスの編成および実行を行う。
収集されたデータセットが、特にパターン認識による、少なくとも１つの故障原因の特に自動の、検出、位置特定および／またはバックトラッキングのために使用されることがさらに提案される。このように、故障原因の位置特定、回避および／または排除を単純化することが有利に可能であり、それによって故障時間を有利に短縮することができる。
ここで、本発明によるウェハ搬送ユニット、本発明によるウェハ輸送容器、本発明によるロードおよび／またはアンロードステーション、本発明によるウェハ搬送システムおよび本発明による方法は、上記の使用および実施形態に限定されることが意図されていない。特に、本発明によるウェハ搬送ユニット、本発明によるウェハ輸送容器、本発明によるロードおよび／またはアンロードステーション、本発明によるウェハ搬送システムおよび本発明による方法は、本明細書に記載の機能を実行するために、本明細書に記載の数と異なる数の個々の要素、構成要素、方法工程およびユニットを有してもよい。
図１は、ウェハ搬送システム１６の概略図である。ウェハ搬送システム１６は、ウェハ製造環境（ファブ）１４０内に配置されている。ファブ１４０は、中央制御および／または規制システム４２を有する。中央制御および／または規制システム４２は、ファブ１４０内の製造処理、ウェハ製造処理、ロジスティクス処理などを制御するように構成される。中央制御および／または規制システム４２は、中央通信要素１４２を有する。中央通信要素１４２は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素と通信を行うように少なくとも構成される。中央通信要素１４２は、ファブ１４０内に位置するデータ転送要素５８と通信するように少なくとも構成される。
ウェハ搬送システム１６は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。ウェハ搬送システム１６は、複数の副構成要素を含む。ウェハ搬送システム１６は、ウェハ処理モジュール１８を含む。ウェハ搬送システム１６は、複数のウェハ処理モジュール１８を好ましくは含む。ウェハ処理モジュール１８は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を実装する。ウェハ処理モジュール１８は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。
ウェハ搬送システム１６は、ウェハインターフェースシステム２０を含む。ウェハインターフェースシステム２０は、ウェハ輸送容器２２を含む。ウェハ搬送システム１６またはウェハインターフェースシステム２０は、複数のウェハ輸送容器２２を好ましくは含む。ウェハ輸送容器２２は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を実装する。ウェハ輸送容器２２は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。
ウェハ輸送容器２２は、対象物１２８の格納および／または搬送用に構成される。対象物１２８は、ウェハ４８として具体化されている。代替的に、対象物１２８はまた、例えば露光マスクとしてウェハ４８とは異なるように実装されてもよい。ここで、対象物１２８は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６（図２参照）に配置されている。ウェハ輸送容器２２を、真空気密に閉じることができる。ウェハ輸送容器２２による対象物１２８の搬送および／または格納中に、ウェハ輸送容器２２の内部１０６が排気される。ウェハ輸送容器２２は、ウェハ輸送容器開口要素９２を有する（図２参照）。ウェハ輸送容器開口要素９２は、ウェハ輸送容器２２を真空気密に閉じるように構成される。ウェハ輸送容器開口要素９２は、ウェハ輸送容器２２の通常動作中、ウェハ輸送容器２２の下側に配置されている。
ウェハインターフェースシステム２０は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４を含む。ウェハ搬送システム１６またはウェハインターフェースシステム２０は、好ましくは複数のロードおよび／またはアンロードステーション２４を含む。ロードおよび／またはアンロードステーション２４は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を形成する。ロードおよび／またはアンロードステーション２４は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。ロードおよび／またはアンロードステーション２４は、対象物１２８のロードおよび／またはアンロードのために構成される。ロードおよび／またはアンロードステーション２４は、ウェハ輸送容器２２をロードおよび／またはアンロードするように構成される。ロードおよび／またはアンロードステーション２４は、ウェハ処理モジュール１８をロードおよび／またはアンロードするように構成される。ロードおよび／またはアンロードステーション２４は、ウェハ輸送容器２２とウェハ搬送システム１６のさらなる副構成要素との間での対象物１２８の搬送を許可および／または少なくとも部分的に実行するように構成される。ロードおよび／またはアンロードステーション２４によるウェハ輸送容器２２とウェハ搬送システム１６のさらなる副構成要素との間での対象物１２８の搬送中に、対象物１２８は、恒久的に真空内および／または真空環境内に配置される。
ロードおよび／またはアンロードステーション２４は、対象物１２８を垂直方向に移動させ、そうしているときに、ロードおよび／またはアンロード処理の際にウェハ輸送容器２２の内部１０６とロードおよび／またはアンロードステーション２４の内部１３８との間で対象物１２８を移動させるように構成されるスピンドルユニット（図示せず）を有する。ロードおよび／またはアンロードステーション２４は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４の内部１３８へのウェハ輸送容器開口要素９２の降下によって、ウェハ輸送容器２２を開口させることによって局所環境を実現するように構成される。局所環境は、ミニ環境の形態をとる。局所環境は、ウェハ輸送容器２２とロードおよび／またはアンロードステーション２４またはウェハ処理モジュール１８との間のウェハ４８のウェハ搬送処理のために機能する。
ロードおよび／またはアンロードステーション２４は、中央制御および／または規制ユニット１０８を有する。中央制御および／または規制ユニット１０８は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４のウェハ搬送システム１６の少なくとも１つのさらなる副構成要素とのデータ通信の制御および／または規制のために構成される。中央制御および／または規制ユニット１０８は、ウェハ搬送システム１６の２つ以上の副構成要素間のデータ通信の制御および／または規制のために構成される。中央制御および／または規制ユニット１０８は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４と外部データ処理システム、例えばファブ１４０の中央制御および／または規制システム４２とのデータ通信の制御および／または規制のために構成される。
ウェハ搬送システム１６は、ウェハ取扱ロボット２８を有する。ウェハ搬送システム１６は、複数のウェハ取扱ロボット２８を好ましくは含む。ウェハ取扱ロボット２８は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を形成する。ウェハ取扱ロボット２８は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。ウェハ取扱ロボット２８は、対象物１２８を操作するように構成される。ウェハ取扱ロボット２８は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４とウェハ搬送システム１６の副構成要素、例えばウェハ処理モジュール１８との間で対象物１２８を移動させるように構成される。ウェハ取扱ロボット２８は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４のロードおよび／またはアンロードのために構成される。ウェハ取扱ロボット２８は、ウェハ保持装置６４のロードおよび／またはアンロードのために構成される（図２参照）。ウェハ取扱ロボット２８は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素の、特にウェハ処理モジュール１８のロードおよび／またはアンロードのために構成される。ウェハ取扱ロボット２８は、３つすべての空間方向において回転可能、旋回可能および移動可能であるように実装されている。ウェハ取扱ロボット２８は、グリッパ要素１３０を有する。グリッパ要素１３０は、グリッパアームとして実装される。グリッパ要素１３０は、後続操作中に対象物１２８が滑ったり落下したりしないように、対象物１２８を掴むように構成される。
ウェハ搬送システム１６は、ウェハ輸送容器輸送システム２６を有する。ウェハ輸送容器輸送システム２６は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を形成する。ウェハ輸送容器輸送システム２６は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。ウェハ輸送容器輸送システム２６は、輸送キャリッジ１１２を有する。ウェハ輸送容器輸送システム２６は、レールシステム１１０を有する。レールシステム１１０は、少なくとも１つのレール１１４を有する。輸送キャリッジ１１２は、レール１１４に沿って移動可能である。ウェハ輸送容器輸送システム２６は、レールシステム１１０に沿って同時に移動する複数の輸送キャリッジ１１２を好ましくは有する。
輸送キャリッジ１１２は、収容要素１３２を有する。収容要素１３２は、ウェハ輸送容器２２を保持するための準備手段として実装される。収容要素１３２は、ウェハ輸送容器２２を収容し、それを輸送キャリッジ１１２に対して保持するように構成される。ウェハ輸送容器２２を保持するために、収容要素１３２は、機械的停止手段（図示せず）を有する。代替的に、収容要素１３２によってウェハ輸送容器２２を保持することはまた、機械的結合とは異なる結合方法、例えば磁気保持などによって実現されてもよい。収容要素１３２によって輸送キャリッジ１１２に対して保持されたウェハ輸送容器２２は、ウェハ輸送容器輸送システム２６によってレールシステム１１０全体に沿って移動可能である。
輸送キャリッジ１１２は、懸架ユニット１３４を有する。懸架ユニット１３４は、保持ケーブル１３６を含む。懸架ユニット１３４は、複数の保持ケーブル１３６を含む。懸架ユニット１３４は、収容要素１３２を輸送キャリッジ１１２に接続するように構成される。保持ケーブル１３６は、輸送キャリッジ１１２内で巻き上げることができる。収容要素１３２と輸送キャリッジ１１２との間の間隔は、懸架ユニット１３４によって可変である。懸架ユニット１３４は、輸送キャリッジ１１２に対して、収容要素１３２を（およびしたがって、収容要素１３２によって収容されているウェハ輸送容器２２も）昇降させるように構成される。
