CN104792942A - 挥发性有机化合物自动检测系统及检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种挥发性有机化合物自动检测系统及检测方法。本发明的挥发性有机化合物自动检测系统包括自动化物料搬送系统、检测单元(1)、服务器(2)、及反馈单元(3)，可对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行自动检测。本发明的挥发性有机化合物自动检测方法，利用服务器(2)设定检测单元(1)的检测路径，通过自动化物料搬送系统运送检测单元(1)沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器(2)发送实时检测数据；通过服务器(2)自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元(3)发出警报，以通知相关人员处理异常；替代了人工测量，减少了仓储停机时间，有助于保障生产正常进行，提高了测量效率，有效降低了人力成本。
Description
技术领域
本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种挥发性有机化合物自动检测系统及检测方法。
背景技术
在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)制造车间内，用于制作液晶屏的玻璃采用卡匣(Cassette)进行装载，每个卡匣可装载几十片玻璃。通过计算机集成制造系统(MES)设置搬送指令，卡匣由自动化物料搬送系统(AMHS)运送到相应制程机台附近的仓储(stocker)内储存备料，然后通过分片装置将玻璃从卡匣中一片一片取出送到制程机台处理，处理完成后，分片装置再将玻璃一片一片送回卡匣，自动化物料搬送系统再将卡匣运送到下一制程附近的仓储内储存备料。仓储以及连接仓储之间的卡匣通道属于自动化物料搬送系统的一部分。
由于TFT-LCD的各制程中可能存在挥发性有机化合物(VOC)，比如彩膜制程中的光阻，当这些挥发性有机化合气体进入到特定制程(比如CVD制程)的仓储时会直接影响液晶屏的生产良率，由于液晶屏报废成本很高，因此各生产制程对VOC都有严格的要求。自动化物料搬送系统作为液晶面板生产过程中产品停留时间最长的设备，对环境中的VOC浓度进行实时快速监测尤其重要。通过实时快速监测，及时报警，以便快速改善VOC挥发源，达到产品生产VOC浓度要求，以减少产品不良损失，这对TFT-LCD制程来说极为重要。
目前自动化物料搬送系统内VOC浓度监测主要采用人工手持式测量仪量测。此种方式存在以下缺点：
1、测量作业时，设备需停止运行，无法生产，造成产能损失；
2、测量时间长，设备数量多，人力需求多；
3、人作为污染源影响环境洁净度，影响测量结果的精确度；
4、车间内监控范围大，人工测量覆盖率底，测量数据少；
5、人工测量具有滞后性，反映时间长。
因此，有必要提供一种挥发性有机化合物自动检测系统及检测方法，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种挥发性有机化合物自动检测系统，能够自动对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并发出警报，通知相关人员及时处理异常。
本发明的目的还在于提供一种挥发性有机化合物自动检测方法，通过设置检测路径，沿自动沿检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并发出警报，通知相关人员及时处理异常。
为实现上述目的，本发明提供一种挥发性有机化合物自动检测系统，包括自动化物料搬送系统、检测单元、服务器、及反馈单元；
所述检测单元包括载体、设于所述载体内部的测量模块、与所述测量模块相连接的取样模块、与所述测量模块电性连接的电源模块、及与所述电源模块电性连接的通讯模块，所述载体呈敞开式设置以使取样模块能取得待测区域的样本；
利用服务器设定检测单元的检测路径，自动化物料搬送系统运送检测单元沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器发送实时检测数据；服务器自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元发出警报，以通知相关人员处理异常。
所述载体为镂空式卡匣。
所述自动化物料搬送系统包括制程机台附近的仓储、及连接于不同仓储之间的卡匣通道；所述检测路径为，通过自动化物料搬送系统将所述检测单元搬运至相应制程机台附近的仓储的空储位，检测完成后再通过自动化物料搬送系统将所述检测单元经由卡匣通道搬运至下一制程机台附近的仓储的空储位继续进行检测。
所述测量模块为VOC浓度计；所述取样模块为空气泵。
所述电源模块为锂离子充电电池；所述通讯模块为无线收发器。
所述反馈单元包括发光模块、及发声模块，通过所述发光模块发出警报光、所述发声模块发出警报音向相关人员反馈自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度异常。
所述挥发性有机化合物自动检测系统用于TFT-LCD的制程。
本发明还提供一种挥发性有机化合物自动检测方法，包括如下步骤：
步骤1、提供自动化物料搬送系统、检测单元、服务器、及反馈单元；