ウェハ搬送ユニット９０は、センサモジュール１４を有する。センサモジュール１４は、センサ１２を有する。センサモジュール１４のセンサ１２は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素に割り当てられる。センサモジュール１４は、さらなるセンサ３２を有する。センサモジュール１４のさらなるセンサ３２は、センサモジュール１４のセンサ１２と同じウェハ搬送システム１６の副構成要素に割り当てられる。センサモジュール１４は、追加のさらなるセンサ３８を有する。追加のさらなるセンサ３８は、センサモジュール１４のセンサ１２と同じウェハ搬送システム１６の副構成要素に割り当てられる。センサモジュール１４のセンサ１２は、パラメータを決定するように構成される。センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素のパラメータをキャプチャするように構成される。センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素のキャプチャされたパラメータを読取可能な形態で出力するように構成される。ウェハ搬送ユニット９０は、複数のセンサモジュール１４を有する。センサモジュール１４は、ウェハ搬送システム１６のまさに１つの副構成要素に割り当てられる。代替的に、センサモジュール１４は、ウェハ搬送システム１６の１つを超える副構成要素に割り当てられてもよく、および／または複数のセンサモジュール１４は、ウェハ搬送システム１６の同じ副構成要素に割り当てられてもよい。
センサモジュール１４のさらなるセンサ３２は、センサモジュール１４のセンサ１２と実質的に同一に実装される。センサモジュール１４のさらなるセンサ３２は、センサモジュール１４のセンサ１２と同じパラメータをキャプチャするように構成される。センサモジュール１４のさらなるセンサ３２は、センサモジュール１４のセンサ１２と同じ測定方法を適用するように構成される。センサモジュール１４のさらなるセンサ３２は、センサモジュール１４のセンサ１２に対して冗長なセンサを形成する。
センサモジュール１４の追加のさらなるセンサ３８は、センサモジュール１４のセンサ１２と同じパラメータを決定するように構成される。パラメータを決定するために、センサモジュール１４の追加のさらなるセンサ３８は、センサモジュール１４のセンサ１２がパラメータを決定する測定方法とは異なる測定方法を使用する。代替的にまたは追加的に、センサモジュール１４は、同じパラメータおよび／またはそのパラメータとは異なるさらなるパラメータをキャプチャするように構成された少なくとも１つ、好ましくは複数のセンサを有する。
ウェハ輸送容器２２に割り当てられたセンサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８は、ウェハ輸送容器２２のパラメータを検出するように構成される。ウェハ輸送容器２２に割り当てられたセンサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６の環境パラメータ、特にウェハ輸送容器２２の内部１０６に広がる雰囲気の環境パラメータを検出するように構成される。センサモジュール１４の、ウェハ輸送容器２２に割り当てられたセンサ１２、３２、３８は、ウェハ輸送容器２２の内容物、例えば対象物１２８および／またはウェハ４８のパラメータを検出するように構成される。ウェハ輸送容器２２ならびに／またはロードおよび／またはアンロードステーション２４に割り当てられたセンサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４の内部１３８ならびにウェハ輸送容器２２の内部１０６によって局所環境が実装されるウェハ搬送処理中に、局所環境のパラメータを検出するように構成される。
センサモジュール１４は、ウェハ輸送容器２２に格納されている第１の対象物１２８のパラメータとウェハ輸送容器２２に格納されている第２の対象物１２８のさらなるパラメータとを別個にキャプチャするように構成される。センサモジュール１４は、ウェハ輸送容器２２に格納されている第１の対象物１２８の温度とウェハ輸送容器２２に格納されている第２の対象物１２８のさらなる温度とを別個にキャプチャするように構成される。センサモジュール１４は、異なる対象物１２８および／またはウェハ４８の複数のパラメータおよび／または温度をそれぞれ別個にキャプチャするように構成される。
ウェハ輸送容器２２は、ＮＦＣインターフェース８０を有する。センサモジュール１４は、ウェハ輸送容器２２のＮＦＣインターフェース８０にデータ通信において接続されている。ＮＦＣインターフェース８０は、ウェハ搬送ユニット９０の読取装置８２によるセンサモジュール１４のセンサデータの読取を可能にする。代替的にまたは追加的に、センサモジュール１４は、ＮＦＣインターフェース８０を直接に有する（図３参照）。ＮＦＣインターフェース８０は、ＲＦＩＤチップとして具体化されている。ＲＦＩＤチップは、読取装置８２によって読み取られるように構成される。
ウェハ輸送容器２２は、真空ポンプ１００を有する。ウェハ輸送容器２２は、真空ポンプ固定ユニット６０を有する。真空ポンプ固定ユニット６０は、ポジティブロッククリップ型接続として実装される。真空ポンプ１００は、真空ポンプ固定ユニット６０によってウェハ輸送容器２２上に固定的に配置することができる。真空ポンプ１００は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６の内圧を規制するように構成される。真空ポンプ１００は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６を排気するように構成される。真空ポンプ１００は、センサモジュール１４のセンサデータに基づいて制御および／または規制することができる。真空ポンプ１００は、駆動ユニット１５４を有する（図２参照）。駆動ユニット１５４は、真空ポンプ１００のポンプ機構を駆動するように構成される。真空ポンプ１００の駆動ユニット１５４は、ポンプ機構の制御のためにウェハ搬送ユニット９０のデータ処理ユニット１０の一部と相互作用するように構成される。真空ポンプ１００は、エネルギー貯蔵部６８を有する（図２参照）。エネルギー貯蔵部６８は、駆動ユニット１５４に電気エネルギーを供給するように構成される。
真空ポンプ１００は、ウェハ輸送容器２２への解放可能な接続を有する。真空ポンプ１００は、ウェハ輸送容器２２から取外し可能であるように実装される。真空ポンプ１００は、交換可能であるように実装される。ウェハ輸送容器２２は、真空ポンプクイックカップリング装置１０４を有する。真空ポンプクイックカップリング装置１０４は、真空ポンプ１００をウェハ輸送容器２２の内部１０６に解放可能および／または交換可能に結合するように構成される。真空ポンプクイックカップリング装置１０４は、真空気密設計である。ウェハ輸送容器２２は、封止要素１４８を有する。封止要素１４８は、真空ポンプクイックカップリング装置１０４による真空ポンプ１００の取外しの場合および／または交換の場合に、ウェハ輸送容器２２の気密性、つまりウェハ輸送容器２２の内部１０６の真空完全性を保証するように構成される。
ウェハ輸送容器２２は、ゲッタ１０２を含む（図２参照）。ゲッタ１０２は、代替および／または追加の真空ポンプ１００’を形成する。図２に示すゲッタ１０２は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６に配置されている。ゲッタ１０２は、ウェハ輸送容器２２の内壁１６０のコーティングとして実装されている。代替的におよび／または追加的に、ゲッタ１０２はまた、ウェハ輸送容器２２の内部１０６に配置されたさらなる構成要素、例えばウェハラックの少なくとも一部のコーティングとして実装されてもよい。ゲッタ１０２は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６に存在する分子および／または粒子を吸収および／または結合するように構成される。ゲッタ１０２は、再生可能であるように実装されている。代替的にまたは追加的に、ゲッタ１０２は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６および／または真空ポンプ１００内に配置された別個の構成要素として実装されてもよい。
ウェハ搬送システム１６は、真空ポンプ交換ステーション８４を有する。真空ポンプ交換ステーション８４は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を形成する。真空ポンプ交換ステーション８４は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。真空ポンプ交換ステーション８４は、ウェハ輸送容器輸送システム２６が移動できる別個のステーションを形成する。ウェハ輸送容器輸送システム２６によって、その真空ポンプ１００および／またはゲッタ１０２が交換および／または除去されるウェハ輸送容器２２が、真空ポンプ交換ステーション８４に送達される。ウェハ輸送容器輸送システム２６によって、真空ポンプ１００および／またはゲッタ１０２が割り当てられるウェハ輸送容器２２は、真空ポンプ交換ステーション８４に送達される。真空ポンプ交換ステーション８４は、真空ポンプクイックカップリング装置１０４の自動での解放および／または接続のために構成される。
ウェハ搬送ユニット９０は、データ処理ユニット１０を有する（図３も参照）。データ処理ユニット１０は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータを登録するように構成される。データ処理ユニット１０は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータを処理するように構成される。データ処理ユニット１０は、個々のコンピュータ１１８を含む。データ処理ユニット１０は、複数の個々のコンピュータ１１８を好ましくは含む。データ処理ユニット１０の少なくとも一部、特にデータ処理ユニット１０の１つの個々のコンピュータ１１８は、ウェハ輸送容器２２に割り当てられる。データ処理ユニット１０の少なくとも１つのさらなる部分、特にデータ処理ユニット１０の１つのさらなる個々のコンピュータ１１８は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４に割り当てられる。データ処理ユニット１０の少なくとも１つの追加のさらなる部分、特に１つの追加のさらなる個々のコンピュータ１１８は、ウェハ搬送システム１６の追加のさらなる副構成要素に割り当てられる。
少なくとも１つの個々のコンピュータ１１８は、各センサ１２、３２、３８に割り当てられている。少なくとも１つのセンサモジュール１４が少なくとも部分的に割り当てられるウェハ搬送システム１６の各副構成要素には、少なくとも１つの個々のコンピュータ１１８が割り当てられている。特に、少なくとも１つのセンサモジュール１４が少なくとも部分的に割り当てられるウェハ搬送システム１６の各副構成要素には、少なくとも１つの個々のコンピュータ１１８が割り当てられる。データ処理ユニット１０は、ＮＦＣインターフェース８０を有する。ＮＦＣインターフェース８０は、センサデータを処理、または送信および／もしくは受信するよう構成される。