所述检测单元包括载体、设于所述载体内部的测量模块、与所述测量模块相连接的取样模块、与所述测量模块电性连接的电源模块、及与所述电源模块电性连接的通讯模块，所述载体呈敞开式设置以使取样模块能取得待测区域的样本；
步骤2、通过服务器设定检测单元的检测路径；
步骤3、通过自动化物料搬送系统运送检测单元沿该检测路径移动，检测单元通过取样模块沿检测路径进行取样，并通过测量模块对所采集的样本中挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时通过通讯模块向服务器发送实时检测数据；
步骤4、通过服务器自动对检测数据进行分析、判定；
步骤5、服务器判定检测数据正常，通过自动化物料搬送系统运送检测单元沿该检测路径继续进行检测；
步骤6、服务器判定检测数据异常，通过服务器控制反馈单元发出警报，以通知相关人员处理异常。
所述载体为镂空式卡匣，所述测量模块为VOC浓度计，所述取样模块为空气泵，所述电源模块为锂离子充电电池，所述通讯模块为无线收发器，所述反馈单元包括发光模块、及发声模块，通过所述发光模块发出警报光、所述发声模块发出警报音向相关人员反馈自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度异常。
所述挥发性有机化合物自动检测方法用于TFT-LCD的制程。
本发明的有益效果：本发明的挥发性有机化合物自动检测系统，设有自动化物料搬送系统、检测单元、服务器、及反馈单元，利用服务器设定检测单元的检测路径，通过自动化物料搬送系统运送检测单元沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器发送实时检测数据，服务器自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元发出警报，以通知相关人员处理异常，减少了仓储停机时间，有助于保障生产正常进行。本发明的挥发性有机化合物自动检测方法，通过设置自动化物料搬送系统、检测单元、服务器、及反馈单元，利用服务器设定检测单元的检测路径，通过自动化物料搬送系统运送检测单元沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器发送实时检测数据，服务器自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元发出警报，以通知相关人员处理异常，替代了人工测量，减少了仓储停机时间，有助于保障生产正常进行，提高了测量效率，有效降低了人力成本，提高了仓储的测量覆盖率，增加了测量数据，并可以及时反馈现场仓储的挥发性有机化合物浓度，以便相关人员能及时发现并改善异常问题，同时也保障现场人员工作的安全性。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
附图中，
图1为本发明的挥发性有机化合物自动检测系统的检测单元的结构示意图；
图2为本发明的挥发性有机化合物自动检测系统的示意图；
图3为本发明的挥发性有机化合物自动检测系统的检测路径示意图；
图4为本发明的挥发性有机化合物自动检测系统的控制逻辑流程图；
图5为本发明的挥发性有机化合物自动检测方法的流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1至图3，本发明首先提供一种挥发性有机化合物自动检测系统，包括自动化物料搬送系统、检测单元1、服务器2、及反馈单元3。
如图1所示，所述检测单元1包括载体11、设于所述载体11内部的测量模块12、与所述测量模块12相连接的取样模块13、与所述测量模块12电性连接的电源模块14、及与所述电源模块14电性连接的通讯模块15，所述载体11呈敞开式设置以使取样模块13能取得待测区域的样本。
如图2所示，利用服务器2设定检测单元1的检测路径，自动化物料搬送系统运送检测单元1沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器2发送实时检测数据；服务器2自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元3发出警报，以通知相关人员处理异常。
具体地，如图3所示，所述自动化物料搬送系统包括制程机台附近的仓储4、及连接于不同仓储4之间的卡匣通道；所述检测路径为，通过自动化物料搬送系统将所述检测单元1搬运至相应制程机台附近的仓储4的空储位41，检测完成后再通过自动化物料搬送系统将所述检测单元1经由卡匣通道搬运至下一制程机台附近的仓储4的空储位41继续进行检测。
具体地，所述载体11为镂空式卡匣，所述镂空式卡匣与自动化物料搬送系统中用于装载产品的卡匣类似，呈敞开式设置以使取样模块13能取得待测区域的样本。
具体地，所述测量模块12为VOC浓度计，用于对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测；所述取样模块13为空气泵，通过与测量模块12连接，使测量模块12采用泵吸式取样。
具体地，所述电源模块14为锂离子充电电池，用于为所述检测单元1中各元件提供电源；所述通讯模块15为无线收发器，可以向服务器2发送实时检测数据，实现检测单元1与服务器2的通讯。
具体地，所述反馈单元3包括发光模块、及发声模块，通过所述发光模块发出警报光、所述发声模块发出警报音向相关人员反馈自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度异常。
具体地，本发明的挥发性有机化合物自动检测系统可用于TFT-LCD的制程。
请参阅图4，为本发明的挥发性有机化合物自动检测系统的控制逻辑流程图。以本实施例为例，首先通过服务器2选定对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度检测路线，确定检测位置可以搬送后，通过自动化物料搬送系统将检测单元1搬送至相应制程机台附近的仓储4的空储位41，此时检测单元1中的VOC浓度计通过空气泵对自动化物料搬送系统内的区域进行取样，开始检测挥发性有机化合物的浓度数据，并通过无线收发器将数据传输至服务器2。服务器2自动对检测数据进行分析判定，与异常警报值1进行比较，当检测数据小于1，通过自动化物料搬送系统将所述检测单元1经由卡匣通道将检测单元1搬运至下一制程机台附近的仓储4的空储位41继续进行检测。当检测数据大于1，服务器2控制反馈单元3发出警报，以通知相关人员处理异常。相关人员到场后确认挥发性有机化合物含量是否超标，如果确实超标，则马上分析原因，制定改善措施并改善。如果没有超标，则通过自动化物料搬送系统将所述检测单元1经由卡匣通道搬运至下一制程机台附近的仓储4的空储位41继续进行检测。本发明的挥发性有机化合物自动检测系统的建立替代了人工测量，减少了仓储停机时间，有助于保障生产正常进行，提高了测量效率，有效降低了人力成本，提高了仓储的测量覆盖率，增加了测量数据，并可以及时反馈现场仓储的挥发性有机化合物浓度，以便相关人员能及时发现并改善异常问题，同时也保障现场人员工作的安全性。
上述挥发性有机化合物自动检测系统，设有自动化物料搬送系统、检测单元、服务器、及反馈单元，利用服务器设定检测单元的检测路径，通过自动化物料搬送系统运送检测单元沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器发送实时检测数据，服务器自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元发出警报，以通知相关人员处理异常，减少了仓储停机时间，有助于保障生产正常进行。
请参阅图5，在上述挥发性有机化合物自动检测系统的基础上，本发明还提供一种挥发性有机化合物自动检测方法，包括如下步骤：
步骤1、提供自动化物料搬送系统、检测单元1、服务器2、及反馈单元3。
所述检测单元1包括载体11、设于所述载体11内部的测量模块12、与所述测量模块12相连接的取样模块13、与所述测量模块12电性连接的电源模块14、及与所述电源模块14电性连接的通讯模块15，所述载体11呈敞开式设置以使取样模块13能取得待测区域的样本。
具体地，所述载体11为镂空式卡匣，所述镂空式卡匣与自动化物料搬送系统中用于装载产品的卡匣类似，呈敞开式设置以使取样模块13能取得待测区域的样本；所述测量模块12为VOC浓度计，用于对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测；所述取样模块13为空气泵，通过与测量模块12连接，使测量模块12采用泵吸式取样；所述电源模块14为锂离子充电电池，用于为所述检测单元1中各元件提供电源；所述通讯模块15为无线收发器，可以向服务器2发送实时检测数据，实现检测单元1与服务器2的通讯。
所述反馈单元3包括发光模块、及发声模块，通过所述发光模块发出警报光、所述发声模块发出警报音向相关人员反馈自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度异常。
步骤2、通过服务器2设定检测单元1的检测路径。
具体地，所述自动化物料搬送系统包括制程机台附近的仓储4、及连接于不同仓储4之间的卡匣通道；所述检测路径为，通过自动化物料搬送系统将所述检测单元1搬运至相应制程机台附近的仓储4的空储位41，检测完成后再通过自动化物料搬送系统将所述检测单元1经由卡匣通道搬运至下一制程机台附近的仓储4的空储位41继续进行检测。
步骤3、通过自动化物料搬送系统运送检测单元1沿该检测路径移动，检测单元1通过取样模块13沿检测路径进行取样，并通过测量模块12对所采集的样本中挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时通过通讯模块15向服务器2发送实时检测数据。
步骤4、通过服务器2自动对检测数据进行分析、判定。
步骤5、服务器2判定检测数据正常，通过自动化物料搬送系统运送检测单元1沿该检测路径继续进行检测。
步骤6、服务器2判定检测数据异常，通过服务器2控制反馈单元3发出警报，以通知相关人员处理异常。
具体地，本发明的挥发性有机化合物自动检测方法可用于TFT-LCD的制程。
上述挥发性有机化合物自动检测方法，通过设置自动化物料搬送系统、检测单元、服务器、及反馈单元，利用服务器设定检测单元的检测路径，通过自动化物料搬送系统运送检测单元沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器发送实时检测数据，服务器自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元发出警报，以通知相关人员处理异常，替代了人工测量，减少了仓储停机时间，有助于保障生产正常进行，提高了测量效率，有效降低了人力成本，提高了仓储的测量覆盖率，增加了测量数据，并可以及时反馈现场仓储的挥发性有机化合物浓度，以便相关人员能及时发现并改善异常问题，同时也保障现场人员工作的安全性。