データ処理ユニット１０の個々のコンピュータ１１８は、互いにネットワーク接続されている。データ処理ユニット１０の一部、特にデータ処理ユニット１０の一部およびさらなる部分は、センサデータを互いに交換するように構成される。データ処理ユニット１０は、データ転送ユニット１４４を含む。データ転送ユニット１４４は、データ、例えばセンサデータおよび／または制御データをデータ処理ユニット１０の個々のコンピュータ１１８間で送信するように構成される。データ転送ユニット１４４は、データ処理ユニット１０とファブ１４０の中央制御および／または規制システム４２との間でデータ、例えばセンサデータおよび／または制御データを送信するように構成される。データ転送ユニット１４４は、中央通信要素１４２と通信するように構成される。データ転送は、特に少なくとも部分的にＮＦＣインターフェース８０によって行われてもよい。
データ転送ユニット１４４は、データ転送要素５８を含む。データ転送要素５８は、電子データ用の受信機および／または送信機として実装される。データ転送要素５８は、アンテナとして具体化されている。データ転送ユニット１４４は、複数のデータ転送要素５８を好ましくは含む。各個々のコンピュータ１１８には、少なくとも１つのデータ転送要素５８が割り当てられる。ウェハ搬送システム１６の各副構成要素には、少なくとも１つのデータ転送要素５８が割り当てられる。特に、ウェハ搬送システム１６の各副構成要素は、少なくとも１つのデータ転送要素５８を有する。
データ処理ユニット１０は、中央制御および／または規制ユニット１０８を含む。データ処理ユニット１０は、中央コンピュータ１２２を有する（図３参照）。中央コンピュータ１２２は、中央制御および／または規制ユニット１０８の一部を形成する。中央コンピュータ１２２は、データ処理ユニット１０の計算タスクを実行するように構成される。中央コンピュータ１２２は、データ処理ユニット１０の計算タスクを調整するように構成される。中央コンピュータ１２２は、データ処理ユニット１０の計算タスクをデータ処理ユニット１０の個々の副構成要素、例えば個々のモジュールおよび／または個々のコンピュータ１１８に分配するように構成される。中央コンピュータ１２２は、特に直接物理データ接続によりまたはデータ転送ユニット１４４の無線データ接続によりデータ処理ユニット１０のさらなる副構成要素と通信する。中央コンピュータ１２２は、データおよび／またはコマンド、例えば制御命令をデータ転送ユニット１４４のデータ接続によりファブ１４０の中央制御および／または規制システム４２と交換するように構成される。データ処理ユニット１０、またはデータ処理ユニット１０のオペレーティングプログラムのプログラミングは、事後プログラムおよび／または再プログラム可能であるように実装される。
センサモジュール１４は、メモリモジュール５０を有する。データ処理ユニット１０は、メモリモジュール５０を有する。センサモジュール１４および／またはデータ処理ユニット１０は、好ましくは複数のメモリモジュール５０を有する。データ処理ユニット１０のメモリモジュール５０は、センサモジュール１４のメモリモジュール５０と一体的に、特に同一に具体化されている。代替的にまたは追加的に、各センサ１２、３２、３８および／または各個々のコンピュータ１１８は、メモリモジュール５０を有してもよい。センサモジュール１４のメモリモジュール５０は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータの経過を記憶するように構成される。データ処理ユニット１０のメモリモジュール５０は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータの経過を記憶するように、ならびに／または、データ処理ユニット１０および／または個々のコンピュータ１１８の計算を記憶するように構成される。メモリモジュール５０は、ウェハ輸送容器２２のＮＦＣインターフェース８０にデータ通信において接続されている。
データ処理ユニット１０は、予測モジュール３０を有する（図３参照）。予測モジュール３０は、中央コンピュータ１２２および／または個々のコンピュータ１１８からセンサデータを受信するように構成される。予測モジュール３０は、中央コンピュータ１２２および／またはオペレータもしくはディスプレイユニット（図示せず）に予測を送信するように構成される。予測モジュール３０、または予測モジュール３０のオペレーティングプログラムおよび／または予測モジュール３０のオペレーティングプログラムの予測生成規則のプログラミングは、事後プログラムおよび／または再プログラム可能であるように実装される。
予測モジュール３０は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータに基づいて将来の結果および／または将来の事象に関する予測を生成するように構成される。予測モジュール３０は、センサ１２、３２、３８を用いて決定されたパラメータ値に基づいて、将来の結果および／または将来の事象について予測を生成するように構成される。センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータの経過に基づいて、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータの将来の経過について予測を生成するように構成される。予測モジュール３０は、センサモジュール１４の２つ以上のセンサ１２、３２、３８のセンサデータの組合せに基づいて、および／またはそれらの比較に基づいて、センサデータセットの将来の事象、将来の結果および／または将来の経過についての予測を生成するように構成される。予測モジュール３０は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータの決定された将来の経過から、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータの安全データ範囲からの逸脱の発生前に経過する期間の予測を生成するように構成される。予測モジュール３０は、予測を生成する目的で、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータセットに基づいてパターン認識を実行するように構成される。
データ処理ユニット１０は、制御および／または規制ユニット３４を有する（図３も参照）。制御および／または規制ユニット３４は、中央コンピュータ１２２および／または個々のコンピュータ１１８から予測モジュール３０の予測および／またはセンサデータおよび／またはコマンドを受信するように構成される。制御および／または規制ユニット３４は、制御および／または規制コマンドを中央コンピュータ１２２、オペレータまたはディスプレイユニット、ファブ１４０の中央制御および／または規制システム４２に、ならびに／またはウェハ搬送システム１６の副構成要素に送信するように構成される。制御および／または規制ユニット３４、または、制御および／または規制ユニット３４のオペレーティングプログラムの、および／または制御および／または規制ユニット３４によって出力されることができる制御および／または規制仕様のプログラミングは、事後プログラムおよび／または再プログラム可能であるように実装される。
制御および／または規制ユニット３４は、センサデータに基づいて、ウェハ輸送容器輸送システム２６によって少なくとも１つのウェハ輸送容器２２のロジスティクスを制御および／または規制するように構成される。制御および／または規制ユニット３４は、予測モジュール３０によって決定された予測に基づいて、ウェハ輸送容器輸送システム２６によってウェハ輸送容器２２のロジスティクスを制御および／または規制するように構成される。制御および／または規制ユニット３４は、中央コンピュータ１２２によって評価された予測および／またはセンサデータに基づいて、ウェハ輸送容器輸送システム２６によってウェハ輸送容器２２のロジスティクスを制御および／または規制するように構成される。
制御および／または規制ユニット３４は、予測モジュール３０の予測に基づいて、ウェハ搬送システム１６の副構成要素の少なくとも１つのパラメータの適合化を開始するように構成される。制御および／または規制ユニット３４は、ウェハ輸送容器２２のパラメータが安全データ範囲から逸脱することを防止するために構成される。さらに、制御および／または規制ユニット３４はまた、ウェハ搬送システム１６のさらなる副構成要素のパラメータが安全データ範囲から逸脱するのを防ぐように構成される。
データ処理ユニット１０は、機械学習モジュール３６を有する（図３参照）。機械学習モジュール３６は、機械学習によって、予測モジュール３０によって決定された予測を最適化するように構成される。機械学習モジュール３６は、機械学習によって、予測モジュール３０によって決定された予測に対する反応を最適化するように構成される。機械学習モジュール３６は、中央コンピュータ１２２および／または個々のコンピュータ１１８から予測モジュール３０の予測および／またはセンサデータおよび／またはコマンドを受信するように構成される。機械学習モジュール３６は、中央コンピュータ１２２、制御および／または規制ユニット３４、ならびに／または個々のコンピュータ１１８の制御および／または規制コマンドを修正および／または再プログラミングするように構成される。機械学習モジュール３６は、予測モジュール３０を再プログラミングするように構成される。機械学習モジュール３６は、予測を生成するために、および／または予測を生成するための新しい規則を特定するために使用される予測モジュール３０の規則を修正するように構成される。
データ処理ユニット１０は、評価モジュール５２を有する。評価モジュール５２は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のセンサデータの少なくとも１つの経過を評価するように構成される。評価モジュール５２は、自動故障検出手段を含む。評価モジュール５２の自動故障検出手段は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のうちの少なくとも１つの機能不全を検出するように構成される。評価モジュール５２の自動故障検出手段は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８のうちの少なくとも１つの異常センサデータを検出するように構成される。評価モジュール５２は、中央コンピュータ１２２、個々のコンピュータ１１８、および／またはセンサモジュール１４からセンサデータを受信するように構成される。評価モジュール５２は、検出された故障に関する情報項目を中央コンピュータ１２２に、ファブ１４０の中央制御および／または規制システム４２に無線送信するためにデータ転送要素５８に、および／またはオペレータもしくはディスプレイユニットに出力するように構成される。
ウェハ搬送ユニット９０は、警報モジュール９４を有する。ウェハ搬送ユニット９０は、複数の警報モジュール９４を好ましくは有する。警報モジュール９４は、センサ１２、３２、３８のうちの１つのセンサデータの安全データ範囲からの逸脱の検出時に警報を出力するように構成される。警報モジュール９４は、例えば評価モジュール５２によって、ウェハ搬送システム１６の少なくとも１つの副構成要素の機能不全を検出した場合に警報を出力するように構成される。警報は、音響信号の形態をとる。警報は、光信号の形態をとる。警報は、データ転送ユニット１４４によるオペレータへの警報メッセージの送信を含む。警報モジュール９４は、ウェハ輸送容器２２に割り当てられる。さらに、ウェハ搬送システム１６の各副構成要素は、別個の警報モジュール９４を有する。代替的にまたは追加的に、ウェハ搬送システム１６の副構成要素は、様々な警報を出力するための複数の警報モジュール９４および／または複数の警報出力機能を伴う１つの警報モジュール９４を有してもよく、および／または、１つの警報モジュール９４は、ウェハ搬送システム１６の１つを超える副構成要素に割り当てられてもよい。
ウェハ搬送ユニット９０は、エネルギー貯蔵部６８を有する。エネルギー貯蔵部６８は、バッテリーとして具体化されている。バッテリーは、充電式アキュムレータとして実装されている。エネルギー貯蔵部６８は、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８にエネルギーを供給するように構成される。エネルギー貯蔵部６８は、データ処理ユニット１０にエネルギーを供給するように構成される。エネルギー貯蔵部６８は、データ処理ユニット１０の個々のコンピュータ１１８にエネルギーを供給するように構成される。エネルギー貯蔵部６８は、データ転送ユニット１４４にエネルギーを供給するように構成される。エネルギー貯蔵部６８は、データ転送要素５８にエネルギーを供給するように構成される。別個のエネルギー貯蔵部６８が、ウェハ搬送システム１６の各副構成要素に割り当てられる。代替的にまたは追加的に、別個のエネルギー貯蔵部６８を各センサ１２、３２、３８および／または各個々のコンピュータ１１８に割り当てることが考えられる。
ウェハ搬送ユニット９０は、充電モジュール６６を有する。充電モジュール６６は、充電エネルギーをエネルギー貯蔵部６８に供給するように構成される。充電モジュール６６によるエネルギー貯蔵部６８への充電エネルギーの送信は、非接触で行われる。充電モジュール６６は、エネルギー送信要素５４を含む。充電モジュール６６は、エネルギー受信要素５６を含む。エネルギー送信要素５４とエネルギー受信要素５６とは、互いに別個に実装される。エネルギー送信要素５４とエネルギー受信要素５６とは、充電動作中に互いに接触しないように配置されている。エネルギー送信要素５４は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４に近接して配置される。代替的にまたは追加的に、エネルギー送信要素５４は、ファブ１４０内のさらなる位置に、例えばウェハ輸送容器輸送システム２６、特にウェハ輸送容器輸送システム２６のレール１１４に近接して、および／またはウェハ搬送システム１６のさらなる副構成要素に近接して配置されてもよい。
ウェハ搬送ユニット９０は、充電エネルギー供給モジュール８８を有する。充電エネルギー供給モジュール８８は、充電モジュール６６による充電処理中に非接触で充電エネルギーを供給するように構成される。充電エネルギー供給モジュール８８は、充電モジュール６６による充電処理中に自由空間に充電エネルギーを放出するように構成される。充電エネルギー供給モジュール８８は、ＲＦＩＤ読取ユニットを備えてもよい。エネルギー送信要素５４は、充電エネルギー供給モジュール８８として実装される。エネルギー受信要素５６は、充電エネルギー供給モジュール８８によって自由空間に放出されたエネルギーを受信する、好ましくは少なくとも部分的に吸収するように構成される。
充電モジュール６６は、導電性トラック７２を有する（図２参照）。導電性トラック７２は、エネルギー受信要素５６に割り当てられている。導電性トラック７２は、コイル形態を有する。導電性トラック７２は、電場および／または磁場から充電エネルギーを抽出し、それを電気エネルギーに変換するように構成される。導電性トラック７２によって抽出されたエネルギーは、エネルギー貯蔵部６８を充電するように構成される。導電性トラック７２は、ＲＦＩＤチップの一部として実装される。代替的にまたは追加的に、導電性トラック７２は、誘導充電システムの一部として実装されてもよい。
ウェハ搬送ユニット９０は、フォトセルユニット７４を含む。充電モジュール６６は、フォトセルユニット７４を含む。フォトセルユニット７４は、複数のフォトセル７８を含む。フォトセルユニット７４は、エネルギー受信要素５６の一部として実装される。フォトセルユニット７４は、照射された光を電気エネルギーに変換するように構成される。フォトセルユニット７４は、エネルギー貯蔵器６８、特にセンサモジュール１４および／またはデータ処理ユニット１０のエネルギー貯蔵器６８に充電エネルギーを供給するように構成される。充電モジュール６６は、照明ユニット７６を含む。照明ユニット７６は、フォトセルユニット７４の少なくとも１つのフォトセル７８を照明するように構成される。照明ユニット７６によるフォトセルユニット７４の照明は、非接触エネルギー伝送を構成する。
ウェハ搬送ユニット９０は、読取装置８２を有する。ウェハ搬送ユニット９０は、複数の読取装置８２を好ましくは有し、読取装置８２は、ウェハ搬送システム１６の重要なジャンクションに好ましくは配置される。例えば、読取装置８２は、ウェハ輸送容器輸送システム２６のレールシステム１１０の交差点に近接しておよび／またはウェハ輸送容器輸送システム２６の輸送キャリッジ１１２に近接して配置される。読取装置８２は、データ処理ユニット１０、特にメモリモジュール５０、および／またはセンサモジュール１４の情報項目の読取をトリガするように構成される。読取装置８２は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素のセンサデータ、ウェハ搬送システム１６の一部の構成要素の識別子および／またはデータ処理ユニット１０のプログラムコマンドを読み取るように構成される。
読取装置８２は、ＮＦＣインターフェース８０を含む。読取装置８２は、ＲＦＩＤ読取ユニットを含む。読取装置８２は、充電モジュール６６および／または充電エネルギー供給モジュール８８と部分的に一体的に実装されている。代替的に、読取装置８２はまた、トリガされた電子データ転送のためのＲＦＩＤシステムの代替システムを含んでもよい。読取装置８２は、データ転送要素５８を有する。データ転送要素５８は、データ転送ユニット１４４内で読取データを無線送信するように機能する。データ転送要素５８は、読取装置８２によって読み取られたデータをファブ１４０の中央制御および／または規制システム４２ならびに／または中央コンピュータ１２２に転送するように構成される。
読取装置８２は、読取点８６を有する。読取点８６は、その中で読取装置８２による読取が可能な領域として実装される。ウェハ輸送容器輸送システム２６は、少なくとも１つのセンサモジュール１４および／またはウェハ輸送容器２２のデータ処理ユニット１０の少なくとも一部を読み取るための読取装置８２の複数の読取点８６を有する。ウェハ輸送容器輸送システム２６の読取点８６は、レールシステム１１０のレール１１４に近接しておよび／または輸送キャリッジ１１２に近接して配置される。
読取装置８２は、データ処理ユニット１０が読取点８６に近接して位置するときにデータ処理ユニット１０のデータ通信をトリガするように構成される。読取装置８２は、読取点８６の近傍に移動したウェハ搬送システム１６のその副構成要素に割り当てられるデータ処理ユニット１０のその部分のデータ通信を、例えば、ＮＦＣインターフェース８０、例えばウェハ輸送容器２２のＮＦＣインターフェース８０が読取点８６に近接して配置されている場合に、ウェハ輸送容器２２の個々のコンピュータ１１８のデータ通信をトリガするように構成される。
ウェハ搬送システム１６は、診断ステーション４６を有する。診断ステーション４６は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を形成する。診断ステーション４６は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。診断ステーション４６は、ウェハ輸送容器輸送システム２６がそこに移動することができ、ウェハ輸送容器２２のセンサデータを読み取るための読取点８６を有する別個のステーションを形成する。そのセンサデータが予定外の時点で読み取られることになるウェハ輸送容器２２は、ウェハ輸送容器輸送システム２６によって診断ステーション４６へと送達される。
ウェハ搬送システム１６は、ウェハチェックステーション１１６を有する。ウェハチェックステーション１１６は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を形成する。ウェハチェックステーション１１６は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。ウェハチェックステーション１１６は、ウェハ輸送容器輸送システム２６がそこに移動することができ、少なくとも１つのウェハ４８の損傷をチェックするように構成される別個のステーションを形成する。ウェハチェックステーション１１６は、ウェハ４８をウェハ輸送容器２２からアンロードし、前記ウェハをウェハチェックステーション１１６に搬送するように構成されたウェハアンロードステーション１４６に接続されている。ウェハアンロードステーション１４６は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４と実質的に同一に実装されている。ウェハアンロードステーション１４６によるウェハ輸送容器２２とウェハチェックステーション１１６との間のウェハ４８の搬送は、閉鎖真空環境内で行われる。
ウェハ搬送システム１６は、リロードステーション１２０を有する。リロードステーション１２０は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を形成する。リロードステーション１２０は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。リロードステーション１２０は、ウェハ輸送容器輸送システム２６がそこに移動することができ、１つのウェハ輸送容器２２の内容物、例えば対象物１２８またはウェハ４８をさらなるウェハ輸送容器２２にリロードするように構成される別個のステーションを形成する。リロードステーション１２０は、ウェハアンロードステーション１４６を形成する。リロードステーション１２０による１つのウェハ輸送容器２２からさらなるウェハ輸送容器２２への内容物のリロードは、閉鎖真空環境で行われる。
ウェハ搬送システム１６は、外部ポンプステーション６２を有する。外部ポンプステーション６２は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を形成する。外部ポンプステーション６２は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。外部ポンプステーション６２は、ウェハ輸送容器輸送システム２６がそこに移動することができ、ウェハ輸送容器２２に結合してウェハ輸送容器２２の内圧を規制または低下させるように構成される別個のステーションを形成する。リロードステーション１２０は、外部ポンプステーション６２を形成する。