综上所述，本发明的挥发性有机化合物自动检测系统，设有自动化物料搬送系统、检测单元、服务器、及反馈单元，利用服务器设定检测单元的检测路径，通过自动化物料搬送系统运送检测单元沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器发送实时检测数据，服务器自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元发出警报，以通知相关人员处理异常，减少了仓储停机时间，有助于保障生产正常进行。本发明的挥发性有机化合物自动检测方法，通过设置自动化物料搬送系统、检测单元、服务器、及反馈单元，利用服务器设定检测单元的检测路径，通过自动化物料搬送系统运送检测单元沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器发送实时检测数据，服务器自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元发出警报，以通知相关人员处理异常，替代了人工测量，减少了仓储停机时间，有助于保障生产正常进行，提高了测量效率，有效降低了人力成本，提高了仓储的测量覆盖率，增加了测量数据，并可以及时反馈现场仓储的挥发性有机化合物浓度，以便相关人员能及时发现并改善异常问题，同时也保障现场人员工作的安全性。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种挥发性有机化合物自动检测系统，其特征在于，包括自动化物料搬送系统、检测单元(1)、服务器(2)、及反馈单元(3)；
所述检测单元(1)包括载体(11)、设于所述载体(11)内部的测量模块(12)、与所述测量模块(12)相连接的取样模块(13)、与所述测量模块(12)电性连接的电源模块(14)、及与所述电源模块(14)电性连接的通讯模块(15)，所述载体(11)呈敞开式设置以使取样模块(13)能取得待测区域的样本；
利用服务器(2)设定检测单元(1)的检测路径，自动化物料搬送系统运送检测单元(1)沿该检测路径对自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时向服务器(2)发送实时检测数据；服务器(2)自动对检测数据进行分析、判定异常警报值，并控制反馈单元(3)发出警报，以通知相关人员处理异常。
2.如权利要求1所述的挥发性有机化合物自动检测系统，其特征在于，所述载体(11)为镂空式卡匣。
3.如权利要求1所述的挥发性有机化合物自动检测系统，其特征在于，所述自动化物料搬送系统包括制程机台附近的仓储(4)、及连接于不同仓储(4)之间的卡匣通道；所述检测路径为，通过自动化物料搬送系统将所述检测单元(1)搬运至相应制程机台附近的仓储(4)的空储位(41)，检测完成后再通过自动化物料搬送系统将所述检测单元(1)经由卡匣通道搬运至下一制程机台附近的仓储(4)的空储位(41)继续进行检测。
4.如权利要求1所述的挥发性有机化合物自动检测系统，其特征在于，所述测量模块(12)为VOC浓度计；所述取样模块(13)为空气泵。
5.如权利要求1所述的挥发性有机化合物自动检测系统，其特征在于，所述电源模块(14)为锂离子充电电池；所述通讯模块(15)为无线收发器。
6.如权利要求1所述的挥发性有机化合物自动检测系统，其特征在于，所述反馈单元(3)包括发光模块、及发声模块，通过所述发光模块发出警报光、所述发声模块发出警报音向相关人员反馈自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度异常。
7.如权利要求1所述的挥发性有机化合物自动检测系统，其特征在于，用于TFT-LCD的制程。
8.一种挥发性有机化合物自动检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、提供自动化物料搬送系统、检测单元(1)、服务器(2)、及反馈单元(3)；
所述检测单元(1)包括载体(11)、设于所述载体(11)内部的测量模块(12)、与所述测量模块(12)相连接的取样模块(13)、与所述测量模块(12)电性连接的电源模块(14)、及与所述电源模块(14)电性连接的通讯模块(15)，所述载体(11)呈敞开式设置以使取样模块(13)能取得待测区域的样本；
步骤2、通过服务器(2)设定检测单元(1)的检测路径；
步骤3、通过自动化物料搬送系统运送检测单元(1)沿该检测路径移动，检测单元(1)通过取样模块(13)沿检测路径进行取样，并通过测量模块(12)对所采集的样本中挥发性有机化合物的浓度进行检测，同时通过通讯模块(15)向服务器(2)发送实时检测数据；
步骤4、通过服务器(2)自动对检测数据进行分析、判定；
步骤5、服务器(2)判定检测数据正常，通过自动化物料搬送系统运送检测单元(1)沿该检测路径继续进行检测；
步骤6、服务器(2)判定检测数据异常，通过服务器(2)控制反馈单元(3)发出警报，以通知相关人员处理异常。
9.如权利要求8所述的挥发性有机化合物自动检测方法，其特征在于，所述载体(11)为镂空式卡匣，所述测量模块(12)为VOC浓度计，所述取样模块(13)为空气泵，所述电源模块(14)为锂离子充电电池，所述通讯模块(15)为无线收发器，所述反馈单元(3)包括发光模块、及发声模块，通过所述发光模块发出警报光、所述发声模块发出警报音向相关人员反馈自动化物料搬送系统内的挥发性有机化合物的浓度异常。
10.如权利要求8所述的挥发性有机化合物自动检测方法，其特征在于，用于TFT-LCD的制程。
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