ウェハ搬送システム１６は、再生ステーション７０を有する。再生ステーション７０は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素を形成する。再生ステーション７０は、ウェハ搬送ユニット９０を有する。再生ステーション７０は、ウェハ輸送容器輸送システム２６がそこに移動することができ、ウェハ輸送容器２２の少なくとも１つのパラメータ、例えば内圧および／または汚染レベルを再生する、すなわち改善するように構成される別個のステーションを形成する。再生ステーション７０は、特にウェハ輸送容器洗浄ステーションを形成してもよい。
ウェハ搬送ユニット９０は、測定技術ユニット４０を有する。測定技術ユニット４０は、センサ１２、３２、３８を伴うセンサモジュール１４を含む。測定技術ユニット４０は、データ処理ユニット１０の一部を含む。測定技術ユニット４０は、データ処理ユニット１０の個々のコンピュータ１１８を含む。測定技術ユニット４０は、メモリモジュール５０を含む。測定技術ユニット４０は、エネルギー貯蔵部６８を含む。測定技術ユニット４０のエネルギー貯蔵部６８は、バッテリーとして具体化されている。測定技術ユニット４０のエネルギー貯蔵部６８は、充電式であるように実装される。測定技術ユニット４０のエネルギー貯蔵部６８は、交換可能に実装されている。このように、測定技術ユニット４０の長い耐用年数を有利に可能にすることができる。
図２は、ウェハ搬送システム１６の、ウェハ輸送容器２２として実装される副構成要素の概略図である。測定技術ユニット４０は、ウェハ輸送容器２２上に配置されている。測定技術ユニット４０は、ここでは例としてウェハ輸送容器２２として示されている、ウェハ搬送システム１６の副構成要素に固定的に搭載されている。測定技術ユニット４０は、コヒーレントアセンブリを形成する。測定技術ユニット４０は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素上で交換可能に配置されるように構成される。測定技術ユニット４０のコヒーレントアセンブリグループは、ここでは例としてウェハ輸送容器２２として示されているウェハ搬送システム１６の副構成要素上に単一部品として搭載可能である。測定技術ユニット４０のコヒーレントアセンブリは、ここでは例としてウェハ輸送容器２２として示されているウェハ搬送システム１６の副構成要素から１つの単一部品として取り外すことができる。測定技術ユニット４０は、ハウジングユニット１５０を有する。測定技術ユニット４０の個々の構成要素、例えばセンサ１２、３２、３８、個々のコンピュータ１１８、メモリモジュール５０、および／またはエネルギー貯蔵部６８は、少なくとも部分的にハウジングユニット１５０内に配置されている。
ウェハ搬送ユニット９０は、クイックカップリング装置４４を有する。クイックカップリング装置４４は、測定技術ユニット４０をここでは例としてウェハ輸送容器２２として示されているウェハ搬送システム１６の副構成要素に解放可能に結合するように構成される。ウェハ搬送ユニット９０のクイックカップリング装置４４は、測定技術ユニット４０をここでは例としてウェハ輸送容器２２として示されているウェハ搬送システム１６の副構成要素に交換可能に結合するように構成される。クイックカップリング装置４４は、複数のアセンブリ要素１５２を含む。アセンブリ要素１５２は、クリップ型接続用のラッチラグとして具体化されている。アセンブリ要素１５２は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素と一体的に具体化されている。アセンブリ要素１５２は、測定技術ユニット４０の対応するアセンブリ要素（図示せず）に係合するように構成される。
ウェハ搬送ユニット９０は、ウェハ保持装置６４を有する。ウェハ保持装置６４は、ウェハラックとして具体化されている。ウェハ保持装置６４は、ウェハ４８を固定位置に保持するように構成される。ウェハ保持装置６４は、ウェハ４８を滑らないように固定するよう保持するように構成される。ウェハ保持装置６４は、上下に積み重ねられた方法でウェハ４８を保持するように構成される。ウェハ４８は、隣接するウェハ４８が互いに接触点を持たないようにウェハ保持装置６４によって保持される。ウェハ４８は、ウェハ４８とウェハ保持装置６４との総接触面積が最小になるように、ウェハ保持装置６４によって保持される。
ウェハ保持装置６４は、クランプ要素２４６を有する。ウェハ保持装置６４は、好ましくは複数のクランプ要素２４６を有する。クランプ要素２４６は、クランプ作用によって対象物１２８および／またはウェハ４８を保持するように構成される。クランプ要素２４６は、保持目的のために、２つの反対側、特に、対象物１２８の上側および対象物１２８の下側において、対象物１２８および／またはウェハ４８と接触する。各対象物１２８または各ウェハ４８は、複数のクランプ要素２４６によって保持される。対象物１２８を保持するための複数のクランプ要素２４６は、それぞれの場合に対象物１２８の互いに離間した点で対象物と接触する。対象物１２８を保持するための複数のクランプ要素２４６は、対象物１２８の周囲に円周方向に分配されるように配置される。代替的に、対象物１２８および／またはウェハ４８をクランプによってではなく、対象物１２８および／またはウェハ４８の外形に適合化された保持領域を好ましくは有するクランプ要素２４６の上に対象物１２８および／またはウェハ４８を載置することだけにより保持することも考えられる。ウェハ保持装置６４は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６に配置されている。ウェハ保持装置６４は、ウェハ輸送容器２２のウェハ輸送容器開口要素９２に固定的に接続されている。ウェハ輸送容器開口要素９２の移動は、ウェハ保持装置６４およびその中に保持されたウェハ４８の移動を引き起こす。
ウェハ保持装置６４は、代替および／または追加のセンサモジュール１４’を含む。代替および／または追加のセンサモジュール１４’は、センサ１２’を含む。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’は、ウェハ保持装置６４内に配置されている。ウェハ保持装置６４は、代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’を少なくとも部分的に包含する。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’は、ウェハ４８と物理的に接触するように構成されたウェハ保持装置６４の一点に配置されている。センサ１２’は、ウェハ保持装置６４のクランプ要素２４６上および／またはその中に配置されている。センサモジュール１４’は、ウェハ保持装置６４、特にクランプ要素２４６の少なくとも１つと部分的に一体的に具体化されている。ウェハ保持装置６４に格納されたウェハ４８は、サブグループに分割されてもよい。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’は、ウェハ輸送容器２２に格納されているウェハ４８の１つのサブグループに割り当てられてもよい。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’は、センサ１２’に割り当てられるウェハ４８のそのサブグループの少なくとも１つのパラメータを決定するように構成される。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’は、まさに１つのウェハ４８、特にウェハ保持装置６４に保持されているウェハ４８のうちまさに最上部のウェハ４８に割り当てられてもよい。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’は、センサ１２’に割り当てられているそのウェハ４８の少なくとも１つのパラメータを決定するように構成される。
代替および／または追加のセンサモジュール１４’は、さらなるセンサ３２’を含む。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のさらなるセンサ３２’は、ウェハ保持装置６４内に配置されている。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のさらなるセンサ３２’は、ウェハ保持装置６４により保持されているウェハ４８からそれたウェハ保持装置６４の側面に配置されている。代替および／または追加のセンサモジュール１４’は、追加のさらなるセンサ３８’を含む。代替および／または追加のセンサモジュール１４’の追加のさらなるセンサ３８’は、ウェハ保持装置６４の表面に配置されている。代替および／または追加のセンサモジュール１４’の追加のさらなるセンサ３８’は、受動センサとして実装されている。受動センサは、カラーインジケータプレートとして実装されている。受動センサは、受動センサによって監視されるパラメータが変化した場合にその表面の色を変えるように構成される。
ウェハ搬送ユニット９０は、少なくとも１つの代替および／または追加のセンサ１２”を有する。代替および／または追加のセンサ１２”は、カメラシステムとして具体化されている。カメラシステムは、カメラ１５６を含む。カメラ１５６は、データ転送ユニット１４４のデータ転送要素５８を有する。代替および／または追加のセンサ１２”は、少なくとも受動センサを読み取るように構成される。ここでは例としてウェハ輸送容器２２として示されているウェハ搬送システム１６の副構成要素は、観察窓１５８を有する。観察窓１５８は、透明な窓ガラスとして具体化されている。観察窓１５８は、ウェハ搬送システム１６の副構成要素の内部、特にウェハ輸送容器２２の内部１０６への視野を許容するように構成される。カメラ１５６は、ウェハ輸送容器２２の外側に配置されている。代替的にまたは追加的に、代替および／または追加のセンサ１２”、特にカメラ１５６はまた、ウェハ搬送システム１６の副構成要素内、特にウェハ輸送容器２２の内部１０６に少なくとも部分的に配置されてもよい。カメラ１５６は、観察窓１５８を通して輸送容器２２の内部１０６を検出または観察するように構成される。観察窓１５８は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６に位置するすべてのウェハ４８が外部から観察されるのを可能にするように好ましくは実装される。特に、観察窓１５８は、ウェハ輸送容器２２の円周方向において、少なくとも１ｃｍ、好ましくは少なくとも３ｃｍ、好ましくは少なくとも５ｃｍ、特に好ましくは最大１０ｃｍの範囲を有する。特に、観察窓１５８は、ウェハ輸送容器２２の円周方向に対して垂直な範囲を有し、それは周方向に対して垂直なウェハ輸送容器２２の総範囲の少なくとも５０％、好ましくは少なくとも７５％、好ましくは少なくとも８５％、特に好ましくは最大９５％に相当する。
代替および／または追加のセンサ１２”は、少なくとも１つのウェハ４８の外形の一部をキャプチャするように構成される。代替および／または追加のセンサ１２”は、ウェハ４８の膨らみをキャプチャするように構成される。代替および／または追加のセンサ１２”のカメラ１５６の撮像野は、ウェハ保持装置６４内のウェハ４８の格納面に対して少なくとも実質的に垂直に向けられている。「実質的に垂直」との表現は、ここでは基準方向に対する方向の向きを画定することを意図しており、特に１つの平面で見たときの方向および基準方向は、９０°の角度を含み、角度は特に８°未満、有利には５°未満、特に有利には２°未満である最大逸脱を有する。
代替および／または追加のセンサ１２”によって検出されたウェハ４８の外形は、ウェハ４８の外形を実現する。ウェハ４８の公称外形は、データ処理ユニット１０のメモリモジュール５０に記憶される。処理ユニット１０は、検出されたウェハ４８の外形とウェハ４８の公称外形とを比較するように構成される。特定の閾値をオーバーシュートするウェハ４８の外形の検出された逸脱は、データ転送ユニット１４４によってオペレータおよび／またはウェハ搬送システム１６の関連する副構成要素の警報モジュール９４へとデータ処理ユニット１０により出力される。
代替および／または追加のセンサ１２”は、例としてウェハ輸送容器２２として実装されるウェハ搬送システム１６の副構成要素内のウェハ４８の位置を検出するように構成される。代替および／または追加のセンサ１２”によって検出されたウェハ４８の位置は、ウェハ４８の実際の位置の形態をとる。ウェハ搬送システム１６の副構成要素に対するウェハ４８の公称位置は、データ処理ユニット１０のメモリモジュール５０に記憶される。データ処理ユニット１０は、検出されたウェハ４８の実際の位置とウェハ搬送システム１６の副構成要素内のウェハ４８の公称位置とを比較するように構成される。特定の閾値をオーバーシュートするウェハ４８の位置の検出された逸脱は、データ転送ユニット１４４によってオペレータおよび／またはウェハ搬送システム１６の関連する副構成要素の警報モジュール９４へとデータ処理ユニット１０により出力される。
代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’、３２’、３８’のさらなる特性または関連付けに関して、センサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８の説明を参照されたい。
ウェハ輸送容器２２は、焼戻しユニット９６を有する。焼戻しユニット９６は、温度センサとして実装されたセンサ１２、３２、３８のセンサデータに基づいて、ウェハ輸送容器２２に格納された少なくとも１つの対象物１２８を焼き戻すように構成される。焼戻しユニット９６は、対象物１２８を加熱するように構成される。焼戻しユニット９６は、対象物１２８を冷却するように構成される。焼戻しユニット９６は、対象物１２８を特定の温度に保つように構成される。温度は、制御および／または規制ユニット３４ならびに／または中央制御および／または規制ユニット１０８によって事前定義される。
焼戻しユニット９６は、焼戻し要素９８を有する。焼戻し要素９８は、加熱要素として実装される。代替的にまたは追加的に、焼戻し要素９８は、冷却要素として実装される。焼戻し要素９８は、対象物１２８と焼戻しユニット９６との間の熱流を可能にするように構成される。焼戻し要素９８は、焼戻しユニット９６によって焼戻しされるべき対象物１２８と物理的に接触する。焼戻しユニット９６は、好ましくは複数の焼戻し要素９８を有する。それぞれ、焼戻し要素９８の一部は加熱専用に構成され、焼戻し要素９８の一部は冷却専用に構成され、および／または焼戻し要素９８は同時に加熱および冷却動作を行うよう少なくとも部分的に構成されることが考えられる。焼戻しユニット９６は、ウェハ保持装置６４と一体的に実装されている。焼戻し要素９８は、ウェハ保持装置６４のクランプ要素２４６の少なくとも１つと一体的に実装されている。
焼戻しユニット９６は、ウェハ輸送容器２２に格納されている２つの対象物１２８を別個に焼戻しするように構成される。焼戻しユニット９６は、ウェハ輸送容器２２に格納されている２つを超える対象物１２８を別個に焼戻しするように構成される。焼戻しユニット９６の個々の焼戻し要素９８は、この目的のために、焼戻しされるべき個々の対象物１２８にもっぱら割り当てられる。
図３は、測定技術ユニット４０の概略図を示す。測定技術ユニット４０は、センサモジュール１４を有する。追加的に、測定技術ユニット４０は、代替および／または追加のセンサモジュール１４’に接続されている。測定技術ユニット４０と代替および／または追加のセンサモジュール１４’との間の接続は、ウェハ搬送ユニット９０のクイックカップリング装置４４によって生成される。ここでは、測定技術ユニット４０と代替および／または追加のセンサモジュール１４’との間のプラグ型接続は、閉じられる。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’、３２’はそれぞれ、ＮＦＣインターフェース８０を有する。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’、３２’はそれぞれ、送信モジュール１２４を有する。送信モジュール１２４は、センサ１２’、３２’のセンサデータを無線送信するように構成される。代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２’、３２’はそれぞれ、受信モジュール１２６を有する。受信モジュール１２６は、センサ１２’、３２’に無線送信された命令を受信するように構成される。
図３に示される実施形態では、測定技術ユニット４０は、中央制御および／または規制ユニット１０８とは別個に実装される。二重矢印および破線の接続線によって示されるように、測定技術ユニット４０はしかし、中央制御および／または規制ユニット１０８と接触しており、接触は、物理的データラインおよび／または無線接続による接続の形態をとってもよい。中央制御および／または規制ユニット１０８は、別個のエネルギー貯蔵部６８を有する。
図４は、ウェハ輸送容器２２をロードおよび／またはアンロードステーション２４に結合する方法のフローチャートを示す。少なくとも１つの方法工程１６２において、ウェハ輸送容器２２は、ロードおよび／またはアンロードステーション２４の上面にドッキングされる。ここで、ウェハ輸送容器２２は、ウェハ輸送容器輸送システム２６によってロードおよび／またはアンロードステーション２４に送達され、ロードおよび／またはアンロードステーション２４に載置される。さらにここでは、真空クランプ装置（図示せず）によって、ウェハ輸送容器２２とロードおよび／またはアンロードステーション２４との間に真空型接続が生成される。少なくとも１つのさらなる方法工程１６４において、ウェハ輸送容器２２は、ウェハ輸送容器開口要素９２を取り付けることによって開かれる。ここで、ウェハ輸送容器２２の内部１０６の真空が維持される。少なくとも１つのさらなる方法工程１６６において、ミニ環境は、ウェハ輸送容器２２の内部１０６ならびにロードおよび／またはアンロードステーション２４の内部１３８によって実装される。少なくとも１つのさらなる方法工程１６８において、ウェハ輸送容器２２の内部１０６ならびに／またはロードおよび／またはアンロードステーション２４の内部１３８のミニ環境のパラメータは、ウェハ輸送容器２２ならびに／またはロードおよび／またはアンロードステーション２４に割り当てられたセンサモジュール１４のセンサ１２、３２、３８によって検出される。
図５は、ウェハ搬送ユニット９０のエネルギー貯蔵部６８へのエネルギーの無線供給のための方法のフローチャートを示す。少なくとも１つの方法工程１７０において、ウェハ搬送システム１６の副構成要素は、充電モジュール６６のエネルギー送信要素５４の近傍へと置かれる。少なくとも１つのさらなる方法工程１８０において、エネルギー送信要素５４の近傍へのウェハ搬送システム１６の副構成要素の移動が、充電モジュール６６によって検出される。少なくとも１つのさらなる方法工程１７２において、エネルギー送信要素５４のエネルギー送信モードが起動される。ここで、エネルギーは、エネルギー送信要素５４からエネルギー送信要素５４の近傍へ無線で放射される。少なくとも１つのさらなる方法工程１７４において、エネルギー受信要素５６のエネルギー受信モードが起動される。ここで、エネルギー受信要素５６は、エネルギー送信要素５４によって放射されたエネルギーを少なくとも部分的に吸収する。放射されたエネルギーは、電磁放射、例えば光または比較的低エネルギーのＥＭ波の形態で存在する。少なくとも１つのさらなる方法工程１７６において、エネルギー受信要素５６によって吸収されたエネルギーは、充電モジュール６６によって電気エネルギーに変換される。少なくとも１つのさらなる方法工程１８２において、受信された電気エネルギーは、エネルギー受信要素５６側のエネルギー貯蔵部６８に貯蔵される。少なくとも１つのさらなる方法工程１７８において、ウェハ搬送システム１６の副構成要素は、充電モジュール６６のエネルギー送信要素５４から除去される。ここで、無線充電処理は中断される。
図６は、ウェハ搬送システム１６内のウェハ４８の幾何学的逸脱をチェックするための方法のフローチャートを示す。少なくとも１つの方法工程１８４において、ウェハ４８の外形および／または位置の測定が、代替および／または追加のセンサモジュール１４’のセンサ１２”によって行われる。ここで、実際の外形および／または実際の位置が決定される。少なくとも１つのさらなる方法工程１８６において、代替および／または追加のセンサモジュール１４’に割り当てられたメモリモジュール５０、例えばデータ処理ユニット１０のメモリモジュール５０、特に中央制御および／または規制ユニット１０８のメモリモジュール５０、ならびに／または測定技術ユニット４０のメモリモジュール５０に問い合わせが行われる。問い合わせによって、公称位置および／または公称外形がバッファメモリにロードされる。少なくとも１つのさらなる方法工程１８８において、実際の位置と公称位置とのおよび／または実際の外形と公称外形との比較が行われる。少なくとも１つのさらなる方法工程１９４において、公称位置からの実際の位置のおよび／または公称外形からの実際の外形の逸脱が決定される。少なくとも１つのさらなる方法工程１９６において、逸脱が閾値と比較される。少なくとも１つのさらなる方法工程１９２において、逸脱は表示要素、例えばスクリーンに表示される。少なくとも１つのさらなる方法工程１９０において、閾値のオーバーシュートの場合には、警報モジュール９４が作動される。ここでは、音響的および／または光学的警報が出力される。
図７は、センサデータの読取方法のフローチャートを示す。少なくとも１つの方法工程１９８において、ウェハ搬送システム１６の副構成要素が、読取点８６の近傍に移動される。ここで、ウェハ搬送システム１６の副構成要素は、例えば読取点８６を有するレールシステム１１０に沿ってウェハ輸送システム２６によって移動させられる。少なくとも１つのさらなる方法工程２００において、読取点８６の近傍にあるウェハ搬送システム１６の副構成要素が、読取装置８２によって検出される。少なくとも１つのさらなる方法工程２０２において、読取コマンドが起動され、読取装置８２によって送信される。少なくとも１つのさらなる方法工程２１２において、読取コマンドは、ウェハ搬送システム１６の副構成要素のＮＦＣインターフェース８０によって、および／またはウェハ搬送システム１６の副構成要素のデータ転送要素５８を介して受信される。少なくとも１つのさらなる方法工程２０４において、ウェハ搬送システム１６の副構成要素は、読取コマンドの受信に応答して要求されたセンサデータを送信する。少なくとも１つのさらなる方法工程２１０において、ウェハ搬送システム１６の副構成要素のエネルギー貯蔵部６８の充電は、読取コマンドの受信に応答して実行される。ここで、読取装置８２によって送信されたエネルギーは、ウェハ搬送システム１６の副構成要素によって吸収される。読取装置８２はこの場合、充電モジュール６６と一体的に具体化される。少なくとも１つのさらなる方法工程２０６において、送信されたウェハ搬送システム１６の副構成要素のセンサデータは、再送を防ぐために内部的にラベル付けされている。少なくとも１つのさらなる方法工程２０８において、例えばウェハ搬送システム１６の副構成要素の読取点８６の近傍からの除去の結果として、ウェハ搬送システム１６の副構成要素の読取装置８２への無線データ接続が切断される。
図８は、ウェハ搬送システム１６を制御する方法のフローチャートである。少なくとも１つの方法工程２１４において、少なくとも１つのパラメータおよび／またはセンサデータセットが、センサモジュール１４、１４’のセンサ１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’によって決定される。少なくとも１つのさらなる方法工程２３２において、パラメータおよび／またはセンサデータセットは、予測モジュール３０に送信される。少なくとも１つのさらなる方法工程２３４において、送信されたパラメータおよび／またはセンサデータセットに基づいてパターン認識が行われる。パターン認識はそして、方法工程２３８における予測の生成のために考慮される。少なくとも１つのさらなる方法工程２３６において、複数のパラメータおよび／またはセンサデータセットの比較が行われる。比較はそして、方法工程２３８における予測の生成のために考慮される。少なくとも１つの方法工程２３８において、将来の事象および／または結果についての予測が、センサデータセットおよび／またはパラメータに基づいて、特に前の比較および／または前のパターン認識を考慮に入れて生成される。
少なくとも１つのさらなる方法工程２１６において、パラメータおよび／またはセンサデータセットが、評価モジュール５２に送信される。少なくとも１つのさらなる方法工程２２２において、センサデータ、特にセンサデータセット、予測、および／またはパラメータが互いに比較される。少なくとも１つのさらなる方法工程２１８において、受信されたセンサデータおよび／またはパラメータに基づいて自動故障検出が行われる。少なくとも１つのさらなる方法工程２２０において、予測および／または自動故障検出に基づいて制御および／または規制コマンドが生成され、ファブ１４０の中央制御および／または規制システム４２ならびに／またはウェハ輸送容器輸送システム２６に送信される。少なくとも１つのさらなる方法工程２４０において、予測、自動故障検出、ならびに結果として生じる制御および／または規制反応は、機械学習モジュール３６によって処理される。ここで、予測、自動故障検出、ならびに結果として生じる制御および／または規制反応が分析され、結論が引き出される。機械学習モジュール３６の結論に基づいて、将来の予測、故障検出ならびに／または制御および／または規制反応が、おそらくは洗練され、最適化され、および／または修正されるであろう。少なくとも１つのさらなる方法工程２４２において、洗練され、最適化され、および／または修正された予測、故障検出ならびに／または制御および／または規制反応が、予測モジュール３０、評価モジュール５２ならびに／またはファブ１４０の中央制御および／または規制システム４２に送信される。
少なくとも１つのさらなる方法工程２２４において、ロードおよび／またはアンロードステーション２４への送達のための一連のウェハ輸送容器２２は、ウェハ輸送容器２２のセンサモジュール１４のセンサデータに基づいて特定される。ここで、そのセンサデータが安全データ範囲外にあり、および／またはその予測がセンサデータの安全データ範囲からの早期逸脱を予測するウェハ輸送容器２２が優先的に送達され、および／またはウェハ輸送容器２２に、シーケンスにおいてさらに前方に位置する新しいスペースが割り当てられる。少なくとも１つのさらなる方法工程２２６において、そのセンサデータが安全データ範囲外にあり、および／またはその予測が安全データ範囲からのセンサデータの逸脱を予測するウェハ輸送容器２２は、ウェハ輸送容器輸送システム２６によって、再生ステーション７０、診断ステーション４６および／またはウェハチェックステーション１１６に転送される。
少なくとも１つのさらなる方法工程２３０において、ウェハ搬送ユニット９０によって送信されたすべてのセンサデータのデータセットが収集される。続いて、少なくとも１つのさらなる方法工程２４４において、ウェハ搬送ユニット９０によって送信されたすべてのセンサデータのデータセットが、ウェハ輸送容器輸送システム２６の制御および／または規制のために使用される。少なくとも１つのさらなる方法工程２４８において、ウェハ搬送ユニット９０によって送信されたすべてのセンサデータの収集されたデータセットは、少なくとも１つの故障原因を検出、位置特定および／または追跡するために使用される。
１０ データ処理ユニット
１２ センサ
１４ センサモジュール
１６ ウェハ搬送システム
１８ ウェハ処理モジュール
２０ ウェハインターフェースシステム
２２ ウェハ輸送容器
２４ ロードおよび／またはアンロードステーション
２６ ウェハ輸送容器輸送システム
２８ ウェハ取扱ロボット
３０ 予測モジュール
３２ さらなるセンサ
３４ 制御および／または規制ユニット
３６ 機械学習モジュール
３８ 追加のさらなるセンサ
４０ 測定技術ユニット
４２ 中央制御および／または規制システム
４４ クイックカップリング装置
４６ 診断ステーション
４８ ウェハ
５０ メモリモジュール
５２ 評価モジュール
５４ エネルギー送信要素
５６ エネルギー受信要素
５８ データ転送要素
６０ 真空ポンプ固定ユニット
６２ 外部ポンプステーション
６４ ウェハ保持装置
６６ 充電モジュール
６８ エネルギー貯蔵部
７０ 再生ステーション
７２ 導電性トラック
７４ フォトセルユニット
７６ 照明ユニット
７８ フォトセル
８０ ＮＦＣインターフェース
８２ 読取装置
８４ 真空ポンプ交換ステーション
８６ 読取点
８８ 充電エネルギー供給モジュール
９０ ウェハ搬送ユニット
９２ ウェハ輸送容器開口要素
９４ 警報モジュール
９６ 焼戻しユニット
９８ 焼戻し要素
１００ 真空ポンプ
１０２ ゲッタ
１０４ 真空ポンプクイックカップリング装置
１０６ 内部
１０８ 中央制御および／または規制ユニット
１１０ レールシステム
１１２ 輸送キャリッジ
１１４ レール
１１６ ウェハチェックステーション
１１８ 個々のコンピュータ
１２０ リロードステーション
１２２ 中央コンピュータ
１２４ 送信モジュール
１２６ 受信モジュール
１２８ 対象物
１３０ グリッパ要素
１３２ 収容要素
１３４ サスペンションユニット
１３６ 保持ケーブル
１３８ 内部
１４０ ウェハ製造環境（ファブ）
１４２ 中央通信ユニット
１４４ データ転送ユニット
１４６ ウェハアンロードステーション
１４８ 封止要素
１５０ ハウジングユニット
１５２ アセンブリ要素
１５４ 駆動ユニット
１５６ カメラ
１５８ 観察窓
１６０ 内壁
１６２ 方法工程
１６４ 方法工程
１６６ 方法工程
１６８ 方法工程
１７０ 方法工程
１７２ 方法工程
１７４ 方法工程
１７６ 方法工程
１７８ 方法工程
１８０ 方法工程
１８２ 方法工程
１８４ 方法工程
１８６ 方法工程
１８８ 方法工程
１９０ 方法工程
１９２ 方法工程
１９４ 方法工程
１９６ 方法工程
１９８ 方法工程
２００ 方法工程
２０２ 方法工程
２０４ 方法工程
２０６ 方法工程
２０８ 方法工程
２１０ 方法工程
２１２ 方法工程
２１４ 方法工程
２１６ 方法工程
２１８ 方法工程
２２０ 方法工程
２２２ 方法工程
２２４ 方法工程
２２６ 方法工程
２２８ 方法工程
２３０ 方法工程
２３２ 方法工程
２３４ 方法工程
２３６ 方法工程
２３８ 方法工程
２４０ 方法工程
２４２ 方法工程
２４４ 方法工程
２４６ クランプ要素

Claims (27)

  1. センサモジュール（１４、１４’）の、ウェハ搬送システム（１６）の少なくとも１つの副構成要素に割り当てられる、少なくとも１つのセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）のセンサデータの登録および／または処理のために少なくとも構成された少なくとも１つのデータ処理ユニット（１０）を含むウェハ搬送ユニットであって、
    特に、前記ウェハ搬送システム（１６）の少なくとも１つのウェハ処理モジュール（１８）を含み、
    ウェハ輸送容器（２２）と前記ウェハ輸送容器（２２）および／または前記ウェハ処理モジュール（１８）のロードおよび／またはアンロードのためのロードおよび／またはアンロードステーション（２４）とを伴う前記ウェハ搬送システム（１６）の少なくとも１つのウェハインターフェースシステム（２０）を含み、
    前記ウェハ搬送システム（１６）の少なくとも１つのウェハ輸送容器輸送システム（２６）を含み、ならびに／または
    前記ウェハ搬送システム（１６）の少なくとも１つのウェハ取扱ロボット（２８）を含み、
    前記データ処理ユニット（１０）は、少なくとも１つの予測モジュール（３０）を有し、前記予測モジュール（３０）は、
    前記センサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）の少なくともセンサデータに基づいて、および／または前記センサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）によって決定された少なくとも１つのパラメータ値に基づいて、将来の結果および／または将来の事象についての予測を生成するように少なくとも構成されており、
    少なくとも前記センサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）のセンサデータの少なくとも１つの経過に基づいて、前記センサデータの将来の経過についての予測を生成するように少なくとも構成されており、
    制御および／または規制ユニット（３４）が、少なくともセンサデータに基づいて、ウェハ輸送容器輸送システム（２６）による少なくとも１つのウェハ輸送容器（２２）のロジスティクスの制御および／または規制のために少なくとも構成されており、
    前記ウェハ輸送容器輸送システム（２６）による前記ウェハ輸送容器（２２）の前記ロジスティクスの制御が、前記予測モジュール（３０）によって生成された前記予測に基づいて、前記制御および／または規制ユニット（３４）によって行われ、
    前記ウェハ輸送容器（２２）に割り当てられている前記センサモジュール（１４）のセンサ（１２，３２，３８）は、前記ウェハ輸送容器（２２）の内部（１０６）の、特に前記ウェハ輸送容器（２２）の前記内部（１０６）に広がる雰囲気の環境パラメータを検出するように構成されている、ウェハ搬送ユニット。
  2. 前記予測モジュール（３０）は、少なくとも２つのセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）のセンサデータの組合せに基づいて、および／またはそれらの比較に基づいて、少なくとも１つのセンサデータセットの、将来の事象についての、将来の結果についての、および／または将来の経過についての予測を生成するように少なくとも構成されることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ搬送ユニット。
  3. 前記予測モジュール（３０）は、前記センサデータの決定された前記将来の経過から、安全データ範囲からの前記センサデータの逸脱が発生する前に経過する少なくとも１つの期間について少なくとも１つの予測を生成することを特徴とする、請求項１または２に記載のウェハ搬送ユニット。
  4. 前記予測モジュール（３０）は、少なくとも前記予測を生成するために少なくとも１つのセンサデータセットに基づいてパターン認識を実行するように構成されることを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載のウェハ搬送ユニット。
  5. 前記予測モジュール（３０）の前記予測に基づいて、前記ウェハ搬送システム（１６）の少なくとも１つの副構成要素の少なくとも１つのパラメータの少なくとも１つの適合化を少なくとも開始するように少なくとも構成される前記制御および／または規制ユニット（３４）によって特徴付けられる、請求項１～４のいずれか１項に記載のウェハ搬送ユニット。
  6. 前記制御および／または規制ユニット（３４）が、安全データ範囲からの前記ウェハ輸送容器（２２）の少なくとも１つのパラメータの逸脱を防ぐように構成されることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ搬送ユニット。
  7. 少なくとも前記データ処理ユニット（１０）、前記予測モジュール（３０）、ならびに／または少なくとも前記制御および／または規制ユニット（３４）が、事後プログラムおよび／または再プログラム可能な設計であることを特徴とする、請求項１に記載のウェハ搬送ユニット。
  8. 機械学習による予測を最適化するため、および／または機械学習による予測に対する反応を最適化するために構成された機械学習モジュール（３６）によって特徴付けられる、請求項１に記載のウェハ搬送ユニット。
  9. 少なくとも１つのセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）を有する前記センサモジュール（１４、１４’）によって特徴付けられる、請求項１～８のいずれか１項に記載のウェハ搬送ユニット。
  10. 前記センサモジュール（１４、１４’）の前記センサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）が、パラメータを決定するように構成され、前記センサモジュール（１４、１４’）は、前記センサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８，３８’）と同じパラメータを決定するように構成された少なくとも１つの追加のさらなるセンサ（３８）を有し、前記追加のさらなるセンサ（３８）は、前記パラメータの決定のために、前記センサ（１２，１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）が前記パラメータを決定する測定方法と少なくとも実質的に異なる測定方法を使用することを特徴とする、請求項９に記載のウェハ搬送ユニット。
  11. 前記センサモジュール（１４、１４’）の少なくとも前記センサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）、および／または前記データ処理ユニット（１０）の少なくとも一部を含み、アセンブリグループを実装する少なくとも１つの測定技術ユニット（４０）であって、前記ウェハ搬送システム（１６）の少なくとも１つの副構成要素上で交換可能に配置されるように構成される測定技術ユニット（４０）によって、また前記測定技術ユニット（４０）を前記ウェハ搬送システム（１６）の副構成要素に解放可能および／または交換可能に結合するように構成されたクイックカップリング装置（４４）によって特徴付けられる、請求項９に記載のウェハ搬送ユニット。
  12. 少なくとも１つのセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）が、少なくとも１つのウェハ（４８）の外形の少なくとも一部をキャプチャするように構成されることを特徴とする、請求項９に記載のウェハ搬送ユニット。
  13. 検出された前記外形は、前記ウェハ（４８）の実際の外形を形成し、前記データ処理ユニット（１０）は、前記ウェハ（４８）の前記実際の外形を少なくとも前記ウェハ（４８）の公称外形と比較するように構成されることを特徴とする、請求項１２に記載のウェハ搬送ユニット。
  14. 少なくとも１つのセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）が、前記ウェハ搬送システム（１６）の前記副構成要素内の少なくとも１つのウェハ（４８）の少なくとも位置を検出するように構成されることを特徴とし、検出された前記位置は、前記ウェハ（４８）の実際の位置を実装し、前記データ処理ユニット（１０）は、前記ウェハ（４８）の前記実際の位置を少なくとも前記ウェハ（４８）の公称位置と比較するように構成される、請求項９に記載のウェハ搬送ユニット。
  15. 前記センサモジュール（１４、１４’）の少なくとも１つのセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）が、受動センサとして実装されていることを特徴とする、請求項９に記載のウェハ搬送ユニット。
  16. 前記センサモジュール（１４、１４’）の少なくとも１つのセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）がウェハ輸送容器（２２）の内容物の少なくとも１つのパラメータを検出するように構成されることを特徴とし、前記センサモジュール（１４’）の少なくとも１つのセンサ（１２’、３２’、３８’）が、前記ウェハ輸送容器（２２）に格納された対象物（１２８）の少なくとも１つのサブグループ、特に前記ウェハ輸送容器（２２）に格納されたまさに１つの対象物（１２８）に割り当て可能である、請求項９に記載のウェハ搬送ユニット。
  17. 前記データ処理ユニット（１０）が、センサデータの少なくとも１つの経過の評価のために少なくとも構成される少なくとも１つの評価モジュール（５２）を有することを特徴とし、前記評価モジュール（５２）は、前記センサモジュール（１４、１４’）のセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）の機能不全および／または前記センサモジュール（１４、１４’）の少なくとも１つのセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）の異常センサデータを少なくとも識別するように少なくとも構成された自動故障検出ユニットを含む、請求項１～１６のいずれか１項に記載のウェハ搬送ユニット。
  18. 前記センサモジュール（１４’）の少なくとも１つのセンサ（１２’、３２’、３８’）がその上および／またはその中に配置された少なくとも１つのウェハ保持装置（６４）によって特徴付けられる、請求項９に記載のウェハ搬送ユニット。
  19. 前記センサモジュール（１４、１４’）のエネルギー貯蔵部（６８）に、および／または前記データ処理ユニット（１０）のエネルギー貯蔵部（６８）に充電エネルギーを非接触で供給するように構成された充電モジュール（６６）によって特徴付けられる、請求項９に記載のウェハ搬送ユニット。
  20. 前記充電モジュール（６６）が、電場および／または磁場から充電エネルギーを抽出し、それを電気エネルギーに変換するように構成された少なくとも１つの導電性トラック（７２）を有することを特徴とする、請求項１９に記載のウェハ搬送ユニット。
  21. 前記センサモジュール（１４、１４’）のエネルギー貯蔵部（６８）に、および／または前記データ処理ユニット（１０）のエネルギー貯蔵部（６８）に充電エネルギーを供給するように構成される少なくとも１つのフォトセルユニット（７４）によって特徴付けられる、請求項９に記載のウェハ搬送ユニット。
  22. 前記フォトセルユニット（７４）の少なくとも１つのフォトセル（７８）を照明するように構成される少なくとも１つの照明ユニット（７６）によって特徴付けられる、請求項２１に記載のウェハ搬送ユニット。
  23. 前記データ処理ユニット（１０）は、センサデータを処理するために、少なくとも１つのＮＦＣインターフェース（８０）を有することを特徴とする、請求項１～２２のいずれか１項に記載のウェハ搬送ユニット。
  24. 少なくとも１つの読取点（８６）を有し、前記データ処理ユニット（１０）が前記読取点（８６）に近接して配置されている場合に前記データ処理ユニット（１０）のデータ通信をトリガするように構成される少なくとも１つの読取装置（８２）によって特徴付けられる、請求項１～２３のいずれか１項に記載のウェハ搬送ユニット。
  25. 充電処理中に前記充電モジュール（６６）の少なくとも一部に充電エネルギーを非接触で送信するように構成される、前記ウェハ搬送ユニット（９０）の前記充電モジュール（６６）および／または充電エネルギー供給モジュール（８８）は、前記読取装置（８２）と少なくとも部分的に一体的に具体化されることを特徴とする、請求項１９または２４に記載のウェハ搬送ユニット。
  26. 前記データ処理ユニット（１０）の少なくとも一部は、前記ウェハ搬送システム（１６）のウェハ輸送容器（２２）に割り当てられ、前記ウェハ搬送システム（１６）のロードおよび／またはアンロードステーション（２４）に割り当てられている前記データ処理ユニット（１０）の少なくとも１つのさらなる部分と前記ウェハ輸送容器（２２）のセンサデータを交換するように構成されることを特徴とする、請求項１～２５のいずれか１項に記載のウェハ搬送ユニット。
  27. 特に請求項１～２６のいずれか１項に記載のウェハ搬送ユニット（９０）と、少なくとも１つのセンサ（１２、１２’、１２”、３２、３２’、３８、３８’）を含む少なくとも１つのセンサモジュール（１４、１４’）およびウェハ搬送システム（１６）の少なくとも１つのさらなる副構成要素とのデータ通信、および／または前記ウェハ搬送システム（１６）の少なくとも２つの副構成要素間のデータ通信、および／または前記ロードおよび／またはアンロードステーション（２４）と外部データ処理システムとのデータ通信の制御および／または規制のために少なくとも構成される中央制御および／または規制ユニット（１０８）と、を伴う、ロードおよび／またはアンロードステーション（２４）。
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